JPH025022U - - Google Patents

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JPH025022U
JPH025022U JP8309688U JP8309688U JPH025022U JP H025022 U JPH025022 U JP H025022U JP 8309688 U JP8309688 U JP 8309688U JP 8309688 U JP8309688 U JP 8309688U JP H025022 U JPH025022 U JP H025022U
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mask
light
displacement
sent
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の第１実施例を示す全体概略構
成線図、第２図及び第３図はそれぞれパターンの
重畳状態を示す正面図、第４図は本考案第２実施
例の全体概略構成線図、第５図及び第６図はそれ
ぞれ検出信号の状態を示す説明線図、第７図は本
考案第３実施例の全体概略構成線図、第８図は本
考案第４実施例の全体概略構成線図、第９図は本
考案第５実施例の全体概略構成線図、第１０図は
本考案第６実施例の全体概略線図、第１１図は第
１従来例の測定装置を示す全体概略構成線図、第
１２図はその第２従来例を示す全体概略構成線図
である。 １……パターン板、２……光部、３……遮部、
４……光源、５……光フアイバ、６……光電変換
部、７……演算処理部、１２……マスク体、１３
……マスク光部、１４……マスク遮部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 明部検出用光部及び暗部検出用遮部を有するパ
    ターン板と、これに対応する明部検出用マスク光
    部及び暗部検出用マスク遮部を有するマスク体と
    を、測定対象の変位に対応して相対的に位置変位
    を生ずるように配置し、 前記マスク体における複数の前記マスク光部と
    これに対応する前記光部との重畳状態で得られる
    検出光を、光フアイバで捉え光電変換部に送り、
    電気信号に変えて演算処理部に送つて処理し、そ
    の変位測定値を検出するようにしたことを特徴と
    する光学式変位測定装置。
JP8309688U 1988-06-23 1988-06-23 Pending JPH025022U (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004053605A (ja) * 2002-07-16 2004-02-19 Mitsutoyo Corp 光ファイバ受信器チャネルを使用した回折格子エンコーダ及び変位測定装置
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