JPH0238930Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 本考案はスパツタガンの水抜き装置に係り、特
にスパツタガンの冷却水を排出するためのスパツ
タガンの水抜き装置に関する。

〔考案の技術的背景〕

第１図は従来の水抜き装置を示したもので、ス
パツタガン１には、給水管２および排水管３が、
それぞれ給水側三方弁４および排水側三方弁５を
介して接続されており、上記給水側三方弁４の他
の弁には、排気管６が接続され、この排気管６は
上記排水管３の排水側三方弁５より下流側に接続
されている。さらに、上記排水側三方弁５の他の
弁には給気管７が接続されている。

また、スパツタリング装置本体８には、給水マ
ニホールド９および排水マニホールド１０が接続
されており、給水マニホールド９から冷却水をス
パツタリング装置本体８に供給し、排水マニホー
ルド１０を介して排出するようになされている。

スパツタガン１の冷却水系統は上記装置本体８
の冷却水系統とは別個に作動するものであり、給
水管２から供給される冷却水によりスパツタガン
１の冷却を行ない、冷却後の冷却水は排水管３を
介して排出される。そして、スパツタガン１の水
抜きを行なう場合は、給水側三方弁４および排水
側三方弁５を切換えて、給気管７から図中破線矢
印で示すように空気を送るようになされ、スパツ
タガン１の内部に残留する冷却水を、排気管６を
介して排出するものである。

〔背景技術の問題点〕

上記装置の場合、スパツタガンの冷却水系統と
スパツタリング装置本体の冷却水系統とを別個独
立に設けているので、配管が複雑となり操作性が
悪いという欠点を有している。また、上記両冷却
水系統を一系統にした場合は、配管系統に背圧が
かかるため、スパツタガンの十分な水抜きを行な
うことができず、しかも上記背圧によりスパツタ
ガンの分解時に水が噴き出してしまうという不都
合があつた。

〔考案の目的〕

本考案は上記した点に鑑みてなされたもので、
１つの冷却水系統により確実に水抜きを行なうこ
とのできるスパツタガンの水抜き装置を提供する
ことを目的とするものである。

〔考案の概要〕

上記目的達成のため本考案のスパツタガンの水
抜き装置は、スパツタガンに冷却水の給水管およ
び排水管をそれぞれ接続し、上記排水管に接続さ
れる給気管と、上記給水管に接続される排気管と
を設け、スパツタガンの水抜き時に上記給気管に
より上記スパツタガンに空気を送り上記排気管か
ら冷却水を排出するようにしたスパツタガンの水
抜き装置において、上記給水管をスパツタリング
装置本体冷却用の給水マニホールドに接続すると
ともに、上記排水管および排気管を上記スパツタ
リング装置本体冷却用の排水マニホールドに接続
し、上記排気管から分岐して大気に開放される大
気開放管を設けて構成されており、スパツタガン
の水抜き時に上記大気開放管から背圧を逃がすよ
うになされている。

〔考案の実施例〕

以下、本考案の一実施例を第２図を参照して説
明し、第１図と同一部分には同一符号を付して説
明を省略する。

本実施例においては、スパツタリング装置本体
８に接続される給水マニホールド９に、給水管２
が接続され、排水マニホールド１０には、排水管
３および上記給水管２から分岐した排気管６が接
続されている。また、排水管３の中途部には給気
管７が接続されており、上記給水管２、排水管
３、給気管７および排気管６の中途部には、電磁
弁１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄがそれぞれ配
設されるとともに、これら各電磁弁１１ａ，１１
ｂ，１１ｃ，１１ｄの下流側には逆止弁１２ａ，
１２ｂ，１２ｃ，１２ｄが設けられている。さら
に、上記排気管６の電磁弁１１ｄおよび逆止弁１
２ｄの間の管路から分岐して大気に開放される大
気開放管１３が設けられており、この大気開放管
１３の中途部には電磁弁１１ｅが配設されてい
る。排水管３の電磁弁１１ｂおよび逆止弁１２ｂ
の間の管路には、フロースイツチ１４が挿入接続
されている。また、上述の各電磁弁１１ａ，１１
ｂ，１１ｃ，１１ｄ，１１ｅは、コントローラ１
５に接続されており、コントローラ１５に設けら
れた操作スイツチ（図示せず）により開閉操作さ
れる。

本実施例においてスパツタガン１の冷却を行な
う場合は、給水管２および排水管３の電磁弁１１
ａ，１１ｂを開き、図中実線矢印で示すように、
給水マニホールド９から給水管２を介してスパツ
タガン１に冷却水を送り、冷却後の冷却水を排水
管３を介して排水マニホールド１０から排出す
る。このとき、他の電磁弁１１ｃ，１１ｄ，１１
ｅは閉じている。

また、スパツタガン１の水抜きを行なう場合に
は、給水管２および排水管３の電磁弁１１ａ，１
１ｂを閉じるとともに、給気管７および排気管６
の電磁弁１１ｃ，１１ｄを開き、給気管７から背
圧以上の圧力で空気を送るようになされる。そし
て、図中破線矢印で示すように残留冷却水を、排
気管６を介して排水マニホールド１０から空気と
ともに排出するようになされる。さらに、スパツ
タガン１の水抜きが完了した時に、給気管７の電
磁弁１１ｃを閉じるとともに、大気開放管１３の
電磁弁１１ｅを開き、配管内の背圧を逃がして大
気圧とするものである。

したがつて本実施例においては、冷却水系統を
一系統にした場合であつても、配管内に背圧がか
からず、確実にスパツタガン１の水抜きを行なう
ことが可能となる。

〔考案の効果〕

以上述べたように本考案に係るスパツタガンの
水抜き装置は、スパツタガンに接続される給水管
をスパツタリング装置本体冷却用の給水マニホー
ルドに接続するとともに、スパツタガンに接続さ
れる排水管と、上記給水管から分岐される排気管
とを排水マニホールドに接続し、上記排気管から
分岐される大気開放管を設けて構成されており、
スパツタガンの冷却水系統と、スパツタリング装
置本体の冷却水系統とを１つにして、しかも上記
大気開放管から配管内の背圧を逃がすようにした
ので、確実にスパツタガンの水抜きを行なうこと
ができ、かつ背圧による不都合を除去することが
できる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の水抜き装置を示す概略系統図、
第２図は本考案の一実施例を示す概略系統図であ
る。 １……スパツタガン、２……給水管、３……排
水管、４，５……三方弁、６……排気管、７……
給気管、８……スパツタリング装置本体、９……
給水マニホールド、１０……排水マニホールド、
１１……電磁弁、１２……逆止弁、１３……大気
開放管、１４……フロースイツチ、１５……コン
トローラ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. スパツタガンに冷却水の給水管および排水管を
   それぞれ接続し、上記排水管に接続される給気管
   と、上記給水管に接続される排気管とを設け、ス
   パツタガンの水抜き時に上記給気管により上記ス
   パツタガンに空気を送り上記排気管から冷却水を
   排出するようにしたスパツタガンの水抜き装置に
   おいて、上記給水管をスパツタリング装置本体冷
   却用の給水マニホールドに接続するとともに、上
   記排水管および排気管を上記スパツタリング装置
   本体冷却用の排水マニホールドに接続し、上記排
   気管から分岐して大気に開放される大気開放管を
   設けたことを特徴とするスパツタガンの水抜き装
   置。