JPH02128906U - - Google Patents

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JPH02128906U
JPH02128906U JP3714889U JP3714889U JPH02128906U JP H02128906 U JPH02128906 U JP H02128906U JP 3714889 U JP3714889 U JP 3714889U JP 3714889 U JP3714889 U JP 3714889U JP H02128906 U JPH02128906 U JP H02128906U
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JP
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light
reflective film
dielectric substrate
measured
reflected
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JP3714889U
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  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係わる反射膜の特性測定装置
の一実施例を示す構成図、第２図は本考案の他の
実施例を示す構成図、第３図は従来の反射膜の特
性測定装置の一実施例を示す構成図、第４図は長
さ測定装置の原理図である。 １……レーザ光源、５……位相差検出手段、１
０……差動干渉計、１１……ビームスプリツタ、
１２，１３，１７……コーナーキユーブ、１４，
１６……λ／４板、１５……ミラー、２１……誘
電体の基板、２２……被測定反射膜。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) レーザ光源の出力光を干渉計で２つに分岐
    し、この分岐した光を被測定反射膜が一部に形成
    された誘電体の基板に入射し、この被測定反射膜
    で反射された測定光と誘電体の基板で反射された
    参照光との位相差を位相差検出手段で検出する事
    により、前記被測定反射膜の特性を測定する様に
    した反射膜の特性測定装置において、前記参照光
    は前記誘電体の基板の表面反射光を用いる様に構
    成した事を特徴とする反射膜の特性測定装置。 (2) 前記参照光の表面反射光を得る手段として
    前記誘電体の基板の他方の面をくさび形状とした
    事を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記
    載の反射膜の特性測定装置。 (3) 前記参照光の表面反射光を得る手段として
    前記誘電体の基板の他方の面の表面を荒らした事
    を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
    の反射膜の特性測定装置。
JP3714889U 1989-03-30 1989-03-30 Pending JPH02128906U (ja)

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JP3714889U JPH02128906U (ja) 1989-03-30 1989-03-30

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JPH02128906U true JPH02128906U (ja) 1990-10-24

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ID=31543997

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5590803A (en) * 1978-12-29 1980-07-09 Ibm Interferometer

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5590803A (en) * 1978-12-29 1980-07-09 Ibm Interferometer

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