JPH0214363U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0214363U JPH0214363U JP9154388U JP9154388U JPH0214363U JP H0214363 U JPH0214363 U JP H0214363U JP 9154388 U JP9154388 U JP 9154388U JP 9154388 U JP9154388 U JP 9154388U JP H0214363 U JPH0214363 U JP H0214363U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- conveyance
- lifting device
- processed
- processing chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
Description
第１図〜第４Ｂ図は、大型ガラスの垂直方式ス
パツタリング処理室に使用される搬送システムに
本考案を適用した実施例を示すもので、第１図は
同上搬送システムの平面図、第２図は同上搬送シ
ステムの主要段階を示す説明図、第３Ａ図および
第３Ｂ図は被処理材を保持するキヤリヤのそれぞ
れ側面図および正面図、第４Ａ図および第４Ｂ図
は起倒装置のそれぞれ側面図および背面図である
。 なお図面に用いた符号において、１……スパツ
タリング処理室、２……キヤリヤ、３……搬送装
置、３ｂ……復路、４……大型ガラス（被処理材
）、６……起倒装置、１２……駆動機構、１３…
…リフタである。
パツタリング処理室に使用される搬送システムに
本考案を適用した実施例を示すもので、第１図は
同上搬送システムの平面図、第２図は同上搬送シ
ステムの主要段階を示す説明図、第３Ａ図および
第３Ｂ図は被処理材を保持するキヤリヤのそれぞ
れ側面図および正面図、第４Ａ図および第４Ｂ図
は起倒装置のそれぞれ側面図および背面図である
。 なお図面に用いた符号において、１……スパツ
タリング処理室、２……キヤリヤ、３……搬送装
置、３ｂ……復路、４……大型ガラス（被処理材
）、６……起倒装置、１２……駆動機構、１３…
…リフタである。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 被処理材を保持するためのキヤリヤと、 上記被処理材が処理される処理室にこのキヤリ
ヤを搬出入するための搬送装置と、この搬送装置
のライン内に設けられて上記キヤリヤを起倒させ
るための起倒装置と、この起倒装置に設けられか
つ上記キヤリヤをこの起倒装置に積卸しするため
の駆動機構とを備えた搬送システム。 ２ 上記搬送装置がループ状に設けられると共に
、上記処理室の前後に上記起倒装置がそれぞれ設
けられている請求項１記載の搬送システム。 ３ 上記ループ状搬送装置の復路にリフタを設け
、上記復路を上下に移動可能とした請求項２記載
の搬送システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9154388U JPH0214363U (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9154388U JPH0214363U (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0214363U true JPH0214363U (ja) | 1990-01-29 |
Family
ID=31316015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9154388U Pending JPH0214363U (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0214363U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5814341A (ja) * | 1981-07-17 | 1983-01-27 | Pioneer Electronic Corp | デイスク等の被処理物のメタライジング装置におけるパレツト・ガイド機構 |
| JPS61106768A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-24 | Anelva Corp | 基体処理装置 |
-
1988
- 1988-07-11 JP JP9154388U patent/JPH0214363U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5814341A (ja) * | 1981-07-17 | 1983-01-27 | Pioneer Electronic Corp | デイスク等の被処理物のメタライジング装置におけるパレツト・ガイド機構 |
| JPS61106768A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-24 | Anelva Corp | 基体処理装置 |
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