JPH0245952A - 半導体基板の収納箱 - Google Patents
半導体基板の収納箱Info
- Publication number
- JPH0245952A JPH0245952A JP63196969A JP19696988A JPH0245952A JP H0245952 A JPH0245952 A JP H0245952A JP 63196969 A JP63196969 A JP 63196969A JP 19696988 A JP19696988 A JP 19696988A JP H0245952 A JPH0245952 A JP H0245952A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- substrate
- housing
- contact
- substrate guide
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 33
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 23
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000037431 insertion Effects 0.000 abstract description 4
- 238000003780 insertion Methods 0.000 abstract description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 4
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体基板の収納箱に関する。
従来、この稲の半導体基板の収納箱は、片面がホトレジ
スト層等の被覆処理をされた半導体基板が底面に垂直で
ほぼ等間隔に設けられた半導体基板ガイド間の挿入溝に
平行に収納され、外形も長方形となっていた。
スト層等の被覆処理をされた半導体基板が底面に垂直で
ほぼ等間隔に設けられた半導体基板ガイド間の挿入溝に
平行に収納され、外形も長方形となっていた。
上述した従来の半導体基板の収納箱は、底面部と側面部
とが垂直となっているので、半導体基板がたてになるよ
うに収納箱を設置すると、半導体基板の表面の片方が収
納箱のガイドに接触し、ホトレジスト層などの損傷や、
ゴミの付着などの品質問題を起すという欠点があった。
とが垂直となっているので、半導体基板がたてになるよ
うに収納箱を設置すると、半導体基板の表面の片方が収
納箱のガイドに接触し、ホトレジスト層などの損傷や、
ゴミの付着などの品質問題を起すという欠点があった。
本発明の目的は、半導体基板の表面の品質問題の生じな
い半導体基板の収納箱を提供することにある。
い半導体基板の収納箱を提供することにある。
本発明の半導体基板の収納箱は、被収納半導体基板を基
板ガイドに挿入する半導体基板の収納箱において、前記
収納箱の底面の設置面が、前記基板ガイドと垂直になら
ない傾斜を有して構成されている。
板ガイドに挿入する半導体基板の収納箱において、前記
収納箱の底面の設置面が、前記基板ガイドと垂直になら
ない傾斜を有して構成されている。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の第１の実施例の断面図である。
取手１側の傾斜底面部３の設置面７までの厚さを側面部
２．側よりも厚くし、半導体基板の入る挿入溝５を設置
面７に対して斜めになるようにする。
２．側よりも厚くし、半導体基板の入る挿入溝５を設置
面７に対して斜めになるようにする。
従って、全ての半導体基板の左表面のみは基板ガイドに
接触する可能性はあるが、右表面は接触せず、従って表
面に熱硬化前のホトレジスト層が被覆されてあっても汚
れたり損傷することはない。
接触する可能性はあるが、右表面は接触せず、従って表
面に熱硬化前のホトレジスト層が被覆されてあっても汚
れたり損傷することはない。
第２図は本発明の第２の実施例の断面図である。
収納箱の底面部３．についたピン６、及び６ｂは取手１
側の側面部２．と反対の側面部２ｂ側の長さが違い、収
納箱を設置した場合、半導体基板の右表面は半導体基板
ガイド４に接触しないため、第１の実施例と同一の効果
がある。
側の側面部２．と反対の側面部２ｂ側の長さが違い、収
納箱を設置した場合、半導体基板の右表面は半導体基板
ガイド４に接触しないため、第１の実施例と同一の効果
がある。
なお、第１及び第２の実施例では底面部と設置面に角度
を設けたが、基板ガイドを底面部が垂直にならないよう
に予め傾斜を設けた挿入溝に半導体基板を挿入しても、
同様の効果がある。
を設けたが、基板ガイドを底面部が垂直にならないよう
に予め傾斜を設けた挿入溝に半導体基板を挿入しても、
同様の効果がある。
以上説明したように本発明は、収納箱の基板ガイドを設
置面に対し垂直から傾けることにより、半導体基板の片
表面が収納箱のガイドと接触することを防ぎ、品質問題
を防ぐ効果がある。
置面に対し垂直から傾けることにより、半導体基板の片
表面が収納箱のガイドと接触することを防ぎ、品質問題
を防ぐ効果がある。
第１図は本発明の第１の実施例の断面図、第２図は本発
明の第２の実施例の断面図である。 １・・・取手、２−．２ｂ・・・側面部、３・・・傾斜
底面部、３．・・・底面部、４・・・半導体基板ガイド
、５・・・挿入溝、６−．６ｂ・・・底面ピン、７・・
・設置面。 代理人 弁理士、 内 原 晋 月 １７ Ｍｚ 図
明の第２の実施例の断面図である。 １・・・取手、２−．２ｂ・・・側面部、３・・・傾斜
底面部、３．・・・底面部、４・・・半導体基板ガイド
、５・・・挿入溝、６−．６ｂ・・・底面ピン、７・・
・設置面。 代理人 弁理士、 内 原 晋 月 １７ Ｍｚ 図
Claims (1)
- 被収納半導体基板を基板ガイドに挿入する半導体基板の
収納箱において、前記収納箱の底面の設置面が、前記基
板ガイドと垂直にならない傾斜を有することを特徴とす
る半導体基板の収納箱。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63196969A JPH0245952A (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 | 半導体基板の収納箱 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63196969A JPH0245952A (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 | 半導体基板の収納箱 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0245952A true JPH0245952A (ja) | 1990-02-15 |
Family
ID=16366660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63196969A Pending JPH0245952A (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 | 半導体基板の収納箱 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0245952A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5370480A (en) * | 1992-11-16 | 1994-12-06 | Quaney; Patrick E. | Interlocked gridwork for retaining walls, and the like |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6338330B2 (ja) * | 1978-11-24 | 1988-07-29 | Efu Hofuman Ra Roshu Unto Co Ag |
-
1988
- 1988-08-05 JP JP63196969A patent/JPH0245952A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6338330B2 (ja) * | 1978-11-24 | 1988-07-29 | Efu Hofuman Ra Roshu Unto Co Ag |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5370480A (en) * | 1992-11-16 | 1994-12-06 | Quaney; Patrick E. | Interlocked gridwork for retaining walls, and the like |
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