JPH0249458A - Lsiの冷却水供給装置 - Google Patents

Lsiの冷却水供給装置

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JPH0249458A
JPH0249458A JP63200618A JP20061888A JPH0249458A JP H0249458 A JPH0249458 A JP H0249458A JP 63200618 A JP63200618 A JP 63200618A JP 20061888 A JP20061888 A JP 20061888A JP H0249458 A JPH0249458 A JP H0249458A
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Kenji Takahashi
研二 高橋
Takuji Torii
鳥居 卓爾
Kensaku Kokuni
研作 小国
Tetsuharu Yamashita
山下 徹治
Kyoshiro Murakami
村上 恭志郎
Shizuo Zushi
頭士 鎮夫
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、LSIの冷却水供給装置に関する。
〔従来の技術〕
高熱負荷で発熱するLSIを冷却するため、冷却水供給
装置が通常用いられている。
この種の冷却水供給装置は圧縮機、凝縮器、および膨張
弁等が組み込まれたものであり、フロン等の冷媒を介し
たいわゆる冷凍サイクルを利用したものである。
そして、この冷却水供給装置は、主としてコンピユータ
室に配置されていることから、オペレータ等に加熱空気
流が直接触れないようにとの配慮から、凝縮器は冷却水
供給装置の上部に設けられ、これにより、天井方向へ前
記加熱空気流を導びくようにしたものである。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、近年、LSIの数の急増に伴って、また、万一
冷却水供給装置の故障に対するバックアップの対応のた
めに、該冷却水供給装置を複数台にして駆動させる必要
が生じてきた。
このため、コンピユータ室における該冷却水供給装置の
占有面積が大きくなり、これに対する対策がせまられて
いる。
それ故、本発明はこのような事情に鑑みてなされたもの
であり、複数台の装置を用いる必要性がある場合にて、
室内における該装置の占有面積を大きくすることのない
LSIの冷却水供給装置を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
このような課題を達成するために、本発明は基本的には
、圧縮機、蒸発器、および凝縮器を備えるLSIの冷却
水供給装置において、該装置を積み重ねて配置して使用
するとともに、各装置には少なくとも側面に前記凝縮器
が配置されて構成されていることを特徴とするものであ
る。
〔作用〕
このように構成すれば、各冷却水供給装置は従来と比べ
て凝縮器が側面に取付けられた構成となっているため、
上下方向に積み重ねることができ、これにより室内にお
ける該装置の占有面積を大きくすることなく、複数個の
装置を配慮することができる。
また、オペレータ等に加熱空気流が直接触れないように
するためには、例えばダクト状流路を他の積み重ねた冷
却水供給装置との対向空間等により形成することによっ
て、容易に達成することができる。
以下、本発明によるLSIの冷却水供給装置の実施例を
説明する。
まず、第1図(a)(b)において、床7面に4個の冷
却水供給装置が配置されており、このうち2個ずつが上
下に積み重ねられ、積み重ねられたそれぞれの冷却水供
給装置は互いに対向して配置されている。積み重ねられ
た冷却水供給装置のうち下段に配置されたものにおける
床7面には孔7aが設けられており、この孔7aを通じ
て大気が流入されるようになっている。該大気は冷却水
供給装置内のブロワ5の即動によって流入されるように
なっている。該ブロワ゛5は、積み重ねられた冷却水供
給装置の各対向によって形成される空間部(ダクト状流
路6を形成している)側に配置されており、このブロワ
5を介して流出される大気は、やはり前記空間部側に配
置された空気凝縮器2を介して、前記ダクト状流路6へ
導びかれるようになっている。なお、各冷却水供給装置
には、他に主として蒸発器3、圧縮機4等が組み込まれ
てなっている。
次に、第1図における冷水システムを示す実施例を第2
図に示す。同図は、蒸発器3に配管された冷却水配管8
内の冷水が、ポンプ9により駆動され、LSI流路10
においてLSIIIから発生した熱を吸熱して、該LS
IIIを冷却するようになっている。同図において矢印
の向きは冷却水の流れ方向を示しており、冷凍サイクル
は、空気凝縮器2、蒸発器3、圧縮機4、および電子信
号により開度が制御される膨張弁1・2により構成され
ており、このうち前記圧縮機4はインバータ22により
容量制御されるようになっている。
このようにして構成した実施例では、各冷却水供給装置
は、その側面に空気凝縮器を配置させた構成を採用して
いるため、積み重ねて配置することが可能となり、これ
により該冷却水供給装置の占有スペースを小さくするこ
とができるようになる。
なお、上述した実施例では、各冷却水供給装置が全て運
転される場合を示している。しかし、該冷却水供給装置
が大型コンピュータの冷却に用いられる場合には、該コ
ンピュータが短時間で停止する事態が生じた場合、重大
な影響を与えることがある。したがって、このような場
合のバックアップとして1台は予備とし、残りの3台で
冷却を行うのが好適である。
すなわち、第1図に示される4台の冷却水供給装置のう
ち1台がバックアップ機として作動している場合におい
て、冷却すべきLSIの全発熱量が仮りに28KWあり
、この熱量と冷水ポンプにより発熱する熱量1例えば2
KWの和の30KWを冷却する必要があるとする。この
とき通常は3台の冷却水供給装置が各々l0KWずつ冷
却し、全部で前記の30KWを冷却する。この時、バッ
クアップ機の冷却容量もl0KWクラスのものを用いて
いるが1通常は作動していない、但し仮りに作動してい
る冷却水供給装置のうち1台が何らかの原因でストップ
すると、バックアップ機がすみやかに作動し、コンピュ
ータ冷水システム全体がストップしないようになってい
る。
第3図では、バックアップの冷却水供給装置が作動する
場合と、しない場合の検出方法から始まる制御系の流れ
図を示した。第4図は、これらの過程を実現するマイコ
ンの流れ図を示す、ステップ50で示される冷却水供給
装置の異常検出過程では、冷却水供給装置の圧縮機吸込
圧(P s)、圧縮機吐出圧力(Pd)、吐出ガス温度
(Td)、圧縮機供給過電流を過電流サーマルスイッチ
により異常の有無をチエツクする。もしもこれらについ
て異常がなければ、ステップ51で水温を温度センサ1
9にて検出して、ステップ52で圧縮機を駆動するイン
バータの周波数を変更する。すなわち、LSIの冷却水
の水温があらかじめ定められた設定温度よりも高ければ
インバータの周波数を上げて冷却量を増やし、逆に設定
温度よりも低ければインバータの周波数を下げる。ステ
ップ52で変更するインバータの周波数(Δ七)は各種
の重みが付けられるが、ここでは次のPI制御の方法を
示す。
ΔHz=KpX t +KiXΔTiXτgここでε:
ΔTi−ΔTo、LSIの冷却水温−設定温度ΔTo:
サンプリング前回のΔTi、τS:サンプリング時間 
Kp、Ki:制御定数  である。
ステップ53では、冷却水供給装置の冷凍サイクルを最
適化するための電子式膨張弁の開度制御を行っている。
開度制御法として、圧縮機吐出温度Td、および凝縮温
度Tcを冷却水供給装置に設置された温度センサにより
検知し、この差を演算し、各周波数によりあらかじめ求
めておいた最適値になるように電子式膨張弁の開度を調
節する方法がある。
ステップ54は、ステップ50で何らかの異常が検出さ
れた場合を示していて、異常示した冷却水供給装置(通
常は1台)を停止する。ステップ55では、異常を検出
したものとは別の、異常を検出しない冷却水供給装置の
運転方法を示していて、まずステップ55では水温を検
出する。そしてステップ56でインバータ周波数を修正
し、ステップ57で電子式膨張弁の開度最適値へ変化さ
せる。そしてステップ58へと進み、冷却水供給装置の
異常検出から例えば5分間経過したかを判断し、経過し
たらステップ50へ進み、5分間経過しなければステッ
プ55へ再度進む。ステップ54へ戻り、異常検出した
冷却水供給装置が停止した後、ステップ59では別のバ
ックアップ用冷却水供給装置が作動する。ステップ60
ではバックアップ冷却水供給装置の初期周波数を設定す
る。
通常は最大のインバータ周波数を設定する2ステツプ6
1では、圧縮機の運転開始時に例えば圧縮機吸込圧を高
くするために、電子式膨張弁全開の指示を出す。そして
ステップ58で異常検出してからの経過時間を判断し、
前記したように例えば5分間経過したならば通常の運転
に戻る。
さらに、第4図では、冷却水供給装置のインバータを駆
動するマイコンの流れ図を示していて。
温度センサ19、過電流サーマルスイッチ28、圧縮機
吸込圧(Ps)、圧縮機吐出圧(Pd)、圧縮機吐出温
度(Tc)、凝縮温度(Tc)などを検出して記憶素子
に接続された演算制御器にて信号処理し、インバータ駆
動手段を経てインバータ、あるいは膨張弁駆動手段を経
て膨張弁を駆動する。
また、第5図は、複数個の冷却水供給装置の一台の中で
バックアップをとる方法として、複数個の空冷凝縮器用
のブロワ(送風機)が運転されている一例を示す。複数
台のブロワ5の各々にブロワ回転数カウンタ30が付い
ていて、もし回転数・カウンタにより異常が検出された
とすると、リレースイッチ31が作動して、異常を生じ
たブロワのみ停止するようにしてもよい。この場合、複
数台のブロワが作動しているので、仮りに一台が停止し
ても空冷凝縮器の凝縮圧力が多少高くなるだけで、冷却
水供給装置停止という事態には至らず、バックアップ機
が作動する確率を低減させることができる。
第6図は、他の実施例として蒸発器3、圧縮機4、水冷
凝縮器35などから構成される冷却水供給装置の4台を
積み重ねた例を示す、第6図には示していないが、水冷
凝縮器35からの水配管は屋外の冷却塔へつながり、冷
却水は冷却塔にて冷却される。
第7図は、他の実施例として蒸発器3.圧縮機4、水冷
凝縮器35などから構成される冷却水供給装置において
、圧縮機、蒸発器、水冷凝縮器をそれぞれまとめて配置
したものである。
第8図は、他の実施例を示したもので、圧縮機、蒸発器
、水冷凝縮器などから構成される冷却水供給装置が12
台の笛体に分割して納められ、中央部に空冷凝縮器を冷
却した空気が流れるダクト状流路6がある場合の例を示
した。
第9図は、他の実施例を示すものとして、空冷凝縮器2
を備えた冷却水供給装置の複数台のブロワ5をダクト状
流路6の天井部に設置したものである。
第10図は1本発明の他の実施例を示すもので、空冷凝
縮器2を冷却水供給装置の筐体1の上部にも設けたもの
で、中央部のダクト状流路6を流れる空気流速が、第1
図の場合よりやや少なくなり。
空気流が分散されるので騒音低減効果がある。同様の理
由で最上段の冷却水供給装置は従来品を使用することも
できる。
第11図は、本発明の他の実施例を示すもので、空冷凝
縮器2を冷却するための空気を、冷却水供給装置の筐体
1の側面に設けた空気取入口がら吸入するもので、第1
図で示されるような床下の空気取入用の開口が不要とな
る。
特に第10図の場合には、取入れる空気は各装置に流通
してしまい、流入抵抗によって流れが円滑化せず、ブロ
ワ5の負荷が増大してしまうが、第11図のように構成
することによって、このような弊害を除去することがで
きる。
第12図は、本発明の他の実施例を示すもので、空冷凝
縮器2を通過した空気流をダクト状流路6の中の整流板
45に整流するもので、ダクト状流路6を通過する際の
圧力損失の低減効果とともに、乱れに起因する騒音も低
減される。該整流板45がないとすると、凝縮効率が悪
くなるものであり、この弊害は冷却水供給装置を積み重
ねかつ対向させた場合の特有の現象となることから、上
記第12図に示す構成は有効なものとなる。なお、上記
弊害を除くため、整流板45の他にダクト状流路6の中
心にて相対向する積み重ねられた冷却水供給装置を画す
るように、しきり板を設けてもよい。
第13図は、本発明の他の実施例を示すもので、積み重
ねて設置された冷却水供給装置の空冷凝縮器2を通過し
た温度の比較的高い空気流が、筐体の中央部から見て外
側のダクト状流路を通過するようにしたものである。こ
の場合において、背面同志接触している各冷却水供給装
置を該接触部分にて分離させて配置しても同様の効果が
得られることはいうまでもない。
第14図は1本発明の他の実施例を示すもので、冷却容
量の大きな冷却水供給装置は積み重ねないで単体で設置
され、また冷却容量の小さい冷却水供給装置を積み重ね
て設置したものである。
第15図は、本発明の他の実施例を示すもので、LSI
IIを納めた筐体41の上に冷却水供給装置の筐体1を
2台積み重ねたもので、より大きな設置面積低減効果が
ある。
第16図は、本発明の他の実施例を示すもので、圧縮機
、蒸発器、凝縮器、膨張弁を納めた冷却水供給装置の筐
体1を円形とし、筐体6でLSIの冷却水供給装置を構
成したものである。この場合には、空冷凝縮器を通過し
た空気は、断面が円形の流路6を通過する例を示してい
る。
第17図は、本発明の他の実施例を示すもので、空冷凝
縮器2を建屋外に設置し、冷媒流路32によりコンピュ
ータが設置された室内を空気蒸発器37、およびコンピ
ュータ冷却用の冷媒と水の2台の熱交換器(蒸発器)を
冷媒が通過する。冷却水供給装置の筐体1は、LSIの
入った筐体41に積み重ねである。LSIを冷却する流
体、すなわちLSIの流路を流れる流体は、水あるいは
冷媒の場合がある。冷媒が用いられた時、LSIは沸騰
伝熱で冷却されることになる。
第18図は、本発明の他の実施例を示すもので、冷却塔
39からの冷却水が冷却水流路33を通り。
一部は水冷凝縮器を通り、他は熱交換器38を経て、水
あるいは冷媒と熱交換する0本図において、水冷凝縮器
を有する2台のうち1台はバックアップ機である。冷却
塔39からの冷却水が低温の時はバルブ40を閉じて、
第18図では最上段の筐体の熱交換器38のみで熱交換
を行い、圧縮機4は運転しないで省エネルギ状態で、L
SIIIを冷却することができる0例えば夏季のように
、冷却塔39を通る冷却水が比較的高温になる場合は。
バルブ40を開いて圧縮機を作動されて冷却させる。こ
の時、第18図では最上段の筐体の熱交換器38では高
温のLSIの冷却水を、冷却塔39を通過した冷却水で
予冷する。LSIの冷却水流路10を通る流体は、水あ
るいは冷媒の場合があり、この流体が冷媒の場合はLS
Iの沸騰冷却されることになる。流体として冷媒を用い
るとポンプ9を用いる必要がある時とない時がある。す
なわち沸騰した冷媒ガスが配管中を二相の状態で上昇し
、バブルポンプの作用で電動式のポンプ9が不要になる
ときがある。
第19図は、本発明の他の実施例を示すもので、空冷凝
縮器の一例を示したもので、スリット15の入った空冷
フィン16の間を空気が流れて冷却を行い、冷媒配管1
4内の冷媒が凝縮するものである。
第20図は、本発明の他の実施例を示すもので。
蒸発器として流下液膜式蒸発器65を用いた冷却水供給
装置の例を示す、この場合、流下液膜式蒸発器の伝熱管
66を垂直に設置し、伝熱管の外側に冷媒を液膜状に流
動させ、伝熱管内のLSIの冷却水を冷却しているので
、縦長の熱交換器となり、冷却水供給装置内の流下液膜
式蒸発器の設置スペースを低減させることができる。
〔発明の効果〕
以上説明したことから明らかなように、本発明によるL
SIの冷却水供給装置によれば、複数台の装置を用いる
必要がある場合にて、室内における該装置の占有面積を
大きくすることなく配置することができるようになる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明によるLSIの冷却水供給装置の一実施
例を示す構成図で、(a)は正面図、(b)は上面図、
第2図は本発明によるLSIの冷却水供給装置の冷却系
統図、第3図は、本発明によるLSIの冷却水供給装置
のバックアップ機が作動する状況を示す流れ図、第4図
は1本発明によるLSIの冷却水供給装置のバックアッ
プ機が作動する状況を示すマイコンの流れ図、第5図は
、本発明によるLSIの冷却水供給装置のブロワの制御
回路を示すマイコンの流れ図、第6図は1本発明による
LSIの冷却水供給装置の配置における部分構成図、第
7図は、本発明の他の実施例である冷却装置配置図を示
す構成図、第8図は本発明の他の実施例である冷却供給
装置配置図を示す概念斜視図、第9図は、本発明の他の
実施例である冷却供給装置図を示す断面図、第10図は
、本発明の他の実施例である冷却供給装置を示す断面図
、第11図は1本発明の他の実施例である冷却供給装置
を示す断面図、第12図は、本発明の他の実施例である
冷却供給装置図を示す断面図、第13図は、本発明の他
の実施例である冷却供給装置を示す断面図、第14図は
、本発明の他の実施例である冷却供給装置を示す断面図
、第15図は、本発明の他の実施例である冷却供給装置
を示す斜視図、第16図は1本発明の他の実施例である
冷却供給装置を示す斜視図、第17図は1本発明の他の
実施例である冷却供給装置を示す断面図、第18図は1
本発明の他の実施例である冷却供給装置を示す断面図、
第19図は、本発明で用いられる空冷フィンの一実施例
を示す斜視図、第20図は、本発明の他の実施例を示す
斜視部分構成図である。 1・・・冷却供給装置の筐体、2・・・空冷凝縮器、3
・・・蒸発器、4・・・圧縮機、5・・・ブロワ、6・
・・ダクト、7・・・床、8・・・冷却水配管、9・・
・ポンプ、10・・・LSIの流路、11・・・LSI
、12・・・電子式膨張弁。 14・・・冷媒配管、15・・・スリット、16・・・
空冷フィン、19・・・温度センサ、20・・・インバ
ータ駆動手段、21・・・バックアップ用インバータ駆
動手段。 22・・・インバータ、23・・・バックアップ用イン
バータ、24・・・膨張弁開動手段、25・・・バック
アップ用膨張弁駆動手段、26・・・膨張弁、27・・
・バックアップ用膨張弁、28・・・過電流サーマルス
イッチ、3o・・・回転数カウンタ、31・・・リレー
スイッチ、32・・・冷媒流路、33・・・冷却塔を通
る冷却水流路、35・・・水冷凝縮器、36・・・空気
取入口、37・・・空気蒸発器、38・・・熱交換器、
39・・・冷却塔、40・・・バルブ、41・・・LS
Iの筐体、45・・・整流板、65・・・流下液膜式蒸
発器、66・・・伝熱管。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、圧縮機、蒸発器、および凝縮器を備えるLSIの冷
    却水供給装置において、該装置を積み重ねて配置して使
    用するとともに、各装置には少なくとも側面に前記凝縮
    器が配置されて構成されていることを特徴とするLSI
    の冷却水供給装置。 2、積み重ねられた冷却水供給装置の最上段の冷却水供
    給装置はその上面にも凝縮器が配置されている請求項第
    1記載のLSIの冷却水供給装置。 3、凝縮器が配置されている側にダクト状流路を形成し
    た請求項第1記載のLSIの冷却水供給装置。 4、ダクト状流路は、積み重ねた冷却水供給装置と各凝
    縮器を対向させて配置して構成した請求項第2記載のL
    SIの冷却水供給装置。 5、ダクト状流路は整流用板が備わっている請求項第2
    および第3記載のLSIの冷却水供給装置。 6、冷却水供給装置内のブロワをなくし、ダクト状流路
    内にブロワを設けた請求項第2ないし第4記載のLSI
    の冷却水供給装置。
JP63200618A 1988-08-11 1988-08-11 Lsiの冷却水供給装置 Pending JPH0249458A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1517043A2 (en) * 2003-09-22 2005-03-23 Anest Iwata Corporation Package-type fluidic apparatus
JP2016145557A (ja) * 2015-02-09 2016-08-12 アネスト岩田株式会社 パッケージ型流体機械
CN112449667A (zh) * 2018-09-13 2021-03-05 株式会社日立产机系统 组合型流体机械

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1517043A2 (en) * 2003-09-22 2005-03-23 Anest Iwata Corporation Package-type fluidic apparatus
EP1517043A3 (en) * 2003-09-22 2006-05-03 Anest Iwata Corporation Package-type fluidic apparatus
CN100371594C (zh) * 2003-09-22 2008-02-27 阿耐斯特岩田株式会社 集装式流体设备
JP2016145557A (ja) * 2015-02-09 2016-08-12 アネスト岩田株式会社 パッケージ型流体機械
WO2016129366A1 (ja) * 2015-02-09 2016-08-18 アネスト岩田株式会社 パッケージ型流体機械
CN107208622A (zh) * 2015-02-09 2017-09-26 阿耐思特岩田株式会社 箱式流体机械
EP3258110A4 (en) * 2015-02-09 2018-09-12 Anest Iwata Corporation Package-type fluid machine
CN112449667A (zh) * 2018-09-13 2021-03-05 株式会社日立产机系统 组合型流体机械
EP3851673A4 (en) * 2018-09-13 2022-03-09 Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd. PACKAGED FLOW MACHINE
US11898544B2 (en) 2018-09-13 2024-02-13 Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd. Package type fluid machine

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