JPH0244102B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0244102B2 JPH0244102B2 JP59273180A JP27318084A JPH0244102B2 JP H0244102 B2 JPH0244102 B2 JP H0244102B2 JP 59273180 A JP59273180 A JP 59273180A JP 27318084 A JP27318084 A JP 27318084A JP H0244102 B2 JPH0244102 B2 JP H0244102B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- ion
- extraction
- longitudinal direction
- longitudinal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 20
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 26
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 10
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 description 2
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/022—Details
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、フリーマン型イオン源のような細長
い長方形状のイオン引出しスリツトを備えたイオ
ン源に有利に用いられ得る集束ビーム発生用イオ
ン源引出しスリツト装置に関するものである。
い長方形状のイオン引出しスリツトを備えたイオ
ン源に有利に用いられ得る集束ビーム発生用イオ
ン源引出しスリツト装置に関するものである。
従来の技術
例えばフリーマン型イオン源は添附図面の第８
〜１０図に示すように縦方向の磁場に沿つてイオ
ン生成室Ａの引出しスリツトＢの近くにスリツト
Ｂに平行にフイラメントＣを張り、フイラメント
Ｃのまわりにマグネトロン放電を起させ、蒸気発
生源Ｄから蒸発させた試料をイオン化し、スリツ
トＢから横方向に引出すように構成されている。
そしてイオン引出しスリツトＢは第９，１０図に
示すように長手方向に平面状にのびる細長い長方
形に形成されており、その幅および長さは適宜設
計されている。
〜１０図に示すように縦方向の磁場に沿つてイオ
ン生成室Ａの引出しスリツトＢの近くにスリツト
Ｂに平行にフイラメントＣを張り、フイラメント
Ｃのまわりにマグネトロン放電を起させ、蒸気発
生源Ｄから蒸発させた試料をイオン化し、スリツ
トＢから横方向に引出すように構成されている。
そしてイオン引出しスリツトＢは第９，１０図に
示すように長手方向に平面状にのびる細長い長方
形に形成されており、その幅および長さは適宜設
計されている。
発明が解決しようとする問題点
このような細長い長方形状のイオン引出しスリ
ツトを備えたイオン源では引出されるイオンビー
ムは縦方向すなわちイオン引出しスリツトの長手
方向には集束性はない。そのため例えば質量分離
装置におけるセクターマグネツトのギヤツプ周辺
においてイオンビームは削られて損失が大きい。
従つて従来のこの種のイオン源では引出されるイ
オンビームは必ずしも効率よく利用されていると
言うことができない。
ツトを備えたイオン源では引出されるイオンビー
ムは縦方向すなわちイオン引出しスリツトの長手
方向には集束性はない。そのため例えば質量分離
装置におけるセクターマグネツトのギヤツプ周辺
においてイオンビームは削られて損失が大きい。
従つて従来のこの種のイオン源では引出されるイ
オンビームは必ずしも効率よく利用されていると
言うことができない。
そこで、本発明の目的は、上記型式のイオン源
においてイオン引出しスリツトから引出されるイ
オンビーム自体が縦方向に所望の集束性をもつよ
うにすることにある。
においてイオン引出しスリツトから引出されるイ
オンビーム自体が縦方向に所望の集束性をもつよ
うにすることにある。
問題点を解決するための手段
上記の目的を達成するために、本発明によれ
ば、イオン生成室にイオン引出し用の細長い長方
形状の一つのスリツトを設け、このスリツトを引
出し電極に向つて長手方向に沿つて凹状に湾曲さ
せ、引出されるビームに長手方向の集束性をもた
せたことを特徴とする集束ビーム発生用イオン源
引出しスリツト装置が提供される。
ば、イオン生成室にイオン引出し用の細長い長方
形状の一つのスリツトを設け、このスリツトを引
出し電極に向つて長手方向に沿つて凹状に湾曲さ
せ、引出されるビームに長手方向の集束性をもた
せたことを特徴とする集束ビーム発生用イオン源
引出しスリツト装置が提供される。
作 用
このように構成した本発明の装置においてはイ
オン源のアークチヤンバーの引出しスリツトは長
手方向に沿つて引出し電極に対して凹状に湾曲さ
せているので、プラズマ・メニスカスは長手方向
についても凹状になり従つて引出しスリツトから
引出されることになるイオンビームは縦方向に集
束性をもつて引出される。また引出しスリツトの
長手方向の湾曲形状および曲率を適当に選択する
ことによつて任意の位置点に縦方向集束点をもつ
てくることができる。
オン源のアークチヤンバーの引出しスリツトは長
手方向に沿つて引出し電極に対して凹状に湾曲さ
せているので、プラズマ・メニスカスは長手方向
についても凹状になり従つて引出しスリツトから
引出されることになるイオンビームは縦方向に集
束性をもつて引出される。また引出しスリツトの
長手方向の湾曲形状および曲率を適当に選択する
ことによつて任意の位置点に縦方向集束点をもつ
てくることができる。
実施例
以下添附図面の第１〜７図を参照して本発明の
幾つかの実施例について説明する。
幾つかの実施例について説明する。
第１〜３図には本発明の一実施例を示し、１は
イオン生成室を成すアークチヤンバーでこのアー
クチヤンバー１は仮想線で示す引出し電極２に対
向した位置に縦長の細長い長方形状のイオン引出
し用のスリツト３を備えている。このスリツト３
は引出し電極２に対して長手方向に凹状を成し、
そして一定の曲率の円弧を成している。この曲率
はイオンビームの縦方向集束点をどこに選ぶかに
よつて適宜設定され得る。
イオン生成室を成すアークチヤンバーでこのアー
クチヤンバー１は仮想線で示す引出し電極２に対
向した位置に縦長の細長い長方形状のイオン引出
し用のスリツト３を備えている。このスリツト３
は引出し電極２に対して長手方向に凹状を成し、
そして一定の曲率の円弧を成している。この曲率
はイオンビームの縦方向集束点をどこに選ぶかに
よつて適宜設定され得る。
第４図には本発明の別の実施例を示し、この場
合にはイオン引出し用のスリツト４を長手方向断
面形状が、中間部に屈曲した形を成している。
合にはイオン引出し用のスリツト４を長手方向断
面形状が、中間部に屈曲した形を成している。
さらに別の実施例を示す第５図の場合にはイオ
ン引出し用のスリツト５は円弧状の上方および下
方部分５ａ，５ｂと平坦な中央部分５Ｃとを備え
ている。
ン引出し用のスリツト５は円弧状の上方および下
方部分５ａ，５ｂと平坦な中央部分５Ｃとを備え
ている。
また第６図に示す実施例ではイオン引出し用ス
リツト６はその長手方向の上下両端６ａ，６ｂだ
けが湾曲されている。
リツト６はその長手方向の上下両端６ａ，６ｂだ
けが湾曲されている。
さらに第７図に示す実施例ではイオン引出し用
のスリツト７は長手方向上下の傾斜部分７ａ，７
ｂと中央平坦部分７ｃとから成つている。
のスリツト７は長手方向上下の傾斜部分７ａ，７
ｂと中央平坦部分７ｃとから成つている。
以上に挙げた実施例は単に例示のためのもので
あり、本発明においては引出し電極に対して長手
方向に沿つて凹状に形成してイオンビームに縦方
向の集束性をもたせるものであれば、いかなる形
状にも設計され得る。
あり、本発明においては引出し電極に対して長手
方向に沿つて凹状に形成してイオンビームに縦方
向の集束性をもたせるものであれば、いかなる形
状にも設計され得る。
効 果
以上説明してきたように本発明によれば、イオ
ンビームに縦方向の集束性をもたせるように構成
しているので、高いイオン密度を得ることがで
き、またセクターマグネツトのギヤツプにおける
損失を少なくでき、発生されたイオンビームを有
効に利用することができる。さらにスリツトの長
手方向湾曲形状および曲率を適当に選ぶことによ
つて縦方向の集束点を任意に設定することができ
る。
ンビームに縦方向の集束性をもたせるように構成
しているので、高いイオン密度を得ることがで
き、またセクターマグネツトのギヤツプにおける
損失を少なくでき、発生されたイオンビームを有
効に利用することができる。さらにスリツトの長
手方向湾曲形状および曲率を適当に選ぶことによ
つて縦方向の集束点を任意に設定することができ
る。
第１図は本発明の一実施例を示すスリツト装置
の縦断面図、第２図は第１図の装置の中央横断面
図、第３図は第１図の装置の正面図、第４〜７図
は本発明の別の異なる実施例を示す縦断面図、第
８図は従来のフリーマン型イオン源を示す概略断
面図、第９図は第８図の装置におけるイオン引出
し用のスリツトの正面図、第１０図は第８図のス
リツトの横断面図である。 図中、１：アークチヤンバー、３，４，５，
６，７：イオン引出し用のスリツト。
の縦断面図、第２図は第１図の装置の中央横断面
図、第３図は第１図の装置の正面図、第４〜７図
は本発明の別の異なる実施例を示す縦断面図、第
８図は従来のフリーマン型イオン源を示す概略断
面図、第９図は第８図の装置におけるイオン引出
し用のスリツトの正面図、第１０図は第８図のス
リツトの横断面図である。 図中、１：アークチヤンバー、３，４，５，
６，７：イオン引出し用のスリツト。
Claims (1)
- １ イオン生成室にイオン引出し用の細長い長方
形状の一つのスリツトを設け、このスリツトを引
出し電極に向つてスリツトの長手方向に沿つて凹
状に湾曲させ、引出されるビームに長手方向の集
束性をもたせたことを特徴とする集束ビーム発生
用イオン源引出しスリツト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27318084A JPS61151952A (ja) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | 集束ビ−ム発生用イオン源引出しスリツト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27318084A JPS61151952A (ja) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | 集束ビ−ム発生用イオン源引出しスリツト装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61151952A JPS61151952A (ja) | 1986-07-10 |
| JPH0244102B2 true JPH0244102B2 (ja) | 1990-10-02 |
Family
ID=17524212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27318084A Granted JPS61151952A (ja) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | 集束ビ−ム発生用イオン源引出しスリツト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61151952A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2667826B2 (ja) * | 1987-03-18 | 1997-10-27 | 株式会社日立製作所 | マイクロ波多価イオン源 |
| JP6388520B2 (ja) | 2014-10-17 | 2018-09-12 | 住友重機械イオンテクノロジー株式会社 | ビーム引出スリット構造、イオン源、及びイオン注入装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5821949B2 (ja) * | 1978-09-21 | 1983-05-04 | 株式会社三栄組 | コ−クスの製造方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5821949U (ja) * | 1981-08-04 | 1983-02-10 | 日新ハイボルテ−ジ株式会社 | イオン源装置 |
-
1984
- 1984-12-26 JP JP27318084A patent/JPS61151952A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5821949B2 (ja) * | 1978-09-21 | 1983-05-04 | 株式会社三栄組 | コ−クスの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61151952A (ja) | 1986-07-10 |
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