JPH02294597A

JPH02294597A - 横形真空ポンプ

Info

Publication number: JPH02294597A
Application number: JP11516689A
Authority: JP
Inventors: Kazuaki Nakamori; 中盛　数明
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1989-05-10
Filing date: 1989-05-10
Publication date: 1990-12-05

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、吐出口を大気圧で運転する真空ボンプに係り
，とくに油潤滑軸受を使用して横置き構成としたオイル
フリー真空ポンプに関するものである．［従来の技術］従来の真空ポンプは例えば特開昭６１−２４７８９３号
に記載のように第６図に示すような構造をしていた。第
６図において，ケーング３内のステータにがん合された
ロータ翼４を回転させることにより上部の吸収口１から
排気口２に向けての排気動作が行なわれる。ロータ翼４
は駆動軸６を介してモータケース１６内に納められたモ
ータ７により駆動される．駆動＠６は軸受け８と１１に
より支持されている。これらの軸受けは高速回転時の振
動を考慮して軸受けホルダ９，１２およびオーリング１
０．１３等を介してモータケース１６に弾性的に支持さ
れている．また，軸受け８の廻りには軸封部より軸封ガ
ス圧が印加され軸受８の軸受け油が吸気側に漏れでない
ようにしている。

上記の軸封ガスはロータ翼４の回転によって排気側に押
されるのでこれが吸気側に漏れでることばない。軸受け
８はモータケース側すなわち大気側に配置されるため上
記軸受け油が真空側に漏れないようになっている。

上記した従来の真空ポンプは真空部を上側に積み上げた
オーバハング型であるため必然的に縦長の形状となり、
さらに高真空化を狙うとロータ翼部４が追加されるため
その長さがさらに増加するようになっていた。しかし、
全体が垂直に積み上げられるため駆動軸６の曲がりやね
じれ等が少ない構造となっていた。

［発明が解決しようとする課題］上記従来技術では、特に，高真空のボンピングを行う場
合，軸方向高さが過度に高くなるため真空引きを必要と
する装匝を直接付けることが出来ず配管等を用いて接続
する必要があった。このため装置の接続が複雑となると
同時に設置困難になったり，さらには、性能低下が発生
するというような問題があった。

本発明は上記した高さの問題を解決するために駆動軸６
を水平に設置した横形の真空ポンプを提供することにあ
る．このため、上記横形化に伴って発生する駆動軸６のたわ
み変形，その他の有害な不均一荷重の発生を防止する手
段を提供することを目的とする．［課題を解決するため
の手段コ本発明は上記の目的を達成するために、ロータ翼４の回
転軸を支持する軸受け８の位置を調整する軸受け調整機
構を備えるようにする。

このため、上記軸受けホルダ９とサポート１５のそれぞ
れに少なくとも一対のマグネットを取り付け、上記マグ
ネット間の磁気反発力または磁気吸引力を上記軸受けホ
ルダ９に作用させるようにする５あるいは、バネまたは押さえ棒により上記軸受けホルダ
９を押圧するようにする。

さらに，上記バネを押し圧するバネ押し圧捧，または上
記軸受けホルダを直接押圧する上記押さえ棒の位置をネ
ジにより調整し、上記軸受けホルダの押圧分を調整でき
るようにする。

さらに、上記バネと上記軸受けホルダ間にピボット軸を
介在させ、該ピボット軸の頭が上記軸受けホルダに対し
て滑動しうるようにして該回転翼の回転軸のたわみを吸
収するようにする。

［作用］以上のように構成した本発明の真空ポンプは，横形であ
るためその高さが著しく低減される．さらに、本発明の
横形真空ボンブはマグネット，バネあるいは上記押さえ
棒等により駆動軸６のたわみを補償し、かつ、オーリン
グ材の弾性により駆動軸６を弾性的に支持するので、駆
動軸のたわみによるロータ翼４とステータ５間の接触，
さらには軸振れに伴う真空吸引能カの低下、騒音，軸受
け部の異常な摩耗等が発生することがない。

［実施例コ以下，本発明の実施医を図面を用いて説明する。

第１図は、本発明のＭｋ置き真空ポンプの全体構造図を
示し，さらに本発明による永久磁石を使用した軸受け調
整機溝の一実施例を示している．吸気口１と吐出口２を
有したケーシング３１内に第６図に示した従来の真空ポ
ンプのロータ翼４とステータ５の部分をそのまま横向き
に配置している．軸受８および１１への給油は油タンク
３０から油ポンプ等により行なう。ロータ翼４と軸受８
との間に軸封ガスを供給する軸封部３１を有している。

軸受８と１１は軸受ホルダ９と１２とオーリング１０と
１３等を介してサポート１５、モータケース３２に弾性
的に支持されている。軸受８の軸受ホルダ９の外周下側
とサポート１５の内周下側には一対のマグネット１８と
１９が互いに反発力が作用する極性で設置されている。

この一対のマグネットが互いに吸引する形とした場合は
これらを軸受ホルダの上側に設けるようにする。

このようにすると重力による駆動軸６のたわみを補償で
きるので、ロータ翼４とステータ５が接触することがな
い。さらに駆動軸６の軸振れも防止できるので軸振れに
よる真空吸引能力の低下、騒音、軸受け部の異常な摩耗
等も防止できる．第２図から第４図は機械的に軸受ホル
ダを押し上げて上記駆動軸６のたわみを補正する本発明
の装置の実施例を示す図である。第２図の構成は、軸受
ホルダ９外周下側にバネ受け用のザグリ穴１９を設け、
また、サポート１５の外周には、これと対向するように
穴２２を設け，これにバネ２０を挿入し，バネ押え捧２
１により２０を軸受ホルダ９に押しつけるようにしたも
のである。

第３図は，コイルバネ２０の上方にビボット軸２３を設
けたものであり、この場合軸受ホルダ側のザブリ穴は不
要さなる。第２図および第３図ではバネ２０を介して軸
受けホルダ９に力を加えて駆動軸６のたわみを補償する
ようにしていた。しかし、駆動軸６を直に押し戻して補
償してもよい。

第４図はコイルバネを省略した構成であり，サポート１
５の内側に隙間２７を設けて円簡２４を設け、該円筒の
内周側を軸受ホルダの外周に設けたオーリングと接触さ
せ、該円筒下側にザグリ穴２６を設け、該ザグリ穴と同
一位置にサポート１５の外周より穴２２を設け、サポー
ト外周より挿入した押え捧２５により該円筒を押す構造
としたものである５第５図は上記軸受ホルダ９に対する押し上げ力を調整す
るための本発明の一実施例である。

サポート１５外周下側にメネジ部２８とバネ押え捧２１
または押え捧２５下端部に上記メネジ部２８とかん合す
るオネジ部２９を設け、バネ押え捧２１または押え捧２
５の位置を調整して上記押圧力を調整する。

第１図に示したマグネットを使用する場合はマグネット
１８と１９の磁束密度やギャップ間隔等を変更して上記
の押圧力の調整を行なおことができる．なお、上記第１〜５図を用いて説明した本発明の軸受け
調機構の数を２ヶ，３ヶと増加させてもよいことは勿論
である。

［発明の効果］以上詳述したように，本発明の横形真空ポンプは横形で
あるためその高さが著しく低減されるので、真空引きを
必要とする装駈を配管等を用いずに直接接続することが
できる。

さらに、本発明の横形真空ポンプでは従来の縦形真空ポ
ンプの油タンクを下側に設置できるので全体の長さを短
縮できる．このため、さらに高真空化する際にロータ翼
数を容易に増加させること゜ができる。

さらに本発明では、マグネット、バネあるいは押さえ棒
等により駆動軸６のたわみを補償し、かつ、オーリング
材の弾性により駆動軸６を弾性的に支持するので、駆動
軸心の倒れによるロータ翼４とステータ５間の接触，さ
らには軸振れに伴う真空吸引能力の低下、騒音、軸受け
部の異常な摩耗等の発生を防止でき，信頼性の高い真空
ポンプを提供することができる。また，簡単なネジ装欝
により上記した駆動軸心のたわみ補償量を容易に調整で
きるので駆動軸心の位置を常に最適に保つことができる
。

さらに真空ポンプの主要部分であるロータ翼部とステー
タ部を従来の縦形真空ポンプと同一にできるので、部品
の共通化によって本発明の横形真空ポンプを経済的に提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の全体構成を示す断面図、第
２〜第４図は本発明の軸受け調整機構の断面図，第５図
は本発明の荷重調整装置の断面図、第６図は従来のタテ
形真空ポンプの断面図である。１・・・吸気口，２・・・排気口、４・・ロータ翼、５
・・・ステータ、６・・・駆動軸、７・・・モータ．８
．１１・・・軸受け．９．１２・・・軸受けホルダ．１
０．１３・・・オーリング、ｌ５・・・サポート，１９
・・・マグネット，２０・・・バネ、２１・・・バネ押
さえ棒、２３・・・ピボット軸，２５・・・押さえ捧．
２８．２９・・・ネジ、３０・・・油タンク．

Claims

【特許請求の範囲】１、水平方向に設置されたモータ軸に連結されて回転す
る回転翼と、固定翼と、該回転翼の回転軸を支持する軸
受けを保持する軸受け保持具と、該軸受け保持具を軸受
け支持部上に弾性的に支持するための弾性部剤とを備え
た真空ポンプにおいて、該軸受け支持部に該軸受け保持
具の位置を調整する軸受け調整機構を備えたことを特徴
とする横形真空ポンプ。２、水平方向に設置されたモータ軸に連結されて回転す
る回転翼と、固定翼と、該回転翼の回転軸を支持する軸
受けを保持する軸受け保持具と、該軸受け保持具を軸受
け支持部上に弾性的に支持するための弾性部材とを備え
た真空ポンプにおいて、該軸受け保持具と該軸受け支持
部のそれぞれは少なくとも一対のマグネットを備え、該
マグネット間の磁気反発力または磁気吸引力を上記軸受
け保持具に作用させたことを特徴とする横形真空ポンプ
。３、水平方向に設置されたモータ軸に連結されて回転す
る回転翼と、固定翼と、該回転翼の回転軸を支持する軸
受けを保持する軸受け保持具と、該軸受け保持具を軸受
け支持部上に弾性的に支持するための弾性部材とを備え
た真空ポンプにおいて、該軸受け保持具を押圧するバネ
と、該バネを押圧するバネ支持部材とを備えたことを特
徴とする横形真空ポンプ。４、水平方向に設置されたモータ軸に連結されて回転す
る回転翼と、固定翼と、該回転翼の回転軸を支持する軸
受けを保持する軸受け保持具と、該軸受け保持具を軸受
け支持部上に弾性的に支持するための弾性部材とを備え
た真空ポンプにおいて、該軸受け保持具を直接的に押圧
する押圧部材を備えたことを特徴とする横形真空ポンプ
。