JPH0236292B2 - Kitaiobunrisurumaku - Google Patents
KitaiobunrisurumakuInfo
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- JPH0236292B2 JPH0236292B2 JP20577883A JP20577883A JPH0236292B2 JP H0236292 B2 JPH0236292 B2 JP H0236292B2 JP 20577883 A JP20577883 A JP 20577883A JP 20577883 A JP20577883 A JP 20577883A JP H0236292 B2 JPH0236292 B2 JP H0236292B2
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- Japan
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- membrane
- separation
- oxahexene
- perfluoro
- cmhg
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- Expired - Lifetime
Links
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Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は気体分離膜、特に膜分離法により天然
ガス中からヘリウムを選択性よく効率的に分離取
得し得る分離膜に係るものである。
ガス中からヘリウムを選択性よく効率的に分離取
得し得る分離膜に係るものである。
ヘリウムガスは例えば核融合反応、リニアモー
ター等の超導電用の極低温媒体として有用であ
り、今後かなりの量の使用が見込まれる。
ター等の超導電用の極低温媒体として有用であ
り、今後かなりの量の使用が見込まれる。
かかるヘリウムは天然ガスや空気中に含まれ、
特に天然ガス中にはかなり多量に含まれている。
従来ヘリウムはこの様な天然ガスから深冷分離等
の手段により分離取得されてきたが、これは設備
的にかなり大規模となり、操作的にも保守管理的
にもかなり煩雑なものであつた。
特に天然ガス中にはかなり多量に含まれている。
従来ヘリウムはこの様な天然ガスから深冷分離等
の手段により分離取得されてきたが、これは設備
的にかなり大規模となり、操作的にも保守管理的
にもかなり煩雑なものであつた。
更に、前記の如き超電導に用いたヘリウムガス
の回収に当つては従来それ程有効な手段は提案さ
れていない。
の回収に当つては従来それ程有効な手段は提案さ
れていない。
他方、混合ガス中からヘリウムを得る方法とし
て膜分離法が提案されている。この方法は直接ヘ
リウムガスが得られ、操作的に簡単であり、又経
済的にも有利である。この様な分離膜として代表
されるものにオルガノポリシロキサン系の膜が
種々提案されている。この膜は一般に酸素に対す
る透過速度や酸素分離系数（PO2／PN2）について
は比較的満足し得るものの、ヘリウムガスについ
ては分離係数が小さく、実用性についてあまり期
待し得るものでない。
て膜分離法が提案されている。この方法は直接ヘ
リウムガスが得られ、操作的に簡単であり、又経
済的にも有利である。この様な分離膜として代表
されるものにオルガノポリシロキサン系の膜が
種々提案されている。この膜は一般に酸素に対す
る透過速度や酸素分離系数（PO2／PN2）について
は比較的満足し得るものの、ヘリウムガスについ
ては分離係数が小さく、実用性についてあまり期
待し得るものでない。
本発明者はかかる点に鑑み、分離係数（PHe／
PN2）とヘリウムの透過速度が高いレベルでバラ
ンスし、しかもその性能が安定して持続し得る分
離膜を得ることを目的として種々研究、検討した
結果、特定のパーフルオロ化合物を膜素材として
用いることにより前記目的を達成し得ることを見
出した。
PN2）とヘリウムの透過速度が高いレベルでバラ
ンスし、しかもその性能が安定して持続し得る分
離膜を得ることを目的として種々研究、検討した
結果、特定のパーフルオロ化合物を膜素材として
用いることにより前記目的を達成し得ることを見
出した。
かくして本発明は多孔質膜上にパーフルオロ−
３−オキサヘキセン−１をプラズマ重合せしめて
成る気体を分離する膜を提供するにある。
３−オキサヘキセン−１をプラズマ重合せしめて
成る気体を分離する膜を提供するにある。
本発明に用いられる多孔質膜としては、その物
性が平均細孔径10〜2000Å、空気の透過速度４×
10-4〜４×10-1cm3/cm2・sec・cmHgを有するのが
適当である。
性が平均細孔径10〜2000Å、空気の透過速度４×
10-4〜４×10-1cm3/cm2・sec・cmHgを有するのが
適当である。
これら物性が前記範囲を逸脱する場合には充分
なガス透過速度が得難く、又超薄膜を積層する際
欠陥を生じ易くなる虞れがあるので好ましくな
い。かかる膜の材質としては、例えばポリスルホ
ン、ポリアミド、ポリアクリロニトリル、ポリエ
チレン、ポリビニルアルコール、ポリテトラフル
オロエチレン等が挙げられる。
なガス透過速度が得難く、又超薄膜を積層する際
欠陥を生じ易くなる虞れがあるので好ましくな
い。かかる膜の材質としては、例えばポリスルホ
ン、ポリアミド、ポリアクリロニトリル、ポリエ
チレン、ポリビニルアルコール、ポリテトラフル
オロエチレン等が挙げられる。
そして本発明においては前述の多孔質支持膜上
にパーフルオロ−３−オキサヘキセン−１を薄膜
状にプラズマ重合せしめる。プラズマ重合に供せ
られるパーフルオロ−３−オキサヘキセン−１の
調製は例えば次に示す一連の反応でヘキサフルオ
ロプロペンより製造される。
にパーフルオロ−３−オキサヘキセン−１を薄膜
状にプラズマ重合せしめる。プラズマ重合に供せ
られるパーフルオロ−３−オキサヘキセン−１の
調製は例えば次に示す一連の反応でヘキサフルオ
ロプロペンより製造される。
又、プラズマ重合手段としては、モノマー供給
弁、電極、アース電極、アース電極冷却部、高周
波電源、ガラス製ベルジヤー、排気系より構成さ
れる通常よく知られているベルジヤー型プラズマ
重合装置を用いることが出来る。
弁、電極、アース電極、アース電極冷却部、高周
波電源、ガラス製ベルジヤー、排気系より構成さ
れる通常よく知られているベルジヤー型プラズマ
重合装置を用いることが出来る。
プラズマ重合条件としては前記ベルジヤー型プ
ラズマ重合装置を用いれば圧力0.01〜5torr、パ
ーフルオロ−３−オキサヘキセンの流量１〜1000
cm3／min、高周波出力１〜200Wを採用するのが
適当である。前記以外の重合装置を用いても、こ
れらの条件を最適化してプラズマ重合を行うのは
この技術に習熟している者にとつて比較的容易で
ある。
ラズマ重合装置を用いれば圧力0.01〜5torr、パ
ーフルオロ−３−オキサヘキセンの流量１〜1000
cm3／min、高周波出力１〜200Wを採用するのが
適当である。前記以外の重合装置を用いても、こ
れらの条件を最適化してプラズマ重合を行うのは
この技術に習熟している者にとつて比較的容易で
ある。
プラズマ重合により多孔質膜上に設けられるパ
ーフルオロ−３−オキサヘキセン−１膜の厚さ
は、0.01〜5.0μm、好ましくは0.03〜1.0μm程度を
採用するのが適当である。
ーフルオロ−３−オキサヘキセン−１膜の厚さ
は、0.01〜5.0μm、好ましくは0.03〜1.0μm程度を
採用するのが適当である。
膜の厚さが前記範囲を逸脱する場合には膜に欠
陥を生じ易くなるか、又は充分なガス透過速度が
得難くなる等の虞れがあるので好ましくない。
陥を生じ易くなるか、又は充分なガス透過速度が
得難くなる等の虞れがあるので好ましくない。
かくして得られた気体の分離膜は、特にヘリウ
ムに対する選択分離透過性が優れているが、その
他酸素や炭酸ガス等のガスに対する選択透過性も
実用的であり、これらガスの濃縮或は分離等にも
有用である。
ムに対する選択分離透過性が優れているが、その
他酸素や炭酸ガス等のガスに対する選択透過性も
実用的であり、これらガスの濃縮或は分離等にも
有用である。
次に本発明を実施例により説明する。
実施例
ベルジヤー型プラズマ重合装置を用い、空気の
透過速度が４×10-2cm3/cm2・sec・cmHg、平均細
孔径が30Å、直径80mmのポリスルホン多孔質膜を
アース電極上に固定した。
透過速度が４×10-2cm3/cm2・sec・cmHg、平均細
孔径が30Å、直径80mmのポリスルホン多孔質膜を
アース電極上に固定した。
真空ポンプによりベルジヤー内を脱気し、排気
を続けながらモノマー供給バルブを通してパーフ
ルオロ−３−オキサヘキセン−１を40cm3／minで
供給した。ベルジヤー内の圧力は0.3torrとなつ
た。電極間に13.56MHz、30Wの高周波出力を印
加してパーフルオロ−３−オキサヘキセン−１を
多孔質膜上へ1.0分間プラズマ重合した。
を続けながらモノマー供給バルブを通してパーフ
ルオロ−３−オキサヘキセン−１を40cm3／minで
供給した。ベルジヤー内の圧力は0.3torrとなつ
た。電極間に13.56MHz、30Wの高周波出力を印
加してパーフルオロ−３−オキサヘキセン−１を
多孔質膜上へ1.0分間プラズマ重合した。
得られたプラズマ重合膜の膜厚は0.23μmであ
つた。
つた。
He、CO2、N2の各ガスの透過性能を測定した
結果を以下に示す。
結果を以下に示す。
Heの透過速度 9.5×10-4cm3/cm2・sec・cmHg
Heの透過係数 2.2×10-8cm3/cm・sec・cmHg
CO2の透過速度 6.1×10-4cm3/cm2・sec・cmHg
CO2の透過係数 1.4×10-8cm3/cm・sec・cmHg
N2の透過速度 7.3×10-5cm3/cm2・sec・cmHg
N2の透過係数 1.7×10-9cm3/cm・sec・cmHg
He／N2の分離係数 13
CO2／N2の分離係数 8.4
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 多孔質膜上にパーフルオロ−３−オキサヘキ
セン−１をプラズマ重合せしめて成る気体を分離
する膜。 ２ 多孔質膜は平均細孔径10〜2000Å、空気の透
過速度が４×10-4〜４×10-1cm3/cm2・sec・cmHg
である請求の範囲１の分離膜。 ３ 多孔質膜はポリスルホン、ポリアミド、ポリ
アクリロニトリル、ポリエチレン、ポリビニルア
ルコール、ポリテトラフルオロエチレンである請
求の範囲１又は２の分離膜。 ４ パーフルオロ−３−オキサヘキセン−１重合
体の膜厚は0.01〜5.0μmである請求の範囲１の分
離膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20577883A JPH0236292B2 (ja) | 1983-11-04 | 1983-11-04 | Kitaiobunrisurumaku |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20577883A JPH0236292B2 (ja) | 1983-11-04 | 1983-11-04 | Kitaiobunrisurumaku |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6099327A JPS6099327A (ja) | 1985-06-03 |
| JPH0236292B2 true JPH0236292B2 (ja) | 1990-08-16 |
Family
ID=16512510
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20577883A Expired - Lifetime JPH0236292B2 (ja) | 1983-11-04 | 1983-11-04 | Kitaiobunrisurumaku |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0236292B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4954256A (en) * | 1989-05-15 | 1990-09-04 | Pall Corporation | Hydrophobic membranes |
| JP2671072B2 (ja) * | 1991-11-26 | 1997-10-29 | 宇部興産株式会社 | ガス分離膜の製造法 |
-
1983
- 1983-11-04 JP JP20577883A patent/JPH0236292B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6099327A (ja) | 1985-06-03 |
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