JPH0247842A - 張力制御方法および装置 - Google Patents
張力制御方法および装置Info
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- JPH0247842A JPH0247842A JP63197914A JP19791488A JPH0247842A JP H0247842 A JPH0247842 A JP H0247842A JP 63197914 A JP63197914 A JP 63197914A JP 19791488 A JP19791488 A JP 19791488A JP H0247842 A JPH0247842 A JP H0247842A
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
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- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は極細線の張力制御方法および装置に係り、特に
半導体モジュール等の電気装置の配線に際して極細線の
配線状態の精密化・均一化を計るに好適な張力制御方法
および装置に関する。
半導体モジュール等の電気装置の配線に際して極細線の
配線状態の精密化・均一化を計るに好適な張力制御方法
および装置に関する。
従来のこの種の極細線の張力制御方法および装置は１例
えば特開昭５３−８２２６５号公報に記載のように、ス
プールから繰り出される極細線を張力付勢と張力検出の
役割を兼ねたレバーに引掛けたのちガイドを介して繰り
出す構成になっており、レバーの位置を検出してレバー
の位置が一定になるようにスプール即動モータを制御す
ることにより、極細線の張力を一定に制御していた。
えば特開昭５３−８２２６５号公報に記載のように、ス
プールから繰り出される極細線を張力付勢と張力検出の
役割を兼ねたレバーに引掛けたのちガイドを介して繰り
出す構成になっており、レバーの位置を検出してレバー
の位置が一定になるようにスプール即動モータを制御す
ることにより、極細線の張力を一定に制御していた。
上記従来技術は、例えば半導体モジュール基板上の半導
体ウェハ間の配線を行う場合には定められた配線領域内
に複数本の極細線を整然と配置する必要があり、この極
細線の配線状態を精密化・均一化するためには極細線に
張力を付勢しながら配線する手法が有効であるが、しか
し半導体ウェハ間の配線に使用される金線等の極細線が
延び易いため付勢することのできる張力に制限があり、
巻癖等に起因する配線状態の乱れを張力付勢だけでは十
分に抑えることができないため、予め極細線に巻癖等を
除去するための直線化処理を施すことが多いのに対し、
このような巻癖等の除去の点については配慮がなされて
おらず、さらにレバーの引掛は部において新たな曲癖を
極細線に付与している問題があり、また極細線とレバー
やガイドとの間に存在する摩擦抵抗により付勢張力の精
度が劣化する問題があった。
体ウェハ間の配線を行う場合には定められた配線領域内
に複数本の極細線を整然と配置する必要があり、この極
細線の配線状態を精密化・均一化するためには極細線に
張力を付勢しながら配線する手法が有効であるが、しか
し半導体ウェハ間の配線に使用される金線等の極細線が
延び易いため付勢することのできる張力に制限があり、
巻癖等に起因する配線状態の乱れを張力付勢だけでは十
分に抑えることができないため、予め極細線に巻癖等を
除去するための直線化処理を施すことが多いのに対し、
このような巻癖等の除去の点については配慮がなされて
おらず、さらにレバーの引掛は部において新たな曲癖を
極細線に付与している問題があり、また極細線とレバー
やガイドとの間に存在する摩擦抵抗により付勢張力の精
度が劣化する問題があった。
本発明の目的は、上記した問題点を解決して極細線に巻
癖を付与することなく、かつ極細線と装置との摩擦抵抗
もなくして、極細線の精密配線を可能にする高精度な張
力制御方法および装置を提供するにある。
癖を付与することなく、かつ極細線と装置との摩擦抵抗
もなくして、極細線の精密配線を可能にする高精度な張
力制御方法および装置を提供するにある。
上記目的は、直線的な極細線を繰り出し方向と反対方向
にばねを介して牽引することにより、極細線を把持する
以外に他の装置部品に接触させないで張力を付勢する張
力制御方法、および直線的な極細線を掴む把持装置をば
ねを介して牽引装置が極細線の繰り出し方向と反対方向
に牽引することにより張力を付勢する構成とし、把持装
置と牽引装置を継なぐばねの変位が一定になるように牽
引装置の位置を制御する系に、配線動作時に極細線によ
って引っ張られる把持装置の移動速度と牽引装置の移動
速度が一致するように牽引装置の速度を制御する系を組
み合せた制御系を備えた張力制御装置により達成される
。
にばねを介して牽引することにより、極細線を把持する
以外に他の装置部品に接触させないで張力を付勢する張
力制御方法、および直線的な極細線を掴む把持装置をば
ねを介して牽引装置が極細線の繰り出し方向と反対方向
に牽引することにより張力を付勢する構成とし、把持装
置と牽引装置を継なぐばねの変位が一定になるように牽
引装置の位置を制御する系に、配線動作時に極細線によ
って引っ張られる把持装置の移動速度と牽引装置の移動
速度が一致するように牽引装置の速度を制御する系を組
み合せた制御系を備えた張力制御装置により達成される
。
上記の張力制御方法および装置は、直線的な極細線に付
勢される張力が把持装置と牽引装置の間のばねの変位に
比例し、ばねの変位が極細線に適切な張力を付勢する変
位となるように牽引装置によってばねを引っ張り、配線
動作時に極細線によって把持装置が引っ張られる際には
ばねの変位を一定に保つように牽引装置が把持装置の移
動速度と同じ速度で追従することにより、静止時と配線
動作時にかかわらず極細線の付勢張力が一定に制御され
る。
勢される張力が把持装置と牽引装置の間のばねの変位に
比例し、ばねの変位が極細線に適切な張力を付勢する変
位となるように牽引装置によってばねを引っ張り、配線
動作時に極細線によって把持装置が引っ張られる際には
ばねの変位を一定に保つように牽引装置が把持装置の移
動速度と同じ速度で追従することにより、静止時と配線
動作時にかかわらず極細線の付勢張力が一定に制御され
る。
以下に本発明の一実施例を第１図ないし第４図により説
明する。
明する。
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明による張力制御方法およ
び装置の一実施例を示す配線装置における張力制御装置
の斜視図、その側面図である。第１図（ａ）、（ｂ）に
おいて、１は極細線、２は把持装置、３はばね、４は牽
引装置、５はモータ。
び装置の一実施例を示す配線装置における張力制御装置
の斜視図、その側面図である。第１図（ａ）、（ｂ）に
おいて、１は極細線、２は把持装置、３はばね、４は牽
引装置、５はモータ。
６は走行レール、７は半導体モジュール基板、８は端子
、９はθ軸回転テーブル、１０はＸ軸並進テーブル、１
１はＹ軸並進テーブルである。
、９はθ軸回転テーブル、１０はＸ軸並進テーブル、１
１はＹ軸並進テーブルである。
この配線装置における張力制御装置は、直線的な極細線
１を掴む把持装置２と、極細線１の繰り出し方向と反対
方向にばね３を介して把持装置２を引っ張る牽引装置４
とから構成される装置４はモータ５を内蔵し，走行レー
ル６の案内に従い移動できる。予め巻癖・曲癖等を取る
ために直線化処理により矯正された極細線１が配線長に
合ねせて定尺供給される。この直線的な極細！ｌＡ１の
一端はボンディング等の処理によって半導体モジュール
基板７の端子８に接続され、他端は把持装置２によって
掴まれていて、極細線１を把持装置２で把持する以外に
他の装置部品に接触させないで，極細線１の繰り出し方
向と反対方向に牽引装置４で牽引することによって張力
を付勢する。半導体モジュール基板１は配線装置のθ軸
回転テーブル９とＸ軸並進テーブル１０とＹ軸並進テー
ブル１１から成るＸＹθテーブルの上に置かれ、配線動
作時にはこのＸＹθテーブルの動作によって極細線１を
引き込んで半導体モジュール基゛板７上のビン等に絡げ
ることにより配線を行う。
１を掴む把持装置２と、極細線１の繰り出し方向と反対
方向にばね３を介して把持装置２を引っ張る牽引装置４
とから構成される装置４はモータ５を内蔵し，走行レー
ル６の案内に従い移動できる。予め巻癖・曲癖等を取る
ために直線化処理により矯正された極細線１が配線長に
合ねせて定尺供給される。この直線的な極細！ｌＡ１の
一端はボンディング等の処理によって半導体モジュール
基板７の端子８に接続され、他端は把持装置２によって
掴まれていて、極細線１を把持装置２で把持する以外に
他の装置部品に接触させないで，極細線１の繰り出し方
向と反対方向に牽引装置４で牽引することによって張力
を付勢する。半導体モジュール基板１は配線装置のθ軸
回転テーブル９とＸ軸並進テーブル１０とＹ軸並進テー
ブル１１から成るＸＹθテーブルの上に置かれ、配線動
作時にはこのＸＹθテーブルの動作によって極細線１を
引き込んで半導体モジュール基゛板７上のビン等に絡げ
ることにより配線を行う。
第２図は第１図（ａ）、（ｂ）の張力制御装置の詳細を
示す斜視図である。第２図において、各図面を通じて同
一符号は相当部分を示すものとし、１２は把持装置２の
可動腕、１３は同じく固定腕である。この張力制御装置
の把持装置２は可動腕１２と固定腕１３の間に極細線１
を挾み、空圧によって可動腕１２を固定腕１３に押し付
けることにより極細線１を掴む。把持装置２は牽引装置
４に板ばね３を介して取り付けられており、前後から取
り付けた２つの板ばね３によってリンク機構を構成して
いる。この板ばね３の復元力により極細線１に張力を付
勢する。牽引装置４は内蔵するモータＳにより、極細線
１の引き出し方向と同方向に延びた走行レール６の案内
に従って移動することができ、牽引装置４の位置をモー
タ５によって制御することにより板ばね３の変位が定め
られた張力を発生するのに適切な変位となるように調整
する。また配線動作時に極細線１によって把持装置２が
引っ張られる際には、把持装置２の移動速度と同じ移動
速度で牽引装置４を走行させ且つ板ばね３の変位を適切
な変位となるように制御することにより、一定張力を極
細線１に付勢する。
示す斜視図である。第２図において、各図面を通じて同
一符号は相当部分を示すものとし、１２は把持装置２の
可動腕、１３は同じく固定腕である。この張力制御装置
の把持装置２は可動腕１２と固定腕１３の間に極細線１
を挾み、空圧によって可動腕１２を固定腕１３に押し付
けることにより極細線１を掴む。把持装置２は牽引装置
４に板ばね３を介して取り付けられており、前後から取
り付けた２つの板ばね３によってリンク機構を構成して
いる。この板ばね３の復元力により極細線１に張力を付
勢する。牽引装置４は内蔵するモータＳにより、極細線
１の引き出し方向と同方向に延びた走行レール６の案内
に従って移動することができ、牽引装置４の位置をモー
タ５によって制御することにより板ばね３の変位が定め
られた張力を発生するのに適切な変位となるように調整
する。また配線動作時に極細線１によって把持装置２が
引っ張られる際には、把持装置２の移動速度と同じ移動
速度で牽引装置４を走行させ且つ板ばね３の変位を適切
な変位となるように制御することにより、一定張力を極
細線１に付勢する。
第３図は第１図（ａ）、（ｂ）の張力制御装置の牽引装
置４の内蔵するモータ５の制御系を示すブロック線図で
ある。第３図において、１４はギャップセンサ、１５は
ばね変位、１６はばね変位指令値、１７はばね変位偏差
、１８ばばね変位制御器、１９は操作量、２０は把持装
置移動速度、２１は牽引装置速度指令値、２２はモータ
回転速度センサ、２３は牽引装置速度、２４は牽引装置
速度偏差、２５は牽引装置速度制御器、２６は電圧指令
値、２７は把持装置移動速度推定器である。
置４の内蔵するモータ５の制御系を示すブロック線図で
ある。第３図において、１４はギャップセンサ、１５は
ばね変位、１６はばね変位指令値、１７はばね変位偏差
、１８ばばね変位制御器、１９は操作量、２０は把持装
置移動速度、２１は牽引装置速度指令値、２２はモータ
回転速度センサ、２３は牽引装置速度、２４は牽引装置
速度偏差、２５は牽引装置速度制御器、２６は電圧指令
値、２７は把持装置移動速度推定器である。
この制御系において、第２図の把持装置２と牽引装置４
の間隙をギャップセンサ１４で測ることによりばね変位
１５を検出し、ばね変位指令値１６とばね変位１５の差
であるばね変位偏差１７をばね変位制御器１８に入力す
る。ばね変位制御器１８はばね変位偏差１７を零にする
ための操作量１９を計算し、牽引装置４の走行速度を把
持装置２の移動速度に敏速に一致させるための把持装置
移動速度２０を操作量１９に加算した値を牽引装置速度
指令値２１とする。さらにモータ回転速度センサ２２に
より牽引装置速度２３を検出し、牽引装置速度指令値２
１と牽引装置速度２３の差である牽引装置速度偏差２４
を牽引装置速度制御器２５に入力する。牽引装置速度制
御器２５は牽引装置速度偏差２４を零にするための電圧
指令値２６を計算してモータ５を即動する。上記の把持
装置移動速度２０はモータ回転速度センサ２２により検
出している牽引装置速度２３とギャップセンサ１４で検
出しているばね変位１５を把持装置移動速度推定器２７
に入力して推定演算により求める。
の間隙をギャップセンサ１４で測ることによりばね変位
１５を検出し、ばね変位指令値１６とばね変位１５の差
であるばね変位偏差１７をばね変位制御器１８に入力す
る。ばね変位制御器１８はばね変位偏差１７を零にする
ための操作量１９を計算し、牽引装置４の走行速度を把
持装置２の移動速度に敏速に一致させるための把持装置
移動速度２０を操作量１９に加算した値を牽引装置速度
指令値２１とする。さらにモータ回転速度センサ２２に
より牽引装置速度２３を検出し、牽引装置速度指令値２
１と牽引装置速度２３の差である牽引装置速度偏差２４
を牽引装置速度制御器２５に入力する。牽引装置速度制
御器２５は牽引装置速度偏差２４を零にするための電圧
指令値２６を計算してモータ５を即動する。上記の把持
装置移動速度２０はモータ回転速度センサ２２により検
出している牽引装置速度２３とギャップセンサ１４で検
出しているばね変位１５を把持装置移動速度推定器２７
に入力して推定演算により求める。
第４図は第３図の把持装置移動速度推定器２７の詳細を
示すブロックＩＩ！図である。第４図において、２８は
周波数帯域制限フィルタ、２９は微分器、３ｏはばね変
位速度高域遮断信号、３１は周波数帯域制限フィルタ、
３２は牽引装置速度高域遮断信号である。この把持装置
移動速度推定器２７は、安定な微分演算を行うためにば
ね変位１５を周波数帯域Ｍ限フィルタ２８に入力してノ
イズを除去した後に微分器２９に入力してばね変位速度
高域遮断信号３０を得る。さらに把持装置移動速度推定
器２７によって構成される第３図の制御系の閉ループか
ばね変位制御器１８と牽引装置速度制御器２５から構成
される閉ループと干渉を起こして不安定にならないよう
に、牽引装置速度２３も周波数帯域制限フィルタ２８と
同じ時定数を持つ周波数帯域制限フィルタ３１に入力し
て牽引装置速度高域遮断信号３２を得る。このばね変位
速度高域遮断信号３０と牽引装置速度高域遮断信号３２
を加算して把持装置移動速度２０を得る。
示すブロックＩＩ！図である。第４図において、２８は
周波数帯域制限フィルタ、２９は微分器、３ｏはばね変
位速度高域遮断信号、３１は周波数帯域制限フィルタ、
３２は牽引装置速度高域遮断信号である。この把持装置
移動速度推定器２７は、安定な微分演算を行うためにば
ね変位１５を周波数帯域Ｍ限フィルタ２８に入力してノ
イズを除去した後に微分器２９に入力してばね変位速度
高域遮断信号３０を得る。さらに把持装置移動速度推定
器２７によって構成される第３図の制御系の閉ループか
ばね変位制御器１８と牽引装置速度制御器２５から構成
される閉ループと干渉を起こして不安定にならないよう
に、牽引装置速度２３も周波数帯域制限フィルタ２８と
同じ時定数を持つ周波数帯域制限フィルタ３１に入力し
て牽引装置速度高域遮断信号３２を得る。このばね変位
速度高域遮断信号３０と牽引装置速度高域遮断信号３２
を加算して把持装置移動速度２０を得る。
本実施例によれば、極細線１の把持装置２と牽引装置４
を継なぐばね３の変位が一定になるように牽引装置４の
位置を制御する系で使用しているギャップセンサ１４と
モータ回転速度センサ１５の検出信号を用いて、配線動
作時に極細線１によって引っ張られる把持装置２の移動
速度と牽引装置４の移動速度が一致するように牽引装置
４の速度を制御する系で必要になる把持装置移動速度２
ｏを推定しているため、新たなセンサを増設する必要が
ない効果がある。またギャップセンサ１４の検出信号の
微分演算で必要になる周波数帯域制限を微分演算を行わ
ないモータ回転速度センサ２２の検出信号にも適用する
ことによって、正確に把持装置移動速度２０を推定でき
る効果がある。
を継なぐばね３の変位が一定になるように牽引装置４の
位置を制御する系で使用しているギャップセンサ１４と
モータ回転速度センサ１５の検出信号を用いて、配線動
作時に極細線１によって引っ張られる把持装置２の移動
速度と牽引装置４の移動速度が一致するように牽引装置
４の速度を制御する系で必要になる把持装置移動速度２
ｏを推定しているため、新たなセンサを増設する必要が
ない効果がある。またギャップセンサ１４の検出信号の
微分演算で必要になる周波数帯域制限を微分演算を行わ
ないモータ回転速度センサ２２の検出信号にも適用する
ことによって、正確に把持装置移動速度２０を推定でき
る効果がある。
本発明によれば、極細線を配線動作による繰り出し方向
と反対方向に牽引することによって張力を付勢するため
極細線に曲癖や巻癖等を付けないで張力を付勢すること
ができ、また極細線がレバーやガイドローラ等と接触し
て摩擦を生じることがないため付勢張力を高精度に制御
することができ、また把持装置と牽引装置を継なぐばね
の変位が一定になるように牽引装置の位置を制御する系
に、配線動作時に極細線によって引っ張られる把持装置
の移動速度と牽引装置の移動装置が一致するように牽引
装置の速度を制御する系を組み合わせることによって、
静止時と配線動作時にかかわらず付勢張力を一定に制御
できるなどの効果がある。
と反対方向に牽引することによって張力を付勢するため
極細線に曲癖や巻癖等を付けないで張力を付勢すること
ができ、また極細線がレバーやガイドローラ等と接触し
て摩擦を生じることがないため付勢張力を高精度に制御
することができ、また把持装置と牽引装置を継なぐばね
の変位が一定になるように牽引装置の位置を制御する系
に、配線動作時に極細線によって引っ張られる把持装置
の移動速度と牽引装置の移動装置が一致するように牽引
装置の速度を制御する系を組み合わせることによって、
静止時と配線動作時にかかわらず付勢張力を一定に制御
できるなどの効果がある。
第１図（ａ）、（ｂ）は本発明による張力制御方法およ
び装置の一実施例を示す配線装置における張力制御装置
の斜視図、その側面図、第２図は第１図の張力制御装置
の詳細を示す斜視図、第３図は第１図の張力制御装置の
制御系を示すブロック線図、第４図は第３図の把持装置
移動速度推定器の詳細を示すブロック線図である。 １・・・極細線、２・・・把持装置、３・・・ばね、４
・・・牽引装置、５・・・モータ、６・・・走行レール
、７・・・半導体モジュール基板、８・・・端子、９・
・・θ軸回転テーブル、１０・・・Ｘ軸並進テーブル、
１１・・・Ｙ軸並進テーブル、１２・・・可動腕、１３
・・・固定腕、１４・・・ギャップセンサ、１５・・・
ばね変位、１６・・・ばね変位指令値、１７・・・ばね
変位偏差、１８・・・ばね変位制御器、１９・・・操作
量、２０・・・把持装置移動速度、２１・・・牽引装置
速度指令値、２２・・・モータ回転速度センサ、２３・
・・牽引装置速度、２４・・・牽引装置速度偏差、２５
・・・牽引装置速度制御器、２６・・・電圧指令値、２
７・・・把持装置移動速度推定器、２８・・・周波数帯
域制限フィルタ、２９・・・微分器、３０・・・ばね変
位速度高域遮断信号、３１・・・周波数帯域制限フィル
タ、３２・・・牽引装置速度高域遮断信号。
び装置の一実施例を示す配線装置における張力制御装置
の斜視図、その側面図、第２図は第１図の張力制御装置
の詳細を示す斜視図、第３図は第１図の張力制御装置の
制御系を示すブロック線図、第４図は第３図の把持装置
移動速度推定器の詳細を示すブロック線図である。 １・・・極細線、２・・・把持装置、３・・・ばね、４
・・・牽引装置、５・・・モータ、６・・・走行レール
、７・・・半導体モジュール基板、８・・・端子、９・
・・θ軸回転テーブル、１０・・・Ｘ軸並進テーブル、
１１・・・Ｙ軸並進テーブル、１２・・・可動腕、１３
・・・固定腕、１４・・・ギャップセンサ、１５・・・
ばね変位、１６・・・ばね変位指令値、１７・・・ばね
変位偏差、１８・・・ばね変位制御器、１９・・・操作
量、２０・・・把持装置移動速度、２１・・・牽引装置
速度指令値、２２・・・モータ回転速度センサ、２３・
・・牽引装置速度、２４・・・牽引装置速度偏差、２５
・・・牽引装置速度制御器、２６・・・電圧指令値、２
７・・・把持装置移動速度推定器、２８・・・周波数帯
域制限フィルタ、２９・・・微分器、３０・・・ばね変
位速度高域遮断信号、３１・・・周波数帯域制限フィル
タ、３２・・・牽引装置速度高域遮断信号。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、直線的な極細線を繰り出し方向と反対方向に牽引す
ることにより張力を付勢する張力制御方法。 ２、極細線を繰り出し方向と反対方向にばねを介して牽
引する請求項１記載の張力制御方法。 ３、極細線を把持する以外に他の装置部品に接触させな
いで張力を付勢する請求項１記載の張力制御方法。 ４、直線的な極細線を掴む把持装置をばねを介して牽引
装置が極細線の繰り出し方向と反対方向に牽引すること
により張力を付勢する構成とした張力制御装置。 ５、上記付勢張力に比例するばねの変位を制御する系に
、牽引装置の追従速度を把持装置の移動速度と一致する
ように制御する系を組み合せた制御系を備えた請求項４
記載の張力制御装置。 ６、上記制御系は把持装置の移動速度をばねの変位と牽
引装置の追従速度から推定する演算手段を備えた請求項
５記載の張力制御装置。 ７、上記演算手段は推定演算に必要なばねの変位のセン
サ検出信号の微分演算を行う周波数帯域制限を牽引装置
の追従速度のセンサ検出信号にも適用することにより、
推定精度や安定性を向上させるようにした請求項６記載
の張力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63197914A JPH0247842A (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 | 張力制御方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63197914A JPH0247842A (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 | 張力制御方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0247842A true JPH0247842A (ja) | 1990-02-16 |
Family
ID=16382373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63197914A Pending JPH0247842A (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 | 張力制御方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0247842A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7728709B2 (en) | 2001-08-02 | 2010-06-01 | Epcos Ag | Electroceramic component |
-
1988
- 1988-08-10 JP JP63197914A patent/JPH0247842A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7728709B2 (en) | 2001-08-02 | 2010-06-01 | Epcos Ag | Electroceramic component |
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