JPH02272410A - 焦点検出装置 - Google Patents

焦点検出装置

Info

Publication number
JPH02272410A
JPH02272410A JP9419289A JP9419289A JPH02272410A JP H02272410 A JPH02272410 A JP H02272410A JP 9419289 A JP9419289 A JP 9419289A JP 9419289 A JP9419289 A JP 9419289A JP H02272410 A JPH02272410 A JP H02272410A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
focus detection
pair
image forming
straight line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP9419289A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3084711B2 (ja
Inventor
Kenji Suzuki
謙二 鈴木
Akira Ishizaki
明 石崎
Keisuke Aoyama
圭介 青山
Yasuo Suda
康夫 須田
Keiji Otaka
圭史 大高
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP9419289A priority Critical patent/JP3084711B2/ja
Publication of JPH02272410A publication Critical patent/JPH02272410A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3084711B2 publication Critical patent/JP3084711B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Focusing (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は写真用カメラやビデオカメラ等に好適な焦点検
出装置に関し、特に撮影レンズ(対物レンズ)の瞳を複
数の領域に分割し、各領域を通過する光束を用いて複数
の被写体像に関する光量分布を形成し、これら複数の光
量分布の相対的な位置関係を求めることにより対物レン
ズの合焦状態を検出する、所謂像ずれ方式を利用して複
数の測距視野を対象として焦点検出する際に好適な焦点
検出装置に関するものである。
(従来の技術) 従来より対物レンズを通過した光束を利用した比較的高
精度な検出積度を有した受光型の焦点検出方式に像ずれ
方式と呼ばれる方式がある。
この像ずれ方式を利用した焦点検出装置のうち撮影範囲
の中央部以外の複数の測距点のうちから任意の1つの測
距点を選択して焦点検出を行う焦点検出装置が例えば特
開昭63−131111号公報で提案されている。
第8図は同公報で提案されている焦点検出装置の要部概
略図である。
同公報の焦点検出装置では3つの測距視野において焦点
検出を行っている。同図においてTLは撮影レンズであ
り、その予定結像面FPには視野マスクFMが配置され
る。視野マスクFMには中央部に横長の矩形開口部E0
が設けられており、両側に縦長の矩形開口部E。l+ 
EO2が設けられている。各矩形開口部E。* EO1
+ EO2を通過した光束はコンデンサーレンズ(フィ
ールドレンズ)Lo 、 Lot、 LO2にてそれぞ
れ集光される。再結像レンズ板りは中央部に横方向に配
列された再結像レンズ対しl、L2と、両側にそれぞれ
縦方向に配列された再結像レンズ対し、+ 、L4及び
Ls、Laを備えている。再結像レンズL、〜L6はす
べて同一の曲率半径の平凸レンズよりなる。絞りマスク
A2には、再結像レンズL1〜L6に対応して、長円形
の絞り開口部A、〜A6が設けられている。この絞りマ
スクA2は再結像レンズ板りの直前に配置されており、
再結像レンズ板りの平坦部に密着している。Poは基板
の中央部に横長に配されたラインセンサーであり、P 
OI+ P 02は基板両側に縦長に配されたラインセ
ンサーであって、それぞれ第1.第2の受光素子列を含
んでいる。点線で囲んだブロック(AF)はAFセンサ
ーモジュールを示している。
同図に示す焦点検出装置では視野マスクE。、コンデン
サーレンズL0、絞り開口部A。
A2、再結像レンズL、、L、、光電素子アレー20よ
り成る第1の自動焦点検出光学系と同様の各要素E。l
+ LOI、 A3 、 A4 、 L3 、 L4 
POIより成る第2の自動焦点検出光学系と、各要素E
O2,LO2,As 、  As 、  L5 、  
Ls 、  PO2より成る第3の自動焦点検出光学系
より構成され、並列する各要素部品が一体化されている
一般に再結像レンズを用い、2個の光像の相関から撮影
レンズのデフォーカスを求める像ずれ方式の自動焦点検
出装置では、上記2個の光像が予定結像面(1次結像面
)上の同一領域の再結像光像となることが精度上極めて
重要な要素となっている。
例えば第8図の一部分を抽出し、1つの測距視野で焦点
検出を行う場合を示した第9図に於て、光電素子アレー
(受光素子列)121aを再結像レンズ123aにより
1次結像面上に逆投影した図形を125aとすると、こ
の矩形領域125aが光電素子アレー121aに検出さ
れる光像領域である。同様に充電素子アレー121bは
再結像レンズ123bにより領域125bの光像を充電
変換する。
上記2個の領域125aと125bとは充電素子アレー
の配列方向を示す直線Nと、2個の再結像レンズ123
a、123bのレンズ面頂点126a、126bとを結
ぶ直線Mとが平行でないと一致しない。上記直線Nと平
行で直線Mと少なくとも一点を共有する直線N′と直線
Mとの角度θは一体成形される再結像レンズ123a。
123bの製作精度や同再結像レンズとモノリシックな
センサーチップ122を組み立てるときの相対位置誤差
のため、一般に0でない有限の値となる。領域125a
、125bが定義される1次結像面と再結像レンズとの
間隔なX、再結像レンズと充電変換面との間隔なy、再
結像レンズの2個のレンズ面頂点の間隔なdとすると、
領域125aと125bの不一致の程度、即ちずれ■Δ
は Δ−9d・θ・x+y で表わされる。このような不一致があると、例えば第1
0図(A) 、 (B)のように光電変換領域の電気的
走査方向と直交する方向に構造がある被写体パターンの
場合、自動焦点検出装置が著しく劣化する。
第10図(A)は斜め線131が被写体パターンとなっ
た場合で、上下方向にずれた光電領域のため2個の充電
素子アレーは同図の距離Eだけ光電素子の配列方向に変
位した光像を受けることとなり極めて大きなビット誤差
を発生する。
又第10図(B)は上下左右各方向にランダムなパター
ンが入射した場合を示し領域125a125bでそもそ
も受光する光像の形状が異なるため良好な相関が得られ
ない。
(発明が解決しようとする問題点) 従来よりこのような問題に対するため第9図に示す焦点
検出装置ではセンサーチップ122を調整時に面内回転
する、あるいは等価なことではあるが一体成形された再
結像レンズを回転する等して上記の傾き角度θがθ=0
となるように調整を行っていた。
しかしながら複数個の係列した自動焦点検出光学系を有
し、かつ再結像レンズが一体成形され、充電素子アレー
がモノリシック化された第9図に示す様な焦点検出装置
においては、上記調整方法は3個の併設光学系の1個に
対してしか行なうことができない。3個の光学系各々の
ずれ量Δ=0とする調整手段を個別に設けるような複雑
な光学構成を用いない限り、残りの2点については上記
調整は出来ない。この為、従来より1点調整により他の
2点が無条件に精度保証される様部品蹟度を向上しなく
てはならないという問題があった。
この場合、一般に光電素子列P。、POl+ P O□
等のチップ面内での相対位置精度は半導体製造装置の品
質からもたらされる高い精度を持っている。この為、一
体化された再結像レンズ板りの各要素レンズの相対位置
精度が問題となっている。
対をなす再結像レンズのレンズ面頂点を結ぶ直線の相対
角度誤差は一眼レフカメラの所要合焦精度を考慮すると
1〜2分の許容値に収まることが必要となり、これは一
般に大変難しい。例えば金型の製作上の問題、成形上の
問題等のため、例え上記精度が実現できたにしてもレン
ズ板りの歩留り低下、及び精度を出すための金型構造の
制約から自動焦点検出光学系の設計自由度が減少し、高
性能性化やコンパクト化等を図るのが難しくなる等の問
題点があった。
本発明はこのような複数の測距視野で焦点検出を行う際
の各要素の製造上の困難さを解決し、簡素は構成により
複数の測距視野全般にわたり高精度な焦点検出が出来る
焦点検出装置の提供を目的とする。
(問題点を解決するための手段) 本発明に係る焦点検出装置では、対物レンズの像面側に
配置した光学手段により前記対物レンズの瞳の異なる領
域を通過した光束を用いて被写体像に関する複数の光量
分布を形成し、該複数の光量分布の相対的な位置関係を
受光手段により求め、該受光手段からの出力信号を用い
て前記対物レンズの合焦状態を求める際、前記光学手段
は被写体像に関する1対の光量分布を形成する1対の2
次結像レンズを複数個一体成形した2次光学部材を有し
ており、前記受光手段は1対の受光素子列を複数個1つ
の基板にモノリシックに集積した受光部材を有しており
、該複数個の1対の受光素子列のうち少なくとも1つの
1対の受光素子列を電気的走査を行う第1方向と直交す
る第2方向に互いに相対的に位置をずらして配置したこ
とを特徴としている。
(実施例) 第1図は本発明の像ずれ方式を用いた焦点検出方法の原
理を示す説明図である。
同図においては便宜上1つの測距視野で焦点検出を行う
場合を示している。図中、測距視野11はフィールドレ
ンズ124を介して1対の2次結像レンズ(「再結像レ
ンズ」ともいう。)123a、123bによりセンサー
板122面上の1対の受光素子列(「充電素子アレー」
ともいう。)121a、121b面上に再結像されてい
る。ここで1対の2凍結゛像しンX 123 a 。
123bは一体成形品より構成され、そのレンズ面頂点
126a、126bを結んだ直線Mは受光素子列121
a、121bの電気的走査方向を表わす直線N若しくは
それと平行な直線N′と角度θ1をなしている。
今、13を測距視野11の中心点とし、点13が2次結
像レンズ123a、123bによりセンサ板122面上
の2点12a、12bに再結像されているとしたとき、
受光素子列121a。
121bをこの2点12a、12bを中心に配置するよ
うにしている。
これにより受光素子列の電気的走査方向と2次結像レン
ズ123a、123bのレンズ面頂点を結んだ直線Mが
平行でなくても1対の受光素子列121a、121bを
同一の測距視野11を見ることができるようにしている
このとき測距視野11の中心13のセンサー板122面
上の再結像点12a、12bを結んだ直線M′は前述の
直線Mと平行となり、受光素子列121a、121bの
電気的走査方向Nと直線M′がなす角度θ2はθ28θ
1となる。
そこで本実施例では2次結像レンズ123a。
123bの製造より生じる角度θ1を求め、このときの
値θ1を固定とし、その代わりに受光素子列121a、
121bの光電変換領域を直線Nと直交する方向に角度
θ1に対応させて相対的にずらして製造した受光部材を
受光手段として用いている。
これにより複数の測距視野において高特度な焦点検出を
可能としている。このときの直線Nと直交する方向への
1対の受光素子列(充電変換領域)の相対的ずれ量δは
2つの2次結像レンズのレンズ面頂点間隔なd、測距視
野11が定義される面と2次結像レンズとの間隔なX、
2次結像レンズと受光素子列面との間隔なy、θ=02
=01としたとき δ〜d・θ・x+y で与えられる。
第2図は第1図に示した焦点検出原理を用いた本発明の
第1実施例の要部概略図である。
同図においては第8図で示した要素と同一要素には同符
番な付している。
本実施例の焦点検出装置は複数の測距視野で焦点検出を
行っており、このときの焦点検出方法に関しては例えば
第8図に示した従来の焦点検出方法と基本的には同様で
ある。
本実施例では1対の受光素子列(光電素子アレー)Po
+とP。2に各々含まれる2つの受光素子列が電気的走
査方向に対して一直線状に配置せず、受光素子列の長手
方向(第1方向)と直交する方向(第2方向)に相対的
にずらして配置していることを特長としている。
第3図はこのときのセンサー板上における受光素子列の
配列を示した受光部材の説明図、第4図は第2図の再結
像レンズ板りに形成されている2次結像レンズの配置を
示した説明図である。
第3図に示すように1対の光電素子アレー31a、31
bは第2図の1対の光電素子アレーPoに対応しており
、これは相対的なずらしを加えずに一直線上に配置され
ている。1対の光電素子アレー32a、32bは第2図
の1対の光電素f−アレーPotに対応し、ずらし量を
δ1.1対の光電素子アレー33a、33bは第2図の
1対の充電素子アレーPO2に対応し、ずらし量をδ2
にて配置されている。以上の全光電素子アレーは一枚の
センサー板上に千ノリシックに集積されている。
本実施例では1対の再結像レンズL、、L2のレンズ面
頂点に対し充電素子アレー31a。
31b、即ち1対の充電素子アレーPoを調整する。こ
れはセンサー板全体を第4図中の回転自由度θOにより
撮影レンズTLの光軸に沿って回転させることにより可
能である。第4図に示すように再結像レンズL、の中心
41aと再結像レンズL2の中心41bとを結ぶ直線Q
0が光電素子アレー31a、31bの走査方向Sと平行
になる様に再結像レンズ板りを回転する。実際にはレン
ズ面頂点位置の測定は難しいので前述の第10図で示す
方法より得られた像等を利用して斜めのパターンに対し
てピント移動が生じない様に自動焦点検出機能を動作さ
せながら調整する手法が望ましい。
1対の再結像レンズL、、L2に対し光電素子アレー3
1a、31bの角度調整を実施すると、他の併立する焦
点検出光学系に対してはもはや光学的調整自由度はない
。そこで再結像レンズ対し、、L4に対しては光電素子
アレー32a。
32bの位置を61、また再結像レンズ対し5゜L6に
対しては光電素子アレー33a、33bの位置なδ2だ
け相対的にずらして測距視野の同性を保証している。
一般にこのときのδ1.δ2の量は再結像レンズ板りの
製造上の出来具合で異ってくる。
再結像レンズL3の中心42aと再結像レンズL4の中
心42bを結んだ直線をQlとし、直線Q1と直線Q0
とのなす角をαとすると前述したようなnotatio
nを用い、 である。αは金型の精度と成形時のばらつきにより変化
するが、成形のばらつきを小さくすることは成形条件と
材量を吟味することで相当程度可能なので、結局金型の
精度が支配的因子となる。
従って製作された金型に対し、上記δ1を一度確定する
と成形条件を一定に保つことにより同一のαを持つ成形
品を大量に生産することが出来、これに対応したδ1を
持つ光電素子アレーを用いることにより測距視野の同一
性を保証することが可能となる。半導体製造プロセスの
精度で再現される光電領域のズレ量δ1の製造精度は非
常に良いので角度αが良好に再現され、また基準となる
直線Qoと直線Sの平行調整が良好にされれば十分であ
る。同様に再結像レンズL5.L、の中心43a、43
bを結んだ直線Q2と直線Q。とのなす角βにより となりβが再現されれば光電素子アレー33a。
33bの測距視野の同一性は満足される。
尚、実用上は角度α、βを測定する必要はなく斜めパタ
ーン等に対して正常に自動焦点検出動作するδ1.δ2
を直接実験的に求めて、それをセンサー板のレイアウト
に反映する方法が望ましい。
本実施例のように1対の光電素子アレーの光電変換領域
を相対的にずらすにはフォトダイオードアレーの配置を
δ1,62等所定の量移動した位置に形成してもよいし
、または第5図の様に幅を若干広げたズレのない1対の
フォトダイオードアレー51a、51bに同一の開口幅
を持ち、かつ位置をずらした遮光マスク52a、52b
を施こして構成しても良い。
第6図は本発明の像ずれ方式を用いた焦点検出装置の第
2実施例の要部概略図である。
本実施例では2つの測距視野を対象に焦点検出を行う場
合を示している。焦点検出方法については第8図に示し
た従来の方法と基本的には同じである。
同図において61は撮影レンズの射出瞳、65は測距視
野であり、横方向と縦方向の2方向で測距出来るような
十字状の開口部より成っている。
62はフィールドレンズ、63は2次光学部材であり、
一体成形の1対の2次結像レンズを2組(63a、63
bと63c、63d)有している。64はセンサー板で
あり、千ノリシックのセンサー板上に集積された1対の
充電素子アレーを2組(64a、64bと64c、64
d)有している。
本実施例の光学系は十字型の測距視野65の縦視野を1
対の再結像レンズ63a、63bにより各々1対の光電
素子アレー64a、64b上に再結像している。また測
距視野65の横視野を1対の再結像レンズ対63c、6
3dにより各々1対の充電素子アレー64c、64d上
に再結像している。尚、射出瞳61の面内の4つの領域
61a〜61dは各々再結像レンズ63a〜63dの有
効開口のフィールドレンズ62による像である。
本実施例ではまず1対の再結像レンズ63a。
63bに対し、センサー板64を光軸AXを軸として回
転し1対の光電素子アレー64a、64bが同一の測距
視野を見る様調整する。このときに他方の1対の充電素
子アレー64c、64dが1対の再結像レンズ63c、
63dを通し共通の横視野を持つ様に1対の充電素子ア
レー64c。
64dの光電変換領域の上下方向の相対位置を決定して
いる。
第7図は本実施例のこのときのセンサー板上の光電素子
アレーの配置上の概略図である。同図に示すように1対
の光電素子アレー64c、64dの相対的なずらし量δ
は十字状に構成された再結像レンズ63a〜63dの相
対位置関係に依存し、一体成形量の量産値が決まるまで
は不確定であるが、成形品の上記相対位置が−たん固定
されれば求めることができる。
尚、本実施例によれば縦横方向のどちらの方向に被写体
パターンがあっても方向性の別なく良好に自動焦点検出
ができる系が簡易にかつ高精度に実現することができる
本実施例において相対的な位置ずらしを行う光電素子ア
レーを縦側の光電素子アレー64a。
64bに代えて行っても前述と同様の効果が得られる。
(発明の効果) 本発明によれば複数の測距視野を対象に焦点検出を行う
際、一体成形した複数の2次結像レンズより成る2次光
学部材の製造上の誤差に対応して受光部材の複数の受光
素子列の配置を前述の如く設定することにより、簡易な
構成でかつ高精度の光学成形部品を用いることもなく高
い測距精度を有する自動焦点検出装置を達成することが
できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の焦点検出装置における焦点検出方法の
原理説明図、第2図、第6図は本発明の第1.第2実施
例の光学系の要部概略図、第3図は第2図のセンサー板
上の受光素子列の説明図、第4図は第2図の2次結像部
材の説明図、第5図は第2図の受光素子列の説明図、第
7図は第6図のセンサー板上の受光素子列の説明図、第
8図は従来の像ずれ方式を用いた焦点検出装置の光学系
の概略図、第9図は第8図の一部分の説明図、第1O図
は第8図の受光素子列面上における被写体像の説明図で
ある。 図中、TL、61は撮影レンズ、FM、65は視野マス
ク、L、 〜L、 、 63 a〜63 d、123a
、123bは2次結像レンズ、Po。 P 01.  P o2. 64 a〜64d、121
a。 121bは受光素子列、64,122はセンサー板、L
o 、 LOI、 LO2,62,124はフィールド
レンズ、11は測距視野である。 第 図 第 図 第 図 23b 第 図 (A)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)対物レンズの像面側に配置した光学手段により前
    記対物レンズの瞳の異なる領域を通過した光束を用いて
    被写体像に関する複数の光量分布を形成し、該複数の光
    量分布の相対的な位置関係を受光手段により求め、該受
    光手段からの出力信号を用いて前記対物レンズの合焦状
    態を求める際、前記光学手段は被写体像に関する1対の
    光量分布を形成する1対の2次結像レンズを複数個一体
    成形した2次光学部材を有しており、前記受光手段は1
    対の受光素子列を複数個1つの基板にモノリシックに集
    積した受光部材を有しており、該複数個の1対の受光素
    子列のうち少なくとも1つの1対の受光素子列を電気的
    走査を行う第1方向と直交する第2方向に互いに相対的
    に位置をずらして配置したことを特徴とする焦点検出装
    置。
JP9419289A 1989-04-13 1989-04-13 焦点検出装置 Expired - Fee Related JP3084711B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9419289A JP3084711B2 (ja) 1989-04-13 1989-04-13 焦点検出装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9419289A JP3084711B2 (ja) 1989-04-13 1989-04-13 焦点検出装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02272410A true JPH02272410A (ja) 1990-11-07
JP3084711B2 JP3084711B2 (ja) 2000-09-04

Family

ID=14103440

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9419289A Expired - Fee Related JP3084711B2 (ja) 1989-04-13 1989-04-13 焦点検出装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3084711B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002174766A (ja) * 2000-12-07 2002-06-21 Nikon Corp 焦点検出装置
US8417106B2 (en) 2009-07-14 2013-04-09 Pentax Ricoh Imaging Company, Ltd. Focus detection device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002174766A (ja) * 2000-12-07 2002-06-21 Nikon Corp 焦点検出装置
JP4686853B2 (ja) * 2000-12-07 2011-05-25 株式会社ニコン 再結像レンズの製造方法
US8417106B2 (en) 2009-07-14 2013-04-09 Pentax Ricoh Imaging Company, Ltd. Focus detection device

Also Published As

Publication number Publication date
JP3084711B2 (ja) 2000-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2770301B2 (ja) 焦点検出用光学装置
US4670645A (en) Focus detecting device with shading reduction optical filter
US4857720A (en) Focus detecting system using multiple portions of the image to be focussed
JPH0250115A (ja) 焦点検出用光学装置
JPH04348307A (ja) 焦点検出装置
US4841326A (en) Apparatus for detecting the focus adjusted state of an objective optical system
US4978988A (en) Focus detection apparatus of camera
US4878078A (en) Focus detecting device and method of making same
US5258804A (en) Focus detection device having a mechanism for adjusting light-receiving state
JPS6311906A (ja) 焦点検出装置
JPH02272410A (ja) 焦点検出装置
CN113138546B (zh) 一种调焦调平系统、方法及光刻机
JP4686853B2 (ja) 再結像レンズの製造方法
JP3144155B2 (ja) 焦点検出装置
JPH05264894A (ja) 焦点検出装置
JP2007033652A (ja) 焦点検出装置及びそれを有する撮像装置
JP3232692B2 (ja) 焦点検出装置
JP2661037B2 (ja) 焦点検出用光学装置
US5037188A (en) Optical system for detecting focusing condition
JPH08201683A (ja) 焦点検出装置
JP4228093B2 (ja) 焦点検出装置
JP2924367B2 (ja) 焦点検出装置
JP2671784B2 (ja) 投影露光装置
JPH0679102B2 (ja) 焦点検出装置
JPH05134169A (ja) 焦点検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees