JPH02298588A - 含ハロゲン潤滑剤組成物 - Google Patents
含ハロゲン潤滑剤組成物Info
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- JPH02298588A JPH02298588A JP11939189A JP11939189A JPH02298588A JP H02298588 A JPH02298588 A JP H02298588A JP 11939189 A JP11939189 A JP 11939189A JP 11939189 A JP11939189 A JP 11939189A JP H02298588 A JPH02298588 A JP H02298588A
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Landscapes
- Lubricants (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、含ハロゲンポリニーデル、フッ素樹脂および
無機固体潤滑剤から成り、潤滑特性の良好な含ハロゲン
潤滑剤組成物に関する。
無機固体潤滑剤から成り、潤滑特性の良好な含ハロゲン
潤滑剤組成物に関する。
[従来の技術]
含ハロゲンポリエーテルをベースl+11として含有す
る種々の潤滑剤組成物が提案されている。
る種々の潤滑剤組成物が提案されている。
例えば、含フッ素曲に低分子量ポリテトラフルオロエチ
レンおよびフッ化炭素を混合して成る潤滑剤組成物が、
特開昭59−14996号公報に記載されている。この
潤滑剤組成物は、耐極圧性に優れているが、高温におい
て長時間の使用に耐えない。
レンおよびフッ化炭素を混合して成る潤滑剤組成物が、
特開昭59−14996号公報に記載されている。この
潤滑剤組成物は、耐極圧性に優れているが、高温におい
て長時間の使用に耐えない。
また、含ハロゲンポリエーテルを基油とし、フッ素樹脂
を混合して成る含フツ素グリース組成物が、特開昭61
−113694号公報に記載されている。この含フツ素
グリース組成物は、高温および高真空下でも長時間の使
用に耐えるが、高荷重下における摩擦係数が高い。
を混合して成る含フツ素グリース組成物が、特開昭61
−113694号公報に記載されている。この含フツ素
グリース組成物は、高温および高真空下でも長時間の使
用に耐えるが、高荷重下における摩擦係数が高い。
し発明が解決しようとする課題」
本発明の目的は、高温での耐久性に優れ、かつ高荷重下
においても低摩擦係数での潤滑が可能である含ハロゲン
潤滑剤組成物を提供することにある。
においても低摩擦係数での潤滑が可能である含ハロゲン
潤滑剤組成物を提供することにある。
[課題を解決するための手段]
本発明の要旨は、
(A)式:
%式%()
で示される繰り返し単位、式ニ
ーClICρCF2CF2O−(b)
て示される繰り返し単位、式。
−CCQ2CF2CP、O−(C)
で示される繰り返し単位、式
%式%((1)
で示される繰り返し単位、式。
−CF2CF2CF201− (e)で示
される繰り返し単位および式 %式%() で示される繰り返し単位から成る群から選択された2〜
200の繰り返し単位を有し、繰り返しQi位(a)、
(c)、(d)および(Dのうちの少なくとも1つの繰
り返し単位を含む含ハロゲンポリエーテル、(B)フッ
素樹脂、並びに (C)無機固体潤滑剤 から成る含ハロゲン潤滑剤組成物であって、含ハロゲン
ポリエーテルの量が、含)Sロゲン潤滑剤組成物100
重量部に対して40〜95重量部であり、フッ素樹脂の
量が、フッ素樹脂および無機固体潤滑剤の合計量100
重量部に対して20〜9995重量部である含ハロゲン
潤滑剤組酸物に存する。
される繰り返し単位および式 %式%() で示される繰り返し単位から成る群から選択された2〜
200の繰り返し単位を有し、繰り返しQi位(a)、
(c)、(d)および(Dのうちの少なくとも1つの繰
り返し単位を含む含ハロゲンポリエーテル、(B)フッ
素樹脂、並びに (C)無機固体潤滑剤 から成る含ハロゲン潤滑剤組成物であって、含ハロゲン
ポリエーテルの量が、含)Sロゲン潤滑剤組成物100
重量部に対して40〜95重量部であり、フッ素樹脂の
量が、フッ素樹脂および無機固体潤滑剤の合計量100
重量部に対して20〜9995重量部である含ハロゲン
潤滑剤組酸物に存する。
本発明で使用する含ハロゲンポリエーテルにおいて、繰
り返し単位(a)、(b)、(c)、(d)、(e)お
よび(f)の数の合計が15以上であることが好ましく
、25以上であることがより好ましい。含ハロゲンポリ
エーテルは、パーフルオロポリエーテルまたは塩素化パ
ーフルオロポリエーテルであることが好ましい。
り返し単位(a)、(b)、(c)、(d)、(e)お
よび(f)の数の合計が15以上であることが好ましく
、25以上であることがより好ましい。含ハロゲンポリ
エーテルは、パーフルオロポリエーテルまたは塩素化パ
ーフルオロポリエーテルであることが好ましい。
パーフルオロポリエーテルは、例えば、F(CF2CF
2CF20)ncF2cP3[式中、nは2〜200で
ある。] である。塩素化パーフルオロポリエーテルは、例えば、
式 %式% [式中、Q、 mおよびnは、Ll−m+n= 2〜2
00、・m+n≧1を満足する0または正の数である。
2CF20)ncF2cP3[式中、nは2〜200で
ある。] である。塩素化パーフルオロポリエーテルは、例えば、
式 %式% [式中、Q、 mおよびnは、Ll−m+n= 2〜2
00、・m+n≧1を満足する0または正の数である。
]で示される化合物である。
繰り返し単位(b)〜(f)の数が0である含ハロゲン
ポリエーテルおよびその製法は、特開昭60=1379
28号公報に記載され、繰り返し単位(b)、(c)お
よび(e)の数が0である含ハロゲンポリエーテルおよ
びその製法は、特開昭60−202122号公報に記載
され、さらに繰り返し単位(b)、(c)および(e)
の少なくとも1つを含む含/”)ロゲンボリエーテルお
よびその製法は特開昭61−113616号公報に記載
されている。例えば、繰り返し単位(b)〜(f)の数
がOである含/’%C)ゲンポリエーテルは、2,2.
3.3−テトラフルオロオキセクンを、一般には、開始
剤(例えば、)\ロゲン化アルカリ金属または強いルイ
ス酸性を示す化合物)の存在下に開環重合させることに
より製造することができる。繰り返し単位(b)〜(f
)の少なくとも1つを含む含ハロゲンポリエーテルは、
先に得られた繰り返し単位(b)〜(「)の数が0であ
る含ハロゲンポリエーテルをフッ素化および/よたは塩
素化することにより容易に製造することができる。
ポリエーテルおよびその製法は、特開昭60=1379
28号公報に記載され、繰り返し単位(b)、(c)お
よび(e)の数が0である含ハロゲンポリエーテルおよ
びその製法は、特開昭60−202122号公報に記載
され、さらに繰り返し単位(b)、(c)および(e)
の少なくとも1つを含む含/”)ロゲンボリエーテルお
よびその製法は特開昭61−113616号公報に記載
されている。例えば、繰り返し単位(b)〜(f)の数
がOである含/’%C)ゲンポリエーテルは、2,2.
3.3−テトラフルオロオキセクンを、一般には、開始
剤(例えば、)\ロゲン化アルカリ金属または強いルイ
ス酸性を示す化合物)の存在下に開環重合させることに
より製造することができる。繰り返し単位(b)〜(f
)の少なくとも1つを含む含ハロゲンポリエーテルは、
先に得られた繰り返し単位(b)〜(「)の数が0であ
る含ハロゲンポリエーテルをフッ素化および/よたは塩
素化することにより容易に製造することができる。
また、含ハロゲンポリエーテルは、特願昭63−137
663号に記載されているように、光カソプリングした
ものでもよい。
663号に記載されているように、光カソプリングした
ものでもよい。
本発明で使用する含ハロゲンポリエーテルは、直鎖状の
ポリエーテルであるため、分岐状含ハロゲンポリエーテ
ル、例えば式 %式%) で示される繰り返し単位を有する化合物、および式。
ポリエーテルであるため、分岐状含ハロゲンポリエーテ
ル、例えば式 %式%) で示される繰り返し単位を有する化合物、および式。
Cg(CF 20 F CQ′)ncQて示される化合
物に比較すると、同一粘度の化合物同志を比べた場合、
本発明の含ハロゲンポリエーテルの方が、蒸気圧が低く
、温度変化により粘度変化が少なく、かつ耐薬品性およ
び耐熱性が優れている。
物に比較すると、同一粘度の化合物同志を比べた場合、
本発明の含ハロゲンポリエーテルの方が、蒸気圧が低く
、温度変化により粘度変化が少なく、かつ耐薬品性およ
び耐熱性が優れている。
含ハロゲンポリエーテルの量は、含ハロゲン潤■
滑剤組成物100重量部に対して、40〜95重量部、
好ましくは40〜90重量部である。含ハロゲンポリエ
ーテルの量が95重量部よりし多い場合、含ハロゲンポ
リエーテルの分離が起こりやすく、特に高温での離油が
多くなる。また、40重量部よりも少ない場合、含ハロ
ゲン潤滑剤組成物か著しく硬くなり、製造上の困難を伴
い、均一・な分散状態を得ることが難しく、高温での使
用に際し長寿命を有し得ない。
好ましくは40〜90重量部である。含ハロゲンポリエ
ーテルの量が95重量部よりし多い場合、含ハロゲンポ
リエーテルの分離が起こりやすく、特に高温での離油が
多くなる。また、40重量部よりも少ない場合、含ハロ
ゲン潤滑剤組成物か著しく硬くなり、製造上の困難を伴
い、均一・な分散状態を得ることが難しく、高温での使
用に際し長寿命を有し得ない。
本発明で使用するフッ素樹脂は、固体状であり、その例
としては、ポリテトラフルオロエチレン(P T F
E)、テトラフルオロエチレンとこれと共重合し得るモ
ノマー(例えば、ヘキザフルオロプロピレン、エチレン
、フルオロアルギル基含有ビニルエーテルなど)との共
重合体、高重合度ポリクロロトリフルオロエチレンまた
はクロロトリフルオロエヂレンとこれと共重合し得るモ
ノマーとの共重合体が挙げられる。また、フッ素樹脂は
、連鎖移動剤を使用してテトラフルオロエチレンを重合
した低分子量P ’l” F E 、高分子量P T
li’ Eを熱分解または電子線照射分解等で低分子量
化したもの、および特公昭49−45715号記載のご
ときPTFEテロマーであってよい。
としては、ポリテトラフルオロエチレン(P T F
E)、テトラフルオロエチレンとこれと共重合し得るモ
ノマー(例えば、ヘキザフルオロプロピレン、エチレン
、フルオロアルギル基含有ビニルエーテルなど)との共
重合体、高重合度ポリクロロトリフルオロエチレンまた
はクロロトリフルオロエヂレンとこれと共重合し得るモ
ノマーとの共重合体が挙げられる。また、フッ素樹脂は
、連鎖移動剤を使用してテトラフルオロエチレンを重合
した低分子量P ’l” F E 、高分子量P T
li’ Eを熱分解または電子線照射分解等で低分子量
化したもの、および特公昭49−45715号記載のご
ときPTFEテロマーであってよい。
フッ素樹脂の粒径は、OI〜30μn1好ましくは01
〜lOμmである。
〜lOμmである。
フッ素樹脂の量は、フッ素樹脂および無機固体潤滑剤の
合計量100重量部に対して20〜9995重量部、好
ましくは40〜99.9重量部である。
合計量100重量部に対して20〜9995重量部、好
ましくは40〜99.9重量部である。
本発明で使用する無機固体潤滑剤の例としては、黒鉛、
二硫化モリブデン(MoSJ、二硫化タングステン(W
S2)、チッ化ホウ素(BN)、フッ化炭素[組成式(
CF)nまたは(C2F)nで示される無機高分子化合
物]、フッ化カルシウム(CaF2)および雲母等が挙
げられる。これらの1種もしくは2種以上を使用できる
。
二硫化モリブデン(MoSJ、二硫化タングステン(W
S2)、チッ化ホウ素(BN)、フッ化炭素[組成式(
CF)nまたは(C2F)nで示される無機高分子化合
物]、フッ化カルシウム(CaF2)および雲母等が挙
げられる。これらの1種もしくは2種以上を使用できる
。
無機固体潤滑剤の粒径は、0.O1=IO71m、好ま
しくは005〜5μmである。001μmよりも小であ
る場合、充分な潤滑効果が得られない。
しくは005〜5μmである。001μmよりも小であ
る場合、充分な潤滑効果が得られない。
また、10μmよりも大きい場合、コロガリ、滑り軸受
等の潤滑剤としては問題があり、ノイズの発生、寿命の
低下等につながる危険がある。
等の潤滑剤としては問題があり、ノイズの発生、寿命の
低下等につながる危険がある。
無機固体潤滑剤の量は、フッ素樹脂および無機固体潤滑
剤の合計量100重量部に対して0.05〜80重重部
、好ましくは0.1〜60重量部である。無機固体潤滑
剤の指が005重量部よりも少ない場合、含ハロゲン潤
滑剤組成物は、高温での使用に際し、期待される効果を
発揮し得ない。80重量部よりも多い場合、均一な分散
状態を得ることが難しく、場合によっては潤滑」二問題
となり得る程度の大凝集粒子の発生も起こり得るため、
潤滑不足の要因ともなる。また、含ハロゲンポリエーテ
ルの分離が起こりやすく、含ハロゲン潤滑剤組成物は保
存」−あ問題を有する。また、高温での使用に際し、離
油が生じることが多い。
剤の合計量100重量部に対して0.05〜80重重部
、好ましくは0.1〜60重量部である。無機固体潤滑
剤の指が005重量部よりも少ない場合、含ハロゲン潤
滑剤組成物は、高温での使用に際し、期待される効果を
発揮し得ない。80重量部よりも多い場合、均一な分散
状態を得ることが難しく、場合によっては潤滑」二問題
となり得る程度の大凝集粒子の発生も起こり得るため、
潤滑不足の要因ともなる。また、含ハロゲンポリエーテ
ルの分離が起こりやすく、含ハロゲン潤滑剤組成物は保
存」−あ問題を有する。また、高温での使用に際し、離
油が生じることが多い。
本発明の含ハロゲン潤滑剤組成物の製造は、予め所望の
粘度に調整した含ハロゲンポリエーテルにフッ素樹脂お
よび無機固体潤滑剤を加えて正本ロール、混合撹拌機、
拙漬機等で組成物か均一となるまで撹拌または混和する
方法、あるいは、減圧可能な混合撹拌機を用いて、トリ
クロo ]・リフルオロエタン等に懸濁分散したフッ素
樹脂に含ハロゲンボリエーテルおよび無機固体潤滑剤を
加え混合し、溶剤を除去する方法などにより行える。
粘度に調整した含ハロゲンポリエーテルにフッ素樹脂お
よび無機固体潤滑剤を加えて正本ロール、混合撹拌機、
拙漬機等で組成物か均一となるまで撹拌または混和する
方法、あるいは、減圧可能な混合撹拌機を用いて、トリ
クロo ]・リフルオロエタン等に懸濁分散したフッ素
樹脂に含ハロゲンボリエーテルおよび無機固体潤滑剤を
加え混合し、溶剤を除去する方法などにより行える。
この際、受酸効果を有する物質や防錆効果を有する物質
および他の含ハロゲン系グリース等を添加することもで
きる。受酸物質としては、炭酸塩類、ハイドロタルサイ
ト類化合物および金属酸化物などが挙げられる。防錆物
質としては、硝酸塩類および含フツ素リン酸エステル(
特願昭63−97683号に記載のもの)などが挙げら
れる。
および他の含ハロゲン系グリース等を添加することもで
きる。受酸物質としては、炭酸塩類、ハイドロタルサイ
ト類化合物および金属酸化物などが挙げられる。防錆物
質としては、硝酸塩類および含フツ素リン酸エステル(
特願昭63−97683号に記載のもの)などが挙げら
れる。
[発明の効果]
本発明の含ハロゲン潤滑剤組成物は、耐極圧性に優れ、
高温においても耐久性に優れ、高荷重下においても低摩
擦係数での潤滑が可能である。
高温においても耐久性に優れ、高荷重下においても低摩
擦係数での潤滑が可能である。
[発明の好ましい態様]
以下、実施例、比較例および試験例を示し、本発明を具
体的に説明する。
体的に説明する。
実施例1
1 含ハロゲンポリエーテルF(CF2
CF2CF 20)ncF2CF 3[式中、nの平均
は45である。] 660gに、テトラフルオロエチレ:/(’rF E)
9985モル%とへギザフルオロプ〔フピレン(O+
XP)0.15モル%の共重合体(粒径015μ、分子
量約20万)325gとフッ化炭素(平均粒il 3μ
、フッ素含量66重量%)15gを加え、押漬機中で8
時間撹拌して含ハロゲン潤滑剤組成物をfQJた。
CF2CF 20)ncF2CF 3[式中、nの平均
は45である。] 660gに、テトラフルオロエチレ:/(’rF E)
9985モル%とへギザフルオロプ〔フピレン(O+
XP)0.15モル%の共重合体(粒径015μ、分子
量約20万)325gとフッ化炭素(平均粒il 3μ
、フッ素含量66重量%)15gを加え、押漬機中で8
時間撹拌して含ハロゲン潤滑剤組成物をfQJた。
実施例2〜7および比較例1〜4
第1表に示す成分を使用する以外(J、実施例1と同様
の手順で含ハロゲン潤滑剤組成物を得た。
の手順で含ハロゲン潤滑剤組成物を得た。
実施例5〜7並びに比較例2および3においては、混和
は播漬機で3時間撹拌した後、三本ロールにより行った
。
は播漬機で3時間撹拌した後、三本ロールにより行った
。
各無機固体潤滑剤の平均粒径は、次のとおりてあった。
MO82: 1μm5
BN :571m。
黒鉛 2μm。
実施例8
含ハロゲンポリエーテル
F (CF、CF2CF20)ncF2cF3(nの平
均45)660gに、低分子量PTFE(ダイキン工業
株式会社製フッ素樹脂ルブロンL5)(平均粒径6μm
)330gと二硫化モリブデン(平均粒径1μm)5g
を押潰機中で8時間撹拌混練して含ハロゲン潤滑剤組成
物を得た。
均45)660gに、低分子量PTFE(ダイキン工業
株式会社製フッ素樹脂ルブロンL5)(平均粒径6μm
)330gと二硫化モリブデン(平均粒径1μm)5g
を押潰機中で8時間撹拌混練して含ハロゲン潤滑剤組成
物を得た。
実施例9
実施例8て使用した含ハロゲンポリエーテル660gに
、フッ素樹脂(ダイキン工業株式会社製フッ素樹脂ルブ
ロンL2)(平均粒径0.371m)320gと窒化ホ
ウ素(平均粒径5μm) 5 gを押潰機中で8時間撹
拌混練して含ハロゲン潤滑剤組成物を得た。
、フッ素樹脂(ダイキン工業株式会社製フッ素樹脂ルブ
ロンL2)(平均粒径0.371m)320gと窒化ホ
ウ素(平均粒径5μm) 5 gを押潰機中で8時間撹
拌混練して含ハロゲン潤滑剤組成物を得た。
実施例10
実施例8で使用した含ハロゲンポリエーテル800gに
、低分子量PTF’Eテロマー(タイキンエ業株式会社
製フッ素樹脂分散溶液LDIX平均粒径02μm)24
00gとフッ化炭素(平均粒径3μm)50gを、減圧
可能な混合撹拌機により混合し、次いて溶剤を除去する
ことにより含ハロゲン潤滑剤組成物を得た。混合および
溶剤除去の所要時間は10時間であった。
、低分子量PTF’Eテロマー(タイキンエ業株式会社
製フッ素樹脂分散溶液LDIX平均粒径02μm)24
00gとフッ化炭素(平均粒径3μm)50gを、減圧
可能な混合撹拌機により混合し、次いて溶剤を除去する
ことにより含ハロゲン潤滑剤組成物を得た。混合および
溶剤除去の所要時間は10時間であった。
試験例
実施例1−10および比較例1〜4て得られた含ハロゲ
ン潤滑剤組成物について、60回混和稠度、摩擦係数、
軸受耐久性および離油度を測定した。結果を第2表に示
す。
ン潤滑剤組成物について、60回混和稠度、摩擦係数、
軸受耐久性および離油度を測定した。結果を第2表に示
す。
60回混和稠度は1.ITSK−222053に準じて
測定しノー。
測定しノー。
摩擦係数(μ)は、30’ 0011)Sの荷重下にお
いてファレソクス試験器で測定した。
いてファレソクス試験器で測定した。
軸受耐久性は、FTMS333−1に準じて、250℃
、6000 rpmの条件で各寿命時間を測定し、比較
例Iの組成物の寿命時間で割り)コ値で表示する。
、6000 rpmの条件で各寿命時間を測定し、比較
例Iの組成物の寿命時間で割り)コ値で表示する。
離油度は1.IIS K−22205,7に学じて測定
した。
した。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、(A)式: −CH_2CF_2CF_2O−(a) で示される繰り返し単位、式: −CHClCF_2CF_2O−(b) で示される繰り返し単位、式: −CCl_2CF_2CF_2O−(c) で示される繰り返し単位、式: −CHFCF_2CF_2O−(d) で示される繰り返し単位、式: −CFClCF_2CF_2O−(e) で示される繰り返し単位および式: −CF_2CF_2CF_2O−(f) で示される繰り返し単位から成る群から選択された2〜
200の繰り返し単位を有し、繰り返し単位(a)、(
c)、(d)および(f)のうちの少なくとも1つの繰
り返し単位を含む含ハロゲンポリエーテル、 (B)フッ素樹脂、並びに (C)無機固体潤滑剤 から成る含ハロゲン潤滑剤組成物であって、含ハロゲン
ポリエーテルの量が、含ハロゲン潤滑剤組成物100重
量部に対して40〜95重量部であり、フッ素樹脂の量
が、フッ素樹脂および無機固体潤滑剤の合計量100重
量部に対して20〜99.95重量部である含ハロゲン
潤滑剤組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1119391A JP2794776B2 (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 | 含ハロゲン潤滑剤組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1119391A JP2794776B2 (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 | 含ハロゲン潤滑剤組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02298588A true JPH02298588A (ja) | 1990-12-10 |
JP2794776B2 JP2794776B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=14760343
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1119391A Expired - Fee Related JP2794776B2 (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 | 含ハロゲン潤滑剤組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2794776B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007149571A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料測定方法、及び荷電粒子線装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59155497A (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-04 | Daikin Ind Ltd | グリ−ス状潤滑組成物 |
JPS61113694A (ja) * | 1984-11-07 | 1986-05-31 | Daikin Ind Ltd | 含フツ素グリ−ス組成物 |
-
1989
- 1989-05-12 JP JP1119391A patent/JP2794776B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59155497A (ja) * | 1983-02-23 | 1984-09-04 | Daikin Ind Ltd | グリ−ス状潤滑組成物 |
JPS61113694A (ja) * | 1984-11-07 | 1986-05-31 | Daikin Ind Ltd | 含フツ素グリ−ス組成物 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007149571A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料測定方法、及び荷電粒子線装置 |
US8071961B2 (en) | 2005-11-30 | 2011-12-06 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2794776B2 (ja) | 1998-09-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |