JPH02303819A - 光記録媒体用スタンパーの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は光記録媒体用スタンパ−の製造方法に関するも
のである。

［従来の技術とその問題点ｌ 従来の光記録基板複製用スタンパ−の製造方法は、表面
研磨したガラス基板に感光性樹脂をスピンコードで必要
な厚さに均一に塗布し、プレベーク後レーザーカッティ
ングマシーンで露光、さらに現像して任意のピットある
いは、グループを形成する。この基板に銀あるいはニッ
ケルをスパッタして導電化後、ニッケル電鋳を３００μ
程度行ない、電澗層をガラス基板より剥離後、溶剤によ
りレノストを除去洗浄する。そのあと裏面を研磨・洗浄
し次いで内・外径を加工してスタンバ−として完成させ
る。

しかし、前述の従来技術では電鋳時に電鋳層のふくれ・
はがれを生ずることがあり、スタンバ−製造の歩留を落
としていた。

本発明はこの様な問題点を解決するものである。

Ｅ問題点を解決するための手段１ 本発明の要旨は、平滑な表面を有する基板の表面に感光
性樹脂層を形成し、これを露光、現像することにより所
定の凹凸パターンを形成し、該凹凸パターン上に金属層
を堆積させ、該金属層を剥離して凹凸パターンが転写さ
れたスタンバ−を製造する方法において、感光性樹脂屑
の現像工程後に、該感光性樹脂層に光線を照射すること
を特徴とする光記録媒体用スタンパ−のＭ遣方法に存す
る。

以下、本発明を各工程毎に説明する。

プラス基板表面に感光性樹脂層を形成するには、通常Ｆ
Ｐｉ−さ５・′す１０ｍｍのプラス基板を十分表面研磨
してのち、スピンコーター等にて感光性樹脂を塗布し、
厚さ５００〜３０００人程度の樹ｍ層を得る。

感光性＜１４１１を層としては、ボッ型又はネガ型のい
ずれであっても良く、例えば環化ゴム系レノスト、７ポ
ラツク系レノスト等が挙げられる。

感光性用ｍｔ層は好ましくはプリベークされる。

プリベークはオープン内で温度７０〜１００℃で時間３
０−・−６０分開加熱する。

次いで露光・現像が行なわれるが、露光は信号源により
変調させたレーザー光で行ない、さらに、現像して、パ
ターンを形成する。現像後ベーク処理等を行なう場合も
ある。

本発明においては通常、この現像工程後の適当な時点で
紫外線や可視光線、レーザー光線等の光線を感光性樹脂
に照射することを１、￥徴とする。

光としては紫外線を用いるのが好ましく、紫外線を用い
る場合、紫外線の照射強度は、通常１０・−１００ｕＷ
　／　０１ｍ２好ましくは１５　”−３０ｌ１ｌＷ　／
　ｃｍ２であり、照射時間は通常ｉ　ｏ　′、　ｉ　ｏ
　ｏ秒、好ましくは２０・・、４０秒、原盤を回転させ
ながら行なうのが好ましい。

光線照射後、ニッケル、銀等をスパッタリングにて、通
常５００゛＼７１５０　（１人程度の膜厚で形成し導電
化処理を行なう。場合によっては、萌述した光線照射は
この導電化処理後に行なっても良い。

次いで、これにスルフｙミン酸ニッケル浴等のメッキ浴
を用いてニッケル等の金属を電鋳し、２５０・５３５０
μ鵠程度の厚さにニッケル等の金属層を形成し、これを
グラス基板より剥離して、スタンパ−を得る。前記の現
像工程処理後の光線の照射により電鋳時の剥離現象は防
止される。

本発明の方法て°得られるスタンパ−はレーｆ−ディス
ク（ＬＤ）コンパクトディスク（ＣＤ　）、先ディスク
、光磁気ディスク、尤カード等の光記録媒体の基板複製
用のスタンパ−として用いられる。

［作用１ 光線照射により、電鋳時のふくれ・はがれの発生が皆無
となった理由については定かでは無いが、ふくれ・はが
れの原因は感光性樹脂中の未反応の感光剤（例えば、ナ
７トキ７ンノアジドスル、ホニルエステル）より窒素が
発生し、ガラス基板との密着が低下するのが原因と考え
られ、電鋳時にかかる応力によって感光性樹脂がプラス
基板より浮き上がり、ふくれ・はがれとなると推定され
る。

本発明においでは、感光性樹脂の現像後に紫外線等の光
線を照射するために、上記の未反応感光剤が完全に反応
し、そのあとの工程で感光性樹脂屑より窒素が発生する
ということが無く、電鋳時にふくれ・はがれが発生しな
くなるものと考えられる。

［実施例１ 実施例１ 外径２００ｍ論内径１Ｏ−１１Ｉ厚さ６−−の丸字研磨
したプラス基板上にボッ型レノストをスピンコーターを
用いて、１５００人の厚みに塗布し、８０℃−３０分間
プリベーク後信号源により変調させｒこレーザー光で、
露光さらに現像して、露光されたレノスト層を除去する
。

このプラスマスターを８０℃−３０分開開ポストベーク
後以下の条件で高圧水銀灯で照射した。

照射強度　　　　　　１７鎗Ｗ　／　ｃ＋ａ２（３Ｇ　
５旧０照射時間　　　　　　１５抄×２回 ターンテーブル回転数　　　３０ｒｐ瞳この処理のあと
、ニッケルをスパッタリングにで１０００人つけ、導電
化処理をし、次に入ルアアミン酸ニッケル浴を用いて、
ニッケル電鋳を行ない約３００μ論程度の厚さにニッケ
ル層を形成した後、ガラス板より剥離後、表面に残った
ホトレジストを溶剤にて除去・洗浄した。この状態の゛
、五五層層表面はふくれ等全く見られず良好であった。

１０枚テストして不良は１枚もなかった。

比較例 実施例１の比較として以下行なった。

外径２００Ｉ内径１０輸ｌ厚さ６Ｉ＃＋１の尤学研磨し
たガラス基板」−にボッ型レジストをスピンコータを用
いて１５００人の厚みに塗布し８０℃−３０分間プリベ
ーク後、信号源により変１１１Ｉさせたレーザー光で露
光し、さらに現像して露光されたレジスト層を除去する
。

このプラスマスターを８０℃−３０分間ポストベークし
て、ニッケルをスパッタリングにて１０００人つけ導電
化処理する０次に、スル７７ミン酸ニツケル浴を用いて
ニッケル電鋳を行ない約３００μ＋ｓ程度の厚さにニッ
ケル層を形成した後、プラス板より剥離後、表面に残っ
たホトレジストを溶剤にて除去・洗浄した。この状態の
電鋳層表面にふくれのあるものもあった。５枚テストし
て２枚異常があった。

［発明の効果１ 本発明の方法によれば、電鋳時ののふくれ、剥れがなく
なり、スタンパ−製造の歩留が向上し、実用上大変効果
的である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）平滑な表面を有する基板の表面に感光性樹脂層を
   形成し、これを露光、現像することにより所定の凹凸パ
   ターンを形成し、該凹凸パターン上に金属層を堆積させ
   、該金属層を剥離して凹凸パターンが転写されたスタン
   パーを製造する方法において、感光性樹脂層の現像工程
   後に、該感光性樹脂層に光線を照射することを特徴とす
   る光記録媒体用スタンパーの製造方法。