JPH02277646A - 液体噴射記録ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 蓋生斑互 本発明は、液体噴射記録ヘッド、より詳細には、バブル
ジェット型のインクジェットヘッドに関する。

従】１支術− ノンインパクト記録法は、記録時における騒音の発生が
無視し得る程度に極めて小さいという点において、最近
関心を集めている。その中で、高速記録が可能であり、
而も所謂普通紙に特別の定着処理を必要とせずに記録の
行える所謂インクジェット記録法は極めて有力な記録法
であって、これまでにも様々な方式が提案され、改良が
加えられて商品化されたものもあれば、現在もなお実用
化への努力が続けられているものもある。

この様なインクジェット記録法は、所謂インクと称され
る記録液体の小滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）を飛翔させ、記録
部材に付着させて記録を行うものであって。

この記録液体の小滴の発生法及び発生された記録液小滴
の飛翔方向を制御する為の制御方法によって幾つかの方
式に大別される。

先ず第１の方式は例えば米国特許第３０６０４２９号明
細書に開示されているもの（Ｔａｌｅ　ｔｙｐｅ方式）
であって、記録液体の小滴の発生を静電吸引的に行い、
発生した記録液体小滴を記録信号に応じて電界制御し、
記録部材上に記録液体小滴を選択的に付着させて記録を
行うものである。

これに就いて、更に詳述すれば、ノズルと加速電極間に
電界を掛けて、−様に帯電した記録液体の小滴をノズル
より吐出させ、該吐出した記録液体の小滴を記録信号に
応じて電気制御可能な様に構成されたｘｙ偏向電極間を
飛翔させ、電界の強度変化によって選択的に小滴を記録
部材上に付着させて記録を行うものである。

第２の方式は、例えば米国特許第３５９６２７５号明細
書、米国特許第３２９８０３０号明細書等に開示されて
いる方式（Ｓｗｅｅｔ方式）であって、連続振動発生法
によって帯電量の制御された記録液体の小滴を発生させ
、この発生された帯電量の制御された小滴を、−様の電
界が掛けられている偏向電極間を飛翔させることで、記
録部材上に記録を行うものである。

具体的には、ピエゾ振動素子の付設されている記録ヘッ
ドを構成する一部であるノズルのオリフィス（吐出口）
の前に記録信号が印加されている様に構成した帯電電極
を所定距離だけ離して配置し、前記ピエゾ振動素子に一
定周波数の電気信号を印加することでピエゾ振動素子を
機械的に振動させ、前記吐出口より記録液体の小滴を吐
出させる。この時前記帯電電極によって吐出する記録液
体小滴には電荷が静電誘導され、小滴は記録信号に応じ
た電荷量で帯電される。帯電量の制御された記録液体の
小滴は、一定の電界が一様に掛けられている偏向電極間
を飛翔する時、付加された帯電量に応じて偏向を受け、
記録信号を担う小滴のみが記録部材上に付着し得る様に
されている。

第３の方式は例えば米国特許第３４１６１５３号明細書
に開示されている方式（Ｈａｒｔｚ方式）であって、ノ
ズルとリング状の帯電電極間に電界を掛け、連続振動発
生法によって、記録液体の小滴を発生霧化させて記録す
る方式である。即ちこの方式ではノズルと帯電電極間に
掛ける電界強度を記録信号に応じて変調することによっ
て小滴の霧化状態を制御し、記録画像の階調性を出して
記録する。

第４の方式は１例えば米国特許第３７４７１２０号明細
書に開示されている方式（Ｓｔｅａｍｓ方式）で、この
方式は前記３つの方式とは根本的に原理が異なるもので
ある。

即ち、前記３つの方式は、何れもノズルより吐出された
記録液体の小滴を、飛翔している途中で電気的に制御し
、記録信号を担った小滴を選択的に記録部材上に付着さ
せて記録を行うのに対して、このＳｔａｍｍａ方式は、
記録信号に応じて吐出口より記録液体の小滴を吐出飛翔
させて記録するものである。

つまり、　Ｓｔｅａｍｓ方式は、記録液体を吐出する吐
出口を有する記録ヘッドに付設されているピエゾ振動素
子に、電気的な記録信号を印加し、この電気的記録信号
をピエゾ振動素子の機械的振動に変え、該機械的振動に
従って前記吐出口より記録液体の小滴を吐出飛翔させて
記録部材に付着させることで記録を行うものである。

これ等、従来の４つの方式は各々に特長を有するもので
あるが、又、他方において解決され得る可き点が存在す
る。

即ち、前記第１から第３の方式は記録液体の小滴の発生
の直接的エネルギーが電気的エネルギーであり、又、小
滴の偏向制御も電界制御である。

その為、第１の方式は、構成上はシンプルであるが、小
滴の発生に高電圧を要し、又、記録ヘッドのマルチノズ
ル化が困難であるので高速記録には不向きである。

第２の方式は、記録ヘッドのマルチノズル化が可能で高
速記録に向くが、構成上複雑であり、又記録液体小滴の
電気的制御が高度で困難であること、記録部材上にサテ
ライトドツトが生じ易いこと等の問題点がある。

第３の方式は、記録液体小滴を霧化することによって階
調性に優れた画像が記録され得る特長を有するが、他方
霧化状態の制御が困難であること、記録画像にカブリが
生ずること及び記録ヘッドのマルチノズル化が困難で、
高速記録には不向きであること等の諸問題点が存する。

第４の方式は、第１乃至第３の方式に比べ利点を比較的
多く有する。即ち、構成上シンプルであること、オンデ
マンド（ｏｎ−ｄｅｍａｎｄ）で記録液体をノズルの吐
出口より吐出して記録を行う為に、第１乃至第３の方式
の様に吐出飛翔する小滴の中、画像の記録に要さなかっ
た小滴を回収することが不要であること及び第１乃至第
２の方式の様に、導電性の記録液体を使用する必要性が
なく記録液体の物質上の自由度が大であること等の大き
な利点を有する。丙午ら、一方において、記録ヘッドの
加工上に問題があること、所望の共振数を有するピエゾ
振動素子の小型化が極めて困難であること等の理由から
記録ヘッドのマルチノズル化が難しく、又、ピエゾ振動
素子の機械的振動という機械的エネルギーによって記録
液体小滴の吐出飛翔を行うので高速記録には向かないこ
と、等の欠点を有する。

このように従来法には、構成上、高速記録化上、記録ヘ
ッドのマルチノズル化上、サテライトドツトの発生およ
び記録画像のカブリ発生等の点において一長一短があっ
て、その長所を利する用途にしか適用し得ないという制
約が存在していた。

また、特開昭５５−１０９６６９号公報には。

液体に吐出力を与える室と該室に液体を供給する供給源
との連絡口の開口断面積を、前記室から液体を吐出させ
るオリフィスの開口断面積と同等もしくはそれより小さ
くして、オリフィスの目詰まりを防止するようにしたバ
ブルジェット型の液体噴射記録ヘッドが開示されている
。

第２１図は、上記特開昭５５−１０９６６９号公報に開
示された液体噴射記録ヘッドを説明するための分解斜視
図で、図示のように、発熱体設置基板１４１、例えばア
ルミナ基板上（図示例では、その裏面）には作用部とし
て発熱体１４２が設けられている。これとは別の溝つき
プレート１４３には、作用室１４４及びインク溜１４５
となる溝が成形しである。この溝つきプレート１４３を
構成する材料としては、ガラス、セラミックス或いは耐
熱性プラスチック等がある。又、インク溜１４５と作用
室１４４の接点部１４６の開口は、インク吐出オリフィ
ス１４７より細くなっている。

又、上記作用室１４４としての溝の巾は発熱体１４２に
ほぼ対応する様になっており、その位置合わせをして溝
つきプレート１４３と発熱体設置基板１４１を接着剤等
を用いて接合する。このようにして、発熱体設置基板１
４１と溝つきプレート１４３とが一体化されて記録ヘッ
ドを完成させる。インクは矢印で示される様にインク溜
１４５に供給されるが、この時、インクはインクの流れ
がほぼ図示矢印の方向になる様に加圧されている。

そして、インクは、更に接点開口１４６から作用室１４
４にはいり、その空孔を常に満している。

今、発熱体１４２に対して外部から信号が印加されると
、発熱体１４２は発熱し、熱エネルギーをその周辺のイ
ンクに与える。熱エネルギーを受けたインクは体積膨張
或いは気泡の発生等の状態変化を起こして圧力変化を生
じ、この圧力変化が吐出オリフィス１４７の方向に伝わ
ってオリフィス１４７よりインク滴が吐出される。この
時、接点部開口１４６がオリフィス１４７よりも狭くな
っており、作用室１４４内には、オリフィス径以上の粗
大ゴミ等が侵入し得ない構造になっている。

上述のように、上記特開昭５５−１０９６６９号公報に
記載された発明は、オリフィスの目詰り防止を目的とし
てなされたものであり、上述のような構成にすると、オ
リフィスにおいては目詰りはないが連絡口において目詰
りが発生しゃすく、全く意味がない、さらには、連絡口
が小さいため、オリフィス（及びその手前の流路）に充
分なインクが補給されにくいという欠点を有する。とり
わけ、オリフィスが１６本／ｍ以上の高密度に配列され
、そのオリフィスサイズも小さく（たとえば３０μｍ×
３０μｍ以下）、非常に小さなインク滴を形成し、高精
細な印写を行うコピアを狙ったインクジェットにおいて
は、オリフィスのみならず、そのオリフィスに連絡する
流路及び連絡口も小さくなるため、流路壁の流体抵抗が
著しく大きくなる。よって通常のままでは、インク補給
に支障をきたし何らかの手段を講じる必要がある。まし
てや、特開昭５５−１０９６６９号公報に記載された発
明のように、連絡口をオリフィスよりも小さくすると１
６本／■以上の高密度に配列した場合には、オリフィス
へのインク補給効率が著しく悪くなり、インク補給不足
による空吐出（＝吐出不能）が発生したり、あるいは吐
出が行なわれたとしても、インク補給スピードが遅いた
めに、高速での連続駆動はできなかった。

１−一鯉 本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、
特に、１６本／ｍ以上の高密度に配列され、かつオリフ
ィスサイズも３０μｍ　Ｘ　３０μｍ以下の非常に小さ
いオリフィスを有するバブルジェット型の液体噴射記録
ヘッドにおいて、高い応答周波数における安定吐出を得
ることを目的としてなされたものである。

碧−一一慮 本発明は、上記目的を達成するために、導入される記録
液体を収容するとともに、該記録液体に熱によって気泡
を発生させ、該気泡の体積増加にともなう作用力を発生
させる熱エネルギー作用部を付設した流路と、該流路に
連絡して前記記録液体を前記作用力によって液滴として
吐出させるためのオリフィスと、前記流路に連絡して前
記流路に前記記録液体を導入するための液室と、該液室
に前記記録液体を導入する手段よりなる液体噴射記録ヘ
ッドであって、前記オリフィスは１６本／Ｉ以上の高密
度に配列され、かつ、そのオリフィスサイズは３０μｍ
　Ｘ　３０μｍ以下の微小オリフィスである液体噴射記
録ヘッドにおいて、少なくとも１つのフィルタ手段を前
記液室内もしくは前記液室より上流側に有し、かつ、前
記流路と前記液室とが連絡する部分の前記流路の開口断
面積が前記オリフィスの開口断面積と同等もしくは大で
あり、前記ヘッドは、１ノズルあたり、その最高連続応
答周波数が４ＫＨｚより高速で駆動することを特徴とし
たものである。以下、本発明の実施例に基いて説明する
。

第１図は、本発明による液体噴射記録ヘッドの一実施例
を説明するための図で、第１図（ａ）は、ヘッド断面図
、第１図（ｂ）は、ヘッドの平面断面図で、第１図（ｂ
）にはオリフィス部ａの開口断面積Ｓｏ、流路と液室が
連絡する部分すの開口断面積Ｓｉの違いがわかるように
、ヘッドを上部から見た場合の図を示す、同図において
、■はヘッド部、■はヘッド部Ｉの液室に記録液体を導
入するための手段例えばインクカートリッジで、ヘッド
部■は、液室部Ａと流路部Ｂより成り、液室部Ａにはイ
ンクカートリッジ部■を着脱自在に装置するための穴ｌ
が設けられており、流路部Ｂには記録液体２中に気泡３
を発生するための発熱体（ヒータ）４が設けられている
。而して１本発明においては、液室内又は液室より上流
側に少なくとも１つのフィルタ５が設けられている。な
お、第１図（ｂ）には、フィルタ５を液室内に配置して
例を示したが１例えば、○リング６を介して液室にイン
クカートリッジが接続される部分にフィルタを設けても
よい。このフィルタ５は、第１に目詰り防止を目的とし
て設けられたものであり、第２に流路からはなして（液
室内もしくは液室より上流に設ける）設けることにより
フィルタの流体抵抗によって流路に記録液体（インク）
が充分に補給されないという従来の欠点を改良すること
を目的として設けられたものである。

なお、第１図及び後述の第４図〜第６図ともに、説明を
簡略化するために、４ノズルの例で示しているが、実際
には５本発明においてはノズルの数は５０〜１２８ノズ
ル、あるいはそれ以上の多数ノズルを１６本／ｌｌｌ１
１以上の高密度で配列している。

而して１本発明においては、前記ＳｏとＳｉは。

ＳＯ≦Ｓｉ の関係にあり、このように、流路と液室が連絡する部分
の開口断面積Ｓｉをオリフィスの開口断面積Ｓｏと同等
もしくは大とすることによって、１６本／Ｉ以上の高密
度で多数のノズルを配列し。

使用インク量が多くても流路に記録液体が補給されない
ということはなく、常に安定した吐出が行なわれる。

又、１ノズル当たりの連続応答周波数を４ＫＨｚより高
速で駆動しても、記録液体の補給が、それに追従し、常
に安定した吐出が行なわれる。

第２図は、上述のごとき本発明によるヘッドの機能を説
明するためのブロック図で、図中、１１は液室に記録液
体を導入する手段、例えばカートリッジ、１２は液室、
１３は流路と液室が連絡する部分（第１図のｂ部）、１
４は熱作用部、１５はオリフィス部（第１図のａ部）で
、図のｘ−Ｘ線より左側の部分がフィルタを設ける部分
であり、点線で囲んだ部分が流路部である。

第１表に種々のヘッドを試作、評価した結果の１例を示
す、（以下余白） 第１表 なお、Ｎｏ、１〜６は１６本／ｍの配列密度で６４ノズ
ルヘツドであり、Ｎｏ、７〜１０は２０本／ｍ、Ｎｏ、
１１〜１３は２４本／Ｗでそれぞれ１２８ノズルヘツド
を使用した。

以上の説明から明らかなように、上述のように構成する
と、 １、フィルタを設けることにより目詰りが防止できる。

２、フィルタを液室内もしくは、液室より上流側に設け
ることによりフィルタの流体抵抗によるインク補゛給不
足がおこらないようにできる。

３、流路と液室が連絡する部分の開口断面積Ｓｉをオリ
フィスの開口断面積Ｓｏと同等もしくは大とすることに
よって、１６本／ｍ以上の高密度で、３０μｍ　Ｘ　３
０μｍ以下の微細ノズルを多数個配列しても流路へのイ
ンク供給不足がおこらないようにできる。

等の効果があり、従って、目詰りがなく、高速でしかも
微小なインク漬吐出が行え、高精細印写が可能となる。

第３図は、本発明が適用されるインクジェットヘッドの
一例としてのバブルジェットヘッドの動作説明をするた
めの図、第４図は、バブルジェットヘッドの一例を示す
斜視図、第５図は、第４図に示したヘッドを構成する蓋
基板（第５図（ａ））と発熱体基板（第５図（ｂ））に
分解した時の斜視図、第６図は、第５図（ａ）に示した
蓋基板を裏側から見た斜視図で、図中、２１は蓋基板、
２２は発熱体基板、２３は記録液体流入口、２４はオリ
フィス、２５は流路、２６は液室を形成するための領域
、２７は個別（独立）電極、２８は共通電極、２９は発
熱体（ヒータ）、３０はインク、３１は気泡、３２は飛
翔インク滴で１本発明は、斯様なバブルジェット式の液
体噴射記録ヘッドに適用するものである。最初に、第３
図を参照しながらバブルジェットによるインク噴射につ
いて説明すると、（ａ）は定常状態であり、オリフィス
面でインク３０の表面張力と外圧とが平衡状態にある。

（ｂ）はヒータ２９が加熱されて、ヒータ２９の表面温
度が急上昇し隣接インク層に沸騰現像が起きるまで加熱
され、微小気泡３１が点在している状態にある。

（ｃ）はヒータ２９の全面で急激に加熱された隣接イン
ク層が瞬時に気化し、沸騰膜を作り、この気泡３１が生
長した状態である。この時、ノズル内の圧力は、気泡の
生長した分だけ上昇し、オリフィス面での外圧とのバラ
ンスがくずれ、オリフィスよりインク柱が生長し始める
。

（ｄ）は気泡が最大に生長した状態であり、オリフィス
面より気泡の体積に相当する分のインク３０が押し出さ
れる。この時、ヒータ２９には電流が流れていない状態
にあり、ヒータ２９の表面温度は降下しつつある。気泡
３１の体積の最大値は電気パルス印加のタイミングから
ややおくれる。

（８）は気泡３１がインクなどにより冷却されて収縮を
開始し始めた状態を示す、インク柱の先端部では押し出
された速度を保ちつつ前進し、後端部では気泡の収縮に
伴ってノズル内圧の減少によりオリフィス面からノズル
内へインクが逆流してインク柱にくびれが生じている。

（ｆ）はさらに気泡３１が収縮し、ヒータ面にインクが
接しヒータ面がさらに急激に冷却される状態にある。オ
リフィス面では、外圧がノズル内圧より高い状態になる
ためメニスカスが大きくノズル内に入り込んで来ている
。インク柱の先端部は液滴になり記録紙の方向へ５〜１
０　ｍ　／　ｓｅｃの速度で飛翔している。

（ｇ）はオリフィスにインクが毛細管現象により再び供
給（リフィル）されて（ａ）の状態にもどる過程で、気
泡は完全に消滅している。

第７図は、上述のごとき液体噴射記録ヘッドの要部構成
を説明するための典型例を示す図で、第７図（ａ）は、
バブルジェット記録ヘッドのオリフィス側から見た正面
詳細部分図、第７図（ｂ）は、第７図（ａ）に−点鎖線
Ｘ−Ｘで示す部分で切断した場合の切断面部分図である
。

これらの図に示された記録ヘッド４１は、その裏面に電
気熱変換体４２が設けられている基板４３上に、所定の
線密度で所定の巾と深さの溝が所定数設けられている溝
付板４４を該基板４３を覆うように接合することによっ
て、液体を飛翔させるためのオリフィス４５を含む液吐
出部４６が形成された構造を有している。液吐出部４６
は、オリフィス４５と電気熱変換体４２より発生される
熱エネルギーが液体に作用して気泡を発生させ、その体
積の膨張と収縮による急激な状態変化を引き起こすとこ
ろである熱作用部４７とを有する。

熱作用部４７は、電気熱変換体４２の熱発生部４８の上
部に位置し、熱発生部４８の液体と接触する面としての
熱作用面４９をその低面としている。熱発生部４８は、
基体４３上に設けられた下部層５０、該下部層５０上に
設けられた発熱抵抗層５１、該発熱抵抗層５１上に設け
られた上部層５２とで構成される。

発熱抵抗層５１には、熱を発生させるために核層５１に
通電するための電極５３．５４がその表面に設けられて
おり、これらの電極間の発熱抵抗層によって熱発生部４
８が形成されている。

電極５３は、各液吐出部の熱発生部に共通の電極であり
、電極５４は、各液吐出部の熱発生部を選択して発熱さ
せるための選択電極であって、液吐出部の液流路に沿っ
て設けられている。

保護層５２は、熱発生部４８においては発熱抵抗層５１
を、使用する液体から化学的、物理的に保護するために
発熱抵抗層５１と液吐出部４６の液流路を満たしている
液体とを隔絶すると共に。

液体を通じて電極５３．５４間が短絡するのを防止し、
更に隣接する電極間における電気的リークを防止する役
目を有している。

各液吐出部に設けられている液流路は、各液吐出部の上
流において、液流路の一部を構成する共通液室（不図示
）を介して連通されている。各液吐出部に設けられた電
気熱変換体４２に接続されている電極５３．５４はその
設計上の都合により、前記上部層に保護されて熱作用部
の上流側において前記共通液室下を通るように設けられ
ている。

このような液体噴射記録ヘッドにおいては、従来、電気
熱変換体は、第７図に示すように、基板４３の一方の面
上に所定の形状に積層された発熱抵抗体層上に、所定の
形状を有する電極層が、−対の電極５３．５４　（共通
電極５３２選択電極５４である）間に接続された前記発
熱抵抗体層からなる熱発生部４８が基板上の所定に位置
に配置されるように積層されて形成されていた。従って
、共通電極５３は折返し形状となり、共通電極５３と選
択電極５４とが交互に配列されるために、複数の熱発生
部は共通電極を挟んだように配置されていた。

第８図は、発熱抵抗体を用いる気泡発生手段の構造を説
明するための詳細図で、図中、６１は発熱抵抗体、６２
は電極、６３は保護層、６４は電源装置を示し１発熱抵
抗体６１を構成する材料として、有用なものには、たと
えば、タンタル−５ｉｎ、の混合物、窒化タンタル、ニ
クロム、銀−パラジウム合金、シリコン半導体、あるい
はハフニウム、ランタン、ジルコニウム、チタン、タン
タル、タングステン、モリブデン、ニオブ、クロム、バ
ナジウム等の金属の硼化物があげられる。

これらの発熱抵抗体６１を構成する材料の中、殊に金属
硼化物が優れたものとしてあげることができ、その中で
も最も特性の優れているのが、硼化ハフニウムであり、
次いで、硼化ジルコニウム、硼化ランタン、硼化タンタ
ル、硼化バナジウム、硼化ニオブの順となっている。

発熱抵抗体６１は、上記の材料を用いて、電子ビーム蒸
着やスパッタリング等の手法を用いて形成することがで
きる０発熱抵抗体６１の膜厚は。

単位時間当りの発熱量が所望通りとなるように。

その面積、材質及び熱作用部分の形状及び大きさ、更に
は実際面での消費電力等に従って決定されるものである
が、通常の場合、０．００１〜５μｍ、好適には０．０
１〜１μｍとされる。

電極６２を構成する材料としては、通常使用されている
電極材料の多くのものが有効に使用され、具体的には、
たとえばＡ　Ｑ　ｐ　Ａ　ｇ　ｔ　Ａ　ｕ　ｇ　Ｐ　ｔ
　ｐＣｕ等があげられ、これらを使用して蒸着等の手法
で所定位置に、所定の大きさ、形状、厚さで設けられる
。

保護層６３に要求される特性は１発熱抵抗体６１で発生
された熱を記録液体に効果的に伝達することを妨げずに
、記録液体より発熱抵抗体６１を保護するということで
ある。保護層６３を構成する材料として有用なものには
、たとえば酸化シリコン、窒化シリコン、酸化マグネシ
ウム、酸化アルミニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニ
ウム等があげられ、これらは、電子ビーム蒸着やスパッ
タリング等の手法を用いて形成することができる。保護
層６３の膜厚は１通常は０．０１〜１０μｍ。

好適には０．１〜５μｍ、最適には０．１〜３μｍとさ
れるのが望ましい。

以上のようにして作成した記録ヘッドを１発熱抵抗体が
発熱しない状態では記録液体が吐出口から吐出しない程
度の圧力で記録液体を供給し乍ら画像信号に従って電気
・熱変換体にパルス的に電圧を印加して記録を実行した
ところ、鮮明な画像が得られた。

第９図は、その時の発熱体駆動回路の一例を示すブロッ
ク図で、７１はフォトダイオード等で構成される公知の
読取り用の光学釣人カフオドセンサ部で、該光学釣人カ
フオドセンサ部７１に入力した画像信号はコンパレータ
等の回路からなる処理回路７２で処理されて、ドライブ
回路７３に入力される。ドライブ回路７３は、記録ヘッ
ド７４を入力信号に従ってパルス幅、パルス振幅、繰り
返し周波数等を制御してドライブする。

例えば、最も簡便な記録では、入力画像信号を処理回路
７２において白黒判別してドライブ回路７３に入力する
。ドライブ回路７３では適当な液滴径を得る為のパルス
幅、パルス振幅及び所望の記録液滴密度を得る為の繰り
返し周波数を制御された信号に変換されて、記録ヘッド
７４を遇区動する。

又、階調を考慮した別の記録法としては、１つには液滴
径を変化させた記録、又もう１つには記録液滴数を変化
させた記録を次の様にして行なうことも出来る。

先ず、液滴径を変化させる記録法は、光学釣人カフオド
センサ部７１で入力した画像信号は、所望の液滴径を得
る為に定められた各々のレベルのパルス幅、パルス振幅
の駆動信号を出力する回路を複数有したドライブ回路７
３のいずれのレベルの信号を出力する回路で行なうべき
かを処理回路７２で判別され処理される。又、記録液滴
数を変化させる方法では、光学釣人カフオドセンサ部７
１への入力信号は、処理回路７２においてＡ／Ｄ変換さ
れて出力され、該出力信号に従ってドライブ回路７３は
１つの入力信号当りの噴出液滴の数を変えて記録が行な
われる様に記録ヘッド７４を駆動する信号を出力する。

又、別の実施法として同様な装置を使用して発熱抵抗体
が発熱しない状態で記録液体が吐出口からあふれ出る程
度以上の圧力で記録液体を記録ヘッド７４に供給し乍ら
、電気熱変換体に連続繰り返しパルスで電圧を印加して
記録を実行したところ、印加周波数に応じた個数の液滴
が安定に且つ均一径で吐出噴射することが確認された。

この点から、記録ヘッド７４は高周波での連続吐出に極
めて有効に適用されることが判明した。

又、記録装置の主要部となる記録ヘッドは微小であるか
ら容易に複数個並べることが出来、高密度マルチオリフ
ィス化記録ヘッドが可能である。

第１０図は、記録液体に気泡を発生させる別の手段を説
明するための図で、図中、８１はレーザ発振器、８２は
光変調駆動回路、８３は光変調器、８４は走査器、８５
は集光レンズで、レーザ発振器８１より発生されたレー
ザ光は、光変調器８２において、光変調器駆動回路８２
に入力されて電気的に処理されて出力される画情報信号
に従ってパルス変調される。パルス変調されたレーザ光
は、走査器８４を通り、集光レンズ８５によって熱エネ
ルギー作用部の外壁に焦点が合うように集光され、記録
ヘッドの外壁８６を加熱し、内部の記録液体８７内で気
泡を発生させる。あるいは熱エネルギー作用部の壁８６
は、レーザ光に対して透過性の材料で作られ、集光レン
ズ８５によって内部の記録液体８７に焦点が合うように
集光され、記録液体を直接加熱することによって気泡を
発生させてもよい。

第１１図は、上述のごときレーザ光を用いたプリンター
の一例を説明するための図で、ノズル部９１は、高密度
に（たとえば１６ノズル／ＩＩＩＩ！以上）、又、紙９
１の紙中（たとえばＡ４横巾）すべてにわたってカバー
されるように集積されている例を示している。

レーザ発振器８１より発振されたレーザ光は、光変調器
８３の入口開口に導かれる。光変調器８３において、レ
ーザ光は、光変調器８３への画情報入力信号に従って強
弱の変調を受ける。変調を受けたレーザ光は、反射鏡８
８によってその光路をビームエキスパンダー８９の方向
に曲げられ、ビームエキスパンダー８９に入射する。ビ
ームエキスパンダー８９により平行光のままビーム径が
拡大される。次に、ビーム径の拡大されたレーザ光は、
高速で定速回転する回転多面鏡９０に入射される１回転
多面鏡９ｏによって掃引されたレーザ光は、集光レンズ
８５により、ドロップジェネレータの熱エネルギー作用
部外壁８６もしくは内部の記録液体に結像する。それに
よって、各熱エネルギー作用部には、気泡が発生し、記
録液滴を吐出し、記録紙９２に記録に行なわれる。

第１２図は、さらに別の気泡発生手段を示す図で、この
例は、熱エネルギー作用部の内壁側に配置された１対の
放電電極１００が、放電装置１０１から高電圧のパルス
を受け、記録液体中で放電をおこし、その放電によって
発生する熱により瞬時に気泡を形成するようにしたもの
である。

第１３図乃至第２０図は、それぞれ第１２図に示した放
電電極の具体例を示す図で、 第１３図に示した例は、 電極１００を針状にして、電界を集中させ、効率よく（
低エネルギーで）放電をおこさせるようにしたものであ
る。

第１４図に示した例は、 ２枚の平板電極にして、電極間に安定して気泡が発生す
るようにしたものである。針状の電極より、発生気泡の
位置が安定している。

第１５図に示した例は、 電極にほぼ同軸の穴をあけたものである。２枚の電極の
両穴がガイドになって、発生気泡の位置はさらに安定す
る。

第１６図に示した例は、 リング状の電極にしたものであり、基本的には第１５図
に示した例と同じであり、その変形実施例である。

第１７図に示した例は、 一方をリング状電極とし、もう一方を針状電極としたも
のである。リング状電極により１発生気泡の安定性を狙
い、針状電極により電界の集中により効率を狙ったもの
である。

第１８図に示した例は、 一方のリング状電極を熱エネルギー作用部の壁面に形成
したものである。これは、第１７図に示した例の効果に
加えて、基板上に平面的に電極を形成するという製造上
の容易さを狙ったものである。このような平面的な電極
は、蒸着（あるいはスパッタリング）や、フォトエツチ
ングの技術によって容易に高密度な複数個のものが製作
され得る。マルチアレイに特に威力を発揮する。

第１９図に示した例は。

第１８図に示した例のリング状電極形成部を電極の外周
にそった形状で周囲から一段高くしたものである。やは
り、発生気泡の安定性を狙つたものであり、第１７図に
示したものよりも３次元的なガイドを付は加えた分だけ
安定する。

第２０図に示した例は、 第１９図に示した例とは反対に、リング状電極形成部を
、周囲から下へ落しこんだ構造としたもので、やはり１
発生気泡は安定して形成される。

本発明による記録装置に使用される記録液体は、後述す
る熱物性値及びその他の物性値を有する様に材料の選択
と組成成分の比が調合される他に従来の記録法において
使用されている記録液体と同様化学的物理的に安定であ
る他、応答性、忠実性、曳糸化能に優れている事、液路
殊に吐出口において固まらない事、流路中を記録速度に
応じた速度で流通し得る事、記録後、記録部材への定着
が速やかである事、記録濃度が充分である事、貯蔵寿命
が良好である事、等々の特性を与える様に物性が調整さ
れる。

本発明による記録装置に使用される記録液体は、液媒体
と記録像を形成する記録剤及び所望の特性を得る為に添
加される添加剤より構成され、前記の物性値を得る範囲
において液媒体及び添加剤の種類及び組成比の選択によ
って、水性、非水性、溶解性、導電性、絶縁性のいずれ
も得ることが出来る。

液媒体としては、水性媒体と非水性媒体とに大別される
が、使用される液媒体は、前記の物性値を調合される記
録記録液体が有する様に他の選択される構成成分との組
み合せを考慮して下記のものより選択される。

その様な非水性媒体としては、例えばメチルアルコール
、エチルアルコール、ｎ−プロピルアルコール、イソプ
ロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコール、　５ｅｃ−
ブチルアルコール、　ｔａｒｔ−ブチルアルコール、イ
ソブチルアルコール、ペンチルアルコール、ヘキシルア
ルコール、ヘプチルアルコール、オクチルアルコール、
ノニルアルコール。

デシルアルコール等の炭素数１〜１０のアルキルアルコ
ール；例えば、ヘキサン、オクタン、シクロペンタン、
ベンゼン、トルエン、キジロール等の炭化水素系溶剤；
例えば、四塩化炭素、トリクロロエチレン、テトラクロ
ロエタン、ジクロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素系
溶剤；例えば、エチルエーテル、ブチルエーテル、エチ
レングリコールジエチルエーテル、エチレングリコール
モノエチルエーテル等のエーテル系溶剤；例えば、アセ
トン、メチルエチルケトン、メチルプロピルケトン、メ
チルアミルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤
；ギ酸エチル、メチルアセテート、プロピルアセテート
、フェニルアセテート、エチレングリコールモノエチル
エーテルアセテート等のエステル系溶剤；例えばジアセ
トンアルコール等のアルコール系溶剤；石油系炭化水素
溶剤等が挙げられる。

これ等の列挙した液媒体は使用される記録剤や添加剤と
の親和性及び記録液体としての後述の諸特性を満足し得
る様に適宜選択して使用されるものであるが更に、後記
の特性を有する記録液体が調合され得る範囲内において
、必要に応じて適宜二種以上を混合して使用しても良い
、又、上記の条件内においてこれ等非水性媒体と水とを
混合して使用しても良い。

上記の液媒体の中、公害性、入手の容易さ、調合のし易
さ等の点を考慮すれば、水又は水・アルコール系の液媒
体が好適とされる。

記録剤としては、調合される記録液体が前記の諸物性値
を有するようにされる他、長時間放置による液路内や記
録液体供給タンク内での沈降、凝集、更には輸送管や液
路の回詰りを起こさない様に前記液媒体や添加剤との関
係において材料の選択がなされて使用される必要がある
。この様な点からして、液媒体に溶解性の記録剤を使用
するのが好ましいが、液媒体に分散性又は難溶性の記録
剤であっても液媒体に分散させる時の記録剤の粒径を充
分小さくしてやれば使用され得る。

使用され得る記録剤は記録部材によって、その記録条件
に充分適合する様に適宜選択される。記録剤としては染
料及び顔料を挙げることが出来る。

有効に使用される染料は、調合された記録液体の後述の
諸特性を満足し得る様なものであり、好適に使用される
のは、例えば水溶性染料としての直接染料、塩基性染料
、酸性染料、可溶性建染メ染料、酸性媒染染料、媒染染
料、非水溶性染料としての硫化染料、建染メ染料、酒精
溶染料、油溶染料、分散染料等の他、スレン染料、ナフ
トール染料、反応染料、クロム染料、１：２型錯塩染料
、１：１型錯塩染料、アゾイック染料、カチオン染料等
の中より選択されるものである。

具体的には、例えばレゾリングリルブルーＰＲＬ、レゾ
リンイエローＰＣＧ、レゾリンピンクＰＲＲ、レゾリン
グリーンＰＢ（以上バイヤー＊）、スミカロンブルー５
−ＢＧ、スミカロンレッドＥ−ＥＢＬ、スミカロンイエ
ローＥ−４０Ｌ、スミカロンブリリアントブルー５−Ｂ
Ｌ（以上住人化学製）、ダイヤニックスイエロー−ＨＧ
−８Ｅ、ダイヤニックスレッドＢＮ−８Ｅ（以上三菱化
成１１）、カヤロンポリエステルライトフラビン４ＧＬ
、カヤロンポリエステルブルー３Ｒ−８Ｆ、カヤロンポ
リエステルイエローＹＬ−８Ｅ、カヤセットターキスブ
ルー７７６、カヤセットイエロー９０２、カヤセットレ
ッド０２６、プロジオンレッドＨ−２Ｂ、プロジオンブ
ルーＨ−３Ｒ（以上日本化薬層）、レバフィックスゴー
ルデンイエローＰ−Ｒ、レバフィックスプリルレッドＰ
−Ｂ。

レバフィックスプリルオレンジＰ−ＧＲ（以上バイヤー
製）、スミフィックスイエローＧＲ８、スミフィックス
Ｂ、スミフィックスプリルレッドＢＳ、スミフィックス
プリルブルーＰＢ、ダイレクトブラック４０（以上住人
化学製）、ダイヤミラーブラウン３Ｇ、ダイヤミラーイ
エロー〇、ダイヤミラーブルー３Ｒ、ダイヤミラープリ
ルブルーＢ、ダイヤミラープリルレッドＢＢ（以上三菱
化成製）、レマゾールレッドＢ、レマゾールブルー３Ｒ
、レマゾールイエローＧＮＬ、レマゾールプリルグリー
ン６Ｂ（以上ヘキスト社製）、チバクロンプリルイエロ
ー、チバクロンプリルレッド４０Ｅ（以上チバガイギー
社製）、インジコ、ダイレクトテープブラックＥ−Ｅｘ
、ダイアミンブラックＢＨ、コンゴーレッド、シリアス
ブラックＢＨ、オレンジ■、アミドブラックＩＯＢ、オ
レンジＲ○、メタニールイエロー、ピクトリアスカーレ
ット、ニグロシン、ダイアモンドブラックＰＢＢ（以上
イーゲー社製）、ダイアシトブルー３Ｇ、ダイアシトフ
ァスト・グリーンＧＷ、ダイアシト・ミーリングネービ
ーブルーＲ、インダンスレン（以上三菱化成製）、ザポ
ン−染料（Ｂ　Ａ　Ｓ　Ｆ製）、オラゾール染料（ＣＩ
　Ｂ　Ａ製）、ラナシンー染料（三菱化成製）、ダイア
クリルオレンジＲＬ−Ｅ、ダイアクリルブリリアントブ
ルー２Ｂ−Ｅ、ダイアクリルターキスブルーＢＧ−Ｅ　
（三菱化成製）などの中より前記の諸物性値が調合され
る記録液体に与えられるものが好ましく使用できる。

これ等の染料は、所望に応じて適宜選択されて使用され
る液媒体中に溶解又は分散されて使用される。

有効に使用される顔料としては、無機顔料、有機顔料の
中の多くのものが好適に使用される。そのよう・な顔料
として具体的に例示すれば無機顔料としては、硫化カド
ミウム、硫黄、セレン、硫化亜鉛、スルホセレン化カド
ミウム、黄鉛、ジンククロメート、モリブデン赤、ギネ
ー・グリーン、チタン白、亜鉛華、弁柄、酸化クロムグ
リーン、鉛丹、雌側コバルト、チタン酸バリウム、チタ
ニウムイエロー、鉄黒、紺青、リサージ、カドミウムレ
ッド、硫化銀、硫酸鉛、硫酸バリウム、群青、炭酸カル
シウム、炭酸マグネシウム、鉛白、コバルトバイオレッ
ト、コバルトブルー、エメラルドグリーン、カーボンブ
ラック等が挙げられる。

有機顔料としては、その多くが染料に分類されているも
ので染料と重複する場合が多いが、具体的には次のよう
なものが好適に使用される。

（ａ）不溶性アゾ系（ナフトール系） ブリリアントカーミンＢＳ、レーキカーミンＦＢ、ブリ
リアントファストスカーレッド、レーキレッド４Ｒ、パ
ラレッド、パーマネントレッドＲ、ファストレッドＦＯ
Ｒ，レーキボルドー５Ｂ、バーミリオンＮＯ，１，バー
ミリオンＮＯ，２、トルイジンマルーン。

（ｂ）不溶性アゾ系（アニライド系） ジアゾイエロー、ファストイエローＧ、ファストイエロ
ー１０Ｇ、ジアゾオレンジ、パルカンオレンジ、バラゾ
ロンレッド。

（ｃ）溶性アゾ系 レーキオレンジ、ブリリアントカーミン３Ｂ、ブリリア
ントカーミン６Ｂ、ブリリアントスカーレットＧ、レー
キレッドＣ、レーキレッドＤ、レーキレッドＲ、ウオッ
チングレッド、レーキボルドー１０Ｂ、ボンマルーンＬ
、ボンマルーンＭ。

（ｄ）フタロシアニン系 フタロシアニンブルー、ファストスカイブルーフタロシ
アニングリーン。

（ｅ）染色レーキ系 イエローレーキ、エオシンレーキ、ローズレーキ、バイ
オレットレーキ、ブルーレーキ、グリーンレーキ、セピ
アレーキ。

（ｆ）媒染系 アリザリンレーキ、マダカーミン。

（ｇ）建染系 インダスレン系、ファストブルーレーキ（ＧＧＳ）。

（ｈ）塩基性染料レーキ系 ローダミンレーキ、マラカイトグリーンレー札 （ｉ）酸性染料レーキ系 ファストスカイブルー、キノリンイエローレーキ５キナ
クリドン系、ジオキサジン系。

液媒体と記録剤との量的関係は、調゛合される他に液路
の目詰り、液路内での記録液体の乾燥、記録部材へ付与
された時の滲みや乾燥速度等の条件から、重量部で液媒
体１００部に対して記録剤が通常１〜５０部、好適には
３〜３０部、最適には５〜１０部とされるのが望ましい
。

記録液体が分散系（記録剤が液媒体中に分散されている
系）の場合、分散される記録剤の粒径は、記録剤の種類
、記録条件、液路の内径、吐出口径、記録部材の種類等
によって、適宜所望に従って決定されるが、粒径が余り
大きいと、貯蔵中に記録剤粒子の沈降が起って、濃度の
不均一化が生じたり、液路の目詰りが起ったり或いは記
録された画像に濃度斑が生じたり等して好ましくない。

このようなことを考慮すると１分散系記録液体とされる
場合の記録剤の粒径は、通常０．０１〜３０μ、好適に
は０．０１〜２０μ、最適には０．０１〜８μとされる
のが望ましい、更に分散されている記録剤の粒径分布は
、出来る限り狭い方が好適であって、通常はＤ±３μ、
好適にはＤ±１．５μとされるのが望ましい（但しＤは
平均粒径を表わす）。

使用される添加剤としては、粘度調整剤、表面張力調整
剤、ｐＨ調整剤、比抵抗調整剤、湿潤剤及び赤外線吸収
発熱剤等が挙げられる。

粘度調整剤や表面張力調整剤は、前記の物性値を得る為
の他に、記録速度に応じて充分なる流速で液路中を流通
し得ること、液路の吐出口において記録液体の回り込み
を防止し得ること、記録部材へ付与された時の滲み（ス
ポット径の広がり）を防止し得ること等の為に添加され
る。

粘度調整剤及び表面張力調整剤としては、使用される液
媒体及び記録剤に悪影響を及ぼさないで効果的なもので
あれば通常知られているものの中より適宜所望特性を満
足するように選択されて使用される。

具体的には、粘度調整剤としては、ポリビニルアルコー
ル、ヒドロキシプロピルセルロース、カルボキシメチル
セルロース、ヒドロキシエチルセルロース、メチルセル
ロース、水溶性アクリル樹脂、ポリビニルピロリドン、
アラビアゴムスターチ等が好適なものとして例示出来る
。

所望に応じて適宜選択されて好適に使用される、表面張
力調整剤としては、アニオン系、カチオン系及びノニオ
ン系の界面活性剤が挙げられ、具体的には、アニオン系
としてポリエチレングリコールエーテル硫酸、エステル
塩等、カチオン系としてポリ２−ビニルピリジン誘導体
、ポリ４−ビニルピリジン誘導体等、ノニオン系として
ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチ
レンアルキルフェニルエーテル ンアルキルエステル、ポリオキシエチレンソルビタンモ
ノアルキルエステル、ポリオキシエチレンアルキルアミ
ン等が挙げられる。

これ等の界面活性剤の他、ジェタノールアミン。

プロパツールアミン、モルホリン酸等のアミン酸。

水酸化アンモニウム、水酸化ナトリウム等の塩基性物質
、Ｎ−メチル−２−ピロリドン等の置換ピロリドン等も
有効に使用される。

これ等の表面張力調整剤は、所望の値の表面張力を有す
る記録液体が調合されるように，互いに又は他の構成成
分に悪影響を及ぼさず且つ前記の物性値が調合される記
録液体に与えられる範囲内において必要に応じて二種以
上混合して使用しても良い。

これ等表面張力調整剤の添加量は種類．調合される記録
液体の他の構成成分種及び所望される記録特性に応じて
適宜決定されるものであるが，記録液体１重量部に対し
て、通常は０．０００１〜０．１重量部、好適には０．
００１〜０．０１重量部とされるのが望ましい。

ｐＨ調整剤は、調合された記録液体の化学的安定性、例
えば、長時間の保存による物性の変化や記録剤その他の
成分の沈降や凝集を防止する為に所定のＰＨ値となるよ
うに前記の諸物性値を逸脱しない範囲で適時適当量添加
される。

本発明において好適に使用されるｐＨ調整剤としては、
調合される記録液体に悪影響を及ぼさずに所望のｐＨ値
に制御出来るものであれば大概のものを挙げることが出
来る。

そのようなｐＨ調整剤としては具体的に例示すれば低級
アルカノールアミン、例えばアルカリ金属水酸化物等の
一価の水酸化物、水酸化アンモニウム等が挙げられる。

これ等のｐＨ調整剤は，調合される記録液体が前記の物
性値をはずれない範囲で所望のｐＨ値を有するように必
要量添加される。

使用される潤滑剤としては、調合される記録液体が後記
の諸物性値を逸脱しない範囲で本発明に係わる技術分野
において通常知られているものの中より有効であるもの
、殊に熱的に安定なものが好適に使用される．このよう
な潤滑剤として具体的に示せば、例えばポリエチレング
リコール、ポリプロピレングリコール等のポリアルキレ
ンゲリコール、ブチレンゲリコール、ヘキシレングリコ
ール等のアルキレン基が２〜６個の炭素原子を含むアル
キレングリコール；例えばエチレングリコールメチルエ
ーテル、ジエチレングリコールメチルエーテル、ジエチ
レングリコールエチルエーテル等のジエチレングリコー
ルの低級アルキルエーテル；グリセリン；例えばメトオ
キシトリグリコール、エトオキシトリグリコール等の低
級アルコールオキシトリグリコール；Ｎ−ビニル−２−
ピロリドンオリゴマー；等が挙げられる。

これ等の潤滑剤は、記録液体に所望される特性を満足す
るように所望に応じて必要量添加されるものであるが、
その添加量は記録液体全重量に対して、通常０．１〜１
０ｗｔ％、好適には０．１〜８ｗｔ％、最適には０．２
〜７ｖｔ％とされるのが望ましい。

又，上記の潤滑剤は、単独で使用される他、互いに悪影
響を及ぼさない条件において二種以上混用しても良い。

本発明の記録装置に使用される記録液体には、上記のよ
うな添加剤が所望に応じて必要量添加されるが，更に記
録部材に付着する場合の記録液体被膜の形成性、被膜強
度に優れたものを得るために、例えばアルキッド樹脂、
アクリル樹脂、アクリルアミド樹脂、ポリビニルアルコ
ール、ポリビニルピロリドン等の樹脂重合体が添加され
ても良い。

本発明の記録装置に使用される記録液体は、前述した諸
記録特性を具備するように、比熱、熱膨張係数、熱伝導
率、粘性、表面張力、ｐＨ及び帯電された記録液滴を使
用して記録する場合には比抵抗等の特性値が特性の条件
範囲にあるように調合されるのが望ましい。

即ち、これ等の諸特性は、曳糸現象の安定性、熱エネル
ギー作用に対する応答性及び忠実性、画像濃度、化学的
安定性、液路内での流動性等に重要な関連性を有してい
るので、本発明においては記録液体の調合の際、これ等
に充分注意を払う必要がある。

本発明の記録装置に有効に使用され得る記録液体の上記
諸特性としては下記の第２表に示されるごときの値とさ
れるのが望ましてか、列挙された物性の総てが第２表に
示されるごとき数値条件を満足する必要はなく、要求さ
れる記録特性に応じて、これ等の物性の幾つかが第２表
の条件を満足する値を取れば良いものである。丙午ら比
熱、熱膨張係数、熱伝導率、粘性、表面張力に関ｑては
、第２表の値に規定されるのが望ましい、勿論、調合さ
れた記録液体の上記諸特性の中で第２表に示される値を
満足するものが多い程良好な記録が行われることは言う
までも無い、（以下余白）以上の説明から明らかなよう
に、本発明によると、 １、フィルタを設けることにより目詰りが防止できる。

２、フィルタを液室内もしくは、液室より上流側に設け
ることによりフィルタの流体抵抗によるインク補給不足
がおこらないようにできる。

３、流路と液室が連絡する部分の開口断面積Ｓｉをオリ
フィスの開口断面積ＳＯと同等もしくは大とすることに
よって、１６本／−以上の高密度で３０μｍ　Ｘ　３０
μｍ以下の微細ノズルを多数個配列しても流路へのイン
ク供給不足がおこらないようにできる。

等の効果があり、従って、目詰りがなく、高速でしかも
微小なインク滴吐出が行え高精細印写が可能となる。

【図面の簡単な説明】 第１図は、本発明の一実施例を説明するための要部構成
図で、（ａ）図は、ヘッド断面図、（ｂ）図は、ヘッド
平面断面図、第２図は、ヘッドの機能を説明するための
図、第３図は、本発明が適用されるインクジェットヘッ
ドの一例としてのバブルジェットヘッドの動作説明をす
るための図、第４図は、バブルジェットヘッドの一例を
示す斜視図、第５図は、分解斜視図、第６図は、蓋基板
を裏側から見た図、第７図は、バブルジェット記録ヘッ
ドの詳細を説明するための図、第８図は、発熱抵抗体を
用いた気泡発生手段の構造を説明するための図、第９図
は、発熱体駆動回路の一例を説明するためのブロック図
、第１０図は、レーザ光を用いた気泡発生手段の一例を
説明するための図、第１１図は、プリンターの一例を説
明するための図、第１２図は、放電を利用した気泡発生
手段の一例を説明するための図、第１３図乃至第２０図
は、それぞれ第１２図に示した放電電極の具体例を示す
図、第２１図は、従来技術を説明するための図である。 ■・・・ヘッド部、■・・・流路部、２・・・記録液、
３・・・気泡、４・・・発熱体、５・・・フィルタ。 第 図 第 図 第　１ （ｂ） 第 図 （Ｑ） （ｂ） 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、導入される記録液体を収容するとともに、該記録液
   体に熱によって気泡を発生させ、該気泡の体積増加にと
   もなう作用力を発生させる熱エネルギー作用部を付設し
   た流路と、該流路に連絡して前記記録液体を前記作用力
   によって液滴として吐出させるためのオリフィスと、前
   記流路に連絡して前記流路に前記記録液体を導入するた
   めの液室と、該液室に前記記録液体を導入する手段より
   なる液体噴射記録ヘッドであって、前記オリフィスは、
   １６本／ｍｍ以上の高密度に配列され、かつ、そのオリ
   フィスサイズは３０μｍ×３０μｍ以下の微小オリフィ
   スである液体噴射記録ヘッドにおいて、少なくとも１つ
   のフィルタ手段を前記液室内もしくは前記液室より上流
   側に有し、かつ、前記流路と前記液室とが連絡する部分
   の前記流路の開口断面積が前記オリフィスの開口断面積
   と同等もしくは大であり、前記ヘッドは、ノズルあたり
   その最高連続応答周波数が４ＫＨｚより高速で駆動され
   ることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。