SU370891A1 - Всесою - Google Patents
ВсесоюInfo
- Publication number
- SU370891A1 SU370891A1 SU1662402A SU1662402A SU370891A1 SU 370891 A1 SU370891 A1 SU 370891A1 SU 1662402 A SU1662402 A SU 1662402A SU 1662402 A SU1662402 A SU 1662402A SU 370891 A1 SU370891 A1 SU 370891A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- anode
- intermediate electrode
- hole
- source
- increase
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
1
Изобретение касаетс источника отрицательных ионов с пр мым отбором ионов из плазмы газового разр да, которые наход т широкое применение в электрофизических установках .
Известны источники отрицательных ионов, имеющие катод, магнитопровод щие промежуточный электрод и анод, а также устройство, создающее неоднородное магнитное поле в межэлектродном зазоре. Дл получени ионного пучка с низкой электронной нагрузкой в этих устройствах отверстие отбора ионов в аноде смещают относительно оси устройства. В отверстие промежуточного электрода помещают коническую втулку, за счет чего возбуждаетс полый разр д, а отбор производитс через осевое анодное отверстие.
Однако в этих источниках наблюдаетс мала поверхность соприкосновени области высокой концентрации отрицательных ионов (периферии дуги) с анодом. Это обуславливаетс магнитной системой дугоплазматрона (геометрией полюсных наконечников, какими вл ютс промежуточный электрод и анод), сжимающей дугу (дуги) в направлении к своей оси. Поэтому эти источники обладают ограниченными токами отрицательных ионов, так как заметное увеличение отверсти отбора ионов приводит к росту электронной нагрузки и снижению ллотности ионного тока в св зи с захватом области плотной плазмы.
Цель изобретени - увеличение величины ионного тока из источника и повыщение экономичности источника отрицательных ионов.
Дл этого выводной канал промежуточного электрода выполнен в виде двух овальных отверстий , разделенных плоской магнитопровод щей перегородкой, диаметр отверсти в аноде не менее чем в 2,5 раза превышает щирину отверстий в промежуточном электроде.
На чертеже изобрал ен предлагаемый источник отрицательных ионов.
Источник состоит из оксидного катода /, промежуточного электрода 2, анода из магнитной стали 3, танталовой анодной вставки 4, выт гивающего электрода 5.
Отверсти в промежуточном электроде 2 (показанные в сечении промежуточного электрода ) имеют размеры 2,2 мм х 4 мм и разделены перегородкой толщиной 0,6 мм. Отверстие в аноде 3 диаметром 6 мм прикрыто танталовой вставкой 4 с центральным отверстием отбора ионов. Электрод 2 и анод 3 образуют магнитную линзу с расход щимис от осевой плоскости силовыми лини ми. Дуги, выход щие из каналов промежуточного электрода, следуют силовым лини м магнитного пол , образу развитую V-образную поверхность над анодом. Ионы отбирают через осевое отверстие вставки 4 подачей положительного потенциала на электрод 5.
Большой раствор дуг существенно увеличивает область соприкосновени периферии дуги (где концентраци отрицательных ионов велика) с анодом источника, т. е. предлагаемый источник позвол ет увеличением размера анодной апертуры подн ть ток отбираемого ионного пучка в несколько раз при сохранении высокой плотности тока отрицательных ионов.
Предмет изобретени
Источник отрицательных ионов, содержащий катод, магнитопровод щие промежуточный электрод с выводным каналом и анод с
отверстием, в которое помещена анодна вставка из немагнитного материала с эмиссионным отверстием, устройство дл создани магнитного пол в межэлектродном пространстве , отличающийс тем, что, с целью увеличени величины ионного тока из источника н повышени его экономичности, выводной канал промежуточного электрода выполнен в виде двух овальных отверстий, разделенных плоской магнитопровод щей перегородкой, причем диаметр отверсти в аноде не менее чем в 2,5 раза превышает ширину отверстий в промежуточном электроде.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1662402A SU370891A1 (ru) | 1971-05-24 | 1971-05-24 | Всесою |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU1662402A SU370891A1 (ru) | 1971-05-24 | 1971-05-24 | Всесою |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU370891A1 true SU370891A1 (ru) | 1973-05-15 |
Family
ID=20476970
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU1662402A SU370891A1 (ru) | 1971-05-24 | 1971-05-24 | Всесою |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU370891A1 (ru) |
-
1971
- 1971-05-24 SU SU1662402A patent/SU370891A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4163151A (en) | Separated ion source | |
US2636990A (en) | Ion source unit | |
US4608513A (en) | Dual filament ion source with improved beam characteristics | |
US3315125A (en) | High-power ion and electron sources in cascade arrangement | |
GB683475A (en) | Improvements in or relating to electric discharge tubes for accelerating particles | |
US4760262A (en) | Ion source | |
US3274436A (en) | Ion source with selective hot or cold cathode | |
GB1190451A (en) | Ion Source for a Mass Spectrometer | |
US3137801A (en) | Duoplasmatron-type ion source including a non-magnetic anode and magnetic extractor electrode | |
US4468564A (en) | Ion source | |
SU370891A1 (ru) | Всесою | |
US3702416A (en) | Ion source having a uniform radial density | |
US3275867A (en) | Charged particle generator | |
US3408526A (en) | Ion source having an annular permanent magnet | |
US2271666A (en) | Controlled electrical discharge device | |
US2748307A (en) | Magnetically forcused electron discharge device | |
GB1510203A (en) | Ion source | |
US2939046A (en) | Electron beam control | |
JPS5740845A (en) | Ion beam generator | |
SU519066A1 (ru) | Источник ионов | |
SU638223A1 (ru) | Ускоритель пр мого действи | |
SU48561A1 (ru) | Способ усилени фототоков большой частоты | |
SU865043A1 (ru) | Многоканальный источник ионов | |
US2835836A (en) | Gas discharge device | |
SU497696A1 (ru) | Способ выпр млени больших токов высокого напр жени |