JPH02294590A - スクリュ式真空ポンプ - Google Patents
スクリュ式真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH02294590A JPH02294590A JP11585589A JP11585589A JPH02294590A JP H02294590 A JPH02294590 A JP H02294590A JP 11585589 A JP11585589 A JP 11585589A JP 11585589 A JP11585589 A JP 11585589A JP H02294590 A JPH02294590 A JP H02294590A
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- Japan
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- motor
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、スクリュロー夕を用いたスクリュ式真空ボン
ブに関するものである。
ブに関するものである。
（従来の技術）
従来、第３図に示すスクリュ式真空ポンプが公知であり
、周波数変換器１１，起動盤ｌ２を介して電力供給され
た高周波モータ１３と、吸込口１４、吐出口ｌ５を備え
るとともに互いに噛み合う雌雄一対のスクリュロー夕１
６を回転可能に収納したボンブ本体１７と、この両者を
固定し、高周波モータｌ３のモータ軸ｌ８と雄側のスク
リュロー夕１６のロータ軸ｌ９とを結合するカップリン
グ２０を収納し、高周波モータ１３の回転をスクリュロ
ータＩ６に伝達させるようにした接続ケーシング２１と
からなっている。
、周波数変換器１１，起動盤ｌ２を介して電力供給され
た高周波モータ１３と、吸込口１４、吐出口ｌ５を備え
るとともに互いに噛み合う雌雄一対のスクリュロー夕１
６を回転可能に収納したボンブ本体１７と、この両者を
固定し、高周波モータｌ３のモータ軸ｌ８と雄側のスク
リュロー夕１６のロータ軸ｌ９とを結合するカップリン
グ２０を収納し、高周波モータ１３の回転をスクリュロ
ータＩ６に伝達させるようにした接続ケーシング２１と
からなっている。
そして、外郎電源からの供給電流を、周波数変換器１１
にて一定の周波数に変換した後、高周波モータＩ３に供
給する一方、起動盤！２によりこの電流の供給をオンオ
フするようにして、高周波モータｌ３によりスクリュロ
ー夕ｌ６を上記周波数に対応した一定の回転速度で回転
させて、吸込口１４より吸込んだガスを吐出口ｌ５より
大気に放出するようになっている。なお、ここで吸込口
１４は、例えば真空タンクに接続され、この中のガスを
吸引するように使用される。
にて一定の周波数に変換した後、高周波モータＩ３に供
給する一方、起動盤！２によりこの電流の供給をオンオ
フするようにして、高周波モータｌ３によりスクリュロ
ー夕ｌ６を上記周波数に対応した一定の回転速度で回転
させて、吸込口１４より吸込んだガスを吐出口ｌ５より
大気に放出するようになっている。なお、ここで吸込口
１４は、例えば真空タンクに接続され、この中のガスを
吸引するように使用される。
また、真空ポンプの吸込口ｌ４の圧力は起動時には大気
圧、即ち７ ６ ０ Ｔｏｒｒで、その後ある時間経過
するとこの装置で達成し得る最高の真空度である到達真
空度（Ｅ．Ｖ）まで降下するとともに、吸込圧力の降下
とともに、モータ一般に対して言えることであるが、こ
の高周波モータｌ３の場合も所要軸動力は減少する。
圧、即ち７ ６ ０ Ｔｏｒｒで、その後ある時間経過
するとこの装置で達成し得る最高の真空度である到達真
空度（Ｅ．Ｖ）まで降下するとともに、吸込圧力の降下
とともに、モータ一般に対して言えることであるが、こ
の高周波モータｌ３の場合も所要軸動力は減少する。
第４図は、高周波モータｌ３の回転速度（ｒｐｍ）がｎ
ｉ ｎｔ，ｎ３，Ｌ（ｎ＋＜ｎｙ＜ｎ＊＜Ｌ）の各場合
における吸込圧力と高周波モータ１３の所要軸動力との
関係を示し、圧力Ａを上限とする矢印Ｘの部分が定常運
転時の使用圧力範囲で、ＮＡ，ＮＢが圧力Ａ，Ｂ（−７
６ ０ Ｔｏｒｒ）に対応する所要軸動力を示してい
る。そして、図から明らかなように、一定の吸込圧力に
対しては、モータ回転数が大きい程、所要軸動力は増大
している。
ｉ ｎｔ，ｎ３，Ｌ（ｎ＋＜ｎｙ＜ｎ＊＜Ｌ）の各場合
における吸込圧力と高周波モータ１３の所要軸動力との
関係を示し、圧力Ａを上限とする矢印Ｘの部分が定常運
転時の使用圧力範囲で、ＮＡ，ＮＢが圧力Ａ，Ｂ（−７
６ ０ Ｔｏｒｒ）に対応する所要軸動力を示してい
る。そして、図から明らかなように、一定の吸込圧力に
対しては、モータ回転数が大きい程、所要軸動力は増大
している。
（発明が解決しようとする課題）
上記従来の装置では、高周波モータ１３として、最大軸
動力が使用圧力範囲の上限圧力における所要軸動力の最
大値であるＮＡのものを選定した場合、モータ回転速度
をｎ４としてＢ点よりＡ点まで圧力を下げようとすると
高周波モータ１３が過負荷の状態になり、焼損する。
動力が使用圧力範囲の上限圧力における所要軸動力の最
大値であるＮＡのものを選定した場合、モータ回転速度
をｎ４としてＢ点よりＡ点まで圧力を下げようとすると
高周波モータ１３が過負荷の状態になり、焼損する。
これに対して、最大軸動力が大気圧における所要軸動力
の最大値であるＮＢのものを選定した場合、使用圧力範
囲（Ｅ，Ｖ−Ａ点）で使用する場合、モータ能力の一郎
だけ使用することとなり、即ち（ＮＢ−ＮＡ）の能力だ
け余裕をみて使用することになるため、モータ効率が悪
くなり動力損が大きくなる。
の最大値であるＮＢのものを選定した場合、使用圧力範
囲（Ｅ，Ｖ−Ａ点）で使用する場合、モータ能力の一郎
だけ使用することとなり、即ち（ＮＢ−ＮＡ）の能力だ
け余裕をみて使用することになるため、モータ効率が悪
くなり動力損が大きくなる。
このような、モータ効率の低下を防ぐには、吸込口Ｉ４
側に吸気調節弁を設けて、これを絞ることにより吸気量
を減少させる必要があるが、それだけ操作が複雑になる
等種々の問題がある。
側に吸気調節弁を設けて、これを絞ることにより吸気量
を減少させる必要があるが、それだけ操作が複雑になる
等種々の問題がある。
本発明は、上記従来の問題点を課題としてなされたしの
で、操作を複雑にすることなくモータが過負荷になるの
を防ぎつつ、常にモータの最大能力或は略最大能力に等
しい能力を発揮した状態で運転させてモータ効率を向上
させることを可能としたスクリュ式真空ボンブを堤供し
ようとするものである。
で、操作を複雑にすることなくモータが過負荷になるの
を防ぎつつ、常にモータの最大能力或は略最大能力に等
しい能力を発揮した状態で運転させてモータ効率を向上
させることを可能としたスクリュ式真空ボンブを堤供し
ようとするものである。
（課題を解決するための手段）
上記課題を解決するために、本発明は、スクリュロータ
駆動用モータへの供給電流を検出し、この検出電流Ｉａ
が予め定めた許容最大電流に近い下限設定値ＩＩに対し
てｒａ＜１＋であるときには、上記供給電流の周波数を
一定値だけ上げる指令信号を出力し、検出電流Ｉａが予
め定めた許容最大電流或はそれに近い上限設定値Ｉ，に
対してＩａ＞■，であるときには上記周波数を一定値だ
け下げる指令信号を出力し、検出電流Ｉａが■１≦Ｉａ
≦■，であるときには、上記いずれの信号も出力しない
電流制御器と、この電流制御器からの信号に基づいて外
郎電源からの供給電流をその周波数を変換して上記モー
タに向けて出力する周波数変換器と、この周波数変換器
と上記モータとの間に介在し、モータへの電力供給をオ
ンオフする起動盤とから形成した。
駆動用モータへの供給電流を検出し、この検出電流Ｉａ
が予め定めた許容最大電流に近い下限設定値ＩＩに対し
てｒａ＜１＋であるときには、上記供給電流の周波数を
一定値だけ上げる指令信号を出力し、検出電流Ｉａが予
め定めた許容最大電流或はそれに近い上限設定値Ｉ，に
対してＩａ＞■，であるときには上記周波数を一定値だ
け下げる指令信号を出力し、検出電流Ｉａが■１≦Ｉａ
≦■，であるときには、上記いずれの信号も出力しない
電流制御器と、この電流制御器からの信号に基づいて外
郎電源からの供給電流をその周波数を変換して上記モー
タに向けて出力する周波数変換器と、この周波数変換器
と上記モータとの間に介在し、モータへの電力供給をオ
ンオフする起動盤とから形成した。
（作用）
上記のように構成することにより、スクリュロータ駆動
用モータが過負荷になるのを防ぎつつ、モータを自動的
に常に最大負荷或はその近傍の状態で運転させるように
なる。
用モータが過負荷になるのを防ぎつつ、モータを自動的
に常に最大負荷或はその近傍の状態で運転させるように
なる。
（実施例）
次に、本発明の一実施例を図面にしたがって説明する。
第１図は、本発明に係るスクリュ式真空ボンブを示し、
第３図に示す装置とは下記する制御系を除き、他は実質
的に同一であり互いに対応する部分には同一番号を付し
て説明を省略する。
第３図に示す装置とは下記する制御系を除き、他は実質
的に同一であり互いに対応する部分には同一番号を付し
て説明を省略する。
即ち、本実施例では電流制御器１と、周波数変換器２と
、起動盤３とからなる制御手段４か設けてある。
、起動盤３とからなる制御手段４か設けてある。
このうち、電流制御器１は、高周波モータｌ３ヘの供給
電流を検出し、この検出電流Ｉａが予め定めた下限設定
値１に対してＩａ＜＋＋であるときには、上記供給電流
の周波数を一定値だけ上げる指令信号を出力し、検出電
流Ｉａが予め定めた上限設定値Ｉ，に対してＩａ＞Ｉｔ
であるときには上記周波数を一定値だけ下げる指令信号
を出力し、検出電流＋ａかＩ１≦Ｅａ≦Ｉ，であるとき
には、周波数を変化させる上記いずれの信号も出力しな
いようにしたしのである。ここで、下限設定値ｆ１、上
限設定値ｌ，はモータの許容最大電流或はそれに近い値
で、このように一定の幅で上下限設定値を定めて、検出
電流Ｉａをこの幅内に収まるようにしているのは、制御
系のハンチングを防止する周知の方法を採用したためで
ある。
電流を検出し、この検出電流Ｉａが予め定めた下限設定
値１に対してＩａ＜＋＋であるときには、上記供給電流
の周波数を一定値だけ上げる指令信号を出力し、検出電
流Ｉａが予め定めた上限設定値Ｉ，に対してＩａ＞Ｉｔ
であるときには上記周波数を一定値だけ下げる指令信号
を出力し、検出電流＋ａかＩ１≦Ｅａ≦Ｉ，であるとき
には、周波数を変化させる上記いずれの信号も出力しな
いようにしたしのである。ここで、下限設定値ｆ１、上
限設定値ｌ，はモータの許容最大電流或はそれに近い値
で、このように一定の幅で上下限設定値を定めて、検出
電流Ｉａをこの幅内に収まるようにしているのは、制御
系のハンチングを防止する周知の方法を採用したためで
ある。
周波数変換器２は、この電流制御器１からの信号に基づ
いて外郎電源からの供給電流をその周波数を変換して高
周波モータＩ３に向けて出力している。
いて外郎電源からの供給電流をその周波数を変換して高
周波モータＩ３に向けて出力している。
起動盤３は、周波数変換器２と高周波モータｌ３との間
に介在し、高周波モータ１３への電力供給を才ンオフす
るためのらのである。
に介在し、高周波モータ１３への電力供給を才ンオフす
るためのらのである。
次に、上記構成からなる制御につき第２図にしたがって
説明する。
説明する。
まず、起動盤３にてスイッチオンすることにより制御か
スタートし、ステップＩ（＃Ｉ）で、上，下限設定値Ｅ
ｔ． Ｉ ＋を読取る。
スタートし、ステップＩ（＃Ｉ）で、上，下限設定値Ｅ
ｔ． Ｉ ＋を読取る。
ステップ２（＃２）で、高周波モータ１３への供給電流
を検出し、検出電流Ｅａを読取る。
を検出し、検出電流Ｅａを読取る。
ステップ３（＃３）で、検出電流Ｉａと上．下限設定値
Ｉ，，！．とを比較し、Ｉａ＜Ｉ，のときはステップ４
（＃ ４ ）に、ｒａ＞Ｉｔのときはステップ５（＃
５）に、Ｉ１≦ｌａ≦ｈのときはステップ６（＃６）に
進む。
Ｉ，，！．とを比較し、Ｉａ＜Ｉ，のときはステップ４
（＃ ４ ）に、ｒａ＞Ｉｔのときはステップ５（＃
５）に、Ｉ１≦ｌａ≦ｈのときはステップ６（＃６）に
進む。
ステップ４で、周波数を一定値だけ上げる指令信号を周
波数変換器２に出力し、高周波モータｌ３への供給電流
の周波数を上げ、モータ回転数を一定値だけ上げさせた
後、ステップ１に戻る。
波数変換器２に出力し、高周波モータｌ３への供給電流
の周波数を上げ、モータ回転数を一定値だけ上げさせた
後、ステップ１に戻る。
ステップ５で、周波数を一定値だけ下げる指令信号を周
波数変換器２に出力し、高周波モータ１３への供給電流
の周波数を下げ、モータ回転数を一定値だけ下げさせた
後、ステップＩに戻る。
波数変換器２に出力し、高周波モータ１３への供給電流
の周波数を下げ、モータ回転数を一定値だけ下げさせた
後、ステップＩに戻る。
ステップ６で、高周波モータｌ３のモータ回転数を変化
させる信号は出力しないで、ステップＩに戻る。
させる信号は出力しないで、ステップＩに戻る。
以後、上記同様の制御フローの繰返しとなる。
（発明の効果）
以上の説明より明らかなように、本発明によれば、スク
リュロータ駆動用モータへの供給電流を検出し、この検
出電流Ｉａが予め定めた許容最大電流に近い下限設定値
Ｉｔに対してＩａ＜Ｉ．であるときには、上記供給電流
の周波数を一定値だけ上げる指令信号を出力し、検出電
流ｒａが予め定めた許容最大電流或はそれに近い上限設
定値Ｉ，に対してＩａ＞Ｉ２であるときには上記周波数
を一定値だけ下げる指令信号を出力し、検出電流！ａが
１１≦Ｉａ≦Ｉ，であるときには、上記いずれの信号も
出力しない電流制御器と、この電流制御器からの信号に
基づいて外部電源からの供給電流をその周波数を変換し
て上記モータに向けて出力する周波数変換器と、この周
波数変換器と上記モー夕との間に介在し、モータへの電
力供給をオンオフする起動盤とから形成してある。
リュロータ駆動用モータへの供給電流を検出し、この検
出電流Ｉａが予め定めた許容最大電流に近い下限設定値
Ｉｔに対してＩａ＜Ｉ．であるときには、上記供給電流
の周波数を一定値だけ上げる指令信号を出力し、検出電
流ｒａが予め定めた許容最大電流或はそれに近い上限設
定値Ｉ，に対してＩａ＞Ｉ２であるときには上記周波数
を一定値だけ下げる指令信号を出力し、検出電流！ａが
１１≦Ｉａ≦Ｉ，であるときには、上記いずれの信号も
出力しない電流制御器と、この電流制御器からの信号に
基づいて外部電源からの供給電流をその周波数を変換し
て上記モータに向けて出力する周波数変換器と、この周
波数変換器と上記モー夕との間に介在し、モータへの電
力供給をオンオフする起動盤とから形成してある。
このため、操作を複雑にすることなく、モータか過負荷
になるのを防ぎつつ、常にモータの最大能力或は略最大
能力に等しい能力を発揮した状態で運転させて、モータ
効率を向上さ仕ることが可能になるという効果を奏する
。
になるのを防ぎつつ、常にモータの最大能力或は略最大
能力に等しい能力を発揮した状態で運転させて、モータ
効率を向上さ仕ることが可能になるという効果を奏する
。
第１図は本発明に係るスクリュ式真空ボンブの一郎断面
全体構成図、第２図は第１図に示す装置の制御フローを
示す図、第３図は従来のスクリュ式真空ボンブの一郎断
面全体構成図、第４図は吸込圧力と所要軸動力との関係
を示す図である。 １・・・電流制御器、２・・・周波数変換器、３・・・
起動盤、４・・・制御手段、ｌ３・・・高周波モータ、
１６・・・スクリュロー夕。 特 許 出 願 人 株式会社神戸製鋼所代 理 人
弁理士 青山 葆 ほか１名第２図 第３図 弔４図 →舅ｂム圧一力（Ｔｏｒｒ）
全体構成図、第２図は第１図に示す装置の制御フローを
示す図、第３図は従来のスクリュ式真空ボンブの一郎断
面全体構成図、第４図は吸込圧力と所要軸動力との関係
を示す図である。 １・・・電流制御器、２・・・周波数変換器、３・・・
起動盤、４・・・制御手段、ｌ３・・・高周波モータ、
１６・・・スクリュロー夕。 特 許 出 願 人 株式会社神戸製鋼所代 理 人
弁理士 青山 葆 ほか１名第２図 第３図 弔４図 →舅ｂム圧一力（Ｔｏｒｒ）
Claims (1)
- （１）スクリュロータ駆動用モータへの供給電流を検出
し、この検出電流Ｉａが予め定めた許容最大電流に近い
下限設定値Ｉ＿Ｉに対してＩａ＜Ｉ＿１であるときには
、上記供給電流の周波数を一定値だけ上げる指令信号を
出力し、検出電流Ｉａが予め定めた許容最大電流或はそ
れに近い上限設定値Ｉ＿２に対してＩａ＞Ｉ＿２である
ときには上記周波数を一定値だけ下げる指令信号を出力
し、検出電流ＩａがＩ＿１≦Ｉａ≦Ｉ＿２であるときに
は、上記いずれの信号も出力しない電流制御器と、この
電流制御器からの信号に基づいて外部電源からの供給電
流をその周波数を変換して上記モータに向けて出力する
周波数変換器と、この周波数変換器と上記モータとの間
に介在し、モータへの電力供給をオンオフする起動盤と
からなる制御手段を設けたことを特徴とするスクリュ式
真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11585589A JPH02294590A (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | スクリュ式真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11585589A JPH02294590A (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | スクリュ式真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02294590A true JPH02294590A (ja) | 1990-12-05 |
Family
ID=14672809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11585589A Pending JPH02294590A (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | スクリュ式真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02294590A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019190484A (ja) * | 2018-04-18 | 2019-10-31 | 住友重機械工業株式会社 | 歯車装置 |
-
1989
- 1989-05-09 JP JP11585589A patent/JPH02294590A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019190484A (ja) * | 2018-04-18 | 2019-10-31 | 住友重機械工業株式会社 | 歯車装置 |
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