JPH02287223A - 赤外線検出器 - Google Patents
赤外線検出器Info
- Publication number
- JPH02287223A JPH02287223A JP1109317A JP10931789A JPH02287223A JP H02287223 A JPH02287223 A JP H02287223A JP 1109317 A JP1109317 A JP 1109317A JP 10931789 A JP10931789 A JP 10931789A JP H02287223 A JPH02287223 A JP H02287223A
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- JP
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- infrared
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- electrode
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- Pending
Links
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 8
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Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は焦電型の赤外線検出器に関するものである。
従来の技術
物体を認知したり、その物体の温度を非接触で検出する
ために赤外線検出器が使用されるｄ赤外線検出器には量
子効果を利用したものと、赤外線を熱として検知する熱
型のものとがある。熱型の赤外線検出器の中では焦電効
果を利用した焦電型の赤外線検出器があり、特開昭５７
−２８２２３号公報などに記載されたものが知られてい
る。
ために赤外線検出器が使用されるｄ赤外線検出器には量
子効果を利用したものと、赤外線を熱として検知する熱
型のものとがある。熱型の赤外線検出器の中では焦電効
果を利用した焦電型の赤外線検出器があり、特開昭５７
−２８２２３号公報などに記載されたものが知られてい
る。
従来の赤外線検出器について第３図と第４図を参照して
説明する。第３図は従来の赤外線検出器を赤外線の入射
方向から見た図で、第４図は第３図の赤外線検出器を入
方向から見た側面図である。
説明する。第３図は従来の赤外線検出器を赤外線の入射
方向から見た図で、第４図は第３図の赤外線検出器を入
方向から見た側面図である。
１はセラミック型の焦電素子板、２は赤外線吸収を兼ね
た上部電極、３はリード線取出し用に設けたポンディン
グパッド、４は対向電極、５は支持台６に結合するため
に用いた絶縁性接着剤、６は半導体に空間部６０を形成
した半導体支持台である。而して焦電素子板１は赤外線
を照射されて加熱された際、焦電素子板１の上部電極２
及び対向電極４に相当する場所の半導体支持台６は中空
となっており、半導体支持台にしか付けする場合と比べ
、下部への熱伝導による熱の損失を防止することができ
、感度向上を図ることができるようになっている。
た上部電極、３はリード線取出し用に設けたポンディン
グパッド、４は対向電極、５は支持台６に結合するため
に用いた絶縁性接着剤、６は半導体に空間部６０を形成
した半導体支持台である。而して焦電素子板１は赤外線
を照射されて加熱された際、焦電素子板１の上部電極２
及び対向電極４に相当する場所の半導体支持台６は中空
となっており、半導体支持台にしか付けする場合と比べ
、下部への熱伝導による熱の損失を防止することができ
、感度向上を図ることができるようになっている。
発明が解決しようとする課題
しかし、第３図及び第４図のような構造の場合、下部へ
の熱の逃げを防止できるが、焦電素子板１が電極部以外
の周辺部で半導体支持台６に接着固定されているため、
その周辺部から伝導による熱の拡散が生じ、素子の感度
を低下させるとともに、視野角（ＦＯＶ）が甘くなり、
誤差が大きくなる。
の熱の逃げを防止できるが、焦電素子板１が電極部以外
の周辺部で半導体支持台６に接着固定されているため、
その周辺部から伝導による熱の拡散が生じ、素子の感度
を低下させるとともに、視野角（ＦＯＶ）が甘くなり、
誤差が大きくなる。
本発明は上記課題を解決するためのもので、熱伝導によ
る熱の拡散を防止するこにより、感度の向上を図り、Ｆ
ＯＶ特性の向上が図れる焦電型赤外線検出器を実現する
ことを目的とするものであるＯ 課題を解決するための手段 上記課題を解決するための本発明の技術的解決手段は、
焦電素子を上部電極及び対向電極のついた赤外線感応域
とそれ以外の非感応域とに分割するよう焦電素子のパニ
ング方向に対して垂直に分離溝を形成することにある。
る熱の拡散を防止するこにより、感度の向上を図り、Ｆ
ＯＶ特性の向上が図れる焦電型赤外線検出器を実現する
ことを目的とするものであるＯ 課題を解決するための手段 上記課題を解決するための本発明の技術的解決手段は、
焦電素子を上部電極及び対向電極のついた赤外線感応域
とそれ以外の非感応域とに分割するよう焦電素子のパニ
ング方向に対して垂直に分離溝を形成することにある。
作用
本発明は、上記の構成により、焦電型の赤外線検出素子
が赤外線照射によって加熱された時、赤外線感応領域か
らそれ以外の非感応領域への伝導による熱の逃げを防止
することができ、感度及びＦＯＶ特性の向上を図ること
ができる。
が赤外線照射によって加熱された時、赤外線感応領域か
らそれ以外の非感応領域への伝導による熱の逃げを防止
することができ、感度及びＦＯＶ特性の向上を図ること
ができる。
実施例
以下、本発明の実施例について第１図と第２図を参照し
ながら説明する。第１図は赤外線検出素子を赤外線の入
射方向から見た図で、第２図は第１図のＢ方向から見た
側面図である。第１図及び第２図において７はセラミッ
ク型の焦電素子板でその両面に赤外線吸収を兼ねた上部
電極８及び対向電極１ｏが形成されている。１１は絶縁
性接着剤で中空部１４を形成した半導体支持台１２に焦
電素子板７を接着固定するためのものである。
ながら説明する。第１図は赤外線検出素子を赤外線の入
射方向から見た図で、第２図は第１図のＢ方向から見た
側面図である。第１図及び第２図において７はセラミッ
ク型の焦電素子板でその両面に赤外線吸収を兼ねた上部
電極８及び対向電極１ｏが形成されている。１１は絶縁
性接着剤で中空部１４を形成した半導体支持台１２に焦
電素子板７を接着固定するためのものである。
上記構成において、焦電素子板７として板厚１０μｍで
一辺が１玉の正方形のチタン酸鉛セラミック板を用い、
その一方の面にＯ６６Ｅ５ｍｍの正方形状にニクロムを
蒸着によって形成した。このニクロム膜厚は最も赤外線
吸収効率が良くなるようにシート抵抗で４００Ω口に制
御された。更に対向電極１０としてもう一方の板面に同
様の一辺ｏ、ｅｓｗの正方形状のアルミニウムを蒸着に
より、厚さ０．５μｍに形成した。さらに信号取出し用
のボンディングパクド９として厚さ２μｍのアルミニウ
ムを蒸着形成した。このようにして電極８゜１０を形成
した焦電素子板７を、中空部１４をつくっである半導体
支持台１２の中空部１４側に絶縁性接着剤１ｏを塗布し
て接着固定した。この後。
一辺が１玉の正方形のチタン酸鉛セラミック板を用い、
その一方の面にＯ６６Ｅ５ｍｍの正方形状にニクロムを
蒸着によって形成した。このニクロム膜厚は最も赤外線
吸収効率が良くなるようにシート抵抗で４００Ω口に制
御された。更に対向電極１０としてもう一方の板面に同
様の一辺ｏ、ｅｓｗの正方形状のアルミニウムを蒸着に
より、厚さ０．５μｍに形成した。さらに信号取出し用
のボンディングパクド９として厚さ２μｍのアルミニウ
ムを蒸着形成した。このようにして電極８゜１０を形成
した焦電素子板７を、中空部１４をつくっである半導体
支持台１２の中空部１４側に絶縁性接着剤１ｏを塗布し
て接着固定した。この後。
ダイサーを用いて十文字に溝１６を形成して分離し、４
ケの素子を形成するとともに、各素子の赤外線感応領域
となる電極部とそれ以外の部分とに分離するようパニン
グ方向に垂直に分離用の溝１６を形成した。更に信号取
出し用のリード線１３をボンディングにより形成した。
ケの素子を形成するとともに、各素子の赤外線感応領域
となる電極部とそれ以外の部分とに分離するようパニン
グ方向に垂直に分離用の溝１６を形成した。更に信号取
出し用のリード線１３をボンディングにより形成した。
その結果、伝導による熱の逃げを溝１６で防止すること
ができ、感度の向上が図れ、パニング方向に対し垂直に
赤外線感応部とそれ以外の部分に分離したことでＦＯＶ
特性に関して従来のものに比べ大幅な改良が成された◎ 発明の効果 以上のように本発明は、パニング方向に垂直に溝を入れ
て、赤外吸収を兼ねた電極部とそれ以外の部分に焦電素
子板を分離することで伝導による熱の逃げを防止して赤
外線検出器の感度の向上とＦＯＶ特性の向上を図ること
ができる。
ができ、感度の向上が図れ、パニング方向に対し垂直に
赤外線感応部とそれ以外の部分に分離したことでＦＯＶ
特性に関して従来のものに比べ大幅な改良が成された◎ 発明の効果 以上のように本発明は、パニング方向に垂直に溝を入れ
て、赤外吸収を兼ねた電極部とそれ以外の部分に焦電素
子板を分離することで伝導による熱の逃げを防止して赤
外線検出器の感度の向上とＦＯＶ特性の向上を図ること
ができる。
第１図は本発明の実施例における赤外線検出素子を赤外
線の入射方向から見た図、第２図は第１図のＢ方向から
見た側面図、第３図は従来の赤外線検出素子を赤外線の
入射方向から見た図、第４図は第３図の入方向から見た
側面図である。 ７・・・焦電素子板、８・・・上部電極、９・・・ボン
ディングバノド、１０・・・対向電極、１１・・・絶縁
性接着剤、１２・・・半導体支持台、１３・・・リード
線、１４・・・中空部、１５．１６・・・溝。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ばか１名第 図 第 図
線の入射方向から見た図、第２図は第１図のＢ方向から
見た側面図、第３図は従来の赤外線検出素子を赤外線の
入射方向から見た図、第４図は第３図の入方向から見た
側面図である。 ７・・・焦電素子板、８・・・上部電極、９・・・ボン
ディングバノド、１０・・・対向電極、１１・・・絶縁
性接着剤、１２・・・半導体支持台、１３・・・リード
線、１４・・・中空部、１５．１６・・・溝。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ばか１名第 図 第 図
Claims (2)
- （１）二次元に配置された赤外線検出素子のパニング方
向に対して垂直に赤外線感応域と非感応域を分離する溝
を有することを特徴とする赤外線検出器。 - （２）請求項１記載の赤外線検出素子が焦電型の素子で
構成されていることを特徴とする赤外線検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1109317A JPH02287223A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 赤外線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1109317A JPH02287223A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 赤外線検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02287223A true JPH02287223A (ja) | 1990-11-27 |
Family
ID=14507153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1109317A Pending JPH02287223A (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 赤外線検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02287223A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06307925A (ja) * | 1993-04-28 | 1994-11-04 | Matsushita Electric Works Ltd | 赤外線検出素子 |
| WO2021157592A1 (ja) * | 2020-02-05 | 2021-08-12 | 株式会社堀場製作所 | 焦電素子、赤外線検出器及びガス分析計 |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP1109317A patent/JPH02287223A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06307925A (ja) * | 1993-04-28 | 1994-11-04 | Matsushita Electric Works Ltd | 赤外線検出素子 |
| WO2021157592A1 (ja) * | 2020-02-05 | 2021-08-12 | 株式会社堀場製作所 | 焦電素子、赤外線検出器及びガス分析計 |
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