JPS63170948U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63170948U JPS63170948U JP6148787U JP6148787U JPS63170948U JP S63170948 U JPS63170948 U JP S63170948U JP 6148787 U JP6148787 U JP 6148787U JP 6148787 U JP6148787 U JP 6148787U JP S63170948 U JPS63170948 U JP S63170948U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- objects
- transport unit
- processing
- robot arm
- transport
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の斜視図である。
１……搬送ユニツト、２……ロボツトアーム、
３……ロードステーシヨン、４……アンロードス
テーシヨン、５……処理装置、６……搬送台車、
７……搬送路ガイド、８……ウエハキヤリア。
３……ロードステーシヨン、４……アンロードス
テーシヨン、５……処理装置、６……搬送台車、
７……搬送路ガイド、８……ウエハキヤリア。
Claims (1)
- 処理装置に併設し被処理物を供給および収納す
る搬送ユニツトにおいて、搬送台車より被処理物
の受渡しを行うロボツトアームを設けたことを特
徴とする被処理物搬送ユニツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6148787U JPS63170948U (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6148787U JPS63170948U (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63170948U true JPS63170948U (ja) | 1988-11-07 |
Family
ID=30894872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6148787U Pending JPS63170948U (ja) | 1987-04-24 | 1987-04-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63170948U (ja) |
-
1987
- 1987-04-24 JP JP6148787U patent/JPS63170948U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0285361U (ja) | ||
| JPS63170948U (ja) | ||
| JPS58160397U (ja) | 大型物品を搬入可能なグロ−ブボツクス | |
| JPS6381032U (ja) | ||
| JPS62107441U (ja) | ||
| JPS6120245U (ja) | 長尺物の自動搬出入装置 | |
| JPH0463339U (ja) | ||
| JPS63122789U (ja) | ||
| JPS63106128U (ja) | ||
| JPH03104476U (ja) | ||
| JPS59142210U (ja) | 物品搬出入装置 | |
| JPS6341018U (ja) | ||
| JPS63170471U (ja) | ||
| JPH0319651U (ja) | ||
| JPH028909U (ja) | ||
| JPS63183130U (ja) | ||
| JPH02108933U (ja) | ||
| JPH0454766U (ja) | ||
| JPS5863938U (ja) | 加工装置の搬入搬出装置 | |
| JPS62159238U (ja) | ||
| JPH01117852U (ja) | ||
| JPS6099531U (ja) | ウエハーホルダ | |
| JPH0364938U (ja) | ||
| JPH026133U (ja) | ||
| JPS6027681U (ja) | 麺帯圧延供給装置 |