JPS6099531U - ウエハーホルダ - Google Patents

ウエハーホルダ

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JPS6099531U
JPS6099531U JP19139483U JP19139483U JPS6099531U JP S6099531 U JPS6099531 U JP S6099531U JP 19139483 U JP19139483 U JP 19139483U JP 19139483 U JP19139483 U JP 19139483U JP S6099531 U JPS6099531 U JP S6099531U
Authority
JP
Japan
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gripping piece
wafer holder
base
arc
movable gripping
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JP19139483U
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JPH0447954Y2 (ja
Inventor
浜田　祐己
Original Assignee
東京エレクトロン相模株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案ウェハ−ホルダを使用した気相成長装置
の一例を示す斜視図、第２図は本考案ウェハーホルダの
一例を示す正面図、第３図は第２図の平面図、第４図は
第２図の右側面図である。 Ａ・・・ロード部、Ｂ・・・反応容器、Ｃ・・・アンロ
ード部、Ｄ・・・搬送部、１０・・・ウェハーホルダ、
２０・・・基部、１１・・・基部把持片、１２・・・可
動把持片。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 円弧状の基部把持片と、円弧状の可動把持片とを有し、
    前記基部把持片に対して前記可動把持片を一点で枢支し
    、前記基部把持片に対して前記可動把持片が自重で接近
    し得る構造にしたことを特徴とする気相生長におけるウ
    ェハーホルダ。
JP19139483U 1983-12-12 1983-12-12 ウエハーホルダ Granted JPS6099531U (ja)

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JP19139483U JPS6099531U (ja) 1983-12-12 1983-12-12 ウエハーホルダ

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JP19139483U JPS6099531U (ja) 1983-12-12 1983-12-12 ウエハーホルダ

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Publication Number Publication Date
JPS6099531U true JPS6099531U (ja) 1985-07-06
JPH0447954Y2 JPH0447954Y2 (ja) 1992-11-12

Family

ID=30412158

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JP19139483U Granted JPS6099531U (ja) 1983-12-12 1983-12-12 ウエハーホルダ

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5678244U (ja) * 1979-11-07 1981-06-25

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5678244U (ja) * 1979-11-07 1981-06-25

Also Published As

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JPH0447954Y2 (ja) 1992-11-12

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