JPS61146697U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61146697U JPS61146697U JP3071985U JP3071985U JPS61146697U JP S61146697 U JPS61146697 U JP S61146697U JP 3071985 U JP3071985 U JP 3071985U JP 3071985 U JP3071985 U JP 3071985U JP S61146697 U JPS61146697 U JP S61146697U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure reducing
- reducing valve
- used exclusively
- valve used
- gas
- Prior art date
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- Pending
Links
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- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
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Landscapes
- Pipeline Systems (AREA)
Description
第1図は本考案の実施例を示す配管図、第2図
は従来技術の配管図である。 1…減圧弁、2…ガスボンベ、3…装置側継手
、4…窒素パージ継手、5…エアオペレートバル
ブ、6…エアオペレートバルブ、7…ストツプバ
ルブ、8…高圧フイルタ、9…三方弁、10…三
方弁、11…減圧弁。
は従来技術の配管図である。 1…減圧弁、2…ガスボンベ、3…装置側継手
、4…窒素パージ継手、5…エアオペレートバル
ブ、6…エアオペレートバルブ、7…ストツプバ
ルブ、8…高圧フイルタ、9…三方弁、10…三
方弁、11…減圧弁。
Claims (1)
- 送気用配管に、シラン等の特殊ガスの送気専用
に用いる第1の減圧弁と、パージ専用に用いる第
2の減圧弁との2つの減圧弁を並列に備えたこと
を特徴とする特殊ガスボンベ用減圧弁の接続構造
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3071985U JPS61146697U (ja) | 1985-03-04 | 1985-03-04 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3071985U JPS61146697U (ja) | 1985-03-04 | 1985-03-04 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61146697U true JPS61146697U (ja) | 1986-09-10 |
Family
ID=30530667
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3071985U Pending JPS61146697U (ja) | 1985-03-04 | 1985-03-04 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61146697U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016160974A (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-05 | エア・ウォーター防災株式会社 | ガス供給装置 |
-
1985
- 1985-03-04 JP JP3071985U patent/JPS61146697U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016160974A (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-05 | エア・ウォーター防災株式会社 | ガス供給装置 |