JPH02266309A - 光導波路と光ファイバとの接続構造 - Google Patents
光導波路と光ファイバとの接続構造Info
- Publication number
- JPH02266309A JPH02266309A JP8909789A JP8909789A JPH02266309A JP H02266309 A JPH02266309 A JP H02266309A JP 8909789 A JP8909789 A JP 8909789A JP 8909789 A JP8909789 A JP 8909789A JP H02266309 A JPH02266309 A JP H02266309A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- fiber
- optical
- optical waveguide
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 29
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 34
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 2
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 2
- 229910010068 TiCl2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- -1 halide compound Chemical class 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- ZWYDDDAMNQQZHD-UHFFFAOYSA-L titanium(ii) chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ti+2] ZWYDDDAMNQQZHD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は光通信や光情報処理等に使用され、基板上に
形成された光導波路と光ファイバとを接続する接続構造
に関する。
形成された光導波路と光ファイバとを接続する接続構造
に関する。
「従来の技術」
ニオブ酸すチューム（ＬｉＮｂＯｚ）は電気光学効果材
料として優れた性能をもち、ニオブ酸すチュームの基板
に光導波路を形成し、その光導波路に電界を印加する電
極を形成して光位相変調器などに用いられている。
料として優れた性能をもち、ニオブ酸すチュームの基板
に光導波路を形成し、その光導波路に電界を印加する電
極を形成して光位相変調器などに用いられている。
ニオブ酸すチュームの結晶は脆く欠は易く、エツチング
もやり難いため、光導波路と光ファイバとを接続するた
め、従来においては、第５図に示すように加工容易なシ
リコン材のファイバ設置台１１に溝を形成し、その溝に
光ファイバ１２を挟み込み、その光ファイバ１２を、ニ
オブ酸すチュームの基板１３に形成された光導波路１４
の端面に調芯した後、接着剤でファイバ設置台１１を基
板１３に固定している。この場合光導波路１４の両端に
対して光ファイバ１２．１５を各別に調芯しなければな
らず生産性が悪い、またファイバ設置台１１が一面での
み基板１３に接着されるため、強力に着けられない。
もやり難いため、光導波路と光ファイバとを接続するた
め、従来においては、第５図に示すように加工容易なシ
リコン材のファイバ設置台１１に溝を形成し、その溝に
光ファイバ１２を挟み込み、その光ファイバ１２を、ニ
オブ酸すチュームの基板１３に形成された光導波路１４
の端面に調芯した後、接着剤でファイバ設置台１１を基
板１３に固定している。この場合光導波路１４の両端に
対して光ファイバ１２．１５を各別に調芯しなければな
らず生産性が悪い、またファイバ設置台１１が一面での
み基板１３に接着されるため、強力に着けられない。
この欠点を解決するため従来において第６図に示すもの
が提案されている。すなわち基板状のシリコン材のファ
イバ設置台１６の両端部にそれぞれ溝を形成し、これら
の溝に光ファイバ１２．１５の各端部が挟み込まれ、こ
れら光ファイバ１２゜１５の端面間に基板１３が配され
る。このように光ファイバ１２．１５は共通のファイバ
設置台Ｉ６に設けられ、これら光ファイバ１２．１５の
位置はフォトリソグラフィを使って精密に定めることが
できるので光導波路１４と光ファイバとの調芯は１回の
みでよく、また基板１３とファイバ設置台１６との接着
も強力なものとすることができる。
が提案されている。すなわち基板状のシリコン材のファ
イバ設置台１６の両端部にそれぞれ溝を形成し、これら
の溝に光ファイバ１２．１５の各端部が挟み込まれ、こ
れら光ファイバ１２゜１５の端面間に基板１３が配され
る。このように光ファイバ１２．１５は共通のファイバ
設置台Ｉ６に設けられ、これら光ファイバ１２．１５の
位置はフォトリソグラフィを使って精密に定めることが
できるので光導波路１４と光ファイバとの調芯は１回の
みでよく、また基板１３とファイバ設置台１６との接着
も強力なものとすることができる。
「発明が解決しようとする課題」
第６図に示した接続構造の欠点は、ファイバ設置台１６
はシリコンで出来ており、基板１３はニオブ酸すチェー
ムで出来ており、これら両者は熱膨脹係数が異るため、
周囲温度が変わった時に光ファイバと光導波路との調芯
がずれたり、基板１３が破損したりすることである。
はシリコンで出来ており、基板１３はニオブ酸すチェー
ムで出来ており、これら両者は熱膨脹係数が異るため、
周囲温度が変わった時に光ファイバと光導波路との調芯
がずれたり、基板１３が破損したりすることである。
［課題を解決するための手段」
この発明によれば第１基板上に火炎直接堆積法及び精密
エツチングにより第１、第２ファイバ位置決め台がガラ
スで形成され、これら第１、第２ファイバ位置決め台に
は、その互いの対向面と垂直なファイバ案内溝がそれぞ
れ形成されてあり、これら各ファイバ案内溝に光ファイ
バの端部がそれぞれはめ込まれ、第１１第２ファイバ位
置決め台間に、光導波路が形成された第２基板がはめ込
まれ、その光導波路の両端面は光ファイバの端面と対向
しており、第１基板と第２基板とは熱膨脹係数がほぼ等
しいものである。
エツチングにより第１、第２ファイバ位置決め台がガラ
スで形成され、これら第１、第２ファイバ位置決め台に
は、その互いの対向面と垂直なファイバ案内溝がそれぞ
れ形成されてあり、これら各ファイバ案内溝に光ファイ
バの端部がそれぞれはめ込まれ、第１１第２ファイバ位
置決め台間に、光導波路が形成された第２基板がはめ込
まれ、その光導波路の両端面は光ファイバの端面と対向
しており、第１基板と第２基板とは熱膨脹係数がほぼ等
しいものである。
「実施例」
第１図乃至第３図はこの発明の実施例を示す。
第１基板２１は方形をしており、ニオブ酸すチュームの
結晶よりなる。第１基板２１の一面における両端部に第
１．第２ファイバ位置決め台２２゜２３がそれぞれガラ
スで形成される。第１．第２ファイバ位置決め台２２．
２３には第４図に示すようにその互いの対向面と垂直な
ファイバ案内溝２４．２５が形成されである。
結晶よりなる。第１基板２１の一面における両端部に第
１．第２ファイバ位置決め台２２゜２３がそれぞれガラ
スで形成される。第１．第２ファイバ位置決め台２２．
２３には第４図に示すようにその互いの対向面と垂直な
ファイバ案内溝２４．２５が形成されである。
この第１、第２ファイバ位置決め台２２．２３は、第１
基板２１上に火炎直接堆積法でガラスを堆積し、そのガ
ラスを反応性イオンエツチング法でエツチングして作る
。火炎直接堆積法は昭和５９年電子過信学会総会全国大
会５１Ｇ−２ｒ石英系平面回路の形成」に記述されてい
るが、原料ガスである５ｉＣｊ！、、 ＴｉＣｌ２．等
のハライド系化合物をガラス微粒子合成用バーナーに供
給し、酸素炎中で加水分解して基板上に堆積するもので
、通常は石英ガラス又はシリコン基板に付けるが、ニオ
ブ酸すチェーム結晶にもつけることができる。
基板２１上に火炎直接堆積法でガラスを堆積し、そのガ
ラスを反応性イオンエツチング法でエツチングして作る
。火炎直接堆積法は昭和５９年電子過信学会総会全国大
会５１Ｇ−２ｒ石英系平面回路の形成」に記述されてい
るが、原料ガスである５ｉＣｊ！、、 ＴｉＣｌ２．等
のハライド系化合物をガラス微粒子合成用バーナーに供
給し、酸素炎中で加水分解して基板上に堆積するもので
、通常は石英ガラス又はシリコン基板に付けるが、ニオ
ブ酸すチェーム結晶にもつけることができる。
第１、第２ファイバ位置決め台２２．２３の各ファイバ
案内溝２４．２５にそれぞれ先ファイバ１２．１５の端
部がはめ込まれ、接着剤で固定される。ニオブ酸すチェ
ーム結晶の第２基板１３が第１、第２ファイバ位置決め
台２２．２３間にはめ込まれる。この時第２基板１３に
形成されている光導波路１４の両端面が光ファイバ１２
．１５の各端面と対向する。
案内溝２４．２５にそれぞれ先ファイバ１２．１５の端
部がはめ込まれ、接着剤で固定される。ニオブ酸すチェ
ーム結晶の第２基板１３が第１、第２ファイバ位置決め
台２２．２３間にはめ込まれる。この時第２基板１３に
形成されている光導波路１４の両端面が光ファイバ１２
．１５の各端面と対向する。
第２基板１３は第１、第２ファイバ位置決め台２２．２
３で挟まれて光導波路１４の延長方向（Ｙ方向）におけ
る位置が決められ、基板の厚味方向（２方向）における
位置は位置決め台２６により決められ、光導波路１４と
直角方向（Ｘ方向）における位置は位置決め台２７によ
り決められる。
３で挟まれて光導波路１４の延長方向（Ｙ方向）におけ
る位置が決められ、基板の厚味方向（２方向）における
位置は位置決め台２６により決められ、光導波路１４と
直角方向（Ｘ方向）における位置は位置決め台２７によ
り決められる。
位置決め台２６．．２７は第１１第２ファイバ位置決め
台２２．２３と同時に形成される。このように第１１第
２ファイバ位置決め台２２．２３、位置決め台２６．２
７により位置決めされて第２基板１３を第１基板２１に
はめ込むと、光導波路１４の両端面が光ファイバ１２．
１５の各端面と対向して調芯をする必要がない、第２基
板１３は位置決めの後、第１基５２１＆：接着する。
台２２．２３と同時に形成される。このように第１１第
２ファイバ位置決め台２２．２３、位置決め台２６．２
７により位置決めされて第２基板１３を第１基板２１に
はめ込むと、光導波路１４の両端面が光ファイバ１２．
１５の各端面と対向して調芯をする必要がない、第２基
板１３は位置決めの後、第１基５２１＆：接着する。
上述においては第１基板２１．第２基板１３をニオブ酸
すチェームで構成したが、ニオブ酸すチェーム以外でも
光学的特性が優れているが機械加工性のよくない材料を
用いてもよい。
すチェームで構成したが、ニオブ酸すチェーム以外でも
光学的特性が優れているが機械加工性のよくない材料を
用いてもよい。
「発明の効果」
以上述べたようにこの発明によれば第１基板と第２基板
とが同一材料であるため熱膨張係数に差がなく、温度変
化があっても光導波路と光ファイバとの接続関係がずれ
ることがない、また火炎直接堆積法によって作ったガラ
スは精密なエツチングができるため、第２′＆仮を位置
決め台により位置決めして第１基板に取付ければ光導波
路と光ファイバとが自動的に一致するようにすることが
でき、調芯の必要がなく、生産性がよい。
とが同一材料であるため熱膨張係数に差がなく、温度変
化があっても光導波路と光ファイバとの接続関係がずれ
ることがない、また火炎直接堆積法によって作ったガラ
スは精密なエツチングができるため、第２′＆仮を位置
決め台により位置決めして第１基板に取付ければ光導波
路と光ファイバとが自動的に一致するようにすることが
でき、調芯の必要がなく、生産性がよい。
第１図はこの発明の実施例を示す斜視図、第２図はその
正面図、第３図は第１図の分解斜視図、第４図は第１基
板と位置決め台とを示す斜視図、第５図及び第６図はそ
れぞれ従来の接続構造を示す斜視図である。
正面図、第３図は第１図の分解斜視図、第４図は第１基
板と位置決め台とを示す斜視図、第５図及び第６図はそ
れぞれ従来の接続構造を示す斜視図である。
Claims (1)
- （１）第１基板上に火炎直接堆積法及び精密エッチング
により第１、第２ファイバ位置決め台がガラスで形成さ
れ、 これら第１、第２ファイバ位置決め台にはその互いの対
向面と垂直なファイバ案内溝がそれぞれ形成されてあり
、 これら各ファイバ案内溝に光ファイバがそれぞれはめ込
まれ、 上記第１、第２ファイバ位置決め台間に、光導波路が形
成され、熱膨脹係数が上記第１基板とほぼ等しい第２基
板がはめ込まれ、 上記光導波路の両端面が上記光ファイバの端面と対向し
ている光導波路と光ファイバとの接続構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8909789A JPH02266309A (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | 光導波路と光ファイバとの接続構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8909789A JPH02266309A (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | 光導波路と光ファイバとの接続構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02266309A true JPH02266309A (ja) | 1990-10-31 |
Family
ID=13961380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8909789A Pending JPH02266309A (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | 光導波路と光ファイバとの接続構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02266309A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5465312A (en) * | 1990-11-05 | 1995-11-07 | British Telecommunications, Plc | Integrated optical fibre and substrate supported optical waveguide having directly connected optical cores |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61260208A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | フアイバ・ガイド付光導波路 |
| JPS63133104A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-06-04 | ハネウエル・インコーポレーテッド | 集積光チップを低応力にて装着する方法及び装置 |
-
1989
- 1989-04-07 JP JP8909789A patent/JPH02266309A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61260208A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-18 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | フアイバ・ガイド付光導波路 |
| JPS63133104A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-06-04 | ハネウエル・インコーポレーテッド | 集積光チップを低応力にて装着する方法及び装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5465312A (en) * | 1990-11-05 | 1995-11-07 | British Telecommunications, Plc | Integrated optical fibre and substrate supported optical waveguide having directly connected optical cores |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4871226A (en) | Mounting of optical fibers to integrated optical chips | |
| EP0358592A2 (en) | Metallic bond for mounting of optical fibers to integrated optical chips | |
| GB2184255A (en) | Optical fibre integrated optical device coupler | |
| JPS63133104A (ja) | 集積光チップを低応力にて装着する方法及び装置 | |
| US5625726A (en) | Optical waveguide substrate, an article comprising the same and a substrate coupled thereto for holding optical fibers | |
| JPH02266309A (ja) | 光導波路と光ファイバとの接続構造 | |
| JPH0194305A (ja) | 光回路装置 | |
| JP3100698B2 (ja) | 導波路型光デバイスの製造方法 | |
| JPH0677087B2 (ja) | 導波形光位相板 | |
| JP3065159B2 (ja) | 光導波路と光ファイバとの結合構造 | |
| JP2962378B2 (ja) | 光スイッチ | |
| JPH0664217B2 (ja) | フアイバ・ガイド付光導波路 | |
| JPS6343105A (ja) | 単一モ−ド光導波路 | |
| JPH02157730A (ja) | 基板型光スイッチ | |
| JPH01142508A (ja) | 導波路型光デバイス | |
| JP2615022B2 (ja) | 光導波路及びその製造方法 | |
| JPH02266323A (ja) | 光位相変調器を含む光集積回路 | |
| JP2584008Y2 (ja) | 光学素子結合構造 | |
| JPH02257108A (ja) | 光導波路デバイス | |
| JP2775499B2 (ja) | 光アイソレータ | |
| KR100253175B1 (ko) | 웨이퍼 정렬방법 | |
| JPH0743652A (ja) | 光導波路デバイス | |
| JPS60103317A (ja) | フアイバ形偏光子およびその製造方法 | |
| JPS61166504A (ja) | 光回路デバイス | |
| JPS60202408A (ja) | 光回路デバイス |