JPH0231337A - 焦点誤差検出装置 - Google Patents
焦点誤差検出装置Info
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- JPH0231337A JPH0231337A JP63182109A JP18210988A JPH0231337A JP H0231337 A JPH0231337 A JP H0231337A JP 63182109 A JP63182109 A JP 63182109A JP 18210988 A JP18210988 A JP 18210988A JP H0231337 A JPH0231337 A JP H0231337A
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1381—Non-lens elements for altering the properties of the beam, e.g. knife edges, slits, filters or stops
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- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/16—Beam splitting or combining systems used as aids for focusing
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は焦点誤差検出装置に係り、特に光学式情報記
録再生装置の対物レンズの焦点制御に適用するに好適な
焦点誤差検出装置に関する。
録再生装置の対物レンズの焦点制御に適用するに好適な
焦点誤差検出装置に関する。
[従来の技術]
第5図は例えば特開昭58−208946号公報に示さ
れるような従来の焦点誤差検出装置の概略構成図で、特
にディスク形情報記録担体に対する記録再生系の焦点誤
差をフーコー法により検出する構成を例示するものであ
る。図において、(1)は光学的に情報を記録したり再
生したりするための周知のディスク形記録担体、(2)
はディスク形記録担体(1)の上側に設けられ図示しな
い多数の情報区域を延在配置させたトラ・ツク溝、(3
)はディスク形記録担体(1)に対する情報の書き込み
ないしは再生を行うためのビーム光を発生させる半導体
レーザ等の放射線源、(4)は放射線源(3)からの発
散するビーム光を平行ビームに変換するレンズ、(5)
はディスク形記録担体(1)のトラック溝(2)に情報
を記録したり情報を読み出したりするために微小なスポ
ット光を照射すべく配置される対物レンズ系、(6)は
ディスク形記録担体(1)からの戻り光を取り出すため
のプリズム要素(7)とプリズム要素(8)の接触面に
形成される偏光膜(9)で構成された偏光ビーム・スプ
リッタ、(10)は偏光ビーム・スプリッタ(6)のビ
ーム・スプリッタ(6)のビーム・スプリッタ入口面、
(11)はビーム・スプリッタ出口面、(12)は光ビ
ームの偏光面を90@回転させることによって、ディス
ク形記録担体(1)からの戻り光を偏光ビーム・スプリ
ッタ(6)で完全に反射させ、放射線源(3)に戻らな
いようにするためのλ/4板(4分の1波長板)、(1
3)は4分割され、4つの検知器(16)、(17)、
(18)、(19)で構成され偏光ビーム・スプリッタ
(6)のビーム・スプリッタ出口面(11)からの光を
検出する光検知器、(14)は対物レンズ系(5)の焦
点面とディスク形記録担体(1)の面との間のずれの大
きさと方向を表す焦点誤差信号を発生させるために屈折
縁(15)を備え、偏光ビーム・スプリッタ(6)のビ
ーム・スプリッタ出口面(11)に設けた屋根形プリズ
ムである。第6図は第5図の構成におけるA−A−線に
沿って得た光検知器(13)の正面図である。また、第
7図は光検知器(13)の4つの検知器(16)、(1
7)、(18)、(19)の出力を処理して焦点誤差を
発生する回路のブロック図である。図において、(20
)は検知器(16)と(19)の各出力を加算する加算
器、(21)は検知器(17)と(18)の各出力を加
算する加算器、(22)は加算器(20)の出力から加
算器(21)の出力を減算する減算器である。
れるような従来の焦点誤差検出装置の概略構成図で、特
にディスク形情報記録担体に対する記録再生系の焦点誤
差をフーコー法により検出する構成を例示するものであ
る。図において、(1)は光学的に情報を記録したり再
生したりするための周知のディスク形記録担体、(2)
はディスク形記録担体(1)の上側に設けられ図示しな
い多数の情報区域を延在配置させたトラ・ツク溝、(3
)はディスク形記録担体(1)に対する情報の書き込み
ないしは再生を行うためのビーム光を発生させる半導体
レーザ等の放射線源、(4)は放射線源(3)からの発
散するビーム光を平行ビームに変換するレンズ、(5)
はディスク形記録担体(1)のトラック溝(2)に情報
を記録したり情報を読み出したりするために微小なスポ
ット光を照射すべく配置される対物レンズ系、(6)は
ディスク形記録担体(1)からの戻り光を取り出すため
のプリズム要素(7)とプリズム要素(8)の接触面に
形成される偏光膜(9)で構成された偏光ビーム・スプ
リッタ、(10)は偏光ビーム・スプリッタ(6)のビ
ーム・スプリッタ(6)のビーム・スプリッタ入口面、
(11)はビーム・スプリッタ出口面、(12)は光ビ
ームの偏光面を90@回転させることによって、ディス
ク形記録担体(1)からの戻り光を偏光ビーム・スプリ
ッタ(6)で完全に反射させ、放射線源(3)に戻らな
いようにするためのλ/4板(4分の1波長板)、(1
3)は4分割され、4つの検知器(16)、(17)、
(18)、(19)で構成され偏光ビーム・スプリッタ
(6)のビーム・スプリッタ出口面(11)からの光を
検出する光検知器、(14)は対物レンズ系(5)の焦
点面とディスク形記録担体(1)の面との間のずれの大
きさと方向を表す焦点誤差信号を発生させるために屈折
縁(15)を備え、偏光ビーム・スプリッタ(6)のビ
ーム・スプリッタ出口面(11)に設けた屋根形プリズ
ムである。第6図は第5図の構成におけるA−A−線に
沿って得た光検知器(13)の正面図である。また、第
7図は光検知器(13)の4つの検知器(16)、(1
7)、(18)、(19)の出力を処理して焦点誤差を
発生する回路のブロック図である。図において、(20
)は検知器(16)と(19)の各出力を加算する加算
器、(21)は検知器(17)と(18)の各出力を加
算する加算器、(22)は加算器(20)の出力から加
算器(21)の出力を減算する減算器である。
以上のような構成において、次にその作用をディスク形
記録担体(1)からの情報の読み出しを行う場合につい
て説明する。
記録担体(1)からの情報の読み出しを行う場合につい
て説明する。
放射線源(3)から発生したレーザ光は偏光ビーム・ス
プリッタ(6)、λ/4板(12)を通りレンズ(4)
によって平行ビームに変えられる。
プリッタ(6)、λ/4板(12)を通りレンズ(4)
によって平行ビームに変えられる。
この平行ビームは対物レンズ系(5)を通過しディスク
形記録担体(1)上に情報読み出しのために必要な最小
寸法のスポットVを形成する。このスポットVを形成さ
せる読み取りビームはディスク形記録担体(1)で反射
されるが、このディスク形記録担体(1)の回転移動に
伴い記録された情報に基づいて反射光は変調される。こ
の反射変調ビームを放射線源(3)から射出されたビー
ムから分離するために放射線源(3)と対物レンズ系(
5)の間に偏光ビーム・スプリッタ(6)とλ/4板(
12)が配設されている。λ/板(12)はこれをビー
ムが2回通過する間に偏光面が90’回転する。従って
、偏光ビーム−スプリッタ(6)は放射線源(3)から
放射されたビームはほとんど透過させるが、ディスク形
記録担体(1)からの戻り変調ビームはほとんど検知器
(13)の方に反射する。そして、検知器(13)によ
ってディスク形記録担体(1)に記録されている情報に
基づき変調された信号を検出することができる。
形記録担体(1)上に情報読み出しのために必要な最小
寸法のスポットVを形成する。このスポットVを形成さ
せる読み取りビームはディスク形記録担体(1)で反射
されるが、このディスク形記録担体(1)の回転移動に
伴い記録された情報に基づいて反射光は変調される。こ
の反射変調ビームを放射線源(3)から射出されたビー
ムから分離するために放射線源(3)と対物レンズ系(
5)の間に偏光ビーム・スプリッタ(6)とλ/4板(
12)が配設されている。λ/板(12)はこれをビー
ムが2回通過する間に偏光面が90’回転する。従って
、偏光ビーム−スプリッタ(6)は放射線源(3)から
放射されたビームはほとんど透過させるが、ディスク形
記録担体(1)からの戻り変調ビームはほとんど検知器
(13)の方に反射する。そして、検知器(13)によ
ってディスク形記録担体(1)に記録されている情報に
基づき変調された信号を検出することができる。
一方、対物レンズ系(5)の焦点とディスク形記録担体
(1)の記録面との間のずれの大きさと方向を表す焦点
誤差信号を発生させるために偏光ビーム・スプリッタ(
6)のビーム・スプリッタで出口面(11)上に屋根形
プリズム(14)が配されているが、これは偏光ビーム
・スプリッタ(6)で反射されたビームを光検知器(1
3)を4分割する検知器(16)、(17)と検知器(
18)、(19)に入射する2つのサブ・ビームb1、
b2に分割する。
(1)の記録面との間のずれの大きさと方向を表す焦点
誤差信号を発生させるために偏光ビーム・スプリッタ(
6)のビーム・スプリッタで出口面(11)上に屋根形
プリズム(14)が配されているが、これは偏光ビーム
・スプリッタ(6)で反射されたビームを光検知器(1
3)を4分割する検知器(16)、(17)と検知器(
18)、(19)に入射する2つのサブ・ビームb1、
b2に分割する。
ちなみに、第5図と第6図は読み取りビームが正確にデ
ィスク形記録担体(1)上の情報記録面に合焦点してい
る状態を示している。そして、この場合はサブ・ビーム
b1、b2が対称的にそれぞれ対応する検知器(16)
、(17)および検知器(18)、(19)に入射する
。つまり、第6図に示されるように、検知器(13)上
のスポットv1は検知器(16)、(17)の分割線上
に、スポット■2は検知器(18)、(19)の分割線
上に入射している。これらのサブ・ビームb Sb
のスポットV■、v2は読み取りビームがディスク形
記録担体(1)上に合焦点となっているときは検知器(
13)上でも合焦点となっている。そして、焦点ずれが
ある場合はそれぞれ関連するスポットv1、v2のずれ
として現れる。
ィスク形記録担体(1)上の情報記録面に合焦点してい
る状態を示している。そして、この場合はサブ・ビーム
b1、b2が対称的にそれぞれ対応する検知器(16)
、(17)および検知器(18)、(19)に入射する
。つまり、第6図に示されるように、検知器(13)上
のスポットv1は検知器(16)、(17)の分割線上
に、スポット■2は検知器(18)、(19)の分割線
上に入射している。これらのサブ・ビームb Sb
のスポットV■、v2は読み取りビームがディスク形
記録担体(1)上に合焦点となっているときは検知器(
13)上でも合焦点となっている。そして、焦点ずれが
ある場合はそれぞれ関連するスポットv1、v2のずれ
として現れる。
光検知器(13)を構成する検知器(16)、(17)
、(18)、(19)の各出力信号は第7図のような回
路に入力されるが、検知器(16)、(19)の各出力
は加算器(20)に連続され、検知器(17)、(18
)の各出力は加算器(21)に接続される。そして加算
器(20)、(21)の各出力は減算器(22)に接続
されているので、減算器(22)の出力が焦点誤差信号
Srとなる。
、(18)、(19)の各出力信号は第7図のような回
路に入力されるが、検知器(16)、(19)の各出力
は加算器(20)に連続され、検知器(17)、(18
)の各出力は加算器(21)に接続される。そして加算
器(20)、(21)の各出力は減算器(22)に接続
されているので、減算器(22)の出力が焦点誤差信号
Srとなる。
ここで、放射線源(3)より放射され対物レンズ系(5
)で集光されるビームの焦点に対してディスク形記録担
体(1)が対物レンズ系(5)に近づいた場合、つまり
ディスク形記録担体(1)が矢印Nの方向にある時、屋
根形プリズム(14)で分割された2つのサブ・ビーム
b1、b2は互いに離れる方向に移動し、従って検知器
(16)、(17)上のスポットv1は検知器(16)
側に移動し、検知器(18)、(19)上のスポットv
2は検知器(19)側へと移動する。その結果、検知器
(16)、(19)の出力がそれぞれ検知器(17)、
(18)の出力より大きくなり1.従って減算器(22
)には正の出力である焦点誤差信号S、が得られる。逆
に、放射線源(3)より放射され対物レンズ系(5)で
集光されるビームの焦点に対してディスク形記録担体(
1)が対物レンズ系(5)から遠くなった場合、つまり
ディスク形記録担体(1)が矢印Fの方向にある時、屋
根形プリズム(14)で分割された2つのサブ・ビーム
b11b2は互いに近づく方向に移動し、従って検知器
(16)、(17)上のスポットv1は検知器(17)
側に移動し、検知器(18)、(19)上のスポットV
2は検知器(18)側へと移動する。その結果、検知器
(17)、(18)の出力がそれぞれ検知器(16)、
(19)の出力より大きくなり、従って減算器(22)
には負の出力である焦点誤差信号Sfが得られる。つま
り、焦点誤差信号S、の符号が焦点のずれ方向を、焦点
誤差信号S、の大きさが焦点のずれの大きさを示すこと
になる。
)で集光されるビームの焦点に対してディスク形記録担
体(1)が対物レンズ系(5)に近づいた場合、つまり
ディスク形記録担体(1)が矢印Nの方向にある時、屋
根形プリズム(14)で分割された2つのサブ・ビーム
b1、b2は互いに離れる方向に移動し、従って検知器
(16)、(17)上のスポットv1は検知器(16)
側に移動し、検知器(18)、(19)上のスポットv
2は検知器(19)側へと移動する。その結果、検知器
(16)、(19)の出力がそれぞれ検知器(17)、
(18)の出力より大きくなり1.従って減算器(22
)には正の出力である焦点誤差信号S、が得られる。逆
に、放射線源(3)より放射され対物レンズ系(5)で
集光されるビームの焦点に対してディスク形記録担体(
1)が対物レンズ系(5)から遠くなった場合、つまり
ディスク形記録担体(1)が矢印Fの方向にある時、屋
根形プリズム(14)で分割された2つのサブ・ビーム
b11b2は互いに近づく方向に移動し、従って検知器
(16)、(17)上のスポットv1は検知器(17)
側に移動し、検知器(18)、(19)上のスポットV
2は検知器(18)側へと移動する。その結果、検知器
(17)、(18)の出力がそれぞれ検知器(16)、
(19)の出力より大きくなり、従って減算器(22)
には負の出力である焦点誤差信号Sfが得られる。つま
り、焦点誤差信号S、の符号が焦点のずれ方向を、焦点
誤差信号S、の大きさが焦点のずれの大きさを示すこと
になる。
また、先に述べたように、読み取りビームがディスク形
記録担体(1)上で合焦点となった時は、検知器(13
)上のスポットv1、V2は合焦点となっており、その
結果、読み取りビームがディスク形記録担体(1)上に
設けられているトラック溝(2)を横断する際に生じる
外乱が焦点誤差信号Srに影響しにくい構成となってい
る。
記録担体(1)上で合焦点となった時は、検知器(13
)上のスポットv1、V2は合焦点となっており、その
結果、読み取りビームがディスク形記録担体(1)上に
設けられているトラック溝(2)を横断する際に生じる
外乱が焦点誤差信号Srに影響しにくい構成となってい
る。
[発明が解決しようとする課題]
従来の焦点誤差検出装置は以上のように構成されている
ので、サブやビームb1、b2の位置を検出する光検知
器(13)の4つの検知器(16)、(17)、(18
)、(19)の分割線上にそれぞれのスポットvlSV
2をミクロン・オーダーの精度で位置させる必要があり
、調整が困難であるという問題点がある。また、屋根形
プリズム(14)の加工精度も厳しく管理する必要があ
り、製造上の問題も少なくなかった。
ので、サブやビームb1、b2の位置を検出する光検知
器(13)の4つの検知器(16)、(17)、(18
)、(19)の分割線上にそれぞれのスポットvlSV
2をミクロン・オーダーの精度で位置させる必要があり
、調整が困難であるという問題点がある。また、屋根形
プリズム(14)の加工精度も厳しく管理する必要があ
り、製造上の問題も少なくなかった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、加工精度の厳しい屋根形プリズム等の部品を
必要とせず、しかも2分割の光検知器を1組設けるだけ
で焦点誤差信号を得ることが可能で、さらにフーコー法
と同じようにトラック溝横断による外乱の影響の少ない
焦点誤差検出装置を得ることを目的とする。
たもので、加工精度の厳しい屋根形プリズム等の部品を
必要とせず、しかも2分割の光検知器を1組設けるだけ
で焦点誤差信号を得ることが可能で、さらにフーコー法
と同じようにトラック溝横断による外乱の影響の少ない
焦点誤差検出装置を得ることを目的とする。
[課題を解決するための手段]
この発明に係る焦点誤差検出装置は対象面に光束を集光
させる対物レンズを含む手段と、2つの光検出部を有す
る光検出手段と、対象面からの反射光束をそれが対象面
に合焦点の時に光検出手段の2つの光検出部の中間にな
るように光検出手段に集光させる対物レンズ、別のレン
ズ、ビーム・スプリッタを含む光学手段と、光学手段の
出力光束を光検出手段の2つの光検出部に対応する2つ
の位置で遮断変調または偏向等を独立に制御することで
切り換える光スイッチ手段と、光検出手段の2つの光検
出部の出力の差を光スイッチ手段の切り換えに対応して
それぞれ保持する2つのサンプル・ホールド手段等の保
持手段と、各保持手段の出力を減算処理することによっ
て焦点誤差信号を出力する演算手段を備え、2つの光検
出部に時分割的に2つのビームを入射させて保持手段で
両ビームに基づく焦点誤差信号を同時化して焦点誤差を
検出するようにしたものである。
させる対物レンズを含む手段と、2つの光検出部を有す
る光検出手段と、対象面からの反射光束をそれが対象面
に合焦点の時に光検出手段の2つの光検出部の中間にな
るように光検出手段に集光させる対物レンズ、別のレン
ズ、ビーム・スプリッタを含む光学手段と、光学手段の
出力光束を光検出手段の2つの光検出部に対応する2つ
の位置で遮断変調または偏向等を独立に制御することで
切り換える光スイッチ手段と、光検出手段の2つの光検
出部の出力の差を光スイッチ手段の切り換えに対応して
それぞれ保持する2つのサンプル・ホールド手段等の保
持手段と、各保持手段の出力を減算処理することによっ
て焦点誤差信号を出力する演算手段を備え、2つの光検
出部に時分割的に2つのビームを入射させて保持手段で
両ビームに基づく焦点誤差信号を同時化して焦点誤差を
検出するようにしたものである。
[作用]
この発明における焦点誤差検出装置は、2つの光検出部
に光スイッチ手段を介して時分割的に入力される光学手
段の2つの位置からの光束の集光位置からそれぞれの光
スィッチに対応する焦点誤差信号を検出し、それぞれを
2つの保持手段で保持することによって同時化された焦
点誤差信号を得て、保持手段の出力の差を演算すること
によってフーコー法で得た場合に対応する最終的な焦点
誤差信号を得ている。
に光スイッチ手段を介して時分割的に入力される光学手
段の2つの位置からの光束の集光位置からそれぞれの光
スィッチに対応する焦点誤差信号を検出し、それぞれを
2つの保持手段で保持することによって同時化された焦
点誤差信号を得て、保持手段の出力の差を演算すること
によってフーコー法で得た場合に対応する最終的な焦点
誤差信号を得ている。
[実施例]
以下、図面を参照しながらこの発明の詳細な説明する。
第1図はこの発明の一実施例に係る焦点誤差検出装置の
概略構成図である。同図において、光検知器(13)は
2分割された検知器(13a)、(13b)で構成され
る。また、(26)は外部からそれぞれ独立に制御可能
な2分割の遮断または偏向が可能な遮断/偏向素子で、
素子(26a)、(26b)から構成される。この遮断
/偏向素子(26)の素子(26a)、(26b)の分
割線はこれを通過する光束をほぼ2等分割する位置に配
置されている。(27)は検知器(13b)の出力から
検知器(13a)の出力を減算する減算回路、(29)
、(30)は減算回路(27)の出力をサンプル・ホー
ルドするサンプル・ホールド回路、(28)はサンプル
・ホールド回路(29)の出力からサンプル・ホールド
回路(30)の出力を減算する減算回路、(31)は遮
断/偏向素子(2B)を外部から制御すると共にサンプ
ル・ホールド回路(29)、(30)に制御信号を与え
る制御回路である。
概略構成図である。同図において、光検知器(13)は
2分割された検知器(13a)、(13b)で構成され
る。また、(26)は外部からそれぞれ独立に制御可能
な2分割の遮断または偏向が可能な遮断/偏向素子で、
素子(26a)、(26b)から構成される。この遮断
/偏向素子(26)の素子(26a)、(26b)の分
割線はこれを通過する光束をほぼ2等分割する位置に配
置されている。(27)は検知器(13b)の出力から
検知器(13a)の出力を減算する減算回路、(29)
、(30)は減算回路(27)の出力をサンプル・ホー
ルドするサンプル・ホールド回路、(28)はサンプル
・ホールド回路(29)の出力からサンプル・ホールド
回路(30)の出力を減算する減算回路、(31)は遮
断/偏向素子(2B)を外部から制御すると共にサンプ
ル・ホールド回路(29)、(30)に制御信号を与え
る制御回路である。
ちなみに、遮断/偏向素子(26)とは外部から制御す
ることによってこの素子を透過する光の強度を変調した
りあるいは偏向したりする素子でよく知られた液晶等が
運用可能である。また、遮断機能を持った素子、つまり
光変調素子としてはポッケルス効果やカー効果を利用す
る電気光学変調器、ファラデー効果や磁気的カー効果を
有する磁気光学変調器、超音波による屈折や回折効果等
を利用した音響光学素子等を用いることができる。
ることによってこの素子を透過する光の強度を変調した
りあるいは偏向したりする素子でよく知られた液晶等が
運用可能である。また、遮断機能を持った素子、つまり
光変調素子としてはポッケルス効果やカー効果を利用す
る電気光学変調器、ファラデー効果や磁気的カー効果を
有する磁気光学変調器、超音波による屈折や回折効果等
を利用した音響光学素子等を用いることができる。
また、光偏向素子としては電気光学偏向器や音響光学偏
向器1.磁気弾性波を利用した偏向器等を用いることが
できる。これらの素子は、周知のように透過する光の光
学的性質を実用上劣化させることがないため、すなわち
光の波面収差を劣化させることがないため、この発明の
ような目的の光学系に導入しても何ら聞届なく使用可能
である。
向器1.磁気弾性波を利用した偏向器等を用いることが
できる。これらの素子は、周知のように透過する光の光
学的性質を実用上劣化させることがないため、すなわち
光の波面収差を劣化させることがないため、この発明の
ような目的の光学系に導入しても何ら聞届なく使用可能
である。
ここでは、遮断/偏向素子(26)として通過する光の
強度を電気光学効果により変調できる素子、すなわち遮
断素子を用いた場合を例にとって説明する。
強度を電気光学効果により変調できる素子、すなわち遮
断素子を用いた場合を例にとって説明する。
第1図において放射線源(3)からの出射ビームは偏光
ビーム・スプリッタ(6)、λ/4板(12)を通って
レンズ(4)により平行ビームに変換される。次に、対
物レンズ系(5)によりこの平行ビームはディスク形記
録担体(1)上に最小寸法のスポットVを形成する。こ
のスポットVはディスク形記録担体(1)で反射されて
再び対物レンズ系(5)、レンズ(4)、λ/4板(1
2)を経て偏光ビーム・スプリッタ(6)に入射する。
ビーム・スプリッタ(6)、λ/4板(12)を通って
レンズ(4)により平行ビームに変換される。次に、対
物レンズ系(5)によりこの平行ビームはディスク形記
録担体(1)上に最小寸法のスポットVを形成する。こ
のスポットVはディスク形記録担体(1)で反射されて
再び対物レンズ系(5)、レンズ(4)、λ/4板(1
2)を経て偏光ビーム・スプリッタ(6)に入射する。
このビームは先にも述べた作用によって偏光ビーム・ス
プリッタ(6)で反射される。
プリッタ(6)で反射される。
偏光ビーム・スプリッタ(6)で反射されたビームは遮
断/偏向素子(26)を通り検知器(13)に入射する
が、ここで遮断/偏向素子(26)は2つの素子(26
a)、(26b)で構成されており、それぞれ独立に制
御回路(31)によって制御され、それぞれの透過光が
遮断可能に構成されている。
断/偏向素子(26)を通り検知器(13)に入射する
が、ここで遮断/偏向素子(26)は2つの素子(26
a)、(26b)で構成されており、それぞれ独立に制
御回路(31)によって制御され、それぞれの透過光が
遮断可能に構成されている。
次に、この素子(26a)、(26b)の制御方法につ
いて第2図に従って説明する。第2図(a)は制御回路
(31)から素子(26a)、(26b)に印加される
電圧V %V の時31a 31b 間に対する変化を示す波形図である。図に示すように、
電圧v Sv ハv −v (v)31
a 31b 31a ONの時に、V
−V (V)、 atb opp 逆1:V −v (V)ノ時に、”31b −
”0N31a 0FF (V)、となるように制御回路(31)によって制御さ
れている。また、このく形波の周波数は対物レンズ形で
集光される光束がディスク形記録担体(1)上で合焦点
となるように制御するサーボ系のサーボ帯域よりも数十
倍の高い周波数に設定されている。各素子(26a)、
(26b)はいずれも印加電圧V。Nの時に光を遮断し
、印加電圧voI、Fの時に光を透過する性質を有する
ものである。
いて第2図に従って説明する。第2図(a)は制御回路
(31)から素子(26a)、(26b)に印加される
電圧V %V の時31a 31b 間に対する変化を示す波形図である。図に示すように、
電圧v Sv ハv −v (v)31
a 31b 31a ONの時に、V
−V (V)、 atb opp 逆1:V −v (V)ノ時に、”31b −
”0N31a 0FF (V)、となるように制御回路(31)によって制御さ
れている。また、このく形波の周波数は対物レンズ形で
集光される光束がディスク形記録担体(1)上で合焦点
となるように制御するサーボ系のサーボ帯域よりも数十
倍の高い周波数に設定されている。各素子(26a)、
(26b)はいずれも印加電圧V。Nの時に光を遮断し
、印加電圧voI、Fの時に光を透過する性質を有する
ものである。
さて、第2図(b)は印加電圧V31a −VON(V
)、印加電圧V −V (V)の時の検31b
OFF 知器(13)への入射光の状態を説明する概略図である
。図では、素子(26a)は光を遮断する状態に、素子
(26b)は光を透過する状態にある。したがって、偏
光ビーム・スプリッタ(6)で反射された光束は素子(
26b)に入射する光束のみが光検知器(13)に入射
する。逆に、第2図(c)は印加電圧V −V
(V)、印31a OFF 加電圧v34.−v。N(v)の時の検知器(13)へ
の入射光の状態を説明する概略図である。この場合は、
素子(26a)は光を透過する状態に、素子(26b)
は光を遮断する状態にある。従って、偏光ビーム・スプ
リッタ(6)で反射された光束は素子(26a)に入射
する光束のみが光検知器(13)に入射する。
)、印加電圧V −V (V)の時の検31b
OFF 知器(13)への入射光の状態を説明する概略図である
。図では、素子(26a)は光を遮断する状態に、素子
(26b)は光を透過する状態にある。したがって、偏
光ビーム・スプリッタ(6)で反射された光束は素子(
26b)に入射する光束のみが光検知器(13)に入射
する。逆に、第2図(c)は印加電圧V −V
(V)、印31a OFF 加電圧v34.−v。N(v)の時の検知器(13)へ
の入射光の状態を説明する概略図である。この場合は、
素子(26a)は光を透過する状態に、素子(26b)
は光を遮断する状態にある。従って、偏光ビーム・スプ
リッタ(6)で反射された光束は素子(26a)に入射
する光束のみが光検知器(13)に入射する。
次に、この素子(26a)、(26b)を制御すること
によって従来のフーコー法と同様の焦点誤差検出が実現
できることを第3図を用いて説明する。
によって従来のフーコー法と同様の焦点誤差検出が実現
できることを第3図を用いて説明する。
第3図において、(a)、(b)、(c)は素子(26
a)が光を遮断する状態にある場合を、(d)、(e)
、(f)は素子(26b)が光を遮断する状態にある場
合をそれぞれ示しており、同図(a)、(d)は対物レ
ンズ系(5)がディスク形記録担体(1)から遠ざかっ
た時の反射光の状態、同図(b)、(e)は対物レンズ
系(5)による焦点が正確にディスク形記録担体(1)
上にある時の反射光の状態、同図(c)、(f)は対物
レンズ系(5)がディスク形記録担体(1)に近づいた
時の反射光の状態をそれぞれ示す説明図である。
a)が光を遮断する状態にある場合を、(d)、(e)
、(f)は素子(26b)が光を遮断する状態にある場
合をそれぞれ示しており、同図(a)、(d)は対物レ
ンズ系(5)がディスク形記録担体(1)から遠ざかっ
た時の反射光の状態、同図(b)、(e)は対物レンズ
系(5)による焦点が正確にディスク形記録担体(1)
上にある時の反射光の状態、同図(c)、(f)は対物
レンズ系(5)がディスク形記録担体(1)に近づいた
時の反射光の状態をそれぞれ示す説明図である。
ここで、第3図(a)、(b)、(c)について考える
。第3図(a)の時は対物レンズ系(5)がディスク形
記録担体(1)から遠ざかった訳であるからディスク形
記録担体(1)からの反射光は光検知器(13)よりも
手前つまり矢印N方向に焦点を結ぶので検知器(13a
)の出力は検知器(13b)の出力より大きくなり減算
回路(27)の出力、つまり焦点誤差信号は負となる。
。第3図(a)の時は対物レンズ系(5)がディスク形
記録担体(1)から遠ざかった訳であるからディスク形
記録担体(1)からの反射光は光検知器(13)よりも
手前つまり矢印N方向に焦点を結ぶので検知器(13a
)の出力は検知器(13b)の出力より大きくなり減算
回路(27)の出力、つまり焦点誤差信号は負となる。
これに対して、第3図(b)の時は対物レンズ系(5)
の焦点がディスク形記録担体(1)上になるのでディス
ク形記録担体(1)からの反射光は検知器(13a)、
(13b)の分割線上で焦点を結ぶ。従って、検知器(
13a)、(13b)の各出力は等しく、減算回路(2
7)の出力、つまり焦点誤差信号は零となる。また、第
3図(c)の時は対物レンズ系(5)がディスク形記録
担体(1)に近づいた訳であるからディスク形記録担体
(1)からの反射光は光検知器(13)よりも後方つま
り矢印F方向に焦点を結ぶので検知器(13b)の出力
が検知器(13a)の出力よりも大きくなり減算回路(
27)の出力、つまり焦点誤差信号は正となる。これら
の現象はフーコー法の場合に2分割されたビームの一方
の示す作用と全く同じであり、例えば第5図のビームb
1の挙動に対応するものである。
の焦点がディスク形記録担体(1)上になるのでディス
ク形記録担体(1)からの反射光は検知器(13a)、
(13b)の分割線上で焦点を結ぶ。従って、検知器(
13a)、(13b)の各出力は等しく、減算回路(2
7)の出力、つまり焦点誤差信号は零となる。また、第
3図(c)の時は対物レンズ系(5)がディスク形記録
担体(1)に近づいた訳であるからディスク形記録担体
(1)からの反射光は光検知器(13)よりも後方つま
り矢印F方向に焦点を結ぶので検知器(13b)の出力
が検知器(13a)の出力よりも大きくなり減算回路(
27)の出力、つまり焦点誤差信号は正となる。これら
の現象はフーコー法の場合に2分割されたビームの一方
の示す作用と全く同じであり、例えば第5図のビームb
1の挙動に対応するものである。
同様に、第3図(d)、(e)、(f)について見れば
、第3図(d)の時は対物レンズ系(5)がディスク形
記録担体(1)から遠ざかった訳であるからディスク形
記録担体(1)からの反射光は光検知器(13)よりも
手前つまり矢印N方向に焦点を結ぶので検知器(13b
)の出力は検知器(13a)の出力より大きくなり減算
回路(27)の出力、つまり焦点誤差信号は正となる。
、第3図(d)の時は対物レンズ系(5)がディスク形
記録担体(1)から遠ざかった訳であるからディスク形
記録担体(1)からの反射光は光検知器(13)よりも
手前つまり矢印N方向に焦点を結ぶので検知器(13b
)の出力は検知器(13a)の出力より大きくなり減算
回路(27)の出力、つまり焦点誤差信号は正となる。
これに対して、第3図(e)の時は対物レンズ系(5)
の焦点がディスク形記録担体(1)上になるのでディス
ク形記録担体(1)からの反射光は検知器(13a)、
(13b)の分割線上で焦点を結ぶ。従って、検知器(
13a)、(13b)の各出力は等しく、演算回路(2
7)の出力、つまり焦点誤差信号は零となる。また、第
3図(f)の時は対物レンズ系(5)がディスク形記録
担体(1)に近づいた訳であるからディスク形記録担体
(1)からの反射光は光検知器(13)よりも後方つま
り矢印F方向に焦点を結ぶので検知器(13a)の出力
が検知器(13b)の出力よりも大きくなり減算回路(
27)の出力、つまり焦点誤差信号は負となる。この現
象はフーコー法の2分割されたビームの他の一方の示す
作用と全く同じであり、例えば第5図のビームb2の挙
動に対応するものである。
の焦点がディスク形記録担体(1)上になるのでディス
ク形記録担体(1)からの反射光は検知器(13a)、
(13b)の分割線上で焦点を結ぶ。従って、検知器(
13a)、(13b)の各出力は等しく、演算回路(2
7)の出力、つまり焦点誤差信号は零となる。また、第
3図(f)の時は対物レンズ系(5)がディスク形記録
担体(1)に近づいた訳であるからディスク形記録担体
(1)からの反射光は光検知器(13)よりも後方つま
り矢印F方向に焦点を結ぶので検知器(13a)の出力
が検知器(13b)の出力よりも大きくなり減算回路(
27)の出力、つまり焦点誤差信号は負となる。この現
象はフーコー法の2分割されたビームの他の一方の示す
作用と全く同じであり、例えば第5図のビームb2の挙
動に対応するものである。
減算回路(27)の出力、つまり各時点における焦点誤
差信号は制御回路(31)によって制御されるサンプル
・ホールド回路(29)、(30)によって−時的に保
持される。第4図は制御回路(31)から出力される制
御信号のタイミングを示すタイミング・チャートで素子
(26a>に与えられる信号v 1サンプル・ホール
ド回路1a (29)l:与えられる信号”29、素子(26b)に
与えられる信号v 1サンプル・ホールド回1b 路(30)に与えられる信号■3oをそれぞれ示すもの
である。ちなみに、サンプル・ホールド回路(29)、
(30)は信号v29、v3oがV。Nの時にホールド
、VOFFの時にサンプリングを行う。
差信号は制御回路(31)によって制御されるサンプル
・ホールド回路(29)、(30)によって−時的に保
持される。第4図は制御回路(31)から出力される制
御信号のタイミングを示すタイミング・チャートで素子
(26a>に与えられる信号v 1サンプル・ホール
ド回路1a (29)l:与えられる信号”29、素子(26b)に
与えられる信号v 1サンプル・ホールド回1b 路(30)に与えられる信号■3oをそれぞれ示すもの
である。ちなみに、サンプル・ホールド回路(29)、
(30)は信号v29、v3oがV。Nの時にホールド
、VOFFの時にサンプリングを行う。
従ッテ、信号v −v 信号”31b −”0
FF31a ONゝ の時、すなわち素子(26a)が光を遮断、素子(26
b)が光を透過する状態にある時は、素子(26b)を
透過した光による減算回路(27)の出力、つまり焦点
誤差信号はサンプル・ホールド回路(30)によって取
り込まれ、一方サンプル・ホールド回路(29)はホー
ルド状態のままである。次の、信号V −V
信号V31a OFFゝ 31b −V。Nの時、すなわち素子(26a)が光を透過、素
子(26b)が光を遮断する状態にある時は、素子(2
6a)を透過した光による減算回路(27)の出力、つ
まり焦点誤差信号はサンプル・ホールド回路(29)に
よって取り込まれ、一方サンプル・ホールド回路(30
)はホールド状態のままである。
FF31a ONゝ の時、すなわち素子(26a)が光を遮断、素子(26
b)が光を透過する状態にある時は、素子(26b)を
透過した光による減算回路(27)の出力、つまり焦点
誤差信号はサンプル・ホールド回路(30)によって取
り込まれ、一方サンプル・ホールド回路(29)はホー
ルド状態のままである。次の、信号V −V
信号V31a OFFゝ 31b −V。Nの時、すなわち素子(26a)が光を透過、素
子(26b)が光を遮断する状態にある時は、素子(2
6a)を透過した光による減算回路(27)の出力、つ
まり焦点誤差信号はサンプル・ホールド回路(29)に
よって取り込まれ、一方サンプル・ホールド回路(30
)はホールド状態のままである。
以上の動作をまとめると、素子(26a)、(26b)
は制御回路(31)からの制御信号によって交互に光を
透過させ、その透過光による時点の焦点誤差信号は、素
子(26a)を透過した光によるものについてはサンプ
ル・ホールド回路(29)に、素子(26b)を透過し
た光によるものについてはサンプル・ホールド回路(3
0)に交互に取り込まれ保持される。これらのサンプル
・ホールド回路(29)、(30)の出力は減算回路(
28)に入力され、その出力として最終的な焦点誤差信
号S、を得ることができるものである。つまり、従来の
フーコー法が2つのビームを用いていたのに対して、こ
の実施例の構成では素子(26a)、(26b)の光透
過をサーボ帯域の数十倍の周波数で切り換えることによ
って時分割的に2つのビームを作り、それぞれのビーム
に基づいて検出した焦点誤差信号をサンプル・ホールド
することによって連続的な2つの焦点誤差信号を得て実
質的にフーコー法によって得られるのと同様の焦点誤差
検出効果を得ている。
は制御回路(31)からの制御信号によって交互に光を
透過させ、その透過光による時点の焦点誤差信号は、素
子(26a)を透過した光によるものについてはサンプ
ル・ホールド回路(29)に、素子(26b)を透過し
た光によるものについてはサンプル・ホールド回路(3
0)に交互に取り込まれ保持される。これらのサンプル
・ホールド回路(29)、(30)の出力は減算回路(
28)に入力され、その出力として最終的な焦点誤差信
号S、を得ることができるものである。つまり、従来の
フーコー法が2つのビームを用いていたのに対して、こ
の実施例の構成では素子(26a)、(26b)の光透
過をサーボ帯域の数十倍の周波数で切り換えることによ
って時分割的に2つのビームを作り、それぞれのビーム
に基づいて検出した焦点誤差信号をサンプル・ホールド
することによって連続的な2つの焦点誤差信号を得て実
質的にフーコー法によって得られるのと同様の焦点誤差
検出効果を得ている。
この場合、複数のビームを用いるフーコー法に較べて調
整精度の厳しい個所が低減し、加工精度の要求される屋
根形プリズム等を用いる必要がないという特長がある。
整精度の厳しい個所が低減し、加工精度の要求される屋
根形プリズム等を用いる必要がないという特長がある。
また、従来のフーコー法と同様に外乱の影響の少ない焦
点誤差の検出が可能である。
点誤差の検出が可能である。
なお、上記実施例では遮断/偏向素子(26)として遮
断機能を持ったものを用いる場合を例示したが、この発
明の実施はこれに限定されるものではなく、偏向機能を
持ったものや、両者を合せ持った機能を有するものでも
、光の切り換えを高速で実施できるようなものであれば
適用可能である。例えば、磁気光学的変調器、音響声学
素子、液晶、電気光学偏向器、磁気弾性波偏向素子等が
適用でき、2つの検知器に入射するビームを確実に交互
に切り換えるスイッチ機能を果すものであればよい。ま
た、上記実施例ではサンプル・ホールド回路を用いて信
号の同時化を行いアナログ的な演算回路による演算処理
を行う構成を例示したが、ディジタル信号に変換して全
ての処理を行うような構成としてもよい。
断機能を持ったものを用いる場合を例示したが、この発
明の実施はこれに限定されるものではなく、偏向機能を
持ったものや、両者を合せ持った機能を有するものでも
、光の切り換えを高速で実施できるようなものであれば
適用可能である。例えば、磁気光学的変調器、音響声学
素子、液晶、電気光学偏向器、磁気弾性波偏向素子等が
適用でき、2つの検知器に入射するビームを確実に交互
に切り換えるスイッチ機能を果すものであればよい。ま
た、上記実施例ではサンプル・ホールド回路を用いて信
号の同時化を行いアナログ的な演算回路による演算処理
を行う構成を例示したが、ディジタル信号に変換して全
ての処理を行うような構成としてもよい。
[発明の効果]
以上のように、この発明によれば1つの2分割光検出素
子に対して光束の2つの個所から光スイッチ素子を通じ
て時分割的に2つのビームを入射させ、それぞれのビー
ムによる焦点誤差信号をサンプルΦホールドしこれを演
算することによって連続的な焦点誤差信号を得るように
に構成したので、調整精度の厳しい2分割光検出素子を
複数設置する必要がなくまた加工精度の厳しい屋根形プ
リズムを使う必要がないため調整工程の簡略化が可能で
、しかもフーコー法の持つメリットを生かすことができ
るという効果がある。
子に対して光束の2つの個所から光スイッチ素子を通じ
て時分割的に2つのビームを入射させ、それぞれのビー
ムによる焦点誤差信号をサンプルΦホールドしこれを演
算することによって連続的な焦点誤差信号を得るように
に構成したので、調整精度の厳しい2分割光検出素子を
複数設置する必要がなくまた加工精度の厳しい屋根形プ
リズムを使う必要がないため調整工程の簡略化が可能で
、しかもフーコー法の持つメリットを生かすことができ
るという効果がある。
第1図は本発明の一実施例に係る焦点誤差検出装置の概
略構成図、第2図(a)は第1図の制御回路(31)か
ら素子(26a)、(26b)に印加される電圧V
、■ の時間に対する変31a 31b 化を示す波形図、第2図(b)は印加電圧v3.8−V
(V)、印加電圧V −V (V)のON
31b OFF時
の検知器(13)への入射光の状態を説明する概略図、
m 2 図(c ) Li印印加圧圧31a、” ”0
FF(V)、印加電圧v3□、−voN(v)の時の検
知器(13)への入射光の状態を説明する概略図、第3
図は焦点誤差検出動作の作用の説明図、第4図は制御回
路(31)から出力される制御信号のタイミングを示す
タイミング・チャート図、第5図は従来の焦点誤差検出
装置の概略構成図、第6図は第5図の光検知器(13)
の正面図、第7図は第5図の光検知器(13)の出力信
号を入力される回路のブロック図である。 図において、(1)はディスク形記録担体、(2)はト
ラック溝、(3)は放射線源、(4)はレンズ、(5)
は対物レンズ系、(6)は偏光ビーム・スプリッタ、(
12)はλ/4板、(13)は光検知器、(26)は遮
断/偏向素子、(27)、(28)は減算回路、(29
)、(30)はサンプル・ホールド回路、(31)は制
御回路である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 大 岩 増 雄 (他 2名) (b) !f、;!r 26 G + 26b =18/lf倦
J’ 2j−明Z第2図 @勺πコ陪(31)−5二カ(1ツ餐〒かき号褐シクィ
ミンク チイート第 図 2、発明の名称 焦点誤差検出装置 3、補正をする者 代表者 志 岐 守 哉 才5a A −A’>珠”4F−兄彼友落<+3> 6
画間第 図 4−7句逢矢す世嘘訓(旧)〜(19ト艷と力匁浬回に
トフ゛ロック凹第 図 5、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄。 6、補正の内容 以上
略構成図、第2図(a)は第1図の制御回路(31)か
ら素子(26a)、(26b)に印加される電圧V
、■ の時間に対する変31a 31b 化を示す波形図、第2図(b)は印加電圧v3.8−V
(V)、印加電圧V −V (V)のON
31b OFF時
の検知器(13)への入射光の状態を説明する概略図、
m 2 図(c ) Li印印加圧圧31a、” ”0
FF(V)、印加電圧v3□、−voN(v)の時の検
知器(13)への入射光の状態を説明する概略図、第3
図は焦点誤差検出動作の作用の説明図、第4図は制御回
路(31)から出力される制御信号のタイミングを示す
タイミング・チャート図、第5図は従来の焦点誤差検出
装置の概略構成図、第6図は第5図の光検知器(13)
の正面図、第7図は第5図の光検知器(13)の出力信
号を入力される回路のブロック図である。 図において、(1)はディスク形記録担体、(2)はト
ラック溝、(3)は放射線源、(4)はレンズ、(5)
は対物レンズ系、(6)は偏光ビーム・スプリッタ、(
12)はλ/4板、(13)は光検知器、(26)は遮
断/偏向素子、(27)、(28)は減算回路、(29
)、(30)はサンプル・ホールド回路、(31)は制
御回路である。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 大 岩 増 雄 (他 2名) (b) !f、;!r 26 G + 26b =18/lf倦
J’ 2j−明Z第2図 @勺πコ陪(31)−5二カ(1ツ餐〒かき号褐シクィ
ミンク チイート第 図 2、発明の名称 焦点誤差検出装置 3、補正をする者 代表者 志 岐 守 哉 才5a A −A’>珠”4F−兄彼友落<+3> 6
画間第 図 4−7句逢矢す世嘘訓(旧)〜(19ト艷と力匁浬回に
トフ゛ロック凹第 図 5、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄。 6、補正の内容 以上
Claims (1)
- 対象面に光束を集光させる手段と、2つの光検出部を有
する光検出手段と、対象面からの反射光束をそれが対象
面に合焦点の時に光検出手段の2つの光検出部の中間に
なるように光検出手段に集光させる光学手段と、光学手
段の出力光束を光検出手段の2つの光検出部に対応する
2つの位置で切り換える光スイッチ手段と、光検出手段
の2つの光検出部の出力の差を光スイッチ手段の切り換
えに対応してそれぞれ保持する2つの保持手段と、各保
持手段の出力に基づいて焦点誤差信号を出力する演算手
段を備えることを特徴とする焦点誤差検出装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63182109A JPH0231337A (ja) | 1988-07-21 | 1988-07-21 | 焦点誤差検出装置 |
EP89112505A EP0351675B1 (en) | 1988-07-21 | 1989-07-07 | Focusing error detecting apparatus |
DE68919141T DE68919141T2 (de) | 1988-07-21 | 1989-07-07 | Detektorvorrichtung zur Messung der Abweichung der Scharfeinstellung. |
US07/377,315 US5004900A (en) | 1988-07-21 | 1989-07-10 | Focusing error detecting apparatus with light switching and detector sampling |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63182109A JPH0231337A (ja) | 1988-07-21 | 1988-07-21 | 焦点誤差検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0231337A true JPH0231337A (ja) | 1990-02-01 |
Family
ID=16112491
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63182109A Pending JPH0231337A (ja) | 1988-07-21 | 1988-07-21 | 焦点誤差検出装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5004900A (ja) |
EP (1) | EP0351675B1 (ja) |
JP (1) | JPH0231337A (ja) |
DE (1) | DE68919141T2 (ja) |
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JPH05109143A (ja) * | 1991-10-18 | 1993-04-30 | Sony Corp | 光学ピツクアツプ装置 |
KR0138337B1 (ko) * | 1994-07-28 | 1998-05-15 | 김광호 | 포커스 제어방법 및 장치 |
US6178151B1 (en) * | 1997-04-10 | 2001-01-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical head having a reproducing optical system and filter formed by light passing therethrough |
JP4210805B2 (ja) * | 1998-06-05 | 2009-01-21 | 株式会社日立プラズマパテントライセンシング | ガス放電デバイスの駆動方法 |
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NL8202058A (nl) * | 1982-05-19 | 1983-12-16 | Philips Nv | Opto-elektronisch fokusfout-detektiestelsel. |
GB2135150A (en) * | 1983-02-15 | 1984-08-22 | Gen Electric | Optical inspection system |
US4654515A (en) * | 1983-05-28 | 1987-03-31 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Optical head for focussing a light beam on an information recording medium |
US4687916A (en) * | 1984-07-13 | 1987-08-18 | Ricoh Company, Ltd. | Optical pick-up device for both focus and error tracking detection |
JPS6254224A (ja) * | 1985-09-03 | 1987-03-09 | Olympus Optical Co Ltd | 光学的書込み読出し装置 |
-
1988
- 1988-07-21 JP JP63182109A patent/JPH0231337A/ja active Pending
-
1989
- 1989-07-07 EP EP89112505A patent/EP0351675B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-07-07 DE DE68919141T patent/DE68919141T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-07-10 US US07/377,315 patent/US5004900A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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DE68919141D1 (de) | 1994-12-08 |
EP0351675A2 (en) | 1990-01-24 |
EP0351675A3 (en) | 1990-09-19 |
DE68919141T2 (de) | 1995-06-01 |
EP0351675B1 (en) | 1994-11-02 |
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