JPH02111408A - 脱気・脱泡装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は感光性塗布液を塗布装置で塗布する際、塗布品
質を改良するための該塗布液の処理装置に関し、更に詳
しくは該塗布液が塗布される前に該塗布液中に含まれる
溶存空気および微細気泡を同時に除去するための該塗布
液の処理装置に用いられる脱気・脱泡装置に関するもの
である。

〔従来の技術〕

一般にある種の液体は、塗布に際しては該液体中に溶存
する空気および含有される気泡を除去することが必要で
ある０例えば怒光材料用の感光性塗布液は溶存空気およ
び気泡が含まれたまま塗布装置により基材に塗布される
と、塗布装置によっては該感光性塗布液中の溶存空気の
析出や、通常の場合には該感光性塗布液に含まれる気泡
によって縦すじ、ピンホール等塗布面に気泡による故障
を生じるので、基材に塗布される前に該感光性塗布液中
に溶存する空気および含有される気泡を除去することが
必要である。

従来これに対処する方法として先ず液体中に溶存する空
気の除去（脱気と呼ぶ）を行うための方法としては多数
知られているが、その代表的な例は該液体を減圧下に置
く方法であり、その例としては、特公昭５１−３５２５
９号、特開昭５６−１４７［ｉ０５号、特開昭５６−７
６２１３号、特開昭４９−９７００３号、特開昭５０−
１５９４６９号等の公報に開示されている装置が知られ
ている。

また多孔質性高分子膜を用いる方法もあり、その例とし
ては、特開昭５１−２８２６１号、特開昭５４−１２３
７８５号、特開昭５５−１２１８０６号、特開昭５７−
１６５００７号、特開昭５８−８１４０４号２等の公報
に開示されている方法あるいは装面が知られている。

他方液体中に含有される気泡を除去する（脱泡と呼ぶ）
方法は多数知られている。このような脱泡処理を行うた
めの装置としては感光性塗布液を用いる場合は、従来、
特公昭４７−６８３５号。

特公昭５７−６３６５号、特開昭５３−１３９２７４号
、特開昭５９−６９１０８号、特開昭５９９２００３号
、特開昭５９−１５６４０５号特開昭６１−５０６０８
号等の公報に開示されている超音波脱泡（超音波処理と
呼ぶ）装置が知られている。

しかしながら前者の脱気方法のうち、該液体を減圧下に
置く方法は該液体中に溶存する空気を除去することは出
来ても、微細気泡が該液体中に発生するという現象が起
きている。又多孔質性高分子膜による方法では、感光性
塗布液を処理する場合発泡現象は見られないが、数１０
０μｍの流入気泡を除去することは出来ない、従ってこ
れらの方法および装置は該液体中に溶存する空気を除去
することは出来ても、大きさにもよるが気泡を除去する
ことは極めて困難である。従って、上記のようにして生
成した微細気泡およびそれらが合体して出来た気泡や、
該液体中に含有された気泡は例えば感光性塗布液を用い
る場合には塗布装置により基材に塗布されると、均一な
感光膜を形成することが出来ないという問題が起こる。

また後者の脱泡方法は該感光性塗布液中に含有される気
泡は除去出来ても、該液中に溶存する空気を除去するこ
とは出来ない。脱泡処理された該感光性塗布液はその中
に溶存する空気が飽和あるいは過飽和になっているので
例えば該感光性塗布液の液温か上昇したり、剪断力が加
わると溶存した空気が析出し、基材に塗布した時に均一
な感光膜を形成することが出来ないという問題が起こる
。

そこで多孔質性高分子膜チューブ（以下チューブという
）を用い、その中を感光性塗布液を通し、該チューブの
外側を減圧して、該感光性塗布液中の溶存空気および微
細気泡を同時に除去する方法が開発された（特願昭６２
−８３２２号）。

多孔質性高分子、ｎりを用い、液体中に溶存する空気等
の気体を分離除去する場合の護膜は、膜を構成する高分
子と高分子との間隙（高分子鎖間隙あるいは分子間隙と
いう）以外の孔は持っていない、みかけ上孔のない膜で
あると言われている。

溶存する空気等の気体を分離除去するのは、この高分子
鎖間隙が孔の役目をし、まず膜の表面に溶存する空気等
の分子が溶解し、次いで′これによって膜中に生じた濃
度勾配を駆動力として高分子鎖間隙を拡散して行き、膜
の反対側で膜溶解されるいわゆる溶解拡散機構であり、
溶存する気体の透過性は膜への溶解性及び膜中での拡散
性によって影響されると考えられている。

従って、該チューブは、成形時に用いる原料の素材及び
分子量、肉厚、高分子鎖間隙などの条件により、その透
過性が異なり、−ｍには、用いる原料の素材１分子量、
成形条件が決まれば該チューブの高分子鎖間隙は一義的
に決まるが、肉厚は薄いほど透過性は良くなり、該チュ
ーブの単位長さ当りの処理量を多くすることが出来ると
いうメリ　ントがある。

しかしながらこのようなチューブは粘度の高い感光性塗
布液を用いた場合や、該チューブのあとに続く流路での
圧力損失が大きい場合には、チューブ内の圧力が上り、
チューブが破裂することがあるので破裂防止のための補
強材を備えた複合チューブが開発されたく特願昭６２−
３１５２’１号）。更にまた処理量を多くするため、チ
ューブを長くすると圧力損失が大きくなりついには同様
にチューブの破裂がおこることがあるのでチューブの破
裂を防止し、感光性塗布液の処理量を多くするために適
当な長さの複数本のチューブを並列にし、モジュール化
する方法が開発された（特願昭６３−１４０６３３号）
。

このモジュールを構成するチューブについては次のよう
に考えることが出来る。

即ちチューブが決まれば、ある処理量において、最も効
率的な脱気程度を得るための最適なチューブの長さが存
在する０例えば同じ処理量において、チューブを数本並
列にした場合は脱気程度は低くなる。又長いチューブを
１本用いた場合、長すぎると、長さの３１１には脱気程
度が高くならないという現象が起こる。これはチューブ
はある長さまでは効率的に脱気することが出来るが、そ
れ以上の長さになると、溶存する空気が少なくなった液
をさらに脱気するようになるので長さの割には効率が落
ちるためと考えられる。

従って前述のように処理量を多くするためには、最適な
長さのチューブを複数本束にしたモジュールが有効であ
るが、モジュールの構造あるいはチューブの収納、配置
によっては、複数本のチューブのそれぞれの中を流れる
感光性塗布液の流動状態が異なるためモジュール全体と
して所望の脱気能力が得られず、脱気効率が低下したり
、複数本のチューブ同士が接触していると、−本のチュ
ーブの脱気に有効な外表面積が減じられ、同様に脱気効
率が低下したり、さらに複数本のチューブのうち感光性
塗布液の流動がかなり悪いチューブが存在すると、別の
感光性塗布液に切換えする時の洗浄において多大な労力
１時間及び洗浄液を要したり、あるいは特開昭６０−２
５５１４号公報に開示されている脱気装置を用いると、
感光性塗布液や洗浄液の廃却においては１重力によるス
ムーズな流出が困難となりチューブの中に残存するため
、特に洗浄後感光性塗布液に切換時多星の該塗布液が必
要となるばかりでなく高価な該塗布液の場合はそれがロ
スとなり経済的に不利となる。そこで、本発明者達はこ
の問題を解決するために先に複数本の多孔質性高分子膜
チューブを円筒体の周囲に並列に螺旋状に巻き、該チュ
ーブの勾配が水平に対し４°以上を有する脱気・脱泡装
置を提案した（特願昭６３−１４０６３３号）。

しかしながらモジュールからなる脱気・脱泡装置におい
て、モジュールの両端に設けた液の分配部及び収集部の
設置場所あるいはチューブの収納配置更にチューブの分
配部及び収集部との連結方法によっては、脱気・脱泡装
置が大形化したり、複数本のチューブの長さが異なると
、分配部と収集部とにチューブの両端を連結した時、チ
ューブにクルミが生じることがあるため、同様に感光性
塗布液のスムーズな排出が困難となったりすることによ
る問題や、さらに分配部及び収集部の構造によっては、
その部分での塗布液のスムーズな流動あるいは排出が困
難となったりすることによる問題も生じる。

またモジュールを構成する複数本のチューブを感光性塗
布液の分配部と収集部とから取りはずし、交換する時に
は、クルミが生しないような長さにチューブを切断しな
がら、各デユープを１本ずつ収納する方法があるが、こ
の方法は多大な労力。

時間を費やし脱気・脱泡装置を製作する上では権めて不
経済である。その上脱気・脱泡装置の構造によってはチ
ューブを交換すること自体が不可能であったり、分配部
、収集部を有するモジュール自体を減圧室から取りはず
すことが不可能であるため、新規に脱気・脱泡装置を製
作しなければならないこともあり、同様に極めて不経済
である。

そこで本発明汗達は、この問題を解決するため先に分配
部と収集部とを円筒体の端部の中心軸線上に固定し、分
配部及び収集部には複数本のチューブと連結する複数個
のカプラーを同心円上に設けると共に、分配部及び収集
部には、それぞれ複数のカプラーに連らなる複数本の連
通管を放射状に設け、分配部及び収集部の中心部におい
て連通管が合一し、連通管の勾配が水平に対して４′以
上であり、さらにチューブ、分配部及び収集部を有し、
チューブとカプラーを連結した円筒体を減圧室よりとり
はずし可能とする脱気・脱泡装置を提案した（本出願人
の昭６３年８月１７日出願）。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしなから上述のようなモジュールからなる脱気・脱
泡装置において、複数のチューブを分配部及び収集部に
設けたカプラーに連結する時、チューブのクルミが生じ
ないようにすることは出来るが、円筒体の端部に設けた
分配部及び収集部の形状によっては、円筒体の両端部に
おいてチューブを円筒体の内側に導入しなければならず
、モジュールの組立てやチューブの交換において極めて
煩雑であるばかりでなく、チューブを円筒体の内側に導
入するため、円筒体の端部にチューブの導入口を設けな
ければならないという製作上の煩雑さがあるので不経済
であったり、また分配部及び収集部に支持部材を設は円
筒体に固定する構造とすることがあり、脱気・脱泡装置
としては特に長さ方向に人形化したり、重量が増したり
するので設置場所や移動に関して大きな制約を受けるこ
とがある。

本発明は以上の如き事情に基づいてなされたものであっ
て、その目的は感光性塗布液中に存在Ｊ−る溶存空気お
よび微細気泡を同時に除去し、溶存空気および微細気泡
により発生する塗布故障を防止し、基材に均一な感光膜
を形成するための咳！３光性塗布液の脱気・脱泡処理装
置において、上記諸りの欠点を解消し製作上の煩雑さが
なく、デユープの交換が容易な、コンパクトな脱気効率
の良い脱気・脱泡装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段及び作用〕かかる本発明の
上記目的は、 （１）調製した感光性塗布液を塗布装置により基材に塗
布する前に、溶存空気及び微細気泡を含む該感光性塗布
液を減圧室内に収納した多孔質性高分子膜チューブの内
側に通し、該チューブ外側を減圧すると共に、該感光性
塗布液に加圧しなから該感光性塗布液中の溶存空気及び
微細気泡を同時に除去する感光性塗布液の脱気・脱泡装
置であって、複数本の多孔質性高分子膜チューブを円筒
体の周囲に並列に螺旋状に巻き、該複数本のチューブの
両端に設ける該感光性塗布液の分配部と収集部とを該円
筒体の端部に固定し、該複数本のチューブの端部を該分
配部と収集部とに連結する脱気・脱泡装置において、該
分配部と収集部の形状を円盤状とし、該分配部と収集部
とを該円筒体の端部の中心軸線上で該円筒体に直接固定
し、該分配部及び収集部には該複数本のチューブと連結
する複数個のカプラーを同心円上に設けると共に、該円
筒体の直径を該分配部及び収集部の直径より１０〜５０
ミリメートル大きくしたことを特徴とする脱気・脱泡装
置。

（２）該分配部及び収集部には、それぞれ複数個のカプ
ラーに連なる複数本の連通管を放射状に設け、該分配部
及び収集部の中心部におい°Ｃ該連通管が合一すること
を特徴とする請求項（１）記載の脱気・脱泡装置。

により達成される。

本発明において、該分配部と収集部の形状を円盤状とし
、該分配部と収集部とを該円筒体の中心軸線上で該円筒
体に直接固定したことによって、脱気・脱泡装置のシン
プル化、小型化、軽量化が出来た。

又本発明において、該分配部及び収集部には複数本のチ
ューブと連結する複数個のカプラーを分配部及び収集部
の同心円上に設けるとともに、該円筒体の直径を該分配
部及び収１′、部の直径より５〜６０ミリメートル、好
ましくは１０〜５０ミリメートル人きくしたことによっ
てデユープのクルミ防止、折れ防止、及びモジュールの
組立や交換におけるチューブの連結を容易に行うことが
出来るようになった。

更に又、該分配部及び収集部には、それぞれ複数個のカ
プラーに連なる複数本の連通管を放射状に設け、該分配
部及び収集部の中心部において該連通管が合一したもの
を用いることによって感光性塗布液を各チューブに均一
に分布し、効率の良い脱気・脱泡が出来た。

本発明を更に詳しく説明する。

本発明において複数本の多孔質性高分子膜チューブを円
筒体の周囲に螺旋状に巻くということは、本発明者達が
先に出願した（昭和６３年６月９日特許出願）ように円
筒体に複数本を一段に巻くことだけでなく、多段に巻く
ことを含む。

本発明において、該分配部と収集部の同心円上に設けた
複数個のカプラーに該複数本のチューブの連結時の円筒
体からカプラーまでの該チューブの長さは異なるが、複
数のチューブの長さは両端部間では同じになるので、こ
れによって複数のチューブの長さを皆同じ長さにするこ
とが出来るし、チューブ内への感光性塗布液を均一に分
布させることが出来る。

本発明における該複数本のチューブの端部を該カプラー
に連結した時のチューブは水平に対して４°以上の勾配
を有することが望ましい。同様に該分配部と収集部に設
けた連通管は水平に対して４°以上の勾配を有すること
が望ましい。

該複数本のチューブの長さはチューブの成形上、又脱気
・脱泡装置を構成するモジュールの組み立て及びチュー
ブ内の感光性塗布液の流速等を考慮すると脱気・脱泡に
最適な長さで、多数本が同じ長さであることが望ましい
。

本発明の該チューブは分離膜及び補強材からなる複合チ
ューブであることが、該チューブの耐圧性、脱泡性の点
で好ましい。

本発明は感光性塗布液を塗布する前に、多孔質性高分子
膜チューブにより脱気および脱泡処理を同時に起させる
ことが出来、処理された該塗布液を基材に塗布した場合
、均一な感光膜が得られるという怒光材料の本質的仕様
を満すのみならず複数本の該チューブを用いた時上記の
如く分配部と収集部の位置、及びそれらとチューブとの
連結の仕方にＪ−り各チューブ内の流動を均一にし、大
量の処理を効率よく可能とし、さらに切換洗浄時におい
ては、スムーズな排出を可能とする。

また量産される一定の長さの該チューブを用いることに
より脱気・脱泡装置を極めて効率よく製作することを可
能とする他に、チューブの交換に脱気・脱泡装置を節単
に分解し、チューブを有する円筒体のとりはすしを容易
にし、脱気・脱泡装置の製作及び保全の労力１時間、費
用のコストを低減させた装置にすることが出来る。

−Ｃに従来の多孔質性高分子膜チューブによる脱気・脱
泡装置Ａは第４図に示すようなフローシートとなってお
り、脱気・脱泡すべき液体を通ず多孔質性高分子膜チュ
ーブ１が内蔵された減圧室２と、この真空度を圧力セン
サー３によって検出して制御回路４によって作動あるい
は停止させる真空ポンプ５と、脱気・脱泡ずべき液体の
送液系とによって構成されている。上記脱気・脱泡装置
Ａによって液体６に溶存する気体および微細気泡を除去
する場合には、減圧室２の圧力を所定の範囲の減圧状態
に保持しながら、バルブ８を調節することにより液体６
をポンプ７を用い加圧しながらチューブ内を所定の速度
で通過させることが出来る。

液体中に溶存する気体を脱気する時、脱気される量の程
度を表す言葉として「脱気度」を定義し、脱気される溶
存気体が多い時は脱気度が高いと呼び、少ない時は脱気
度が低いと呼ぶことにする。

脱気度に影言を及ぼす要因のうちチューブについて言え
ば、内径はより小ざく、肉厚はより薄く、液体との接触
面積はより大きい方が、更にチューブ自体の被脱気気体
に対する溶解度係数及び拡散係数は大きい方が脱気され
やすい。

一方、減圧室内の真空度は高いほど脱気されやすいが、
一般にｙｉ過に対する圧力の要因としては、チューブ内
外の圧力差であるため、真空度を極端に高くしてもあま
り意味がない。

チューブの４４？ｒ、内径、肉厚を同じにした場合、脱
気度は減圧室内の真空度で決定される。しかしながらチ
ューブは長いはど脱気度は高くなるが、逆に脱気すべき
液体のチューブ内での圧力損失が大きくなるので、この
圧力損失を充分考慮にいれなければならない。次に脱気
すべき液体について言えば液体の流星は少ないはど脱気
されやすい。

これは液体のチューブ内での滞留時間が長いほど脱気さ
れやすいことから理解出来る。又滞留時間が同しであれ
ば、チューブ内を流れる流速が大きいほど脱気されやす
い。さらに液体の粘度は低い方が脱気されやすい、これ
はチューブ壁での境膜層の厚みが薄くなることや拡散係
数が大きくなることから理解出来る。

一方該液体中に存在する微細気泡はその大きさにもよる
が、チューブの中を通過する間に除去される。

脱泡の程度はチューブの材質、肉厚および内径。

減圧室の真空度、液体の流量２粘度が決まれば脱泡すべ
き液体中に存在する微細気泡がチューブの内壁にいかに
接近するかに影古される。

以上チューブの中に液体を通す場合について述べたが、
感光性塗布液の場合、その粘度が高かつたり、チューブ
のあとに続く流路での圧力損失が大きくなったりする時
にはチューブには過度の圧力が加わりチューブの耐圧力
を超え、破裂することがあり、該塗布液の処理が不可能
になることがある。

従って、感光性塗布液を処理する時、チューブのあとに
続く流路の圧力損失を小さくしたり、チューブでの圧力
損失を小さくすることが重要であるが、それが困雑な場
合は、チューブの耐圧力性を高める必要がある。

この手段としてチューブの外側に補強材を設ける方法が
あるが、この時チユーブの処理能力を出来るだけ１１な
わない＋７４造にする必要がある。

上記の観点よりチューブの外側に設ける補強材は一般的
には多孔質性の構造が好ましく、その素材としては高置
７−月料が好ましい。

補強月をチューブの外側に設けた脱気・脱泡用複合チュ
ーブの耐圧性はほとんど該補強材に依存する０本発明に
おいてはチューブとしてこの複合チューブを用いること
が好ましい。

このようにした複合チューブは複数のチューブを接触さ
せても、外側に設けた補強材が接触するのみで、脱気・
脱泡を実質的に行なう内側のチューブの外表面積を減少
させることはないので、脱気・脱泡効率を低下させるこ
とはない。

なお脱気処理および脱泡処理が同時におこなわれている
チューブの内側の感光性塗布液を加圧することは、流入
気泡が脱気をされている該感光性塗布液に溶解され、脱
泡処理されるという効果をも生み、脱泡能力もあげるこ
とができ、その加圧程度は０．５ｋｇ／ｃ＋ａゲージ圧
以上が好ましい。

本発明において該補強材の材質は有１ａ　？８剤系の感
光性塗布液の処理および該補強材の成形等を考慮すると
ポリ四フッ化ポリエチレン樹脂が最も好ましい。

本発明において複合チューブの外側を減圧する方法はい
かなる方法でもよく、感光性塗布液の場合の圧力は通常
３００　Ｔｏｒｒ〜ｌ　Ｔｏｒｒが好ましい。

このようにして、脱気・脱泡能力を有していても耐圧力
性に劣るチューブは、その外側に脱気・脱泡能力をＩＦ
なわない構造の補強材を設けることにより、耐圧力性を
高めることが出来、チューブに加わる圧力が高くなって
もその脱気・脱泡能力の維持が可能となるのみならず、
感光性塗布液中の微細気泡を脱気された該塗布液中へ溶
解消滅させることが出来るという効果も生み出すし脱気
・脱泡能力を増大させることが出来るばかりでなく、複
合チューブを互いに接触させても脱気・脱泡効率を低下
させることがないので、大量の感光性塗布液の処理のた
めに複数本のチューブを用いてモジュールを形成した場
合には、コンパクトな装置にすることが出来る。

この時該チューブは、その長さが一定であると共に分離
膜及び補強材からなる複合チューブであることが望まし
い。

このようにして、大量の感光性塗布液の処理を可能とし
たモジュール化された脱気・脱泡装置を製作する場合、
コンパクトでしかも脱気・脱泡効率の低下を防止すると
共に切換洗浄時においてもスムーズな排出が可能となり
、労力１時間、費用等の大１１１な低減が可能となるば
かりでなく、一定の長さの該チューブを用いて、該円筒
体に螺旋状に巻き、分配部及び収集部に連結が該円筒体
の周囲で極めて容易に出来、しかも、分配部及び収集部
を有する該円筒体の特に長さ方向の小形化、軽量化、シ
ンプル化が出来ると共に該円筒体は減圧室より容易にと
りはずしが出来るので、該チューブの供給、交換等を含
む製作のための労力２時間。

費用等の大中な低減が可能となる装置にすることが出来
る。

（実　施　例〕 次に本発明の１実施例について第１図に示す脱気・脱泡
装置にもとづいて説明する、但し本発明は本実施例のみ
に限定されるものではない。

第１図に示す脱気・脱泡装置９はガイド１０及び多数の
孔１１を有する円筒体１２のまわりに一断面部に示すよ
うに垂直方向に平面的に接触し、多段に設けた多孔質性
高分子膜チューブからなる複数本の複合チューブ１３が
立ち上がり勾配を有し、第１図に示すように螺旋状に巻
きつけられたモジュール１４．ハウジング１５．減圧室
ｌＧ。

塗布液人口１７ａ、出口　１７ｂ、分配部１Ｂ。

収集部ｔ９．ＩＪｔ：気管２０．真空ポンプ２１．圧力
センサー２２．および制御回路２３で構成され、モジュ
ール１４は減圧室１６の中に収納されている。

該多数本のチューブ１３は、塗布液人口１７ａ。

出口１７　ｂにそれぞれ連なる分配部１８及び収集部１
９の同心円上に設けられた多数個のカプラー２４．２／
ｌ、２４・・・・に連結しており該円筒体１２の両端部
において、該円筒体１２やガ・イド１０に設けられた複
数の治具（図示せず）にＪっで固定されている。

塗布液人口１゛７ａに連なり、該円筒体１２の下端部の
中心に設けられた分配部１８のカプラー２４．２４・・
・に連結された複数本の該チューブ！３は、該円筒体Ｉ
２の下端部において、該円筒体やガイドに設けられた複
数の治具（同様に図示せず）によって固定され、該円筒
体１２に設けられたガイドｌＯに螺旋状に多段に巻きつ
けられ、該円筒体１２の上端部に設けられた収集部１９
のカプラー２４．２４．　　・・・に導かれる。

垂直方向に平面的に接触した複数本の該チューブ１３は
、該円筒体１２の端部において分配部又は収集部のカプ
ラー２４．２４・・・に連結されるごとによって分配部
と収集部とでは互いに逆方向になることにより、該チュ
ーブの長さを一定にすることが出来る。さらに両端にお
いて垂直方向に平面的に接触した複数本の該チューブ１
３はカプラーに連結される時の立ち上がり又は立ち下が
りが始まる位置を変えることにより、多段に巻かれた該
チューブ１３の長さもほぼ一定にすることが出来る。従
って複数本の該チューブ１３のながさをほぼ一定にする
ことにより塗布液人口１７ａから供給された塗布液２５
ａは、複数本の該チューブ１３に分配されそれぞれのチ
ューブを通り、収集部１９にほぼ同時に到達し、塗布液
出口１７ｂへと流出する。

ざらに、塗布液の分配部１８及び収集部Ｉ９の詳細を収
集部１９を例にとり第２図に示し説明す複数本の該チュ
ーブ１３の中に供給された感光性塗布液は収集部１９の
同心円上に設りられた多数のカプラー２４．２４・・・
を経て、収集部夏９の中心に向う連通管２Ｇ、２６．２
６を通り収集部１９の中心で合一し、塗布液出口１７ｂ
に至る。

尚連通管の先端にはカプラーを取り付けるためのネジ込
み口２７，２７．２７が設けられており、連通管の勾配
は水平に対して４°以上となっている。

次に塗布液の分配部１８および収集部Ｉ９を円筒体１２
及びハウジング１５に固定する方法及び該円筒体１２を
ハウジングからとりはずしたり、とりはずした該円筒体
１２から該チューブ１３を交換したりするだめの構造に
ついて、そのｌ実施例として上端部を例にとり、第２図
に示し説明する。

第２図［有］）は塗布液の収集部１９から塗布液出口１
７ｂに連なる管が円筒体１２及びハウジングｌ５の盲板
２９に固定された状態を示すが第２図（ａ）は盲板２９
を取りはずした状態を上方からみた状態である。

収集部１９は、円筒体１２の端面に設けられたブラケッ
ト２８に、ボルト３３ａで固定される。

さらに中心に貫通孔３０ｂを有するハウジング１５の盲
板２９に収集部１９の塗布液出口１７ｂの管を通し、上
方よりセットし次いでＯ−リング３１を有するシール部
材３２をセットし、ボルト３３ｂで盲板２９に固定する
。最後に盲板２９をハウジング１５に固定する。

該チューブを有する該円筒体１２をハウジング１５から
とりはずす時は上述のシール部材３２をとりはずし次い
でに盲板２９をとりはずせば、７％ウジング１５の上方
に引き抜ける。

この時下部の分配部１８についても同様である。

次に収集部１９を該円筒体１２からとりはずす時は該円
筒体１２に設けられたブラケット２８と該収集部１９を
固定しているボルト３３ａをとりはずせばよい。

上記に示した脱気・脱泡袋ｒｆ１．９において感光性塗
布液２５ａは塗布液人口１７ａより０．５ｋｇ／ｄゲー
ジ圧以上に加圧して供給されるが減圧室１６は真空ポン
プ２１により排気管２０を通りｕ１気され圧力センサー
２２および制御回路２３により所望の真空度に保たれる
１分配部１８へ導かれた塗布ｔ＆２５ａは分配部１８の
中心より放射状に配置され同心円上に設けられた複数の
カプラー及びチューブに分布され、円筒体１２のガイド
に沿って螺旋状に巻かれた内径６ｆｆｉ１１程度の複数
本の該チューブの中を通過する間に該塗布液２５ａの中
の溶存空気は脱気され、収集部１９に集り塗布液出口１
７ｂへと到達し、脱気された塗布液２５ｂとなる。モジ
ュール１４の中を通過する間に除去された溶存空気は減
圧室１６の真空度を低下させるが、この時圧力センサー
２２が真空度を検出して、制御回路２３により真空ポン
プ２１を作動させ、減圧室１Ｇを所望の真空度に保つよ
うにする。

なおモジエール１４を形成する多孔質性高分子膜複合チ
ューブ１３は、第３図に示すように、分離用チューブ３
４はその材質がポリ四フッ化エチレン樹脂であり、内径
６ｍｍ、肉厚は０．２５ａｍのものが用いられているが
、耐圧力性を向上させると共に該チューブの接触による
脱泡能力の低下を防止するため、このチューブの外側に
同じくポリ四フッ化エチレン樹脂製の補強材３５を設け
、複合形とし”ζいる。

補強材３５を分離用チューブ３４の外側に設けた脱気・
脱泡用複合チューブ１３の耐圧性は殆ど補強材３５の強
度に依存するが、該補強材３５のみかＬＪの肉厚は０．
２〜２閤、好ましくは０．３〜ｌ　、５　＋ｎ＋ｎ、空
孔率は３〜４０％、好ましくは５〜３０％、平均孔径は
０．５〜２０μｍ、好ましくは１〜１０μｍが望ましい
、　なお、分離用チューブ３４と補強材３５を一体化し
た複合チューブを用いても多孔質性高分子膜複合チュー
ブ１３の範囲に含まれることは言うまでもない。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明は、調製した感光性塗布液を塗
布装置により基材に塗布する前に溶存空気及び微細気泡
を含む該感光性塗布液を減圧室内に収納した多孔質性高
分子膜チューブの内側に通し、該チューブの外側を減圧
すると共に、該感光性塗布液に加圧しながら、該感光性
塗布液中の溶存空気及び微細気泡を同時に除去する感光
性塗布液の脱気・脱泡装置において、複数本の多孔質性
高分子＋１９チユーブを円筒体の周囲に螺旋状に巻き、
該複数本のチューブの両端に設ける該感光性塗布液の分
配部と収集部の形状を円盤状とし、該分配部と収集部と
を該円筒体の端部の中心軸線上で該円筒体に直接固定し
、該分配部及び収集部には該複数本のチューブと連結す
る複数個のカプラーを分配部及び収集部の同心円上に設
りると共に該円筒体の直径を該分配部及び収集部の直径
よりｌθ〜５０ミリメートル大きくしたことにより、脱
気・脱泡装置のシンプル化、小型化、軽量化が出来、チ
ューブのクルジの発生防止、折れ防止、及びモジュール
の組立や交換におけるチューブの連結が容易に行うこと
が出来た。又該分配部及び収集部には、それぞれ複数個
のカプラーにつらなる複数本の連通管を放射状に設け、
該分配部及び収集部の中心部において該連通管が合一し
たものを用いたことにより脱気・脱泡効率の良い脱気・
脱泡装置を提供することが出来た。よって該感光性塗布
液の処理を多くし、しかも複数の該チューブが接触して
も能力の低下を起こざす、該塗布液の排出においては、
はとんど滞留な（排出可能となりさらに別の液に切換え
する時には極めて短い時間での洗ン’（＋が可能となる
ので時間、労力及び費用笠の低減となり得率の向上、生
産性の向上に寄与するばかりでなく、脱気・脱泡装置の
製作においては、量産されるほぼ一定長さの該チューブ
を用いることにより、該チューブの供給、交換等を含む
製作のための労力１時間等の大巾な低減が可能となると
共に、ハウジング、盲板９円筒体等はそのまま使え、該
チューブの費用のみで、新規に製作する場合と比較する
と製作コストを大巾に低減出来るので極めて経済的な装
置にすることが出来るという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の脱気・脱泡装置の１実施例の概略説明
の側面断面図、第２図は本発明の脱気・脱泡装置におけ
る円筒体の端面部材の上面図（・Ｉ）及び上部構造の概
略説明の断面図ら）、第３図は第１図において円筒体に
巻かれている該チューブを説明するための該チューブの
断面図、第４図は多孔質性高分子Ｓからなるチ１−ブを
用いた脱気・脱泡袋ｒの一般的な概略説明図である。 ９・・・脱気・脱泡装置 １２・・・円筒体 １３・・・多孔質性高分子膜複合チューブ１４・・・モ
ジュール　１５・・・ハウジング１６・・・減圧室　　
　１８・・・分配部１９・・・収集部　　　２４・・・
カプラー２６・・・連通管　　　２８・・・ブラケット
２９・・・盲板 ３０ａ、　　３ｏｂ・−−１ｆ通孔 ３２・・・シール部材 ３３ａ、３３ｂ−・−ボルト ３４・・・分離用チューブ ３５・・・補強材 第　　２　　図 （ａ） （ｂ）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）調製した感光性塗布液を塗布装置により基材に塗
   布する前に、溶存空気及び微細気泡を含む該感光性塗布
   液を減圧室内に収納した多孔質性高分子膜チューブの内
   側に通し、該チューブ外側を減圧すると共に、該感光性
   塗布液に加圧しながら該感光性塗布液中の溶存空気及び
   微細気泡を同時に除去する感光性塗布液の脱気・脱泡装
   置であって、複数本の多孔質性高分子膜チューブを円筒
   体の周囲に並列に螺旋状に巻き、該複数本のチューブの
   両端に設ける該感光性塗布液の分配部と収集部とを該円
   筒体の端部に固定し、該複数本のチューブの端部を該分
   配部と収集部とに連結する脱気・脱泡装置において、該
   分配部と収集部の形状を円盤状とし該分配部と収集部と
   を該円筒体の端部の中心軸線上で該円筒体に直接固定し
   、該分配部及び収集部には該複数本のチューブと連結す
   る複数個のカプラーを分配部及び収集部の同心円上に設
   けると共に該円筒体の直径を該分配部及び収集部の直径
   より１０〜５０ミリメートル大きくしたことを特徴とす
   る脱気・脱泡装置。
2. （２）該分配部及び収集部には、それぞれ複数個のカプ
   ラーに連なる複数本の連通管を放射状に設け、該分配部
   及び収集部の中心部において該連通管が合一したものを
   用いることを特徴とする請求項（１）記載の脱気・脱泡
   装置。