JPH02605U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02605U JPH02605U JP7758488U JP7758488U JPH02605U JP H02605 U JPH02605 U JP H02605U JP 7758488 U JP7758488 U JP 7758488U JP 7758488 U JP7758488 U JP 7758488U JP H02605 U JPH02605 U JP H02605U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- speckle pattern
- measured
- diffuse reflection
- measurement object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
第１図は本考案の第一の実施例を示すスペツク
ルパターン干渉計の概略構成図、第２図は本考案
の第二の実施例を示すスペツクルパターン干渉計
の概略構成図、第３図は従来例のスペツクルパタ
ーン干渉計を示す概略構成図である。 １……レーザ光源、３，３３，３３′……ビー
ムスプリツタ、４……参照粗面、６′……測定対
象物、７……箱体、９……ＴＶカメラ、１２……
偏向板、１９……１／２波長板。
ルパターン干渉計の概略構成図、第２図は本考案
の第二の実施例を示すスペツクルパターン干渉計
の概略構成図、第３図は従来例のスペツクルパタ
ーン干渉計を示す概略構成図である。 １……レーザ光源、３，３３，３３′……ビー
ムスプリツタ、４……参照粗面、６′……測定対
象物、７……箱体、９……ＴＶカメラ、１２……
偏向板、１９……１／２波長板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 レーザ光をビームスプリツタにて参照光と測定
対象物を照射する光とに分け、前記参照光と測定
対象物からの反射光とを合成し、その時に生じる
スペツクルパターンをＴＶカメラで撮像し、測定
対象物の変形前後のスペツクルパターンの変化を
干渉縞として表示するようにしたスペツクルパタ
ーン干渉計において、 測定対象物からの反射光のうち主として直接反
射成分からなる光を除去し、拡散反射成分からな
る光のうちの一定の偏向方向を有する光のみを透
過させる偏向子を設けたことを特徴とするスペツ
クルパターン干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7758488U JPH02605U (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7758488U JPH02605U (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02605U true JPH02605U (ja) | 1990-01-05 |
Family
ID=31302560
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7758488U Pending JPH02605U (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02605U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6252803A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-07 | 東芝機器株式会社 | 照明器具 |
-
1988
- 1988-06-10 JP JP7758488U patent/JPH02605U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6252803A (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-07 | 東芝機器株式会社 | 照明器具 |
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