JPH0217905A - 脱気・脱泡装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は感光性塗布液を塗布装置で塗布する際、塗布品
質を改良するための該塗布液の処理装置に関し、更に詳
しくは該塗布液が塗布される前に該塗布液中に含まれる
溶存空気および微細気泡を同時に除去するための該塗布
液の処理装置に用いられる脱気・脱泡装置に関するもの
である。

〔従来の技術〕

一般にある種の液体は、塗布に際しては該液体中に溶存
する空気および含有される気泡を除去することが必要で
ある。例えば感光材料用の感光性塗布液は溶存空気およ
び気泡が含まれたまま塗布装置により基材に塗布される
と、塗布装置によっては該感光性塗布液中の溶存空気の
析出や、通常の場合には該感光性塗布液に含まれる気泡
によって縦すじ、ピンホール等塗布面に気泡による故障
を生じるので、基材に塗布される前に該感光性塗重液中
に溶存する空気および含有される気泡を除去することが
必要である。

従来これに対処する方法として先ず液体中に溶存する空
気の除去（脱気と呼ぶ）を行うための方法としては多数
知られているが、その代表的な例は該液体を減圧下に置
く方法であり、その例としては、特公昭５１−３５２５
９号、特開昭５６−１４７６０５号、特開昭５６−７６
２１３号、特開昭４９−９７００３号、特開昭５０−１
５９４６９号等の公報に開示されている装置が知られて
いる。

また多孔質性高分子膜を用いる方法もあり、その例とし
ては、特開昭５１−２８２６１号、特開昭５４−１２３
７８５号、特開昭５５−１２１８０６号、特開昭５７−
１６５００７号、特開昭５８−８１４０４号９等の公報
に開示されている方法あるいは装置が知られている。

他方液体中に含有される気泡を除去する（脱泡と呼ぶ）
方法は多数知られている。このような脱泡処理を行うた
めの装置としては感光性塗布液を用いる場合は、従来、
特公昭４７−６８３５号。

特公昭５７−６３６５号、特開昭５３−１３９２７４号
、特開昭５９−６９１０８号、特開昭５９−９２００３
号、特開昭５９−１５６４０５号。

特開昭６１−５０６０８号等の公報に開示されている超
音波脱泡（超音波処理と呼ぶ）装置が知られている。

しかしながら前者の脱気方法のうち、該液体を減圧下に
置く方法は該液体中に溶存する空気を除去することは出
来ても、微細気泡が該液体中に発生するという現象が起
きている。又多孔質性高分子膜による方法では、感光性
塗布液を処理する場合発泡現象は見られないが、数１０
０μｍの流入気泡を除去することは出来ない。従ってこ
れらの方法および装置は該液体中に溶存する空気を除去
することは出来ても、大きさにもよるが気泡を除去する
ことは極めて困難である。従って、上記のようにして生
成した微細気泡およびそれらが合体して出来た気泡や、
該液体中に含有された気泡は例えば感光性塗布液を用い
る場合には塗布装置により基材に塗布されると、均一な
感光膜を形成することが出来ないという問題が起こる。

また後者の脱泡方法は該感光性塗布液中に含有される気
泡は除去出来ても、該液中に溶存する空気を除去するこ
とは出来ない。脱泡処理された該感光性塗布液はその中
に溶存する空気が飽和あるいは過飽和になっているので
例えば該感光性塗布液の液温が上昇したり、剪断力が加
わると溶存した空気が析出し、基材に塗布した時に均一
な感光膜を形成することが出来ないという問題が起こる
。

そこで多孔質性高分子膜チューブ（以下チューブという
）を用い、その中を感光性塗布液を通し、該チューブの
外側を減圧して、該感光性塗布液中の溶存空気および微
細気泡を同時に除去する方法が開発された（特願昭６２
−８３２２号）、その場合該チューブは、成形時に用い
る原料の素材および分子量、肉厚、空孔率、孔径などの
条件によりその除去能力が異なり、一般に液体の透過が
起こらない範囲では、用いる原料の素材３分子量が決ま
れば、該チューブの空孔率は高いほど、孔径は大きいほ
ど、肉厚は薄いほど除去能力は高くなり、該チューブの
単位長さ当りの処理量を多くすることが出来るというメ
リットがある。

しかしながらこのようなチューブは粘度の高い感光性塗
布液を用いた場合や、該チューブのあとに続く流路での
圧力損失が大きい場合には、チューブ内の圧力が上り該
感光性塗布液が該チューブ壁を透過する前にチューブが
破裂することがあるので破裂防止のための補強材を備え
た複合チューブが開発された（特願昭６２−３１５２７
８号）。

更にまた処理量を多くするため、チューブを長くすると
圧力損失が大きくなりついには同様にチューブの破裂が
おこることがあるのでチューブの破裂を防止し、感光性
塗布液の処理量を多（するために適当な長さの複数本の
チューブを並列にし、モジュール化する方法を開発し出
願した。

このモジュールを構成するチューブについては次のよう
に考えることが出来る。

即ちチューブが決まれば、ある処理量において、最も効
率的な脱気程度を得るための最適なチューブの長さが存
在する。例えば同し処理量において、チューブを数本並
列にした場合は脱気程度は低くなる。又長いチューブを
１本用いた場合、長がすぎると、長さの割には脱気程度
が高くならないという現象が起こる。これはチューブは
ある長さまでは効率的に脱気することが出来るが、それ
以上の長さになると、溶存する空気が少なくなった液を
さらに脱気するようになるので長さの割には効率が落ち
るためと考えられる。

従って前述のように処理量を多くするためには、最適な
長さのチューブを複数本束にしたモジュールが有効であ
るが、モジュールの構造あるいはチューブの収納、配置
によっては、複数本のチューブのそれぞれの中を流れる
感光性塗布液の流動状態が異なるためモジュール全体と
して所望の脱気能力が得られず、脱気効率が低下したり
、複数本のチューブ同士が接触していると、−本のチュ
ーブの脱気に有効な外表面積が減しられ、同様に脱気効
率が低下したり、さらに複数本のチューブのうち感光性
塗布液の流動がかなり悪いチューブが存在すると、別の
感光性塗布液に切換えする時の洗浄において多大な労力
９時間及び洗浄液を要したり、あるいは感光性塗布液や
洗浄液の廃却においては９重力によるスムーズな流出が
困難となりチューブの中に残存するため、特に洗浄後感
光性塗布液に切換時多量の該塗布液が必要となるばかり
でなく高価な該塗布液の場合はそれがロスとなり経済的
に不利となる。そこで、本発明者達はこの問題を解決す
るために先に複数本の多孔質性高分子膜チューブを円筒
体の周囲に並列に螺旋状に巻き、該チューブの勾配が水
平に対し４°以上を有する脱気・脱泡装置を捉案した。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながらモジュールからなる脱気・脱泡装置におい
て、モジュールの両端に設けた液の分配部及び収集部の
設置場所あるいはチューブの収納。

配置更にチューブの分配部及び収集部との連結方法によ
っては、脱気・脱泡装置が大形化したり、複数本のチュ
ーブの長さが異なると、分配部と収集部とにチューブの
両端を連結した時、チューブにクルジが生じることがあ
るため、同様に感光性塗布液のスムーズな排出が困難と
なったりすることによる問題が生じる。

またモジュールを構成する複数本のチューブを感光性塗
布液の分配部と収集部とから取りはずし、交換する時に
は、クルジが生じないような長さにチューブを切断しな
がら、各チューブを１本ずつ収納する方法があるが、こ
の方法は多大な労力。

時間を費やし脱気・脱泡装置を製作する上では極めて不
経済である。その上脱気・脱泡装置の構造によってはチ
ューブを交換すること自体が不可能であったり、分配部
、収集部を有するモジュール自体を減圧室から取りはず
すことが不可能であるため、新規に脱気・脱泡装置を製
作しなければならないこともあり、同様に極めて不経済
である。

本発明は以上の如き事情に基づいてなされたものであっ
て、その目的は感光性塗布液中に存在する溶存空気およ
び微細気泡を同時に除去し、溶存空気および微細気泡に
より発生する塗布故障を防止し、基材に均一な感光膜を
形成するための該感光性塗布液の脱気・脱泡処理装置に
おいて、上記諸々の欠点を解消し脱気・脱泡装置が処理
能力なりにコンパクトでチューブのクルジがなく、脱気
・脱泡装置の製作及びチューブの交換が容易な脱気効率
の良い脱気・脱泡装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段及び作用〕・かかる本発明
の上記目的は、調製した感光性塗布液を塗布装置により
基材に塗布する前に、溶存空気および微細気泡を含む該
感光性塗布液を減圧室内に収納した多孔質性高分子膜チ
ューブの内側に通し、該チューブの外側を減圧すると共
に、該感光性塗布液に加圧しながら該感光性塗布液中の
溶存空気および微細気泡を同時に除去する感光性塗布液
の脱気・脱泡装置であって、複数本の該多孔質性高分子
膜チューブを円筒体の周囲に並列に螺旋状に巻く脱気・
脱泡装置において、該複数本のチューブの両端に設ける
該感光性塗布液の分配部と収集部とを該円筒体の端部の
中心軸線上に固定し、該複数本のチューブの端部と該分
配部と収集部とに放射状に連結したことを特徴とする特
許・脱泡装置により達成される。

更に、本発明の上記目的は該複数本のチューブの端部を
該分配部と収集部とに放射状に連結した管の勾配が水平
に対し４゛以上であることを特徴とする請求項（１）記
載の脱気・脱泡装置によってより効果的に達成される。

本発明において複数本の多孔質性高分子膜チューブを円
筒体の周囲に螺旋状に巻くということは、本発明者達が
先に田圃したように円筒体に複数本を一段に巻くことだ
けでなく、多段に巻くことを含む。

本発明において該複数本のチューブの両端に設ける該感
光性塗布液の分配部上収集部とを該円筒体の端部の中心
軸線上に固定するということは、該円筒体の中心軸線上
にあれば端部そのものに固定しても、別に支持具で円筒
体外に設置しても良い。

また該分配部と収集部とを該円筒体の端部の中心軸線上
に固定する部分において、該円筒体の両端は分配部又は
収集部の支持具以外は開放状態にあることが、該分配部
と収集部にチューブを連結する上で極めて好ましい。

本発明において該複数本のチューブの端部を該分配部と
収集部とに放射状に連結するということは、多数本の管
を分配部と収集部の円周に沿って配列して放射状に連結
するということで、分配部と収集部とのチューブの連結
が反対巻きになるのでこれによって複数のチューブの長
さを皆同じ長さにすることが出来るし、チューブ内への
感光性塗布液を均一に分布させることが出来る。

本発明における該複数本のチューブの端部を該分配部と
収集部とに放射状に連結した管の勾配は水平に対し４°
以上の勾配を有することが望ましい 該複数本のチューブの長さはチューブの成形上、又脱気
・脱泡装置を構成するモジュールの組み立て及びチュー
ブ内の感光性塗布液の流速等を考慮すると脱気・脱泡に
最適な長さで、多数本が同し長さであることが望ましい
。

さらに本発明の該チューブは分離膜及び補強材からなる
複合チューブであることが、該チューブの耐圧性、脱泡
性の点で好ましい。

本発明は感光性塗布液を塗布する前に、多孔質性高分子
膜チューブにより脱気および脱泡処理を同時に起させる
ことが出来、処理された該塗布液を基材に塗布した場合
、均一な感光膜が得られるという感光材料の本質的仕様
を満すのみならず複数本の該チューブを用いた時上記の
如く分配部と収集部の位置、及びそれらとチューブとの
連結の仕方により各チューブ内の流動を均一にし、大量
の処理を効率よく可能とし、さらに切換洗浄時において
は、スムーズな排出を可能とする。

また量産される一定の長々の該チューブを用いることに
より脱気・脱泡装置を極めて効率よく製作することを可
能とする他に、チューブの交換を容易にし、脱気・脱泡
装置の製作及び保全の労力。

時間、費用のコストを低減させた装置にすることが出来
るということに最大の特徴がある。

一般に従来の多孔質性高分子膜チューブによる脱気・脱
泡装置Ａは第４図に示すようなフローシートとなってお
り、脱気・脱泡すべき液体を通す多孔質性高分子膜チュ
ーブ１が内蔵された減圧室２と、この真空度を圧力セン
サー３によって検出して制御回路４によって作動あるい
は停止させる真空ポンプ５と、脱気・脱泡すべき液体の
送液系とによって構成されている。上記脱気・脱泡装置
Ａによって液体６に溶存する気体および微細気泡を除去
する場合には、減圧室２の圧力を所定の範囲の減圧状態
に保持しながら、バルブ８を調節することにより液体６
をポンプ７を用い加圧しながらチューブ内を所定の速度
で通過させることが出来る。

液体中に溶存する気体を脱気する時、脱気される量の程
度を表す言葉として「脱気度」を定義し、脱気される溶
存気体が多い時は脱気度が高いと呼び、少ない時は脱気
度が低いと呼ぶことにする。

脱気度に影響を及ぼす要因のうちチューブについて言え
ば、内径はより小さく、肉厚はより薄く、液体との接触
面積はより大きい方が脱気されやすい。

一方、減圧室内の真空度は高いほど脱気されやすいが、
チューブの孔径、空孔率によっては液体が透過する場合
がある。この場合、液体の表面張力が高いほど、チュー
ブの孔径、空孔率から言うと孔径は小さいほど、空孔率
も低いほど、液体の透過は起りにくい。従うでチューブ
からの液体透過は、チューブの材質、孔径および空孔率
が決まればチューブ内外の圧力差、液体の表面張力と密
接な関係がある。

液体がチューブを透過しない範囲で、チューブツの材質
、内径、肉厚を同じにした場合、脱気度は減圧室内の真
空度で決定される。しかしながらチューブは長いはど脱
気度は高くなるが、逆に脱気すべき液体のチューブ内で
の圧力損失が大きくなるので、この圧力損失を充分考慮
にいれなければならない。次に脱気すべき液体について
言えば液体の流量は少ないほど脱気されやすい。これは
液体のチューブ内での滞留時間が長いはど脱気されやす
いことから理解出来る。又滞留時間が同じであれば、チ
ューブ内を流れる流速が大きいほど脱気されやすい。さ
らに液体の粘度は低い方が脱気されやすい。これはチュ
ーブ壁での境膜層の厚みが薄くなることや拡散係数が大
きくなることから理解出来る。

一方該液体中に存在する微細気泡はその大きさにもよる
が、チューブの中を通過する間に除去される。

脱泡の程度はチューブの材質、肉厚および内径。

減圧室の真空度、液体の流量、粘度が決まれば脱泡すべ
き液体中に存在する微細気泡がチューブの内壁にいかに
接近するかに影響される。

以上チューブの中に液体を通す場合について述べたが、
感光性塗布液の場合、その粘度が高かったり、チューブ
のあとに続く流路での圧力損失が大きくなったりする時
にはチューブには過度の圧力が加わりチューブの耐圧力
を超え、破裂することがあり、該塗布液の処理が不可能
になることがある。

従って、感光性塗布液を処理する時、チューブのあとに
続く流路の圧力損失を小さくしたり、チューブでの圧力
損失を小さくすることが重要であるが、それが困難な場
合は、チューブの耐圧力性を高める必要がある。

この手段としてチューブの外側に補強材を設ける方法が
あるが、この時チユーブの処理能力を出来るだけ損なわ
ない構造にする必要がある。

上記の観点よりチューブの外側に設ける補強材は一般的
には多孔質性の構造が好ましく、その素材としては高分
子材料が好ましい。

補強材をチューブの外側に設けた脱気・脱泡用複合チュ
ーブの耐圧性はほとんど該補強材に依存する。本発明に
おいてはチューブとしてこの複合チューブを用いること
が好ましい。

このようにした複合チューブは複数のチューブを接触さ
せても、外側に設けた補強材が接触するのみで、脱気・
脱泡を実質的に行なう内側のチューブの外表面積を減少
させることはないので、脱気・脱泡効率を低下させるこ
とはない。

なお脱気処理および脱泡処理が同時におこなわれている
チューブの内側の感光性塗布液を加圧することは、流入
気泡が脱気をされている該感光性塗布液に溶解され、脱
泡処理されるという効果をも生み、脱泡能力もあげるこ
とができ、その加圧程度は０．５ｋｇ／ｄゲージ圧以上
が好ましい。

本発明において該補強材の材質は有機溶剤系の感光性塗
布液の処理および該補強材の成形等を考慮するとポリ四
フッ化ポリエチレン樹脂が最も好ましい。

本発明において複合チューブの外側を減圧する方法はい
かなる方法でもよく、感光性塗布液の場合の圧力は通常
３００　Ｔｏｒｒ〜ｌ　Ｔｏｒｒが好ましい。

このようにして、脱気・脱泡能力を有していても耐圧力
性に劣るチューブは、その外側に脱気・脱泡能力を損な
わない構造の補強材を設けることにより、耐圧力性を高
めることが出来、チューブに加わる圧力が高くなっても
その脱気・脱泡能力の維持が可能となるのみならず、感
光性塗布液中の微細気泡を脱気された該塗布液中へ溶解
消滅させることが出来るという効果も生み出すし脱気・
脱泡能力を増大させることが出来るばかりでなく、複合
チューブを互いに接触させても脱気・脱泡効率を低下さ
せることがないので、大量の感光性塗布液の処理のため
に複数本のチューブを用いてモジュールを形成した場合
には、コンパクトな装置にすることが出来る。

この時該チューブは、その長さが一定であると共に分離
膜及び補強材からなる複合チューブであることが望まし
い。

このようにして、大量の感光性塗布液の処理を可能とし
たモジュール化された脱気・脱泡装置を製作する場合、
コンパクトでしかも脱気・脱泡効率の低下を防止すると
共に切換洗浄時においてもスムーズな排出が可能となり
、労力１時間、費用等の大巾な低減が可能となるばかり
でなく、一定の長さの該チューブを用いて、該円筒体に
螺旋状に巻き、分配部及び収集部に連結出来るので、該
チューブの供給、交換等を含む製作のための労力時間、
費用等の大巾な低減が可能となる装置にすることが出来
る。

〔実　施　例〕

次に本発明の１実施例について第１図に示す脱気・脱泡
装置にもとづいて説明する、但し本発明は本実施例のみ
に限定されるものではない。

第１図に示す脱気・脱泡装置９はガイド１０及び多数の
孔１１を有する円筒体１２のまわりに第２図に示すよう
に垂直方向に平面的に接触し、多段に設けた多孔質性高
分子膜チューブからなる複数本の複合チューブ１３が立
ち上がり勾配を有し、第１図に示すように螺旋状に巻き
つけられたモジュール１４．ハウジング１５．減圧室１
６．塗布液人口１７ａ、出口　１７ｂ２分配部１８．収
集部１９．排気管２０．真空ポンプ２１．圧力センサー
２２．および制御回路２３で構成され、モジュール１４
は減圧室　１６の中に収納されている。

該多数本のチューブ１３は、塗布液人口１７ａ。

出口１７ｂにそれぞれ連なる分配部１８及び収集部　１
９に連結しており、該円筒体１２の両端部において、該
円筒体１２の内部に導入され、その導入部２４を複数設
けている。

塗布液人口１７ａに連なり、該円筒体１２の下端部の中
心に設けられた分配部１８より、放射状に連結された複
数本の該チューブ１３は、数本毎に分けられ、該円筒体
１２の下端部に設けられた複数の導入部２４から導き出
され、該円筒体１２に設けられたガイド１０に螺旋状に
多段に巻きつけられ、該円筒体１２の上端部に設けられ
た複数の導入部２４を通り、該円筒体１２の内部と導か
れる。

該円筒体１２の上端部において内部に導入された複数の
該チューブ１３は、同様に中心部に設けられ、塗布液出
口１７ｂに連らなる収集部１９へ放射状に導かれる。

垂直方向に平面的に接触した複数本の該チューブ１３は
、該円筒体１２の端部において分配部又は収集部に放射
状に連結されることによって分配部と収集部とでは互い
に逆方向になることにより、該チューブの長さを一定に
することが出来る。さらに両端において垂直方向に平面
的に接触した複数本の該チューブ１３は段毎に導入部２
４の位置を変え複数の導入部２４を設けることにより、
多段に巻かれた該チューブ１３の長さも一定にすること
が出来る。従って複数本の該チューブ１３の長さを一定
にすることにより、塗布液人口１７ａから供給された塗
布液２５ａは、複数本の該チューブ１３に分配されそれ
ぞれのチューブを通り、収集部１９に同時に到達し、塗
布液出口１７ｂへと流出する。

また複数本の該チューブ１３の長さを一定にすることが
出来ることは、該チューブ１３の成形及び製作が効率的
となる利点を有する。

次に塗布液の分配部１８および収集部１９を円筒体１２
及びハウジング１５に固定する方法及び該円筒体１２を
ハウジングからとりはずしたり、該チューブ１３を交換
したりするための構造について、そのｌ実施例として上
端部を例にとり第３図に示し説明する。

第３図（ａ）は、塗布液の収集部１９から塗布液出口１
７ｂに連なる管が円筒体１２の支持部材２７及びハウジ
ング１５の盲板２６に固定された状態を示すが、収集部
１９は、円筒体１２の端面に設けられた支持部材２７の
中心の貫通孔２８ａを通る。この時、収集部１９の管壁
には溝２９が設けられておりこの溝２９にプレート（２
つ側方式）３０をセットしボルト（図示せず）で固定す
る。さらに中心に貫通孔２８ｂを有するハウジング１５
の盲板２６に収集部１９の塗布液出口１７ｂの管を通し
上方よりセットし次いでＯ−リング３１を有するシール
部材３２をセットしボルト（図示せず）で盲板２６に固
定する。最後に盲Ｆｉ２６をハウジング１５に固定する
。

第３図すは円筒体１２の端面に設けられた支持部材２７
の上面図の概略を示しておリブレート３０はボルト孔３
３にボルト（図示せず）により固定される。又支持部材
２７以外は円筒体の端面ば開放空間３４になる。

開放空間３４は該チューブ１３の一部とりかえ。

収集部１９への連結等の作業が容易であり該円筒体１２
の軽量化にも役立っている。塗布液の収集部１９をとり
はずす時は上述の手順を逆にすればよい、下端部の分配
部１８についても同様であるが、第１図に示すように該
円筒体１２を上方に引き抜く構造としている。

上記に示した脱気・脱泡装置９において感光性塗布液２
５ａは塗布液人口１７ａより０．　５ｋｇ／ｄゲージ圧
以上に加圧して供給されるが減圧室１６は真空ポンプ２
１により排気管２ｏを通り排気され圧力センサー２２お
よび制御回路２３により所望の真空度に保たれる。分配
部１８へ導かれた塗布液２５ａは分配部１日より放射状
に配置された複数本のチューブに分布され、円筒体１２
のガイドに沿って螺旋状に巻かれた内径６＋ｗ＋程度の
複数本の該チューブの中を通過する間に該塗布液２５ａ
の中の溶存空気は脱気され、収集部１９に集り塗布液出
口１７ｂへと到達し、脱気された塗布液２５ｂとなる。

モジュール１４の中を通過する間に除去された溶存空気
は減圧室１６の真空度を低下させるが、この時圧力セン
サー２２が真空度を検出して、制御回路２３により真空
ポンプ２１を作動させ、減圧室１６を所望の真空度に保
つようにする。

なおモジュール１４を形成する多孔質性高分子膜チュー
ブは、第２図（ｂ）に示すように、分離用チューブ３５
はその材質がポリ四フッ化エチレン樹脂であり、内径６
ｍ、肉厚は０．２５Ｍのものが用いられているが、耐圧
力性を向上させると共に該チューブの接触による脱泡能
力の低下を防止するため、このチューブの外側に同じく
ポリ四フッ化エチレン樹脂製の補強材３６を設け、複合
形としている。

補強材を該チューブの外側に設けた脱気・脱泡用複合チ
ューブの耐圧性はほとんど補強材の強度に依存するが、
該補強材のみかけの肉厚は０．　２〜２■、好ましくは
０．３〜１．５ｍｍ、空孔率は３〜４０％、好ましくは
５〜３０％、平均孔径は０．５〜２０μｍ、好ましくは
１〜１０μｍが望ましい。

なお、該チューブ３５と補強材３６を一体化した複合チ
ューブを用いても多孔質性高分子膜チューブの範囲に含
まれることは言うまでもない。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明は、調製した感光性塗布液を塗
布装置により基材に塗布する前に溶存空気及び微細気泡
を含む該感光性塗布液を減圧室内に収納した多孔質性高
分子膜チューブの内側に通し、該チューブの外側を減圧
すると共に、該感光性塗布液に加圧しながら、該感光性
塗布液中の溶存空気及び微細気泡を同時に除去する感光
性塗布液の脱気・脱泡装置において、複数本の多孔質性
高分子膜チューブを円筒体の周囲に螺旋状に巻き、該複
数本のチューブの両端に設ける該感光性塗布液の分配部
と収集部とを該円筒体の端部の中心軸線上に固定し、該
複数本のチューブの端部を該分配部と収集部とに放射状
に連結したことにより、チューブは皆同じ長さとなすこ
とが可能となり、脱気・脱泡装置がコンパクトで且つチ
ューブのクルミも発生することなく、脱気・脱泡装置に
製作及びチューブの交換が容易な脱気効率の良い脱気・
脱泡装置を提供することが出来た。よって該感光性塗布
液の処理を多くし、しかも複数の該チューブが接触して
も能力の低下を起こさず、該塗布液の排出においでは、
はとんど滞留なく排出可能となりさらに別の液に切換え
する時には極めて短い時間での洗浄が可能となるので時
間、労力及び費用等の低減となり得率の向上、生産性の
向上に寄与するばかりでなく、脱気・脱泡装置の製作に
おいては、量産される一定長さの該チューブを用いるこ
とにより、該チューブの供給、交換等を含む製作のため
の労力１時間等の大巾な低減が可能となると共に、ハウ
ジング、盲板１円筒体等はそのまま使え、該チューブの
費用のみで、新規に製作する場合と比較すると製作コス
トを大巾に低減出来るので極めて経済的な装置にするこ
とが出来るという効果がある。

尚、本発明の好ましい実施態様としては次のようである
。

（１）複数本の該多孔質性高分子膜チューブの長さを一
定にすることを特徴とする特許請求の範囲第１又は２項
記載の脱気・脱泡装置。

（２）該円筒体の両端部において、該分配部と収集部と
を固定するとともに該円筒体の両端部には分配部又は収
集部の取付部材以外の部分を開放空間とすることを特徴
とする特許請求の範囲第１又は２項記載の脱気・脱泡装
置。

（３）複数本の該多孔質性高分子膜チューブ及び該分配
部、収集部を有する該円筒体を減圧室内よりとりはずし
、可能とすることを特徴とする特許請求の範囲第１．又
は２項記載の脱気・脱泡装置。

（４）該多孔質性高分子膜チューブが分離膜及び補強材
からなる複合チューブであることを特徴とする特許請求
の範囲第１又は２項記載の脱気・脱泡装置。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の脱気・脱泡装置の１実施例の概略説明
の側面断面図、第２図は第１図において円筒体に巻かれ
ている該チューブを説明するための側面断面図（ａ）及
び該チューブの断面図（ロ）、第３図は本発明の脱気・
脱泡装置における上部構造の概略説明の断面図及び円筒
体の端面部材の上面図、第４図は多孔質性高分子膜から
なるチューブを用いた脱気・脱泡装置の一般的な概略説
明図である。 ９　・　・　・ １２　・　・ １３　・　・ ｌ　４　・　・ １６　・　・ ｌ　９　・　・ ２６　・　・ ２８ａ。 ２９　・　・ ３２　・　・ ３５　・　・ ３６　・　・ 脱気・脱泡装置 ・円筒体 ・多孔質性高分子膜複合チューブ ・モジュール　１５・・・ハウジング ・減圧室　　　１日・・・分配部 ・収集部　　　２４・・・導入部 ・盲板 ２８ｂ・・・貫通孔 ・溝　　　　　　３０・・・プレート ・シール部材　３４・・・空間部 ・分離用チューブ ・補強材 Ｍ２図 （ａ） （ほか　３名） 第 図 （ａ） （ｂ）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）調製した感光性塗布液を塗布装置により基材に塗
   布する前に、溶存空気及び微細気泡を含む該感光性塗布
   液を減圧室内に収納した多孔質性高分子膜チューブの内
   側に通し、該チューブ外側を減圧すると共に、該感光性
   塗布液に加圧しながら該感光性塗布液中の溶存空気及び
   微細気泡を同時に除去する感光性塗布液の脱気・脱泡装
   置であって、複数本の多孔質性高分子膜チューブを円筒
   体の周囲に並列に螺旋状に巻く、脱気・脱泡装置におい
   て、該複数本のチューブの両端に設ける該感光性塗布液
   の分配部と収集部とを該円筒体の端部の中心軸線上に固
   定し、該複数本のチューブの端部を該分配部と収集部と
   に放射状に連結したことを特徴とする脱気・脱泡装置。
2. （２）該複数本のチューブの端部を該分配部と収集部と
   に放射状に連結した管の勾配が水平に対し４°以上であ
   ることを特徴とする請求項（１）記載の脱気・脱泡装置
   。