JPH067278Y2 - 半導体製造用高圧ガスボンベ配管システム - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は、非常時の際の緊急停止を速やかにかつ容易
に行なえる、半導体製造用高圧ガスボンベ配管システム
に関するものである。

［従来の技術］ 第２図は従来の半導体製造用高圧ガスボンベ配管システ
ムを示す図である。

半導体製造用高圧ガスボンベ１内には半導体製造用材料
ガスが入っている。半導体製造用高圧ガスボンベ１には
ガス路を開くボンベバルブ２が付いている。

また、半導体製造用高圧ガスボンベ１には、不活性ガス
置換用管路３とガス供給管路４を接続するボンベ接続口
金５が付けられている。

不活性ガス置換用管路３内には置換ガス供給バルブ６が
設けられている。

ガス供給管路４には材料ガス供給バルブ７と、ガス供給
管路４内の圧力を調節する減圧弁８が設けられている。

ガス供給管路４は、その末端でユースポイントライン９
と排気ライン１０に分岐する。ユースポイントライン９
にはユースポイント供給バルブ１１が備えられており、
排気ライン１０には排気ラインバルブ１２が備えられて
いる。

ユースポイント供給バルブ１１には閉鎖ガス供給管路１
３が接続されている。電磁弁１４は、閉鎖ガス供給管路
１３にバルブ閉鎖ガスを送り込む機能を有する。そし
て、そのガス圧によりユースポイント供給バルブ１１の
開閉が行なわれる。

次に、従来の半導体製造用高圧ガスボンベ配管システム
のガス供給の仕組およびガス供給停止の仕組について説
明する。

ボンベバルブ２が開く。すると、半導体製造用材料ガス
はボンベ接続口金５より材料ガス供給バルブ７を通っ
て、減圧弁８で減圧され、ユースポイントライン９を通
って、ユースポイント供給バルブ１１を通って、ユース
ポイント１５に供給される。ユースポイント供給バルブ
１１は通常開いている。

そして、半導体製造用材料ガスの供給を止めたいとき
は、電磁弁１４をＯＮにする。すると、閉鎖ガス供給管
路１３に閉鎖用ガスである乾空が工場配管１６より送り
込まれる。この乾空のガス圧により、ユースポイント供
給バルブ１１が閉じられる。

乾空のガス圧は、電磁弁１４に備えられている開放部１
７により調節される。

以上のような操作で、半導体製造用材料ガスの供給は止
められる。電磁弁１４はいわば安全装置の役割を果たし
ている。

なお、不活性ガス置換用管路３、置換ガス供給バルブ
６、排気ライン１０、および排気ラインバルブ１２はボ
ンベ交換時に重要な働きをするものであるが、本件考案
にはあまり関係がないので、その説明を省略する。

［考案が解決しようとする問題点］ 従来の半導体製造用高圧ガス配管システムにおいて、ガ
ス供給停止の仕組は以上のようになっている。

しかし、ガス供給停止を電磁弁１４で行なっているた
め、停電時には作動しない。

そのため、停電時には、ユースポイント１５へ半導体製
造用材料ガスが流れ放しになって、非常に危険な状態に
なっていた。

この考案は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、停電時でも簡単にユースポイントへのガス供
給を止めることができる半導体製造用高圧ガスボンベ配
管システムを提供することを目的とする。

［問題点を解決するための手段］ 本件考案に係る半導体製造用高圧ガスボンベ配管システ
ムは、半導体製造用高圧ガスボンベと、上記半導体製造
用高圧ガスボンベに接続され、該半導体製造用高圧ガス
ボンベに入っている半導体製造用材料ガスをユースポイ
ントに供給するガス供給管路と、上記ガス供給管路内に
設けられて、該ガス供給管路の開閉動作を行なうもので
あり、バルブ閉鎖用ガスのガス圧が与えられたとき閉動
作を行なうユースポイント供給バルブと、を備えてい
る。上記第１閉鎖ガス供給管路内には、該管路の開閉動
作を行なう三方弁であり、一方の弁を該管路内のガス圧
を調節するための開放部に用いている第１の開閉弁が設
けられている。上記第１の開閉弁の上記開放部には、該
開放部を通って、上記ユースポイント供給バルブにバル
ブ閉鎖用ガスを供給する第２の閉鎖ガス供給管路が接続
されている。上記第２の閉鎖ガス供給管路には、この管
路の開閉動作を手動で行なう第２の開閉弁が設けられて
いる。

［作用］ この考案によれば、第１閉鎖ガス供給管路内に、この管
路の開閉動作を行なう三方弁であり、一方の弁をこの管
路内のガス圧を調節するための開放部に用いている第１
の開閉弁が設けられており、上記第１の開閉弁の上記開
放部に、該開放部を通って上記ユースポイント供給バル
ブにバルブ閉鎖用ガスを供給する第２の閉鎖ガス供給管
路が接続されている。さらに、上記第２の閉鎖ガス供給
管路には、この管路の開閉動作を手動で行なう第２の開
閉弁が設けられているので、停電時においても手動でバ
ルブ閉鎖用ガスを第２の閉鎖ガス供給管路に送り込むこ
とができる。そして、送り込んだ閉鎖用ガスのガス圧に
よりユースポイント供給バルブを閉じることができる。

また、第２の閉鎖ガス供給管路を、三方弁に通常存在す
る開放部に接続するという構成をとっているので、装置
の組立が簡単となる。

［実施例］ 以下、この考案の一実施例を図について説明する。

第１図は、この考案の一実施例である半導体製造用高圧
ガスボンベ配管システムを示す図である。

半導体製造用高圧ガスボンベ１８内には半導体製造用材
料ガスが入っている。半導体製造用高圧ガスボンベ１８
にはガス路を開くボンベバルブ１９が付いている。

また、半導体製造用高圧ガスボンベ１８には、不活性ガ
ス置換用管路２０とガス供給管路２１を接続するボンベ
接続口金２２が付けられている。

不活性ガス置換用管路２０内には置換ガス供給バルブ２
３が設けられている。

ガス供給管路２１には材料ガス供給バルブ２４と、ガス
供給管路２１内の圧力を調節する減圧弁２５が設けられ
ている。

ガス供給管路２１は、その一端でユースポイントライン
２６と排気ライン２７に分岐する。ユースポイントライ
ン２６にはユースポイント供給バルブ２８が備えられて
おり、排気ライン２７には排気ラインバルブ２９が備え
られている。

ユースポイント供給バルブ２８には第１の閉鎖ガス供給
管路３０が接続されている。

第１の閉鎖ガス供給管路３０の開閉は第１の開閉弁であ
る電磁弁３１で行なっている。

電磁弁３１は第１の閉鎖ガス供給管路３０内のガス圧を
調節するための開放部３２が設けられており、実施例で
はこの開放部３２に第２の閉鎖ガス供給管路３３が直結
されている。すなわち、第１の閉鎖ガス供給管路３０と
第２の閉鎖ガス供給管路３３とが、第１の開閉弁である
電磁弁３１を介して合流している状態である。なお開放
部３２は、通常の三方弁には常に存在するものであり、
この開放部３２に第２の閉鎖用ガス管路３３を接続する
という構成であるので、装置の組立は簡単である。

本実施例では、以上のような組合わせからなる装置が複
数個ある場合を示している。そして、第２の閉鎖ガス供
給管路３３は合流して、手動性の第２の開閉弁３４に連
結されている。

ボンベバルブ３５を開き、第２の開閉弁３４を手動で開
にすることにより、バルブ閉鎖用ガスがガスボンベ３６
から第２の閉鎖ガス供給管路３３に入る。

第２の開閉弁３４には、第２の閉鎖ガス供給管路３３内
に入るバルブ閉鎖用ガスのガス圧を調節するための、開
放部３７が設けられている。

本実施例では、バルブ閉鎖用ガスに乾空またはＮ_２ガス
を用いている。

次に、本実施例に示す半導体製造用高圧ガスボンベ配管
システムの停電時におけるガス供給停止の仕組について
説明する。

ボンベバルブ３５を開く。第２の開閉弁３４を手動で開
く。ガス圧を開放部３７により調節する。

これらの操作により、バルブ閉鎖用ガスが第２の閉鎖ガ
ス供給管路３３に入る。

第２の閉鎖ガス供給管路３３に入ったバルブ閉鎖用ガス
は、電気弁３１の開放部３２に入り、第１の閉鎖ガス供
給管路３０に入る。そして、そのガス圧により、ユース
ポイント供給バルブ２８を閉鎖する。その結果、ユース
ポイント３８への半導体製造用材料ガスの供給は停止さ
れる。

このように第２の開閉弁を手動で開とすることにより、
停電時において半導体製造用材料ガスの供給を停止する
ことができる。

また、複数個の第２の閉鎖ガス供給管路３３は合流し
て、第２の開閉弁３４に連結されているので、第２の開
閉弁３４を開くという単一の操作で、すべてのユースポ
イントバルブ２８を同時に閉じることができる。

一方通常運転時において従来の場合、材料ガスの供給を
一斉に止めるには、それぞれの電磁弁３１を１つずつＯ
Ｎしなければならず、手間がかかっていた。

しかし、本実施例では、第２の開閉弁３４を開くという
単一の操作で、すべてのユースポイントバルブ２８を同
時に閉じることもできるので、手間が省ける。

また、電磁弁３１の機能は従来のものと同じであるの
で、ＯＮすることにより、工場配管３９から乾空が第１
の閉鎖ガス供給管路３０に流れ込み、当該電磁弁３１に
連結されているユースポイント供給バルブ２８のみを閉
じることもできる。そしてユースポイント供給バルブ２
８を開としたときの第１の閉鎖ガス供給管路３０内に残
存する圧力をもつ乾空は、電磁弁３１の開放部３２を介
してガス供給管路３３を通り第２の開閉弁３４の前方
（反ガスボンベ側）でガス供給管路３３に設けられた図
示しない逃し弁により大気中に放出される。

なお、停電時に操作される第２の開閉弁３４を手動開時
には、上記逃し弁は閉となり、その後開閉弁３４を手動
閉としたとき管路３０，３３内に残存する乾空またはＮ
_２ガスは、上記図示しない逃し弁により大気中に放出さ
れる。ということは言うまでもない。

［考案の効果］ 以上のように、この考案によれば、上記第１閉鎖ガス供
給管路内に設けられ、この管路の開閉動作を行なう三方
弁であり、一方の弁をこの管路内のガス圧を調節するた
めの開放部に用いている第１の開放弁と、上記第１の開
閉弁の上記開放部に接続され、該開放部を通って上記ユ
ースポイント供給バルブにバルブ閉鎖用ガスを供給する
第２の閉鎖ガス供給管路と、を備え、上記第２の閉鎖ガ
ス供給管路には、この管路の開閉動作を手動で行なう第
２の開閉弁が設けられている。

本件考案にはこのような構成が加わっているために、停
電時においてもバルブ閉鎖用ガスを第２のガス供給管路
に送り込むことができる。そして、そのガス圧がユース
ポイント供給バルブを閉鎖する。その結果、半導体製造
用材料ガスのユースポイントへの供給が停止される。

電磁弁だけであると、停電時のおいては作動しない。そ
のため、停電時には、ユースポイントへ半導体製造用材
料ガスが流れ放しになって、非常に危険な状態になって
いた。しかし、本件考案は手動であるので、停電時にお
いても操作が可能である。

また、実施例のように複数個の第２の閉鎖ガス供給管路
を合流させて、単一の手動性の第２の開閉弁に連結する
ように構成した場合には、第２の開閉弁を開くという単
一の操作で、複数個のユースポイントバルブを同時に閉
じることができる。

その結果、大幅に手間が省けることになる。そればかり
か、非常時の際、ユースポイントへの材料ガス供給を一
斉にストップできるので、安全面において優れた効果を
有する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す図であり、第２図は
従来の半導体製造用高圧ガスボンベ配管システムを示す
図である。 図において、１８は半導体製造用高圧ガスボンベ、２１
はガス供給管路、２８はユースポイント供給バルブ、３
０は第１の閉鎖ガス供給管路、３１は第１の開閉弁、３
３は第２の閉鎖ガス供給管路、３４は第２の開閉弁であ
る。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体製造用高圧ガスボンベと、前記半導
   体製造用高圧ガスボンベに接続され、該半導体製造用高
   圧ガスボンベに入っている半導体製造用材料ガスをユー
   スポイントに供給するガス供給管路と、 前記ガス供給管路内に設けられて、該ガス供給管路の開
   閉動作を行なうものであり、バルブ閉鎖用ガスのガス圧
   が与えられたとき閉動作を行なう複数のユースポイント
   供給バルブと、 前記複数のユースポイント供給バルブに前記バルブ閉鎖
   用ガスを供給する複数の第１の閉鎖ガス供給管路と、 前記複数の第１の閉鎖ガス供給管路内に設けられ、この
   管路の開閉動作を行なう第１の開閉弁である三方弁の開
   放部に接続され、該開放部を通って前記ユースポイント
   供給バルブにバルブ閉鎖用ガスを供給する複数の第２の
   閉鎖ガス供給管路と、該複数の第２の閉鎖ガス供給管路
   は合流して連結され、この合流した管路に設けられ上記
   第２の閉鎖ガス供給管路の開閉動作を手動で行なう第２
   の開閉弁とを備えたことを特徴とする半導体製造用高圧
   ガスボンベ配管システム。