JPH0252006A - 脱気・脱泡装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は感光性塗布液を塗布装置で塗布する際、塗布品
質を改良するための該塗布液の処理装置に関し、更に詳
しくは該塗布液が塗布される前に該塗布液中に含まれる
溶存空気および微細気泡を同時に除去するための該塗布
液の処理装置に用いられる脱気・脱泡装置に関するもの
である。

〔従来の技術］ 一般にある種の液体は、塗布に際しては該液体中に溶存
する空気および含有される気泡を除去することが必要で
ある０例えば感光材料用の感光性塗布液は溶存空気およ
び気泡が含まれたまま塗布装置により基材に塗布される
と、塗布装置によっては該感光性塗布液中の溶存空気の
析出や、通常の場合には該感光性塗布液に含まれる気泡
によって縦すし、ピンホール等塗布面に気泡による故障
を生しるので、基材に塗布される前に該感光性塗布液中
に溶存する空気および含有される気泡を除去することが
必要である。

従来これに対処する方法として先ず液体中に溶存する空
気の除去（脱気と呼ぶ）を行うための方法としては多数
知られているが、その代表的な例は該液体を減圧下に置
く方法であり、その例としては、特公昭５１−３５２５
９号、特開昭５６１４７６０５号、特開昭５６−７６２
１３号、特開昭４９−９７００３号、特開昭５０−１５
９４６９号等の公報に開示されている装置が知られてい
る。

また多孔質性高分子膜を用いる方法もあり、その例とし
ては、特開昭５１−２８２６１号、特開昭５４−１２３
７８５号１特開昭５５−１２１８０６号、特開昭５７ｉ
６５００７号、特開昭５８−８１４０４号９等の公報に
開示されている方法あるいは装置が知られている。

他方液体中に含をされる気泡を除去する（脱泡と呼ぶ）
方法は多数知られている。このような脱泡処理を行うた
めの装置としては感光性塗布液を用いる場合は、従来、
特公昭４７−６８３５号特公昭５７　６３６５号、特開
昭５３−１３９２７４号、特開昭５９−６９１０８号、
特開昭５９−９２００３号、特開昭５９−１５６４０５
号特開昭６１−５０６０８号等の公報に開示されている
超音波脱泡（超音波処理と呼ぶ）装置が知られている。

しかしながら前杆の脱気方法のうち、該液体を減圧下に
置く方法は該液体中に溶存する空気を除去することは出
来ても、＠細気泡が該液体中に発生ずるという現象が起
きている。又多孔質性高分子膜による方法では、感光性
塗布液を処理する場合発泡現象は見られないが、数１０
０μｍの流入気泡を除去することは出来ない。従ってこ
れらの方法および装置は該液体中に溶存する空気を除去
することは出来ても、大きさにもよるが気泡を除去する
ことは極めて困難である。従って、上記のようにして生
成した微細気泡およびそれらが合体して出来た気泡や、
該液体中に含有された気泡は例えば感光性塗布液を用い
る場合には塗布装置により基材に塗布されると、均一な
感光膜を形成することか出来ないという問題が起こる。

また後者の脱泡方法は該感光性塗布液中に含有される気
泡は除去出来ても、原液中に溶存する空気を除去するこ
とは出来ない。脱泡処理された該感光性塗布液はその中
に溶存する空気が飽和あるいは過飽和になっているので
例えば該感光性塗布液の液温か上１１４シたり、剪断力
が加わると溶存した空気が析出し、基材に塗布した時に
均一な感光膜を形成することが出来ないという問題が起
こる。

そこで多孔ｎ性高分子膜チューブ（以下チューブという
）を用い、その中を感光性塗布液を通し、該チューブの
外側を減圧して、該感光性塗布液中の溶存空気および微
細気泡を同時に除去する方法が開発された（特願昭６２
−８３２２号）。

多孔質性高分子膜を用い、液体中に溶存する空気等の気
体を分離除去する場合の該膜は、みかけ上孔のない膜で
ある。溶存する空気等の気体を分離除去するのは、膜を
構成する高分子と高分子の間隙（高分子鎖間隙あるいは
分子間隙という）が孔の役目をし、膜との界面で膜に溶
解し、これによって生した濃度勾配を駆動力として、高
分子鎖間隙を拡散していくいわゆる溶解拡散機構と考え
られている。従って該チューブは、成形時に用いる原料
の素材および分子量、肉厚、高分子鎖間隙などの条件に
よりその除去能力が異なり、一般に液体の透過が起こら
ない範囲では、用いる原料の素材１分子量が決まれば、
該チューブの高分子鎖間隙は大きいほど、肉厚は薄いほ
ど除去能力は高くなり、該チューブの単位長さ当りの処
理量を多くすることが出来るというメリットがある。

しかしながらこのようなチューブは粘度の高い感光性塗
布液を用いた場合や、該チューブのあとに続く流路での
圧力損失が大きい場合には、チューブ内の圧力が上り該
感光性塗布液が該チューブ壁を透過する前にチューブが
破裂することがあるので破裂防止のための補強材を備え
た複合チューブが開発された（特願昭６２−３１５２７
８号）６更にまた処理量を多くするため、チューブを長
くすると圧力ｔｉ失が大きくなりついには同様にチュー
ブの破裂がおこることがあるのでチューブの破裂を防止
し、感光性塗布液の処理量を多くするために適当な長さ
の複数本のチューブを並列にし、モジュール化する方法
が開発された（特願昭６３−１１５２２号）。

このモジュールを構成するチューブについては次のよう
に考えることが出来る。

即ちチューブが決まれば、ある処理量において、最も効
率的な脱気程度を得るための最適なチューブの長さが存
在する０例えば同じ処理量において、チューブを数本並
列にした場合は脱気程度は低くなる。又長いチューブを
１本用いた場合、長がすぎると、長さの割には脱気程度
が高くならないという現象が起こる。これはチューブは
ある長さまでは効率的に脱気することが出来るが、それ
以上の長さになると、溶存する空気が少なくなった液を
さらに脱気するようになるので長さの割には効率が落ち
るためと考えられる。

従って前述のように処理量を多くするためには、最適な
長さのチューブを複数本束にしたモジュールが有効であ
るが、モジュールの構造あるいはチューブの収納、配置
によっては、複数本のチューブのそれぞれの中を流れる
感光性塗布液の流動状態が異なるためモジュール全体と
して所望の脱気能力が得られず、脱気効率が低下したり
、複数本のチューブ同士が接触していると、−本のチュ
ーブの脱気に有効な外表面積が減じられ、同様に脱気効
率が低下したり、さらに複数本のチューブのうち感光性
塗布液の流動がかなり悪いチューブが存在すると、別の
感光性塗布液に切換えする時の洗浄において多大な労力
１時間及び洗浄液を要したり、あるいは特開昭６０−２
５５１４号公報に開示されている脱気装置を用いると、
感光性塗布液や洗浄液の廃却においては５重力によるス
ムーズな流出が困難となりチューブの中に残存するため
、特に洗浄後感光性塗布液に切換時多量の該塗布液が必
要となるばかりでなく高価な該塗布液の場合はそれがロ
スとなり経済的に不利となる。そこで、本発明者達はこ
の問題を解決するために先に複数本の多孔π性高分子膜
チューブを円筒体の周囲に並列に螺旋状に巻き、該チュ
ーブの勾配が水平に対し４°以上を有する脱気・脱泡装
置を提案した（本出願人の昭和６３年６月７日出願）。

〔発明が解決しようとする課題］ しかしながらモジュールからなる脱気・脱泡装置におい
て、モジュールの両端に設けた液の分配部及び収集部の
設置場所あるいはチューブの収納。

配置更にチューブの分配部及び収集部との連結方法によ
っては、脱気・脱泡装置が大形化したり、複数本のチュ
ーブの長さが異なると、分配部と収集部とにチューブの
両端を連結した時、チューブにクルジが生じることがあ
るため、同様に感光性塗布液のスムーズな排出が困難と
なったりすることによる問題や、さらに分配部及び収集
部の構造によっては、その部分での塗布液のスムーズな
流動あるいは排出が困難となったりすることによる問題
も生じる。

またモジュールを構成する複数本のチューブを感光性塗
布液の分配部と収集部とから取りはずし、交換する時に
は、クルジが生じないような長さにチューブを切断しな
がら、各チューブを１本ずつ収納する方法があるが、こ
の方法は多大な労ノｊ。

時間を費やし脱気・脱泡装置を製作する上では極めて不
経済である。その上脱気・脱泡装置の構造によってはチ
ューブを交換すること自体が不可能であったり、分配部
、収集部を有するモジュール自体を減圧室から取りはず
すことが不可能であるため、新規に脱気・脱泡装置を製
作しなければならないこともあり、同様に極めて不経済
である。

本発明は以上の如き事情に基づいてなされたものであっ
て、その目的は感光性塗布液中に存在する溶存空気およ
び微細気泡を同時に除去し、溶存空気および微細気泡に
より発生する塗布故障を防止し、基材に均一な感光膜を
形成するための該感光性塗布液の脱気・脱泡処理装置に
おいて、上記諸々の欠点を解消し脱気・脱泡装置が処理
能力なりにコンパクトでチューブのクルジがなく、脱気
・脱泡装置の製作及びチューブの交換が容易な脱気効率
の良い脱気・脱泡装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段及び作用〕かかる本発明の
上記目的は、調製した感光性塗希液を塗布装置により基
材に塗布する前に、溶存空気及び微細気泡を含む該感光
性塗布液を減圧室内に収納した多孔質性高分子膜チュー
ブの内側に通し、該チューブ外側を減圧すると共に、該
感光性塗布液に加圧しながら該感光性塗布液中の溶存空
気及び微細気泡を同時に除去する感光性塗布液の脱気・
脱泡装置であって、複数本の多孔質性高分子膜チューブ
を円筒体の周囲に並列に螺旋状に巻き、該複数本のチュ
ーブの両端に設ける該感光性塗布液の分配部と収集部と
を該円筒体の端部に固定し、該？ｊｊ　Ｌｉｔ本のチュ
ーブの端部を該分配部と収集部とに連結する脱気・脱泡
装置において、該分配部と収集部とを該円筒体の端部の
中心軸線上に固定し、該分配部及び収集部には該複数本
のチューブと連結する複数個のカプラーを同心円上に設
けたことを特徴とする脱気・脱泡装置により達成される
。

本発明において複数本の多孔質性高分子膜チューブを円
筒体の周囲に螺旋状に巻くということは、本発明者達が
先に出願した（昭和６３年６月７日特許出願）ように円
筒体に複数本を一段に巻（ことだけでなく、多段に巻く
ことを含む。

本発明において該複数本のチューブの両端に設ける該感
光性塗布液の分配部と収集部とを該円筒体の端部の中心
軸線上に固定するということは、該円筒体の中心軸線上
にあれば端部そのものに固定しても、別に支持具で円筒
体外に設置しても良いが、該分配部及び収集部を有し、
該チューブと該カプラーを連結した該円筒体を減圧室よ
りとりはずしすることが出来るようにするには、該分配
部及び収集部を該円筒体に固定するのが極めて好ましい
。

また該分配部と収集部とを該円筒体の端部の中心軸線上
に固定する部分において、該円筒体の両端は分配部又は
収集部の支持具以外は開放状態にあることが、該分配部
と収集部にチューブを連結する上で極めて好ましい。

本発明において、該分配部と収集部の同心円上に設けた
複数個のカプラーに該複数本のチューブの連結時の円筒
体からカプラーまでの該チューブの長さは異なるが、複
数のチューブの長さは両端部間では同しになるので、こ
れによって複数のチューブの長さを皆同じ長さにするこ
とが出来るし、チューブ内への感光性塗布液を均一に分
布させることが出来ろ。

本発明における該複数本のチューブの端部を該カプラー
に連結した時のチューブは水平に対して４°以上の勾配
を有することが望ましい。同様に該分配部と収集部に設
けた連通管は水平に対して４°以上の勾配を有すること
が望ましい。

該複数本のチューブの長さはチューブの成形上、又脱気
・脱泡装置を構成するモジュールの組み立て及びチュー
ブ内の感光性塗布液の流速等を考慮すると脱気・脱泡に
最適な長さで、多数本が同じ長さであることが望ましい
。

さらに本発明の該チューブは分Ｍ膜及び補強材からなる
複合チューブであることが、該チューブの耐圧性、脱泡
性の点で好ましい。

本発明は感光性塗布液を塗布する前に、多孔質性高分子
膜チューブにより脱気および脱泡処理を同時に起させる
ことが出来、処理された該塗布液を基材に塗布した場合
、均一な感光膜が得られるという怒光材料の本質的仕様
を満すのみならず複数本の該チューブを用いた時上記の
如く分配部と収集部の位置、及びそれらとチューブとの
連結の仕方により各チューブ内の流動を均一にし、大看
の処理を効率よく可能とし、さらに切換洗浄時において
は、スムーズな排出を可能とする。

また！ｉｔ産される一定の長さの該チューブを用いるこ
とにより脱気・脱泡装置を捲めて効率よく製作すること
を可能とする池に、チューブの交換に脱気・脱泡装置を
簡単に分解し、チューブを存する円筒体のとりはすしを
容易にし、脱気・脱泡装置の製作及び保全の労力１時間
、費用のコストを低減させた装置にすることが出来ると
いうことに最大の特徴がある。

一般に従来の多孔質性高分子膜チューブによる脱気・脱
泡装置Ａは第４図に示すようなフローシートとなってお
り、脱気・脱泡すべき液体を通す多孔質性高分子膜チュ
ーブｌが内蔵された減圧室２と、この真空度を圧力セン
サー３によって検出して制御回路４によって作動あるい
は停止させる真空ポンプ５と、脱気・脱泡すべき液体の
送液系とによって構成されている。上記脱気・脱泡装置
Ａによって液体６に溶存する気体および微細気泡を除去
する場合には、減圧室２の圧力を所定の範囲の減圧状態
に保持しながら、バルブ８を調節することにより液体６
をポンプ７を用い加圧しながらチューブ内を所定の速度
で通過させることが出来る。

液体中に溶存する気体を脱気する時、脱気される蟹の程
度を表す言葉としてＦ脱気症」を定義し、脱気される溶
存気体が多い時は脱気症が高いと呼び、少ない時は脱気
症が低いと呼ぶことにする。

脱気症に影響を及ばす要因のうちチューブについて言え
ば、内径はより小さく、肉厚はより薄く、液体との接触
面積はより大きい方が、更にチューブ自体の被脱気気体
に対する溶解度係数が大きい方が脱気されやすい。

一方、減圧室内の真空度は高いはど脱気されやすいか、
チューブの高分子鎖間隙によっては液体が透過する場合
がある。この場合、液体の表面張力が高いほど、チュー
ブの高分子鎖間隙１間隙率から言うと高分子鎖間隙は小
さいほど、空孔率も低いほど、液体の透過は起りにくい
。従ってチューブからの液体透過は、チューブの材質、
高分子鎖間隙および間隙率が決まればチューブ内外の圧
力差、液体の表面張力と密接な関係がある。

液体がチューブを透過しない範囲で、チューブツの材質
、内径、肉厚を同じにした場合、脱気症は減圧室内の真
空度で決定される。しかしながらチューブは長いほど脱
気症は高くなるが、逆に脱気すべき液体のチューブ内で
の圧力損失が大きくなるので、この圧力を６失を充分考
慮にいれなければならない。次に脱気ずべき液体につい
て言えば液体の流計は少ないはど脱気されやすい。これ
は液体のチューブ内での滞留時間が長いほど脱気されや
すいことから理解出来る。又滞留時間が同じであれば、
チューブ内を流れる流速が大きいはど脱気されやすい。

さらに液体の粘度は低い方が脱気されやすい。これはチ
ューブ壁での境膜層の厚みが薄くなることや拡散係数が
大きくなることから理解出来る。

一方該液体中に存在する微細気泡はその大きさにもよる
が、チューブの中を通過する間に除去される。

脱泡の程度はチューブの材質、肉厚および内径減圧室の
真空度、液体の流量、粘度が決まれば脱泡すべき液体中
に存在する＠細気泡がチューブの内壁にいかに接近する
かに影響される。

以上チューブの中に液体を通す場合について述べたが、
感光性塗布液の場合、その粘度が高かったり、チューブ
のあとに続く流路での圧力を６失が大きくなったりする
時にはチューブには過度の圧力が加わりチューブの耐圧
力を超え、破裂することがあり、該塗布液の処理が不可
能になることがある。

従って、感光性塗布液を処理する時、チューブのあとに
続く流路の圧力ＩＩ失を小さくしたり、チューブでの圧
力損失を小さくすることが重要であるが、それが困難な
場合は、チューブの耐圧力性を高める記・要がある。

この手段としてチューブの外側に補強材を設ける方法が
あるが、この時チユーブの処理能力を出来るだけ）ｌな
わない構造にする必要がある。

上記の観点よりチューブの外側に設ける補強材は一般的
には多孔質性の構造が好ましく、その素材としては高分
子材料が好ましい。

補強材をチューブの外側に設けた脱気・脱泡用複合チュ
ーブの耐圧性はほとんど該補強材に依存する。本発明に
おいてはチューブとしてこの複合チューブを用いること
が好ましい。

このようにした複合チューブは複数のチューブを接触さ
せても、外側に設けた補強材が接触するのみで、脱気・
脱泡を実質的に行なう内側のチューブの外表面積を減少
させることはないので、脱気・脱泡効率を低下させるこ
とはない。

なお脱気処理および脱泡処理が同時におこなわれている
チューブの内側の感光性塗布液を加圧することは、流入
気泡が脱気をされている該感光性塗布液に溶解され、脱
泡処理されるという効果をも生み、脱泡能力もあげるこ
とができ、その加圧程度は０．５ｋｇ／ｃｄゲージ圧以
上が好ましい。

本発明において該補強材の材質は有機溶剤系の感光性塗
布液の処理および該補強材の成形等を考慮するとポリ四
フッ化ポリエチレン樹脂が最も好ましい。

本発明において複合デユープの外側を減圧する方法はい
かなる方法でもよく、感光性塗布液の場合の圧力は通常
３００Ｔｏｒｒ〜Ｉ　Ｔｏｒｒが好ましい。

このようにして、脱気・脱泡能力を有していても耐圧力
性に劣るチューブは、その外側に脱気脱泡能力を川なわ
ない構造の補強材を設けることにより、耐圧力性を高め
ることが出来、チューブに加わる圧力が高くなってもそ
の脱気・脱泡能力の維持が可能となるのみならず、感光
性塗布液中の微細気泡を脱気された該塗布液中へ溶解消
滅させることが出来るという効果も生み出すし脱気・脱
泡能力を増大させることが出来るばかりでなく、複合チ
ューブを互いに接触させても脱気・脱泡効率を低下させ
ることがないので、大量の感光性塗布液の処理のために
複数本のチューブを用いてモジュールを形成した場合に
は、コンパクトな装置にすることが出来る。

この時該チューブは、その長さが一定であると共に分１
ＪＪｎＱ及び補強材からなる複合チューブであることが
望ましい。

このようにして、大量の感光性塗布液の処理を可能とし
たモジュール化された脱気・脱泡装置を製作する場合、
コンパクトでしかも脱気・脱泡効率の低下を防止すると
共に切換洗浄時においてもスムーズな排出が可能となり
、労力１時間、費用等の大１１１な低減が可能となるば
かりでなく、一定の長さの該チューブを用いて、該円筒
体に螺旋状に巻き、分配部及び収集部に連結が出来ると
共に、該円筒体は減圧室より七りはずしが出来るので、
該チューブの供給、交換等を含む製作のための労力２時
間、費用等の大巾な低減が可能となる装置にすることが
出来る。

本発明の好ましい実施ｌ様は、 （υ　該分配部及び収集部には、それぞれ複数のカプラ
ーに連らなる複数本の連通管を放射状に設け、該分配部
及び収集部の中心部において該連通管が合一し、該連通
管の勾配が水平に対して４゛以上であることを特徴とす
る請求項（１）記載の脱気・脱泡装置。

（２）該チューブ、該分配部及び収集部を有し、該チュ
ーブと該カプラーを連結した該円筒体を減圧室よりとり
はずし可能とすることを特徴とする請求項（］）又は実
施態様（１）記載の脱気・脱泡装置。

〔実　施　例］ 次に本発明のｌ実施例について第１図に示す脱気・脱泡
装置にもとづいて説明する、但し本発明は本実施例のみ
に限定されるものではない。

第１図に示す脱気・脱泡装Ｗ１９はガイド１０及び多数
の孔１１を有する円筒体１２のまわりに一断面部に示す
ように垂直方向に平面的に接触し、多段に設けた多孔質
性高分子膜チューブからなる複数本の複合チューブ１３
が立ち上がり勾配を有し、第１図に示すように螺旋状に
巻きつけられたモジュール１４．ハウジング１５．ｉｌ
圧室１６塗布液人ロ１７ａ、出口　１７　ｂ、分配部＋
８゜収集部１９．す［気管２０．真空ポンプ２１６圧カ
センサー２２．および制御回路２３で構成され、モジュ
ール１４は減圧室１６の中に収納されている。

該多数本のチューブＩ３は、塗布法人ロ１７ａ出口１７
ｂにそれぞれ連なる分配部１８及び収集部１９の同心円
上に設けられた多数個のカプラー２４．２４．２４・・
・・に連結しており該円筒体１２の両端部において、該
円筒体１２の内部に導入され、その導入部２５を複数設
けている。

塗布液人口１７ａに連なり、該円筒体１２の下端部の中
心に設けられた分配部Ｉ８のカプラー２４．２４・・・
に連結された複数本の該チューブ１３は、該円筒体１２
の下端部に設けられた複数の導入部２５から導き出され
、該円筒体１２に設けられたガイド１０に螺旋状に多段
に巻きつけられ、該円筒体１２の上端部に設けられた複
数の導入部２５を通り、該円筒体１２の内部と導かれ該
円筒体１２の上端部において内部に導入された複数の該
チューブ１３は、同様に中心部に設けられ、塗布液出口
１７ｂに連らなる収集部１９のカプラー２１１．２４・
・・に導かれる。

垂直方向に平面的に接触した複数本の該チューブ１３は
、該円筒体１２の端部において分配部又は収集部のカプ
ラー２４．２４・・・に連結されることによって分配部
と収集部とでは互いに逆方向になることにより、該チュ
ーブの長さを一定にすることが出来る。さらに両端にお
いて垂直方向に平面的に接触した複数本の該チューブ１
３は導入部２５°の位置を変え複数の導入部２５を設け
ることにより、多段に巻かれた該チューブ　１３の長さ
も一定にすることが出来る。従って複数本の該チューブ
Ｉ３の長さを一定にすることにより、塗布液人口１７ａ
から供給された塗布液　２６ａは、複数本の該チューブ
１３に分配されそれぞれのチューブを通り、収集部１９
に同時に到達し、塗布液出口１７ｂへと流出する。

また複数本の該チューブ１３の長さを一定にすることが
出来ることは、該チューブ１３の成形及び製作が効率的
となる利点を有する。

さらに、塗布液の分配部１８及び収集部１９の詳細を収
集部１９を例にとり第２図に示し説明する。

複数本の該チューブ１３の中に供給された感光性塗布液
は収集部１９の同心円上に設けられた多数のカプラー２
４．２４・・・を経て、収集部１９の中心に向う連通管
２６，２６．２６を通り収集部１９の中心で合一し、塗
布液出口１７ｂに至る。

尚連通管の先端にはカプラーを取り付けるためのネジ込
み口２７，２７．２７が設けられており、連通管の勾配
は水平に対して４°以上となっている。

次に塗布液の分配部１８および収集部１９を円筒体１２
及びハウジング１５に固定する方法及び該円筒体１２を
ハウジングからとりはずしたり、とりはずした該円筒体
１２から該チューブ１３を交換したりするための構造に
ついて、そのｌ実施例として上端部を例にとり、第２図
に示し説明する。

第２図（１））は塗布液の収集部１９から塗布液出口１
７ｂに連なる管が円筒体Ｉ２の支持部材２８及びハウジ
ング１５の盲（反２９に固定された状態を示すが、第２
図（ａｌは盲板２９を取りはずした状態を上方からみた
状態である。

収集部１９は円筒体１２の端面に設けられた支持部材２
８の中心の貫通孔３０ａを通る。この時収集部１９の管
壁にはネジ部３１が設けられており、このネジ部３１に
ナツト３２をセントし、収集部１９を該円筒体１２に固
定する。

さらに中心に貫通孔３０ｂを有する〕＼ウジフグ１５の
盲板２９に収集部１９の塗布液出口１７ｂの管を通し、
上方よりセットし次いでＯリング３３を有するシール部
材３４をセットしボルト３５で盲板２９に固定する。最
後に盲板２９を７１ウジング２５に固定する。

支持部材２８は収集部１９を固定するのに必要な空間以
外は円筒体の端面ば解放空間３６になる。

解放空間３６は該チューブを有する円筒体のハウジング
からの出入れ、とりだしたＪ亥円筒体の該チューブ１３
の一部とりかえ、収集部１９への連結等の作業が容易で
あり、該円筒体の１２の軽臂化にも役立っている。

該チューブを有する該円筒体１２をハうジング１５から
とりはずす時は、上述のシール部材３４をとりはずし、
次いでに 盲板２９をとりはずせばハウジング１５の上方に引き抜
ける。この時下部の分配部１８についても同様である。

次に収集部１９を該円筒体１２からとりはずす時は前述
の手順を逆にすればよい。

上記に示した脱気・脱泡装置９において感光性塗布液２
６ａは塗布液人口１７ａより０．５ｋｇ／ｃｄゲージ圧
以上に加圧して供給されるが減圧室１６は真空ポンプ２
１により排気管２０を通り排気され圧力センサー２２お
よび制御回路２３により所望の真空度に保たれる０分配
部１８へ導かれた塗布液２６ａは分配部１８の中心より
放射状に配置され同心円上に設けられた複数のカプラー
及びチューブに分布され、円筒体１２のガイドに沿って
螺旋状に巻かれた内径６麺程度の複数本の該チューブの
中を通過する間に該塗布液２６ａの中の溶存空気は脱気
され、収集部１９に集り塗布液出口１７ｂへと到達し、
脱気された塗布液２６ｂとなる。モジエール１４の中を
通過する間に除去された溶存空気は減圧室１６の真空度
を低下させるが、この時圧力センサー２２が真空度を検
出して、制御回路２３により真空ポンプ２１を作動させ
、減圧室１Ｇを所望の真空度に保つようにする。

なおモジュール１４を形成する多孔質性高分子膜チュー
ブは、第３図に示すように、分離用チューブ３７はその
材質がポリ四フン化エチレン樹脂であり、内径６ａ＋ｍ
、肉厚は０．２５ｍｍのものが用いられているが、耐圧
力性を向上させると共に該チューブの接触による脱泡能
力の低下を防止するため、このチューブの外側に同じく
ポリ四フッ化エチレン樹脂製の補強材３９を設け、複合
形としている。

補強材を該チューブの外側に設けた脱気・脱泡用複合デ
ユープの耐圧性は殆ど補強材の強度に依存するが、該補
強材のみかけの肉厚は０．　２〜２閣、好ましくは０．
　３〜１．５ａ１１．空孔率は３〜４０％、好ましくは
５〜３０％、平均孔径は０．５〜２０μＩｎ、好ましく
は１〜１０μｍが望ましい。

なお、該チューブ３７と補強材３８を一体化した複合チ
ューブを用いても多孔質性高分子膜デユープの範囲に含
まれることは言うまでもない。

〔発明の効果１ 以上述べたように本発明は、調製した感光性塗布液を塗
布装置により基材に塗布する前に溶存空気及び微細気泡
を含む該感光性塗布液を減圧室内に収納した多孔質性高
分子膜チューブの内側に通し、該チューブの外側を減圧
すると共に、該感光性塗布液に加圧しながら、該感光性
塗布液中の溶存空気及び微細気泡を同時に除去する感光
性塗布液の脱気・脱泡装置において、複数本の多孔質性
高分子膜チューブを円筒体の周囲に螺旋状に巻き、ｊ５
６数本のチューブの両端に設ける該感光性塗布液の分配
部と収集部とを該円筒体の端部の中心軸線上に固定し、
該複数本のチューブの端部を該分配部と収集部の中心か
ら放射状に延びた連通管の同心同上に設けた複数のカプ
ラーに連結したことにより、チューブは皆同じ長さとな
すことが可能となり、脱気・脱泡装置がコンパクトで且
つチューブのクルジも発生することなく、脱気・脱泡装
置製作及びチューブの交換が容易な脱気効率の良い脱気
・脱泡装置を提供すること力咄来た。よって該感光性塗
布液の処理を多くし、しがも複数の該チューブが接触し
ても能力の低下を起こさず、該塗布液の排出においては
、はとんど滞留なく排出可能となりさらに別の液に切換
えする時には極めて短い時間での洗浄が可能となるので
時間、労力及び費用等の低減となり得率の向上、生産性
の向上に寄与するばかりでなく、脱気・脱泡装置の製作
においては、量産される一定長さの該チューブを用いる
ことにより、該デユープの供給、交換等を含む製作のた
めの労力１時間等の大巾な低減が可能となると共に、ハ
ウジング、盲板１円筒体等はそのまま使え、該チューブ
の費用のみで、新規に製作する場合と比較すると製作コ
ストを大１１１に低減出来るので極めて経済的な装置に
することが出来るという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の脱気・脱泡装置の１実施例の概略説明
の側面断面図、第２図は本発明の脱気・脱泡装置におけ
る円筒体の端面部材の上面図（ａ）及び上部構造の概略
説明の断面図（＋））、第３図は第１図において円筒体
に巻かれている該チューブを説明するための該チューブ
の断面図、第４図は多孔質性高分子膜からなるデユープ
を用いた脱気・脱泡装置の一般的なｔａ＃１説明図であ
る。 ９・・・脱気・脱泡装置 １２・・・円筒体 １３・・・多孔質性高分子膜複合チューブ１４・・・モ
ジュール　１５・・・ハウジングＩＧ・・・減圧室　　
　１８・・・分配部１９・・・収集部　　　２４・・・
カブラー２５・・・導入部　　　２６・・・連通管２９
　・　・　・　盲手反 ３０ａ、３０ｂ−−−貫通孔 ３１・・・ネジ部　　　３２・・・す・ント３４・・・
シール部材　３６・・・解放空間３７・・・分離用チュ
ーブ ３日・・・補強材 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 調製した感光性塗布液を塗布装置により基材に塗布する
   前に、溶存空気及び微細気泡を含む該感光性塗布液を減
   圧室内に収納した多孔質性高分子膜チューブの内側に通
   し、該チューブ外側を減圧すると共に、該感光性塗布液
   に加圧しながら該感光性塗布液中の溶存空気及び微細気
   泡を同時に除去する感光性塗布液の脱気・脱泡装置であ
   って、複数本の多孔質性高分子膜チューブを円筒体の周
   囲に並列に螺旋状に巻き、該複数本のチューブの両端に
   設ける該感光性塗布液の分配部と収集部とを該円筒体の
   端部に固定し、該複数本のチューブの端部を該分配部と
   収集部とに連結する脱気・脱泡装置において、該分配部
   と収集部とを該円筒体の端部の中心軸線上に固定し、該
   分配部及び収集部には該複数本のチューブと連結する複
   数個のカプラーを同心円上に設けたことを特徴とする脱
   気・脱泡装置。