JPS62147332U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62147332U JPS62147332U JP3525587U JP3525587U JPS62147332U JP S62147332 U JPS62147332 U JP S62147332U JP 3525587 U JP3525587 U JP 3525587U JP 3525587 U JP3525587 U JP 3525587U JP S62147332 U JPS62147332 U JP S62147332U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer holder
- wafer
- container
- loading
- holder
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000002791 soaking Methods 0.000 claims 3
Description
第１図及び第２図は本考案に係る加熱処理装置
の縦断面図。第３図はウエハーのホルダーの支持
部を示す図面である。 １……容器、２……蓋、３……ホルダー、４…
…ウエハー、５……ヒーター、６……ホルダー。
の縦断面図。第３図はウエハーのホルダーの支持
部を示す図面である。 １……容器、２……蓋、３……ホルダー、４…
…ウエハー、５……ヒーター、６……ホルダー。
Claims (1)
- 下端が開放され、上端にガス導入口を持つ管体
をほぼ鉛直に配置してなる容器、該容器の外周に
設けた、所定均熱長を具現する加熱装置、該容器
の開放端側から上記均熱長範囲にウエハーホルダ
ーを出し入れするための、該ウエハーホルダーと
機械的に一体化した出し入れ棒体、該出し入れ棒
体に取付けられ該ウエハーホルダーの昇降に連動
する蓋とを有し、該ウエハーホルダーは、ウエハ
ー裏面を露出して前記の鉛直方向に対して水平も
しくは斜めに支持するための爪状の支持部と、該
支持部を前記鉛直方向にて間隔をおいて支持する
ための支持枠より構成され、前記蓋は、前記ウエ
ハーホルダーが前記均熱長範囲に位置するときに
前記容器の下端に当接する様に取付けられている
ことを特徴とするウエハーの加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987035255U JPS633155Y2 (ja) | 1987-03-12 | 1987-03-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987035255U JPS633155Y2 (ja) | 1987-03-12 | 1987-03-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62147332U true JPS62147332U (ja) | 1987-09-17 |
| JPS633155Y2 JPS633155Y2 (ja) | 1988-01-26 |
Family
ID=30844578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987035255U Expired JPS633155Y2 (ja) | 1987-03-12 | 1987-03-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS633155Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0247029U (ja) * | 1988-09-28 | 1990-03-30 | ||
| JPH0350324U (ja) * | 1989-09-21 | 1991-05-16 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5351187A (en) * | 1976-10-20 | 1978-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Gas phase chemical evaporation apparatus |
-
1987
- 1987-03-12 JP JP1987035255U patent/JPS633155Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5351187A (en) * | 1976-10-20 | 1978-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Gas phase chemical evaporation apparatus |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0247029U (ja) * | 1988-09-28 | 1990-03-30 | ||
| JPH0350324U (ja) * | 1989-09-21 | 1991-05-16 | ||
| JPH06818Y2 (ja) * | 1989-09-21 | 1994-01-05 | 日本エー・エス・エム株式会社 | Ｃｖｄ装置のための基板支持装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS633155Y2 (ja) | 1988-01-26 |
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