JPS6372319U - - Google Patents

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JPS6372319U
JPS6372319U JP16702086U JP16702086U JPS6372319U JP S6372319 U JPS6372319 U JP S6372319U JP 16702086 U JP16702086 U JP 16702086U JP 16702086 U JP16702086 U JP 16702086U JP S6372319 U JPS6372319 U JP S6372319U
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JP
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valve
gas
closing
semiconductor manufacturing
gas supply
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例を示す図であり、
第２図は従来の半導体製造用高圧ガスボンベ配管
システムを示す図である。 図において、１８は半導体製造用高圧ガスボン
ベ、２１はガス供給管路、２８はユースポイント
供給バルブ、３０は第１の閉鎖ガス供給管路、３
１は第１の開閉弁、３３は第２の閉鎖ガス供給管
路、３４は第２の開閉弁である。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体製造用高圧ガスボンベと、 前記半導体製造用高圧ガスボンベに接続され、
    該半導体製造用高圧ガスボンベに入つている半導
    体製造用材料ガスをユースポイントに供給するガ
    ス供給管路と、 前記ガス供給管路内に設けられて、該ガス供給
    管路の開閉動作を行なうものであり、バルブ閉鎖
    用ガスのガス圧が与えられたとき閉動作を行なう
    ユースポイント供給バルブと、 前記ユースポイント供給バルブに前記バルブ閉
    鎖用ガスを供給する第１の閉鎖ガス供給管路と、 前記閉鎖ガス供給管路内に設けられ、この管路
    の開閉動作を行なう第１の開閉弁と、 前記第１の閉鎖ガス供給管路に並列に設けられ
    、前記ユースポイント供給バルブに前記バルブ閉
    鎖用ガスを供給する第２の閉鎖ガス供給管路と、 前記第２の閉鎖ガス供給管路に設けられて、こ
    の管路の開閉動作を手動で行なう第２の開閉弁と
    、 を備えた半導体製造用高圧ガスボンベ配管システ
    ム。 (2) 前記第１の閉鎖ガス供給管路と前記第２の
    閉鎖ガス供給管路とは前記第１の開閉弁を介して
    合流する実用新案登録請求の範囲第１項記載の半
    導体製造用高圧ガスボンベ配管システム。 (3) 前記第１の閉鎖ガス供給管路と前記第２の
    閉鎖ガス供給管路とは前記ユースポイント供給バ
    ルブと前記第１の開閉弁との間で合流する実用新
    案登録請求の範囲第１項記載の半導体製造用高圧
    ガスボンベ配管システム。 (4) 前記第２の閉鎖ガス供給管路は複数個設け
    られており、該複数個の第２の閉鎖ガス供給管路
    は合流して前記第２の開閉弁に連結されている実
    用新案登録請求の範囲第１項ないし第３項までの
    いずれかに記載の半導体製造用高圧ガスボンベ配
    管システム。 (5) 前記第１の開閉弁は電磁弁である実用新案
    登録請求の範囲第１項ないし第４項までのいずれ
    かに記載の半導体製造用高圧ガスボンベ配管シス
    テム。 (6) 前記第２の開閉弁はガス圧力調節可能な弁
    である実用新案登録請求の範囲第１項ないし第５
    項までのいずれかに記載の半導体製造用高圧ガス
    ボンベ配管システム。
JP1986167020U 1986-10-30 1986-10-30 半導体製造用高圧ガスボンベ配管システム Expired - Lifetime JPH067278Y2 (ja)

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JPS6372319U true JPS6372319U (ja) 1988-05-14
JPH067278Y2 JPH067278Y2 (ja) 1994-02-23

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JP1986167020U Expired - Lifetime JPH067278Y2 (ja) 1986-10-30 1986-10-30 半導体製造用高圧ガスボンベ配管システム

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59151435U (ja) * 1983-03-30 1984-10-11 日本電気株式会社 ガス集合装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59151435U (ja) * 1983-03-30 1984-10-11 日本電気株式会社 ガス集合装置

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JPH067278Y2 (ja) 1994-02-23

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