JPH02284772A - 細管とブロック体との接続方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、細管とブロック体との接続方法、特に、金属
製細管を金属製ブロック体に接続する方法に関する。

〔従来の技術〕

質量流量計においては、流体流路を内部に形成した本体
ブロックに対してセンサケースを突設し、このセンサケ
ース内に測定流路としての金属製の細管（例えば外径が
０．６閣、内径が０．４−程度）を設け、この細管に１
対のセンサコイルを巻設しである。

ところで、上記細管を本体ブロックの内部に形成された
流体流路に接続するに際しては、リークが殆ど生じない
、いわゆる超低リークになるようにする必要があるが、
従来は第７図〜第１Ｏ図に示すように接続していた。

先ず、第７図および第８図はその一つの接続構造を説明
するための図で、上下方向に挿通孔１をそれぞれ形成し
た正面視凸字状の金属製のスリーブ２．２を、装着孔３
，３を形成した金属製のセンサ固定ベース４の下面側か
ら装着し、次いで、Ｕ字状の細管５を逆Ｕ字状になるよ
うにしてその両端部６゜６を前記挿通孔１，１内を挿通
させ、両端部６，６をスリーブ２．２の下部凹部におい
て、符号７で示すように、ろう付けする。

そして、内部に流体流路８を備えるとともに、この流体
流路８と連通し、ザグリ部９．９を備えた開口１０．１
０を上面側に形成してなる金属製の本体ブロック１１の
上面に、金属製のシール部材１２１２をザグリ部９．９
に介装した状態で、上記センサ固定ベース４をボルト（
図外）によって固定するのである。

なお、第７図において、１３は上記細管５によって形成
される測定流路をバイパスするようにして本体ブロック
１１の内部に設けられるバイパス流路、１４はこのバイ
パス流路１３に設けられる定流量特性を備えたバイパス
エレメントである。１５は細管５を被覆するセンサケー
ス、１６．１６は細管５に巻設されたセンサコイルであ
る。

また、第９図および第１０図は他の接続構造を説明する
ための図で、これらの図において、第７図および第８図
における符号と同一符号は同一物または相当物を示す。

この接続構造においては、上下方向に挿通孔１７を有す
るとともに、下面にシール面１８を有する金属製のセン
サ固定ベース１９．１９のそれぞれの挿通孔ＩＴ、　１
７に細管５の両端部６．６を挿通して、これら両端部６
，６をセンサ固定ベース１９．１９の下部凹部において
、符号７で示すように、ろう付けするのである。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記第７図および第８図に示す接続構造
においては、シール部材１２．１２とそれぞれ接触する
スリーブ２．２の下面２０．２０と、本体ブロック１１
のザグリ部９，９の上面２１．２１との平行性を確保す
るのが容易ではなく、従って、満足しうる気密性を確保
することが困難であった。

また、上記第９図および第１Ｏ図に示す接続構造のよう
に、シール面１８を有するセンサ固定ベース１９、１９
に細管５を直接接続する場合においては、接合材料とし
て金属ろう材（例えば銀ろう、ニンケルろう、銅ろうな
ど）を用いて高温ろう付は法によって接続を行うが、細
管５とセンサ固定ベース１９．１９との熱容量が違いす
ぎる（細管５（センサ固定ベース１９．１９）ため、前
記ろう付げに際してその温度制御を微妙に行わないと、
温度分布が乱れてしまい、その結果、融けたろう材とセ
ンサ固定ベース１９．１９との間に隙間が生じることが
あり、従って、満足しうる気密性を確保することが困難
であった。

このような問題点は、上記質量流量計におけるＵ字状の
細管５を本体ブロック体に接続する場合のみならず、液
体クロマトグラフのカラム、ガスクロマトグラフの毛管
カラム、マイクロデイスペンサの非０字状の細管のブロ
ック体への接続などにおいても生じている。

本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするところは、超低リークの状態になるように細
管とブロック体とを接続することができる方法を提供す
ることにある。

〔課題を解決するための手段〕

上述の目的を達成するため、本発明においては次の３つ
の方法を採用している。

第１の接続方法は、両端が開放された内部空間を形成し
たアダプタに対して、細管を、その内部空間とアダプタ
の内部空間とが連通ずるように、ろう付けし、さらに、
接続開口を有するブロック体に対して前記アダプタを、
その内部空間と前記接続開口とが連通ずるように、アダ
プタに形成されたプロジェクシッンを介して抵抗溶接す
るようにしたことを特徴としている。

第２の接続方法は、両端が開放された内部空間を形成し
たアダプタに対して、細管を、その内部空間とアダプタ
の内部空間とが連通ずるように、その端部に形成された
プロジェクションを介して抵抗溶接し、さらに、接続開
口を有するブロック体に対して、アダプタを、その内部
空間と前記接続開口とが連通ずるように、前記アダプタ
に形成されたプロジェクションを介して抵抗溶接するよ
うにしたことを特徴としている。

第３の接続方法は、接続開口を有するブロック体に対し
て、細管を、その内部空間と前記接続開口とが連通ずる
ように、その端部に形成されたプロジェクションを介し
て抵抗溶接するようにしたことを特徴としている。

〔作用〕

上記第１の接続方法によれば、細管とろう付けされるア
ダプタの質量を小さくすることができ、両者のろう付は
作業が容易になるとともに、センサ固定ベースの下部平
面が細管側のシール面となり、センサ固定ベースとブロ
ック体との平行性の確保は容易であるから気密性が向−
トする。

そして、上記第２および第３の接続方法によれば、シー
ル部材として樹脂材料を使用したり、接合材料としてろ
う材を使用したりする必要がないので、接続作業が容易
であり、しかも、高い気密性が得られる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。

以下の図面（第１図〜第６図）において、第７図〜第１
０図における符号と同一の符号は同一物または相当物を
示す。

第１図および第２図は本発明に係る第１の接続方法を説
明するための図で、これらの図において、２５はブロッ
ク体としてのセンサ固定ベース４に形成された接続開口
で、センサ固定ベース４をその厚み方向に貫通するよ・
うに形成されている。

２６は抵抗溶接用のアダプタで、金属よりなり、細管５
をろう付けするためできるだけその熱容量が小さくなる
ように質量が小さくしである。そして、このアダプタ２
６には両端が開放された上下方向の内部空間２７が形成
してあり、この内部空間２７の下端側には凹入部２８が
形成しである、また、アダプタ２６の凹入部２８側の端
部には抵抗溶接のためのプロジェクション２９が下向き
に突設しである。

而して、細管５をアダプタ２６の上方からその内部空間
２７内に挿入して、下端側の凹入部２８において真空ろ
う付けし、細管５の内部空間３０とアダプタ２６の内部
空間２７とが連通ずるように、細管５をアダプタ２６に
接続する（第２図（Ａ）参照）、前記ろう付げに使用さ
れるろう材は二ンケルろうまたは銀ろうが好ましい。な
お、第２図（Ａ）において、３１はろう付は部分を示す
。

次に、細管５が接続されたアダプタ２６を、そのプロジ
ェクション２９がセンサ固定ベース４の上面３２に当接
するように載置した状態で、アダプタ２６とセンサ固定
ベース４との間に所定の電流を流して抵抗溶接を行って
、アダプタ２６をセンサ固定ベース４の上面３２に固着
する（第２図（Ｂ）参照）。なお、第２図（Ｂ）におい
て、３３．３３は抵抗溶接部分を示す。

さらに、細管５を接続したセンサ固定ベース４を、金属
製のスペーサ３４および金属製のシール部材３５．３５
を介して本体ブロック１１上に載置し、図外のボルトに
よってセンサ固定ベース４を本体ブロック１１に固定す
る（第１図参照）、これによって、本体ブロックｌｌ内
の流体流路８と細管５とが、本体ブロック１１内の開口
１０、センサ固定ベース４内の接続開口２５、アダプタ
２６の内部空間２７を介して気密に接続されるのである
。

第３図および第４図は本発明に係る第２の接続方法を説
明するための図で、この第２の接続方法においては、細
管５をアダプタ２６に接続する工程においても抵抗溶接
を採用している。

すなわち、第４図（Ａ）に示すように、細管５をアダプ
タ２６の上方からその内部空間２７に挿入した後、細管
５の下端部を適宜の手段で加工して、例えば鍔状に広げ
て抵抗溶接用のプロジェクション３６を上向きに形成す
る。そして、このプロジェクション３６をアダプタ２６
の凹入部２８の上側端面に当接させた状態で、細管５と
アダプタ２６との間に所定のｔ流を流して抵抗溶接を行
って、細管５をアダブタ２６に固定する（第４図（Ｂ）
参照）。なお、第４図（Ｂ）において、３７．３７は抵
抗溶接部分を示す。

次いで、上記第１の接続方法と同様に、アダプタ２６を
抵抗溶接によってセンサ固定ヘース４に固着しく第４図
（Ｃ）参照）、さらに、このセンサ固定ベース４を、第
３図に示すように、本体ブロック１１に固定するのであ
る。なお、第４図（Ｃ）において、３８．３８は抵抗溶
接部分を示す。

第５図および第６図は本発明に係る第３の接続方法を説
明するための図で、この第３の接続方法においては、上
記第１および第２の接続方法とは異なり、アダプタ２６
を用いないで、細管５をセンサ固定ベース４に直接抵抗
溶接することにより、細管５をセンサ固定ベース４に接
続するようにしている。

すなわち、第６図（Ａ）に示すように、細管５の下端部
を適宜の手段で加工して、例えば鍔状に広げて抵抗溶接
用のプロジェクション３９を下向きに形成する。そして
、このプロジェクション３９をセンサ固定ベース４の」
二面３２に当接させた状態で、細管５とセンサ固定ベー
ス４との間に所定の電流を流して抵抗溶接を行って、細
管５をセンサ固定ヘース４に固定する（第６図（Ｂ）参
照）、なお、第６図（Ｂ）において、４０．４０は抵抗
溶接部分を示す。

而して、上記第２および第３の接続方法によれば、細管
５、アダプタ２６、センサ固定ベース４を全てステンレ
スなどの耐腐食性に優れた単一の金属素材で構成するこ
とが可能となり、流体流路８を流れる流体が腐食性が強
いものであっても、質量流量計の構成部材が、これによ
って侵されることがなくなり、長寿命の質量流量計が得
られる。

そして、流体に直接曝される各部を鏡面仕上げすること
も可能であるから、流体中の不純物を吸着するといった
こともなくなる。

また、上述の各実施例においては、細管５をブロック体
としてのセンサ固定ベース４に接続するようにしている
が、ブロック体１１に直接的に接続するようにしてもよ
い。

（発明の効果〕 本発明は以上のように構成しであるので、次の４゜ ような効果を奏する。

請求項（１）に記載の発明によれば、細管とろう付けさ
れるアダプタの質量を小さくすることができ、両者のろ
う付は作業が容易になるとともに、気密性が向上する。

請求項（２）および（３）に記載の発明によれば、抵抗
溶接作業だけで済み、接続作業が簡単になるとともに、
細管、アダプタ、センサ固定ベースなどを全て耐腐食性
に優れた単一の金属素材で構成することが可能となり、
長寿命でしかも気密性に優れた構造を得ることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の第１実施例を示し、第１
図は第１の接続方法を適用した質量流量計を示す縦断面
図、第２図（Ａ）、　（Ｂ）は第１の接続方法を示す説
明図である。 第３図および第４図は本発明の第２実施例を示し、第３
図は第２の接続方法を通用した質量流量計を示す縦断面
図、第４図（Ａ）、　（Ｂ）、　（Ｃ）は第２の接続方
法を示す説明図である。 第５図および第６図は本発明の第３実施例を示し、第５
図は第３の接続方法を適用した質量流量計を示す縦断面
図、第６図（Ａ）、　（Ｂ）は第３の接続方法を示す説
明図である。 第７図〜第１０図は従来の接続方法を説明するための図
である。 ４・・・ブロック体（センサ固定ベース）、５・・・細
管、２５・・・ブロック体の接続開口、２６・・・アダ
プタ、２７・・・アダプタの内部空間、２９・・・プロ
ジェクション、３０・・・細管の内部空間、３６・・・
プロジェクション、３９・・・プロジェクション。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）両端が開放された内部空間を形成したアダプタに
   対して、細管を、その内部空間とアダプタの内部空間と
   が連通するように、ろう付けし、さらに、接続開口を有
   するブロック体に対して前記アダプタを、その内部空間
   と前記接続開口とが連通するように、アダプタに形成さ
   れたプロジェクションを介して抵抗溶接するようにした
   ことを特徴とする細管とブロック体との接続方法。
2. （２）両端が開放された内部空間を形成したアダプタに
   対して、細管を、その内部空間とアダプタの内部空間と
   が連通するように、その端部に形成されたプロジェクシ
   ョンを介して抵抗溶接し、さらに、接続開口を有するブ
   ロック体に対して、アダプタを、その内部空間と前記接
   続開口とが連通するように、前記アダプタに形成された
   プロジェクションを介して抵抗溶接するようにしたこと
   を特徴とする細管とブロック体との接続方法。
3. （３）接続開口を有するブロック体に対して、細管を、
   その内部空間と前記接続開口とが連通するように、その
   端部に形成されたプロジェクションを介して抵抗溶接す
   るようにしたことを特徴とする細管とブロック体との接
   続方法。