JPS5810055U - 半導体ペレツト外観検査装置 - Google Patents
半導体ペレツト外観検査装置Info
- Publication number
- JPS5810055U JPS5810055U JP10315081U JP10315081U JPS5810055U JP S5810055 U JPS5810055 U JP S5810055U JP 10315081 U JP10315081 U JP 10315081U JP 10315081 U JP10315081 U JP 10315081U JP S5810055 U JPS5810055 U JP S5810055U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor pellet
- appearance inspection
- inspection equipment
- electrical signal
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
′ 第1図及び第2図は半導体ペレットの一例を示
す平面図及び正面図、第3図は本考案の実施例を示側鵬
側面図、第4図は第3図の補色フィルタパターン及びそ
の前後の光パター ンを説明するパターン図、第5図及び第6図は第3図装
置によるペレット外観不良の検出動作を説明する各不良
例におけるペレット表面と検出画像の関係図である。
す平面図及び正面図、第3図は本考案の実施例を示側鵬
側面図、第4図は第3図の補色フィルタパターン及びそ
の前後の光パター ンを説明するパターン図、第5図及び第6図は第3図装
置によるペレット外観不良の検出動作を説明する各不良
例におけるペレット表面と検出画像の関係図である。
Claims (1)
- 半導体ペレット表面を照明する光源と、半導体ペレット
表面の正常な色パターンと補色の色パターンを有する補
色フィルターと、前記光源の光で照明された半導体ペレ
ット表面の反射光で前記補色フィルターを透過した光を
電気信号に変換して画像処理部に出力する光検出素子と
を具備したことを特徴とする半導体ペレット外観検査装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10315081U JPS5810055U (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 半導体ペレツト外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10315081U JPS5810055U (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 半導体ペレツト外観検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5810055U true JPS5810055U (ja) | 1983-01-22 |
Family
ID=29897774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10315081U Pending JPS5810055U (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 半導体ペレツト外観検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5810055U (ja) |
-
1981
- 1981-07-10 JP JP10315081U patent/JPS5810055U/ja active Pending
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