JPH0256601A - 運動機械系の制御装置 - Google Patents
運動機械系の制御装置Info
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- JPH0256601A JPH0256601A JP20885488A JP20885488A JPH0256601A JP H0256601 A JPH0256601 A JP H0256601A JP 20885488 A JP20885488 A JP 20885488A JP 20885488 A JP20885488 A JP 20885488A JP H0256601 A JPH0256601 A JP H0256601A
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- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 14
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- FBOUIAKEJMZPQG-AWNIVKPZSA-N (1E)-1-(2,4-dichlorophenyl)-4,4-dimethyl-2-(1,2,4-triazol-1-yl)pent-1-en-3-ol Chemical compound C1=NC=NN1/C(C(O)C(C)(C)C)=C/C1=CC=C(Cl)C=C1Cl FBOUIAKEJMZPQG-AWNIVKPZSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
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- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、2次の微分方程式で記述される動特性を有す
るロボットのような運動機械系に用いられる制御装置に
関する。
るロボットのような運動機械系に用いられる制御装置に
関する。
[従来の技術]
例えば、種々の工業分野で用いられるロボット(主にロ
ボットアーム)において、その位置や速度を目標値に一
致させる制御系が良好に動作するためには、制御系のパ
ラメータを適切に調整することが必要であるが、それら
のパラメータは、制御系が組み込まれる運動機械系の動
特性、特に慣性モーメント、質量、粘性摩擦等に大きく
依存しており1機械系によって大きく異なる。そのため
、制御系のパラメータは、機械系とその使用条件に合わ
せて調整されなければならない。
ボットアーム)において、その位置や速度を目標値に一
致させる制御系が良好に動作するためには、制御系のパ
ラメータを適切に調整することが必要であるが、それら
のパラメータは、制御系が組み込まれる運動機械系の動
特性、特に慣性モーメント、質量、粘性摩擦等に大きく
依存しており1機械系によって大きく異なる。そのため
、制御系のパラメータは、機械系とその使用条件に合わ
せて調整されなければならない。
一方、パラメータを使用条件に応じて一々変えることは
できなかったので、ロボットのように機械の動きによっ
て動特性が大きく変化する運動機械系では、駆動手段と
して高精度のモータ(例えばダイレクトドライブ方式の
モータ)を使用する場合、良好な制御を行うために種々
の工夫が必要であった。
できなかったので、ロボットのように機械の動きによっ
て動特性が大きく変化する運動機械系では、駆動手段と
して高精度のモータ(例えばダイレクトドライブ方式の
モータ)を使用する場合、良好な制御を行うために種々
の工夫が必要であった。
詳細には、ロボットのような運動機械系は2次の微分方
程式で記述される連続系〒あり、これに使用されるモー
タの出力トルクをτ、モータへの電圧入力をUとすると
1両者の関係は τ=Ku (1)と表わ
される。モータに負荷がない場合、回転角をXとすると
、上式は となる。但し1mはモータのロータ部の慣性モーメント
、fは粘性摩擦係数である。
程式で記述される連続系〒あり、これに使用されるモー
タの出力トルクをτ、モータへの電圧入力をUとすると
1両者の関係は τ=Ku (1)と表わ
される。モータに負荷がない場合、回転角をXとすると
、上式は となる。但し1mはモータのロータ部の慣性モーメント
、fは粘性摩擦係数である。
一方、第5図に示すように、モータlが慣性モーメン)
M、粘性摩擦係数Fの機械系2を負荷とする場合は。
M、粘性摩擦係数Fの機械系2を負荷とする場合は。
(m+M)M+ (f+F)i=c (3)と表
わされる。
わされる。
ここで、モータ1とこれによって駆動される機械系2と
の間に減速比の大きい通常の減速機を用いた場合、その
減速比により、Mはロータ軸上ではmに比べて十分に小
さくなる。Fは制御系のパラメータにあまり影響しない
ので、Mが変化しても、モータlの動特性は殆ど変わら
ず1機械系2に外力が加わっても、モータlに殆ど影響
を与えない、従って、適切な制御系のパラメータも大き
く変化しない。
の間に減速比の大きい通常の減速機を用いた場合、その
減速比により、Mはロータ軸上ではmに比べて十分に小
さくなる。Fは制御系のパラメータにあまり影響しない
ので、Mが変化しても、モータlの動特性は殆ど変わら
ず1機械系2に外力が加わっても、モータlに殆ど影響
を与えない、従って、適切な制御系のパラメータも大き
く変化しない。
ところが、モータlと機械系2との間に介在する減速機
には歯車のバックラッシュがあり5機械的なガタや遅れ
が生じるため、高速且つ高精度の位置決め制御には適さ
ない、そこで、高精度の制御が要求される場合、減速機
を介在させず、負荷を直接駆動するダイレクトドライブ
モータが使用されている。
には歯車のバックラッシュがあり5機械的なガタや遅れ
が生じるため、高速且つ高精度の位置決め制御には適さ
ない、そこで、高精度の制御が要求される場合、減速機
を介在させず、負荷を直接駆動するダイレクトドライブ
モータが使用されている。
このダイレクトドライブモータで駆動する場合には、モ
ータのロータ部の慣性モーメン)mに比べて負荷の慣性
モーメントMが大きいので、いかなるMとFに対しても
有効な線形且つ時間的に不変な制御系を設計することは
できない、また、このような機械系では、直接的に負荷
とモータがつながっているので、外力の影響を受けやす
い、そのため、機械系のM、F等に適応して制御動作の
パラメータを変化させると共に、外力をすばやく補償で
きる制御系が必要であった。
ータのロータ部の慣性モーメン)mに比べて負荷の慣性
モーメントMが大きいので、いかなるMとFに対しても
有効な線形且つ時間的に不変な制御系を設計することは
できない、また、このような機械系では、直接的に負荷
とモータがつながっているので、外力の影響を受けやす
い、そのため、機械系のM、F等に適応して制御動作の
パラメータを変化させると共に、外力をすばやく補償で
きる制御系が必要であった。
このような制御系の安定性を保証する原理の1つにリア
プノフの定理があり、これに基づいてロボット等の1軸
の回転機械系の制御を行なう技術が知られている。それ
によれば、まず、リアプノフ関数と呼ばれる止定関数を
定義する。それをVとすると、その時間微分Vが負であ
れば、■は必ず減少することが保証され、最終的に0と
なる。
プノフの定理があり、これに基づいてロボット等の1軸
の回転機械系の制御を行なう技術が知られている。それ
によれば、まず、リアプノフ関数と呼ばれる止定関数を
定義する。それをVとすると、その時間微分Vが負であ
れば、■は必ず減少することが保証され、最終的に0と
なる。
リアプノフ3!1IIl!は、追従誤差やパラメータ誤
差等0にしたいもので構成されるので、これが0という
条件が満たされれば安定であるということができる。
差等0にしたいもので構成されるので、これが0という
条件が満たされれば安定であるということができる。
それ故、リアプノフ関数とそれを負にする制御則をどの
ように定めるかが重要であるが、その関数を、スライデ
ィングサーフェイスと呼ばれる安定な位相面を指定して
、その位相面からの偏差Sと機械系のパラメータの推定
誤差との2次形式で表わし、その関数が負になるように
Sの正負で構造の変化する制御則とパラメータの適応剤
とを定め、機械系のパラメータ変動や外力に対処する方
法が提案されている。
ように定めるかが重要であるが、その関数を、スライデ
ィングサーフェイスと呼ばれる安定な位相面を指定して
、その位相面からの偏差Sと機械系のパラメータの推定
誤差との2次形式で表わし、その関数が負になるように
Sの正負で構造の変化する制御則とパラメータの適応剤
とを定め、機械系のパラメータ変動や外力に対処する方
法が提案されている。
C発明が解決しようとする課題]
しかしながら、外乱が大きいと、■が負にならず、Vが
Oにならない場合が生ずる。このとき。
Oにならない場合が生ずる。このとき。
機械系はオフセットを生ずるという問題点があった。
本発明は、スライディングサーフェイスに目標値と制御
量との偏差の積分量を加えて導出した非線形制御則とパ
ラメータ適応剤により、VがOでなく定数の場合でも機
械系のオフセットをなくすようにした制御装置を提供す
ることを目的とする。
量との偏差の積分量を加えて導出した非線形制御則とパ
ラメータ適応剤により、VがOでなく定数の場合でも機
械系のオフセットをなくすようにした制御装置を提供す
ることを目的とする。
[課題を解決するための手段]
本発明は、制御対象とする運動機械系のパラメータ0に
合わせて制御動作のパラメータδを自動的に調整するた
めに、制御対象の制御量Xと目標値rとの偏差eかも指
定した安定な位相面からの偏差Sを演算する演算手段と
、その演算結果を用いて制御fitxと目標値rとの偏
差eを小さくするように運動機械系のパラメータOを同
定し、これに制御動作のパラメータbを適応させる適応
手段と、前記演算手段で得られた偏差S及び前記適応手
段で得られたパラメータδを用いて、制御量Xと11標
値rとの偏差eを非線形制御則により指定した安定な位
相面に移す制御人力τを生成するコントローラとを備え
た制御装置において、前記非線形制御則が定常状態にお
ける制御量Xと目標値rとの偏差eをOにする積分機能
を有することを牛ν徴とする。
合わせて制御動作のパラメータδを自動的に調整するた
めに、制御対象の制御量Xと目標値rとの偏差eかも指
定した安定な位相面からの偏差Sを演算する演算手段と
、その演算結果を用いて制御fitxと目標値rとの偏
差eを小さくするように運動機械系のパラメータOを同
定し、これに制御動作のパラメータbを適応させる適応
手段と、前記演算手段で得られた偏差S及び前記適応手
段で得られたパラメータδを用いて、制御量Xと11標
値rとの偏差eを非線形制御則により指定した安定な位
相面に移す制御人力τを生成するコントローラとを備え
た制御装置において、前記非線形制御則が定常状態にお
ける制御量Xと目標値rとの偏差eをOにする積分機能
を有することを牛ν徴とする。
本発明の好ましい態様によれば、制御装置は、非線形制
御則に従って生成された制御入力が制御対象の入力範囲
を越えた場合には、非線形制御則における積分機能と適
応手段によるパラメータ適応を停止する機能を有する。
御則に従って生成された制御入力が制御対象の入力範囲
を越えた場合には、非線形制御則における積分機能と適
応手段によるパラメータ適応を停止する機能を有する。
[作用]
本発明においては、演算手段で制御対象の制御7ixと
目標(1fi rとの偏差eから、指定した安定な位相
面からの偏差Sを演算する。適応手段では、その演算結
果を用いて制御対象の制御量Xと目標値rとの偏差eを
最小にするように制御対象のパラメータ0を同定する。
目標(1fi rとの偏差eから、指定した安定な位相
面からの偏差Sを演算する。適応手段では、その演算結
果を用いて制御対象の制御量Xと目標値rとの偏差eを
最小にするように制御対象のパラメータ0を同定する。
コントローラでは、演算手段で得られた偏差S及び適応
手段で同定したパラメータσを用いて、非線形制御則に
より目標値rと制御量Xとの偏差eを指定した安定な位
相面に移すような制御人力τを生成する。ここで用いら
れる非線形制御則は、定常状態における制御量Xと目標
値rとの偏差eをOにする積分機能を有するので、制御
対象である運動機械系の動特性が変化する場合でも、誤
差が補償され、安定した応答が得られる。
手段で同定したパラメータσを用いて、非線形制御則に
より目標値rと制御量Xとの偏差eを指定した安定な位
相面に移すような制御人力τを生成する。ここで用いら
れる非線形制御則は、定常状態における制御量Xと目標
値rとの偏差eをOにする積分機能を有するので、制御
対象である運動機械系の動特性が変化する場合でも、誤
差が補償され、安定した応答が得られる。
また、本発明の制御装置において、非線形制御則に従っ
て生成された制御入力が制御対象の入力範囲を越えた場
合には、非線形制御則における積分機能と適応手段によ
るパラメータ適応を停止することにより、制御入力が一
定の範囲に制限される制御対象に対しても、誤差を最小
にする制御入力を生成することができる。
て生成された制御入力が制御対象の入力範囲を越えた場
合には、非線形制御則における積分機能と適応手段によ
るパラメータ適応を停止することにより、制御入力が一
定の範囲に制限される制御対象に対しても、誤差を最小
にする制御入力を生成することができる。
[実施例]
まず、前述の(3)式において
J=m+M
D= f+F
とすれば、制御対象である運動機械系は次式で表わされ
る。
る。
Jx+Dx=τ (4)この
制御対象をrなる目標値に追従させる場合を考える。
制御対象をrなる目標値に追従させる場合を考える。
[1標値rと制御量Xとの偏差を
e = x −r (5
)とすると、(4)式は J e+De=τ−J r−Dr (8)
となる。
)とすると、(4)式は J e+De=τ−J r−Dr (8)
となる。
ここで、安定な位相面からの偏差Sを次のように定める
。
。
s = e + k2e + kx v
(7)但し、 v=eすなわちv=Jedt kl及びに2はS=Oとして安定であるように選ぶ、こ
のように選ばれている限り、(7)式の両辺の微分をと
ることにより、Sが定数であると偏差eはOに向かうこ
とが保証される。
(7)但し、 v=eすなわちv=Jedt kl及びに2はS=Oとして安定であるように選ぶ、こ
のように選ばれている限り、(7)式の両辺の微分をと
ることにより、Sが定数であると偏差eはOに向かうこ
とが保証される。
また、制御入力での生成には、機械系のパラメータの推
定値を制御動作のパラメータとして用いるので、推定値
と真のパラメータの値との誤差が大きいと、適切な制御
入力を生成することができない、従って、制御の目的は
、制御動作のパラメータを機械系の特性変化に合わせて
適応させながら、S=Oとなるような制御入力を求める
ことである。
定値を制御動作のパラメータとして用いるので、推定値
と真のパラメータの値との誤差が大きいと、適切な制御
入力を生成することができない、従って、制御の目的は
、制御動作のパラメータを機械系の特性変化に合わせて
適応させながら、S=Oとなるような制御入力を求める
ことである。
そこで、止定なりアブノフ関数を次のように定める。
dは「=δ−θで表わされるパラメータ偏差、0は0’
=[JD]で表わされる運動機械系のパラメータ、σは
その推定値、rは2X2の止定対称行列である。
=[JD]で表わされる運動機械系のパラメータ、σは
その推定値、rは2X2の止定対称行列である。
上記のVは止定であるので、その時間微分Vが負であれ
ば、■は0に向かうことが保証される。
ば、■は0に向かうことが保証される。
すなわち、安定な位相面からの偏差Sとパラメータ偏差
θがOになることが保証される。■を求めると、 V=Jss+0’ rO (7)及び(5)式より S=e+に2 i+に1 e =X−r+に25+に1 e (0式より Jx=τ−り交 であるから。
θがOになることが保証される。■を求めると、 V=Jss+0’ rO (7)及び(5)式より S=e+に2 i+に1 e =X−r+に25+に1 e (0式より Jx=τ−り交 であるから。
となる。
ここで、制御人力τを次のように定める。
τ=−に3 s+J (r−に25−に1 e)+Dx
(9)上式でに3は正
定値である。よって。
(9)上式でに3は正
定値である。よって。
’? =s (−に3 s+T (F−に25−に1e
)+15)C) +2F’ r?j = −に3 s2 +0” (Ys+rO)但し
、 Y= [F−に25−に1 e x]丁÷くOを常に
満たすようにするために。
)+15)C) +2F’ r?j = −に3 s2 +0” (Ys+rO)但し
、 Y= [F−に25−に1 e x]丁÷くOを常に
満たすようにするために。
Y s 十r O= O(10)
ここで吉=6−δ=DC’、”δ=O)であるから、δ
=−r−IYs (11)とな
り、これを用いてパラメータの推定値を機械系の特性変
化に適応させる。上記の(9)及び(11)式を用いて
、機械系のパラメータ変動がある場合でも偏差eをOに
することができる。
=−r−IYs (11)とな
り、これを用いてパラメータの推定値を機械系の特性変
化に適応させる。上記の(9)及び(11)式を用いて
、機械系のパラメータ変動がある場合でも偏差eをOに
することができる。
更に、外力やパラメータ誤差による機械系の応答誤差を
安定な位相面に移すために、制御入力τを次のようにす
る。
安定な位相面に移すために、制御入力τを次のようにす
る。
τ=−に3 s+J (r−に26−に1 e)
十Dx−g ” f(s) (12)
ここで、gは正定価であり、f (s)はf (s)s
≧0となる非線形関数である。よって、■はV −−k
3 s2 + 5r(Y s + r #)−g−f
(s)s(13) となり、(11)式を用いると※くOが満たされる。
十Dx−g ” f(s) (12)
ここで、gは正定価であり、f (s)はf (s)s
≧0となる非線形関数である。よって、■はV −−k
3 s2 + 5r(Y s + r #)−g−f
(s)s(13) となり、(11)式を用いると※くOが満たされる。
f (s)としては、例えば次のようなものを選ぶこと
ができる。
ができる。
f (s) = sgn (s)
f(s)=、s、+aC8>0)
(!l)及び“(12)式を用いると、パラメータ変動
や外力が存在する場合でも、機械系の応答誤差を指定し
た安定な位相面に移すような制御人力τが生成される。
や外力が存在する場合でも、機械系の応答誤差を指定し
た安定な位相面に移すような制御人力τが生成される。
また、(12)式においてf (s)をfcs)=、s
、+8(δ>o) と連続化することにより、制御人力τに連続性を持たせ
ることもできる。
、+8(δ>o) と連続化することにより、制御人力τに連続性を持たせ
ることもできる。
以上の思想に基づいて設計される制御系を第1図に示す
0図において、11は(0式で表わされる運動機械系(
制御対象)、12は(7)式で表わされるSを演算する
演算手段、13は(11)式で表わされる適応則により
パラメータの推定値Oを演算する適応手段、14は(+
2)式で表わされる制御則に従うコントローラであり、
演算子段12.適応手段13及びコントローラ14はコ
ンピュータで構成される。
0図において、11は(0式で表わされる運動機械系(
制御対象)、12は(7)式で表わされるSを演算する
演算手段、13は(11)式で表わされる適応則により
パラメータの推定値Oを演算する適応手段、14は(+
2)式で表わされる制御則に従うコントローラであり、
演算子段12.適応手段13及びコントローラ14はコ
ンピュータで構成される。
次に、制御人力τに次のような拘束条件がある場合を考
える。
える。
τain <τ<τmax
例えば、制御入力がモータの出力トルクの場合、それは
一定の範囲に定められる。前述の非線形制御則(12)
で計算されるτがこの拘束条件の範囲外にある場合には
、非線形制御則(12)における積分機能と適応則(1
1)によるパラメータ適応を停止する。すなわち、(7
)式の積分要素Vを固定し、拘束条件の範囲内で用いら
れる(11)式によるパラメータ適応を停止することに
より、(8)式で表わされるVが0に収束するようにす
る。この場合の制御人力τは、 τくτsinのときτ=τ重in τ〉τ層d菫 のとき τ= τ層a!となる。
一定の範囲に定められる。前述の非線形制御則(12)
で計算されるτがこの拘束条件の範囲外にある場合には
、非線形制御則(12)における積分機能と適応則(1
1)によるパラメータ適応を停止する。すなわち、(7
)式の積分要素Vを固定し、拘束条件の範囲内で用いら
れる(11)式によるパラメータ適応を停止することに
より、(8)式で表わされるVが0に収束するようにす
る。この場合の制御人力τは、 τくτsinのときτ=τ重in τ〉τ層d菫 のとき τ= τ層a!となる。
このときの制御アルゴリズムを第2図に示す。
まず、第1図の制御系において目標値rと制御Fixを
入力する。このとき、演算手段12には目標値rと制W
ffiXとの偏差eを入力し、 (7)式に従って安定
な位相面からの偏差Sを演算する。適応手段13には、
目標値r、制御量X及び演算手段12で導出した偏差S
を入力し、(11)式で表わされる適応則に従ってパラ
メータの推定値りを演算する。更にコントローラ14に
は、目標値r。
入力する。このとき、演算手段12には目標値rと制W
ffiXとの偏差eを入力し、 (7)式に従って安定
な位相面からの偏差Sを演算する。適応手段13には、
目標値r、制御量X及び演算手段12で導出した偏差S
を入力し、(11)式で表わされる適応則に従ってパラ
メータの推定値りを演算する。更にコントローラ14に
は、目標値r。
制u4量X、偏差S及び適応手段13で同定したパラメ
ータDを入力し、(12)式で表わされる制御則に従っ
て制御対象11への入力τを導出する。
ータDを入力し、(12)式で表わされる制御則に従っ
て制御対象11への入力τを導出する。
次に、制御人力τの拘束条件を判断する。すなわち、τ
くτla!かどうかを判定し、”Yes“の場合にはτ
くτsinかどうかを判定する。その結果”Yes”で
あれば、では拘束条件の範囲内であり、初めの状態に戻
る。しかし、τくτIla!でない場合にはτ=で闘!
とじ、τ〉τsinでない場合にはτ=τminとして
、(7)式のVと(11)式によるσを固定し、初めの
状態に戻る。
くτla!かどうかを判定し、”Yes“の場合にはτ
くτsinかどうかを判定する。その結果”Yes”で
あれば、では拘束条件の範囲内であり、初めの状態に戻
る。しかし、τくτIla!でない場合にはτ=で闘!
とじ、τ〉τsinでない場合にはτ=τminとして
、(7)式のVと(11)式によるσを固定し、初めの
状態に戻る。
最後に1本発明の制御装置を用いてモータ制御を実施し
た結果を示す、これは、日本精工株式会社製の6インチ
メガトルクモータ(登録商標)と称するダイレクトドラ
イブモータの制御を行ったものであり、第2図の制御ア
ルゴリズムを用いた。
た結果を示す、これは、日本精工株式会社製の6インチ
メガトルクモータ(登録商標)と称するダイレクトドラ
イブモータの制御を行ったものであり、第2図の制御ア
ルゴリズムを用いた。
すなわち、演算手段12、適応手段13及びコントロー
ラ14としてコンピュータを使用し、 (7)式によっ
てSを演算し、その演算結果を用いて(11)式の適応
則によりパラメータの推定値0を演算し、(12)式の
制御則によりτを生成した。但しく12)式において f(s)=、、、+δ (8>0) とした。
ラ14としてコンピュータを使用し、 (7)式によっ
てSを演算し、その演算結果を用いて(11)式の適応
則によりパラメータの推定値0を演算し、(12)式の
制御則によりτを生成した。但しく12)式において f(s)=、、、+δ (8>0) とした。
そして、制御系のパラメータを慣性モーメントが0.2
kg rn’ (計算値)の場合に調整した状態で慣
性モーメントを1.0 kg rn’ (計算値)まで
ステップ的に増加させたときの、本発明による応答と。
kg rn’ (計算値)の場合に調整した状態で慣
性モーメントを1.0 kg rn’ (計算値)まで
ステップ的に増加させたときの、本発明による応答と。
パラメータを慣性モーメントが0.2 kg rn’
(計算値)の場合に固定し、非線形制御則を用いない制
御系の応答とを比較した。
(計算値)の場合に固定し、非線形制御則を用いない制
御系の応答とを比較した。
その結果を第3図に示す0図において、vrはモータの
目標角速度、vlは本発明による応答。
目標角速度、vlは本発明による応答。
v2はパラメータを固定し、非線形制御則を用いない制
御系による応答である。また、このときの本発明による
制御系の位置誤差を第4図に示す。
御系による応答である。また、このときの本発明による
制御系の位置誤差を第4図に示す。
L記の実験結果から、本発明では、制御系のパラメータ
を自動調整すると共に、応答誤差を安定な位相面に移す
ことからパラメータの調整中に生じる応答誤差や定常状
態での位置誤差を補償し、目標値に一致するようになる
ことが実証された。
を自動調整すると共に、応答誤差を安定な位相面に移す
ことからパラメータの調整中に生じる応答誤差や定常状
態での位置誤差を補償し、目標値に一致するようになる
ことが実証された。
[発明の効果]
以上のように、本発明によれば、制御量と目標値との偏
差を非線形制御則に従って安定な位相面に移すような制
御人力を生成するようにしたので、制御対象の運動機械
系の動特性が変化する場合でも良好な応答が得られる。
差を非線形制御則に従って安定な位相面に移すような制
御人力を生成するようにしたので、制御対象の運動機械
系の動特性が変化する場合でも良好な応答が得られる。
また、安定な位相面からの偏差に積分要素を含むことに
より、定常状態での運動機械系のオフセットを0にする
ことができる。
より、定常状態での運動機械系のオフセットを0にする
ことができる。
第1図は本発明の制御装置の構成を示すブロック図。
fJ’、2図は本発明による制御アルゴリズムを示すフ
ローチャート、 第3図は第2図の制御アルゴリズムを用いて行なった本
発明の実験結果を従来例と比較して示す図、 第4図は本発明の実験結果として定常状態での位置誤差
を示す図、 第5図は制御対象とする運動機械系の説明図である。 1−一一−モータ、 2−−−一運動機械系、11
−−−一制御対象、 12−−−一演算手段、13−
一−−適応手段、 14−−−−コントローラ。
ローチャート、 第3図は第2図の制御アルゴリズムを用いて行なった本
発明の実験結果を従来例と比較して示す図、 第4図は本発明の実験結果として定常状態での位置誤差
を示す図、 第5図は制御対象とする運動機械系の説明図である。 1−一一−モータ、 2−−−一運動機械系、11
−−−一制御対象、 12−−−一演算手段、13−
一−−適応手段、 14−−−−コントローラ。
Claims (2)
- (1)制御対象とする運動機械系のパラメータに合わせ
て制御動作のパラメータを自動的に調整するために、制
御対象の制御量と目標値との偏差から、指定した安定な
位相面からの偏差を演算する演算手段と、その演算結果
を用いて前記制御量と目標値との偏差を小さくするよう
に運動機械系のパラメータを同定し、これに制御動作の
パラメータを適応させる適応手段と、前記演算手段で得
られた偏差及び前記適応手段で得られたパラメータを用
いて、非線形制御則により前記制御量と目標値との偏差
を指定した安定な位相面に移す制御入力を生成するコン
トローラとを備えた制御装置において、前記非線形制御
則が定常状態における制御量と目標値との偏差を0にす
る積分機能を有することを特徴とする、運動機械系の制
御装置。 - (2)前記非線形制御則により生成された制御入力が制
御対象の入力範囲を越えた場合には、前記積分機能と前
記適応手段によるパラメータ適応を停止する機能を有す
る請求項(1)記載の制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63208854A JP2790634B2 (ja) | 1988-08-23 | 1988-08-23 | 運動機械系の制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63208854A JP2790634B2 (ja) | 1988-08-23 | 1988-08-23 | 運動機械系の制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0256601A true JPH0256601A (ja) | 1990-02-26 |
JP2790634B2 JP2790634B2 (ja) | 1998-08-27 |
Family
ID=16563215
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63208854A Expired - Fee Related JP2790634B2 (ja) | 1988-08-23 | 1988-08-23 | 運動機械系の制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2790634B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018527599A (ja) * | 2015-06-19 | 2018-09-20 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 制御システム、位置決めシステム、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
CN111542282A (zh) * | 2017-12-28 | 2020-08-14 | 爱惜康有限责任公司 | 具有用于控制端部执行器参数的预定义的可调节的控制算法的电动外科工具 |
JP2022501717A (ja) * | 2018-12-13 | 2022-01-06 | 三菱電機株式会社 | プラントを制御する制御システム及び方法、並びに記憶媒体 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5998202A (ja) * | 1982-11-26 | 1984-06-06 | Hitachi Ltd | 発電プラント最適制御方法 |
JPS60151707A (ja) * | 1984-01-18 | 1985-08-09 | Katsuhisa Furuta | 非線形制御方法 |
JPS61278903A (ja) * | 1985-06-03 | 1986-12-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 非線形制御回路 |
JPS63148302A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-21 | Yamatake Honeywell Co Ltd | スライデイングモ−ド制御を利用したコントロ−ラ |
-
1988
- 1988-08-23 JP JP63208854A patent/JP2790634B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10401743B2 (en) | 2015-06-19 | 2019-09-03 | Asml Netherlands B.V. | Control system, positioning system, lithographic apparatus and device manufacturing method |
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JP2022501717A (ja) * | 2018-12-13 | 2022-01-06 | 三菱電機株式会社 | プラントを制御する制御システム及び方法、並びに記憶媒体 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2790634B2 (ja) | 1998-08-27 |
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