JPH02281134A - 測定装置 - Google Patents
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- JPH02281134A JPH02281134A JP10299989A JP10299989A JPH02281134A JP H02281134 A JPH02281134 A JP H02281134A JP 10299989 A JP10299989 A JP 10299989A JP 10299989 A JP10299989 A JP 10299989A JP H02281134 A JPH02281134 A JP H02281134A
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、被測定物体の欠陥の有無やその特性値等を、
受信器と被測定物体までの距離を一定に保ちながら、精
度よく測定できる測定装置に関するものである。
受信器と被測定物体までの距離を一定に保ちながら、精
度よく測定できる測定装置に関するものである。
「従来の技術」
従来、生産工場において、加工処理中の半製品や加工処
理後の製品の欠陥の有無を、またはその含有水分率、白
色度、坪量、灰分、色等の特性値等を、物体に測定信号
である光、β線、マイクロ波、中性子線、赤外線等を透
過または反射させて測定することが行われている。
理後の製品の欠陥の有無を、またはその含有水分率、白
色度、坪量、灰分、色等の特性値等を、物体に測定信号
である光、β線、マイクロ波、中性子線、赤外線等を透
過または反射させて測定することが行われている。
例えば、紙パルプ製造工場においては、製紙原料である
パルプ中に、特に晒パルプ中に混入している塵、未漂白
の結束繊維、スケール、樹脂状斑点等からなる夾雑物が
混入すると、抄紙工程、印刷工程等において種々なトラ
ブルの原因となるだけではなく、製品である紙の商品価
値を低下させるため、パルプ製造工程において、パルプ
中に混入している夾雑物の測定が行われる。
パルプ中に、特に晒パルプ中に混入している塵、未漂白
の結束繊維、スケール、樹脂状斑点等からなる夾雑物が
混入すると、抄紙工程、印刷工程等において種々なトラ
ブルの原因となるだけではなく、製品である紙の商品価
値を低下させるため、パルプ製造工程において、パルプ
中に混入している夾雑物の測定が行われる。
この夾雑物に関する情報は、除塵装置の運転管理を行う
上で重要となるばかりでなく、品質管理上の重要な因子
の一つであるため、測定結果が自動的に且つ短時間の間
に得られるように、例えば特開昭63−295946号
には、移動しているバルブシートの上方に投光器及び光
電素子型カメラ(受光器)を設置し、投光器からの光を
バルブシート面に照射し、その反射光を光電素子型カメ
ラで受光して連続的にバルブシート表面の夾雑物の数を
検出する方法が提案されている。
上で重要となるばかりでなく、品質管理上の重要な因子
の一つであるため、測定結果が自動的に且つ短時間の間
に得られるように、例えば特開昭63−295946号
には、移動しているバルブシートの上方に投光器及び光
電素子型カメラ(受光器)を設置し、投光器からの光を
バルブシート面に照射し、その反射光を光電素子型カメ
ラで受光して連続的にバルブシート表面の夾雑物の数を
検出する方法が提案されている。
しかし、前記の方法では、バルブシート表面が光電素子
型カメラのほぼ焦点距離の位置となるように、フレイム
に投光器と光電素子型カメラ等が固定される構造となっ
ているので、バルブシートが実際にはドラム型フィルタ
ーの運転条件である例えばパルプ絶乾流量、フィルター
バット?W度、フィルターバント液面の高さ、ドラム回
転数等の変動等に伴なってその厚みが変動するため、所
定距離を外れることがあり、結果的に夾雑物を実際の数
と異なって測定し、不良品を見逃してしまう恐れがある
。
型カメラのほぼ焦点距離の位置となるように、フレイム
に投光器と光電素子型カメラ等が固定される構造となっ
ているので、バルブシートが実際にはドラム型フィルタ
ーの運転条件である例えばパルプ絶乾流量、フィルター
バット?W度、フィルターバント液面の高さ、ドラム回
転数等の変動等に伴なってその厚みが変動するため、所
定距離を外れることがあり、結果的に夾雑物を実際の数
と異なって測定し、不良品を見逃してしまう恐れがある
。
「発明が解決しようとする課題」
本発明は、被測定物体の欠陥の有無やその特性値等を、
受信器と被測定物体までの距離を一定に保ちながら、精
度よく測定できる測定装置を提供するものである。
受信器と被測定物体までの距離を一定に保ちながら、精
度よく測定できる測定装置を提供するものである。
「課題を解決するための手段」
本発明は、被測定物体を透過または反射する測定信号の
発信器(1)と、透過または反射後の信号を検出する受
信器(2)と、被測定物体と受信器との間の距離を測定
する距離測定部(3)と、該測定部で測定された値を設
定値と比較し、両者の相違をなくすように調節部(4)
を作動させ、距離を所定値に調節する制御部(5)から
なることを特徴とする測定装置である。
発信器(1)と、透過または反射後の信号を検出する受
信器(2)と、被測定物体と受信器との間の距離を測定
する距離測定部(3)と、該測定部で測定された値を設
定値と比較し、両者の相違をなくすように調節部(4)
を作動させ、距離を所定値に調節する制御部(5)から
なることを特徴とする測定装置である。
「作用」
本発明の測定装置を図面に基づき、さらに詳細に説明す
る。
る。
第1図は、バルブ製造工程中のドラム型フィルター(6
)のドラム(7)上に設けられた、発信器(1)である
投光器と受信器(2)である光電素子型カメラ(検出器
)からなる反射型夾雑物検出装置(8)において、バル
ブシート(9)の表面とカメラの先端部との間の距離を
、距離調節装置001で所定値となるように調節する場
合の一実施例を示すものである。
)のドラム(7)上に設けられた、発信器(1)である
投光器と受信器(2)である光電素子型カメラ(検出器
)からなる反射型夾雑物検出装置(8)において、バル
ブシート(9)の表面とカメラの先端部との間の距離を
、距離調節装置001で所定値となるように調節する場
合の一実施例を示すものである。
第1図に示すように、本発明で用いられる距離調節装置
は、距離測定部(3)と、カメラを昇降させるための調
節部(4)から構成される。かかるカメラは、支持板O
Dの一端に固定され、支持板のもう一端には調節部(4
)である油圧シリンダーのロンドの先端が固定される。
は、距離測定部(3)と、カメラを昇降させるための調
節部(4)から構成される。かかるカメラは、支持板O
Dの一端に固定され、支持板のもう一端には調節部(4
)である油圧シリンダーのロンドの先端が固定される。
距離測定部(3)は、バルブシートの表面とカメラの先
端部との間の距離を測定するためのもので、シートの上
方の図示されないブラケットに固定されるが、各種のも
のが公知であり、フルイデイクス式センサー、背圧式セ
ンサー等の空気圧式センサー、光学式センサー、赤外線
式センサー、イメージセンサ−、アナログ式幅計、光走
査式寸法測定装置等の非接触型のもの、或いは長さの異
なる板を吊り下げ各板に圧力スイツチを設ける接触型の
もの等から適宜選択して使用される。
端部との間の距離を測定するためのもので、シートの上
方の図示されないブラケットに固定されるが、各種のも
のが公知であり、フルイデイクス式センサー、背圧式セ
ンサー等の空気圧式センサー、光学式センサー、赤外線
式センサー、イメージセンサ−、アナログ式幅計、光走
査式寸法測定装置等の非接触型のもの、或いは長さの異
なる板を吊り下げ各板に圧力スイツチを設ける接触型の
もの等から適宜選択して使用される。
また、調節部(4)としては、距離測定部より出力され
た信号で検出器を昇降させ得るもので、本実施例におい
ては油圧シリンダーが用いられるが、他の方式のものと
しては例えばパルスモータ−で正転または逆転させられ
る雄ネジ軸体等も用いられる。
た信号で検出器を昇降させ得るもので、本実施例におい
ては油圧シリンダーが用いられるが、他の方式のものと
しては例えばパルスモータ−で正転または逆転させられ
る雄ネジ軸体等も用いられる。
なお、投光器(1)としては、従来から使用されている
異体型電球、リボンフィラメント電球、コイルフィラメ
ント電球、ハロゲン電球、キセノン短アークランプ、ク
レット水銀ランプ等の可視光源、白熱電球、グローバー
、ネルンストグローアーニクロムヒーター、カートリッ
ジヒーター、白金リボン、高圧水銀灯等の赤外域光源或
いはルビーガラス、YAG、BP、L等をレーザー材料
とする固体レーザー、ヘリウムネオン、アルゴン、クリ
プトン、炭酸ガス、ヘルウムカドミウム等をレーザー材
料とするガスレーザー、GaAs、、 ZnS 、 Z
nO1CdS 、 GaN 、 LnF 、、GaSb
、、InAs、 PbTe等をレーザー材料とする半導
体レーザー等のレーザー光源等が挙げられる。
異体型電球、リボンフィラメント電球、コイルフィラメ
ント電球、ハロゲン電球、キセノン短アークランプ、ク
レット水銀ランプ等の可視光源、白熱電球、グローバー
、ネルンストグローアーニクロムヒーター、カートリッ
ジヒーター、白金リボン、高圧水銀灯等の赤外域光源或
いはルビーガラス、YAG、BP、L等をレーザー材料
とする固体レーザー、ヘリウムネオン、アルゴン、クリ
プトン、炭酸ガス、ヘルウムカドミウム等をレーザー材
料とするガスレーザー、GaAs、、 ZnS 、 Z
nO1CdS 、 GaN 、 LnF 、、GaSb
、、InAs、 PbTe等をレーザー材料とする半導
体レーザー等のレーザー光源等が挙げられる。
また、検出器(2)としては、上記の光電素子型カメラ
以外にくフォトダイオード、フォトトランジスタ、光電
管、アバランシェダイオード、pinタイオード、赤外
ビジコン、赤外線検出素子、ツクトビジョン、集電素子
、熱電対、ホトンドラソグ、ゴーレイセル、パトレイセ
ル、サーミスタ等も用いられる。
以外にくフォトダイオード、フォトトランジスタ、光電
管、アバランシェダイオード、pinタイオード、赤外
ビジコン、赤外線検出素子、ツクトビジョン、集電素子
、熱電対、ホトンドラソグ、ゴーレイセル、パトレイセ
ル、サーミスタ等も用いられる。
上記の如く、距離測定部(3)で測定された値は、制御
部(5)に入力されて所定値と比較され、両者が相違す
る場合には、この差(ΔLn+)をなくすように油圧シ
リンダーを作動させ、カメラの先端部の位置を所定値内
に調節するものである。
部(5)に入力されて所定値と比較され、両者が相違す
る場合には、この差(ΔLn+)をなくすように油圧シ
リンダーを作動させ、カメラの先端部の位置を所定値内
に調節するものである。
第1表は、第1図に示す本発明の装置を用いて、バルブ
シート表面上に置いた0、21■2の大きさの20個の
夾雑物の数を、シートの厚さを変えながら測定した結果
である。なお、比較のために本発明の装置を使用しない
場合の数も、第1表に併記する。
シート表面上に置いた0、21■2の大きさの20個の
夾雑物の数を、シートの厚さを変えながら測定した結果
である。なお、比較のために本発明の装置を使用しない
場合の数も、第1表に併記する。
第1表
第2図は、連続シート(9)の欠陥をチエツクするため
の透過型欠陥検出装置側に、本発明の距離調節装置(1
01を適用する場合を示す。
の透過型欠陥検出装置側に、本発明の距離調節装置(1
01を適用する場合を示す。
第2図に示すように、矢印方向に連続的に走行するシー
ト(9)に対し、欠陥検出装置の発信器11)である投
光器及び受信器(2)である受光器が、上部と下部の各
々のビーム(αj及び(141)に固定されている。
ト(9)に対し、欠陥検出装置の発信器11)である投
光器及び受信器(2)である受光器が、上部と下部の各
々のビーム(αj及び(141)に固定されている。
本発明の距離調節装置α0)を構成する距離測定部(3
)は、シートの下方の図示されないブラケットに設置さ
れ、また調節部(4)である油圧シリンダーはそのロン
ド部の先端が下部ビームαaに連結されている。それで
、距離測定部(3)で測定されたシートと受光器との間
の距離は、制御部(5)に入力され、ここで所定値と比
較され、両者が相違するときには、この差をなくすよう
に油圧シリンダーを作動させ、受光器の先端部の位置を
所定値内に調節する。
)は、シートの下方の図示されないブラケットに設置さ
れ、また調節部(4)である油圧シリンダーはそのロン
ド部の先端が下部ビームαaに連結されている。それで
、距離測定部(3)で測定されたシートと受光器との間
の距離は、制御部(5)に入力され、ここで所定値と比
較され、両者が相違するときには、この差をなくすよう
に油圧シリンダーを作動させ、受光器の先端部の位置を
所定値内に調節する。
「効果」
本発明の距離、調節装置を備えた測定装置によると、受
信器と被測定物体の間の距離を常に所定値に維持できる
。
信器と被測定物体の間の距離を常に所定値に維持できる
。
従って、例えばパルプマット表面上の夾雑物の数がパル
プマットの厚みの変動に関係なく、精度よく測定される
ため、従来のように実際の数と異なって測定するような
問題が解決され、品質異常に対し速やかに対応でき、製
品の品質の安定化や歩留の改善、後工程等の安定化を図
ることも可能となる。
プマットの厚みの変動に関係なく、精度よく測定される
ため、従来のように実際の数と異なって測定するような
問題が解決され、品質異常に対し速やかに対応でき、製
品の品質の安定化や歩留の改善、後工程等の安定化を図
ることも可能となる。
第1図は、パルプ製造工程中のドラム型フィルターのド
ラム上に設けられた反射型夾雑物検出装置のカメラの先
端部を、距離調節装置でその距離を所定値に調節する場
合の一実施例を示す。 第2図は、連続シートの欠陥をチエツクするための透過
型欠陥検出装置の受光器に、本発明の距離調節装置を適
用する場合を示す。 (1):発信器 (2):受信器(3):距離
測定部 (4):調節部(5):制御部
(6)ニドラム型フィルター(7)ニドラム (
8):反射型夾雑物検出装置(9):被測定物体
Ol:距離調節装置aυ:支持板 (12+
:透過型欠陥検出装置α3):上部ビーム 041二下部ビーム
ラム上に設けられた反射型夾雑物検出装置のカメラの先
端部を、距離調節装置でその距離を所定値に調節する場
合の一実施例を示す。 第2図は、連続シートの欠陥をチエツクするための透過
型欠陥検出装置の受光器に、本発明の距離調節装置を適
用する場合を示す。 (1):発信器 (2):受信器(3):距離
測定部 (4):調節部(5):制御部
(6)ニドラム型フィルター(7)ニドラム (
8):反射型夾雑物検出装置(9):被測定物体
Ol:距離調節装置aυ:支持板 (12+
:透過型欠陥検出装置α3):上部ビーム 041二下部ビーム
Claims (1)
- 被測定物体を透過または反射する測定信号の発信器(1
)と、透過または反射後の信号を検出する受信器(2)
と、被測定物体と受信器との間の距離を測定する距離測
定部(3)と、該測定部で測定された値を設定値と比較
し、両者の相違をなくすように調節部(4)を作動させ
、距離を所定値に調節する制御部(5)からなることを
特徴とする測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10299989A JPH02281134A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10299989A JPH02281134A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02281134A true JPH02281134A (ja) | 1990-11-16 |
Family
ID=14342382
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10299989A Pending JPH02281134A (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02281134A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0616815U (ja) * | 1992-08-06 | 1994-03-04 | 新日本製鐵株式会社 | 鋼板の表面粗度測定装置 |
JP2006153633A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd | 被検査物体の欠陥判定装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6269149A (ja) * | 1985-09-24 | 1987-03-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエハ異物検査装置 |
JPS62144008A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-27 | Hitachi Ltd | 印刷回路板のパタ−ン検査装置 |
JPS62238445A (ja) * | 1986-04-10 | 1987-10-19 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 表面検査装置 |
-
1989
- 1989-04-21 JP JP10299989A patent/JPH02281134A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6269149A (ja) * | 1985-09-24 | 1987-03-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエハ異物検査装置 |
JPS62144008A (ja) * | 1985-12-18 | 1987-06-27 | Hitachi Ltd | 印刷回路板のパタ−ン検査装置 |
JPS62238445A (ja) * | 1986-04-10 | 1987-10-19 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | 表面検査装置 |
Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JPH0616815U (ja) * | 1992-08-06 | 1994-03-04 | 新日本製鐵株式会社 | 鋼板の表面粗度測定装置 |
JP2006153633A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Mitsubishi Electric Engineering Co Ltd | 被検査物体の欠陥判定装置 |
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