JPH0256441U - - Google Patents

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JPH0256441U
JPH0256441U JP13596688U JP13596688U JPH0256441U JP H0256441 U JPH0256441 U JP H0256441U JP 13596688 U JP13596688 U JP 13596688U JP 13596688 U JP13596688 U JP 13596688U JP H0256441 U JPH0256441 U JP H0256441U
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Description

【図面の簡単な説明】
図面は、本考案に係る基板用表面処理装置の実
施例を示し、第１図は縦断側面図、第２図は縦断
後面図、第３図はその平面図、第４図は、枠体の
閉じ状態を示す要部の側面図、第５図は、基板搬
入・搬出手段の概略斜視図、第６図は、別実施例
の要部の側面図、第７図は別実施例の正面図であ
る。 １……被処理基板、２……プレート、１８……
カバー体（枠体）、１９……エアシリンダ（昇降
駆動源）、｛２３……昇降ロツド、２４……固定
ネジ、２５……ステー、２７……支持板、２８…
…取付金具｝（係合部材）、４８……ガス導入カ
バー体（枠体）、Ａ……融通、Ｂ……隙間。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 被処理基板を載置保持して変温するプレートと
    、 プレートとの相対昇降により、プレートに対し
    て被処理基板を搬入、搬出するに要する隙間を形
    成する退避状態と、プレートに載置された被処理
    基板の周囲を囲う囲い状態とに変更する枠体と、 プレートと枠体とを相対昇降駆動する昇降駆動
    機構とを備えた基板用表面処理装置であつて、 前記昇降駆動機構が、昇降駆動源と、枠体また
    はプレートに連結された係合部材から成り、昇降
    駆動源の作動部に形成された当り部が、作動部の
    上昇ストロークの途中で係合部材に当接し、作動
    部の下降ストロークの途中で係合部材との当接を
    離れるようにしたことを特徴とする基板用表面処
    理装置。
JP13596688U 1988-10-18 1988-10-18 基板用表面処理装置 Expired - Fee Related JPH0731546Y2 (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004325158A (ja) * 2003-04-23 2004-11-18 Ushio Inc 接合方法
JP2006210767A (ja) * 2005-01-31 2006-08-10 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
CN113736975A (zh) * 2021-09-22 2021-12-03 湖南城市学院 一种铝合金加工固溶热处理炉及固溶方法

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CN113736975B (zh) * 2021-09-22 2023-02-28 湖南城市学院 一种铝合金加工固溶热处理炉及固溶方法

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JPH0731546Y2 (ja) 1995-07-19

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