JPH02266206A - 反射式検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、周方向に連続する弧状の周側面をもつ被検査
物を位置決めして、その周側面の寸法精度、表面状況等
を非接触方式の光反射式変位センサで検査する検査装置
に関する。

この検査装置は、例えば、ヨーク等の鍛造品に形成され
ている周側面の寸法精度、表面状況等を検査する際に利
用することができる。

［従来の技術］ 従来より、周方向に連続するとともに断面で内周側に向
かうにつれて下降傾斜する弧状の周側面をもつ製品が提
供されているが、このような製品の弧状の周側面の寸法
精度、表面状況等を検査することは、容易ではなかった
。

例えば、近年、自動車部品の分野では、第６図〜第８図
に示すように樹脂製の球体の球状面１゜Ｏに摺接する周
側面２００をもつヨーク２０１が提供されている。この
ヨーク２０１の周側面２００は第６図に示すように周方
向に連続して弧状をなしていると共に、断面では第８図
に示すように内周２００ａ側に向かうにつれて下降傾斜
している。そしてこのヨーク２０１の使用時には、ヨー
ク２０１の端面２０１ａに機械加工で形成された螺孔２
０２にシャフト２０３のおねじ部が螺合され、ヨーク２
０１にシャフト２０３が取着される。

ところでこのヨーク２０１では、使用の際に、周側面２
００と球状面１００とが摺接する関係上、周側面２００
の厳格な寸法精度が要求されている。

そのため第８図に示すように、周側面２００の中心Ｃ１
から所定の径Ｄ１で仮想線Ｓを描き、仮想線Ｓと周側面
２００との交点Ｐ３と交点Ｐ４との間の肉厚が所定の肉
厚寸法ｔ１であることが要請されており、また、交点Ｐ
３と周側面２００の中心Ｃ１とを結んだ線Ｌ１と、交点
Ｐ４と中心Ｃ１とを結んだ線Ｌ２との拡開角度θが所定
の角度であることが要請されている。このようなヨーク
２０１の周側面２００は、周方向に連続するとともにそ
の断面で内周２００ａ側に向かうにつれて下降傾斜して
いるので、その周側面２００の寸法精度を検査すること
は、従来のダイヤルゲージ、ノギス等の測定機器では容
易でない。

［発明が解決しようとする課題］ 本発明は上記した実情に鑑みなされたものであり、その
目的は、周方向に連続するとともに断面で内周側に向か
うにつれて下降傾斜する弧状の周側面であっても、該周
側面の寸法精度、表面状況等を容易に検査し得る反射式
検査装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ ところで、周方向に連続するとともに断面で内周側に向
かうにつれて下降傾斜する弧状の周側面に光反射式変位
センサのレーザビーム等を照射し、その反射したレーザ
ビーム等を受光して検査する場合においては、送光部で
照射され周側面で反射したレーザービームが受光部に良
好に受光されない問題が生じた。弧状の周側面は２次元
的な平坦面ではなく、所定の曲率をもつからである。か
かる問題について、本発明者は、鋭意研究を重ねた結果
、本発明者は、光反射式変位センサの送光部および受光
部を、光反射式変位センサの相対移動方向と交差する方
向に並設して配置し、かかる配置でレーザビーム等の検
査光を周側面に照射すれば、送光部で照射し周側面で反
射したレーザビーム等の検査光を受光部で良好に受光し
得ることを見出し、これに基づき本発明を完成させたも
のである。

すなわち、本発明の検査装置は、周方向に連続するとと
もに断面で内周側に向かうにつれて下降傾斜する弧状の
周側面をもつ被検査物の周側面を検査する装置であり、 被検査物を保持して被検査物の位置決めを行う位置決め
台と、 位置決め台で位置決めされた被検査物の周側面に検査光
を照射する送光部と、周側面で反射した検査光を受ける
受光部とをもち、周側面の表面の変位を測定する光反射
式変位センサと、光反射式変位センサを位置決め台に対
して相対移動させて周側面を横断させる駆動部とで構成
され、 光反射式変位センサの送光部および受光部は、光反射式
変位センサの相対移動方向と交差する方向に並設して配
置されていることを特徴とするものである。

本発明の検査装置で検査される被検査物としては、周方
向に連続するとともに断面で内周側に向かうにつれて下
降傾斜する弧状の周側面をもつものであり、例えば、鍛
造品、鋳造品、プレス加工品、溶接品、樹脂成形品、セ
ラミックス成形品等のいずれでもよい。

位置決め台は被検査物を保持して位置決めするものであ
る。位置決め台には、検査窓と球状抑圧面とを形成する
ことができる。検査窓は、被検査物の周側面の検査すべ
き部分に開口しており、例えばスリット状とすることが
できる。球状押圧面は、球体や半球体で形成しても、球
体や半球体の一部で形成してもよい。球状押圧面は、被
検査物の周側面に当接可能である。球状押圧面を被検査
物の周側面に当接するにあたっては、例えば、位置決め
台をエアシリンダ装置、油圧シリンダ装置等に接続し、
エアシリンダ装置、油圧シリンダ装置の作動で球状押圧
面を被検査物の周側面に当接する手段を採用できる。

光反射式変位センサは、被検査物の周側面の検査すべき
部分に検査光を照射して、周側面の照射位置の変位を測
定するセンサである。光反射式変位センサは、周側面に
検査光を照射する送光部と、反射した検査光を受ける受
光部とで構成されている。検査光としてはレーザビーム
を用いることができる。従って、送光部は、例えば、レ
ーザビームを照射する半導体レーザ等のレーザ発聾器と
、送光レンズ系とから形成できる。受光部は、受光レン
ズ系と位置検出素子とから形成できる。位置検出素子と
しては、ＰＳＤ　（Ｐｏｓ　＋　ｔ　＋　ｏｎＳｅｎｓ
ｉｔｉｖｅ　　Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）またはＣＣＤなどの
レーザ受光素子を採用できる。ＰＳＤは、受光面をもつ
光スポツト位置検出用半導体であり、受光面に光スポッ
トをうけると両端の電極から光スポットまでの距離に逆
比例した電流を出力するものである。ＰＳＤでは、被検
査物の照射位置が変位していると、ＰＳＤで受ける光ス
ポットがＰＳＤ上で移動するので、ＰＳＤの出力電流値
から三角測量法により、被検査物の周側面の変位置を測
定することができる。

本発明の検査装置では、光反射式変位センサおよび位置
決め台の少なくとも一方を移動させ、光反射式変位セン
サと位置決め台とを相対移動させるだめの駆動部が設け
られている。この場合、駆動部の駆動により、光反射式
変位センサの検査光を被検査物の周側面で横断させるこ
とができる。

駆動部としては例えばステッピングモータ装置、シリン
ダ装置を採用できる。

さて本発明の検査装置では、光反射式変位センサの送光
部および受光部は、光反射式変位センサの相対移動方向
と交差する方向で配置されている。

本発明の検査装置では、光反射式変位センサの出力信号
に応じて被検査物の周側面の検査すべき部分の良否を判
定する制御部を設けることが望ましい。

［作用］ 本発明の検査装置の作用についてその使用方法と共に説
明する。まず、位置決め台により被検査物を位置決めし
て保持する。位置決めした後、光反射式変位センサから
検査光を被検査物の周側面に向けて照射する。すると、
検査光は被検査物の周側面の検査すべき部分で反射され
る。反射した検査光は受光部に受けられる。検査する際
、駆動部により光反射式変位センサが位置決め台に相対
移動し、検査光が被検査物の周側面を横断する。

これにより被検査物の周側面の照射位置の変位が測定さ
れる。

本発明の検査装置では、光反射式変位センサの送光部お
よび受光部は、光反射式変位センサの相対移動方向と交
差する方向で並設して配置されている。そのため、送光
部で照射されかつ周側面で反射された検査光を受光部で
良好に受けとることができる。

［実施例］ 本発明の検査装置の一実施例について図面を参照して説
明する。

（実施例の構成） まず説明の便宜上、被検査物５について説明する。この
被検査物５は前記したヨークと同じで必り、その周側面
６．７は、周方向に弧状に連続していると共に、第１図
のごとく内周６ａ、７ａ側が下降傾斜しているものであ
る。

さて本実施例の検査装置について説明する。この検査装
置では、第１図に示すように、位置決め台１は、囲路の
エアシリンダ装置で作動されるものであり、上下１組で
構成されており、基部２と、基部２に配設された金属製
の押圧部３とで形成されている。第２図は上側の位置決
め台１の平面図を示すものである。第２図に示すように
、位置決め台１には、直線スリット状にのびる検査窓４
か形成されている。上側の位置決め台１の検査窓４は、
被検査物５の上側の周側面６の検査すべき部分に開口す
るものである。下側の位置決め台１の検査窓４は、被検
査物５の下側の周側面７の検査すべき部分に開口するも
のである。検査窓４の幅は２〜５ｍｍであり、検査窓４
の長さは６０〜７０ｍｍである。

さらに各押圧部３には球状押圧面８が形成されている。

球状押圧面８は、球体を形成する外面の一部で形成され
ている面でおる。本実施例では球状押圧面８の半径は５
２．２８ｍｍに設定されている。各球状押圧面８は、被
検査物５の周側面６及び７に当接可能でおる。ここで、
２個の球状抑圧面８は、第１図から明かなように、面対
称とされている。尚本実施例では、被検査物５の周側面
６及び７は第１図から明らかなように、中心を通る面を
介して面対称とされている。

第１図に示すように上側の位置決め台１の上方には上案
内レール部９が付設されている。上案内レール部９には
上ヘツド１０が上案内レール部９にそって移動可能に設
けられている。上ヘツド１０には光反射式変位センサ１
１が設けられている。

光反射式変位センサ１１は、送光部１１ａと受光部１１
ｂとで構成されている。送光部１１ａは、レーザビーム
を照射するレーザ発振器と送光レンズ系とから形成され
ている。レーザ発振器は半導体レーザ光（波長７９０ｎ
ｍ＞を発掘する発振器である。受光部１１ｂは、囲路の
受光レンズ系と位置検出素子としてのＰＳＤとから形成
されている。

また、下側の位置決め台１の下方には下案内レール部１
２が付設されている。下案内レール部１２には下ヘツド
１３が下案内レール部１２にそって移動可能に設けられ
ている。下ヘツド１３には光反射式変位センサ１４が設
けられている。

光反射式変位センサ１１と同様に、光反射式変位センサ
１４は、送光部１４ａと受光部１４ｂとで構成されてい
る。送光部１４ａは、半導体レーザ光を発撮するレーザ
発振器と囲路の送光レンズ系とから形−成されており、
受光部１４ｂは、受光レンズ系と位置検出素子としての
ＰＳＤとから形成されている。

受光部１１ｂ、１４ｂのＰＳＤの受光面では、周側面６
．７の変位に応じて、ＰＳＤの受光面で受けるレーザビ
ームスポットの位置が移動する。

そのため、受光部１１ｂのＰＳＤから出力される電流値
から三角測量法により、被検査物５の上側の周側面６の
照射位置の変位を精度よく測定することができる。同様
に、受光部１４ｂのＰＳＤから出力される電流値から三
角測量法により、被検査物５の下側の周側面７の照射位
置の変位を精度よく測定することができる。尚、光反射
式変位センサ１１．１４は、基準距離が４０ｍｍ、測定
範囲が±３ｍｍのものである。

本実施例では、上ヘツド１０を上案内レール部９にそっ
て間欠的に移動させる駆動部としての駆動モータ１６が
設けられている。更に、下ヘツド１３を下案内レール部
１２にそって間欠的に移動させる駆動部としての駆動モ
ータ１７が設けられている。駆動モータ１６．１７は、
本実施例では具体的にはステップモータを用いている。

上ヘツド１０、下ヘツド１３の走行速度は本実施例では
１００〜２００ｍ／ＳｅＣである。

本実施例の検査装置では、光反射式変位センサ１１．１
４の受光部１１ｂ、１４ｂのＰＳＤの出力信号に応じて
被検査物５の上側の周側面６および下側の周側面７の検
査すべき部分の良否を判定する制御部１８が設けられて
いる。第１図に示すように制御部１８は、光反射式変位
センサ１１．１４の受光部１１ｂ、１４ｂのＰＳＤから
の出力信号が信号線１５を介して入力されこれを増幅す
るセンスアンプ１９と、センスアンプ１９の出力信号を
Ａ／Ｄ変換するＡ／Ｄコンバータ２０と、制御回路部２
１と、メモリ２２とを備えている。

制御回路部２１はインターフェースを内蔵するマイクロ
コンピュータで形成されている。ＰＳＤは環境温度の変
動により出力値が影響をうけるので、制御回路部２１は
温度補償機能をもつ。制御回路部２１は信号線２３を介
して駆動モータ１６．１７にそれぞれ接続されている。

又、制御回路部２１はＣＲＴデイスプレィ２４に接続さ
れている。

さて、本実施例の検査装置では、第２図に示すように光
反射式変位センサ１１の送光部１’ｌａおよび受光部１
１ｂは、光反射式変位センサ１１の移動方向である矢印
Ｘ方向と交差する方向であるＹ方向で並設して配置され
ている。同様に、光射式変位センサ１４の送光部１４ａ
および受光部１４ｂは、光反射式変位センサ１４の移動
方向である矢印Ｘ方向と交差する方向である矢印Ｙ方向
で並設して配置されている。

（実施例の作用） 次に、本実施例の検査装置の使用方法についてその作用
と共に説明する。先ず、２個１組の位置決め台１間に被
検査物５をセットした状態で、囲路のエアシリンダ装置
を駆動して位置決め台１を作動し、上側の位置決め台１
の球状押圧面８で被検査物５の上側の周側面６を押圧し
、同様に、囲路のエアシリンダ装置を駆動して下側の位
置決め台１を作動し、下側の位置決め台１の球状押圧面
８で被検査物５の下側の周側面７を押圧する。押圧は緩
かに行なう。この結果、被検査物５は正しく位置決めさ
れ、ずれ動かぬように挟持される。

このように位置決めされた状態では、第２図に示すよう
に、上側の位置決め台１の検査窓４は、被検査物５の上
側の周側面６の検査すべき部分に対向している。同様に
、下側の位置決め台１の検査窓４も、被検査物５の下側
の周側面７の検査すべき部分に対向している。

上記したように位置決めした後、光反射式変位センサ１
１．１４を矢印Ｘ方向へ所定量移動させ、停止させた俊
、停止した光反射式変位センサ１１．４から検査光とし
てのレーザビーム（波長７８０μｍ）を照射する。照射
の際に光反射式変位センサ１１．１４を停止させるのは
、計測誤差を少なくするためである。上記のように照射
すると、光反射式変位センサ１１の送光部１１ａのレー
ザ発振器から照射されたレーザビームは、上側の位置決
め台１の検査窓４を通過し、被検査物５の上側の周側面
６の検査すべき部分に照射される。なお、レーザービー
ムのスポット径は周側面６．７の面粗さの影響を少なく
するための０．５μｍである。

そして、第３図に示すように、所定の入射角αで照射さ
れたレーザビームは、上側の周側面６の検査すべき部分
で反射角βで反射して上側の位置決め台１の検査窓４を
通過し、光反射式変位センサ１１の受光部１１ｂのＰＳ
Ｄに受けられる。尚、入射角α、反射角βは微小角度で
ある。

同様に、光反射式変位センサ１４の送光部１４ａのレー
ザ発振器から照射されたレーザビームは、下側の位置決
め台１の検査窓４を通過し、被検査物５の下側の周側面
７の検査すべき部分に照射される。そして、照射された
レーザビームは、下側の周側面７の検査すべき部分で反
射して下側の位置決め台１の検査窓４を通過し、光反射
式変位センサ１４の受光部１４ｂのＰＳＤに受けられる
。

本実施例では、光反射式変位センサ１１．１４の送光部
１１ａ、１４ａ、受光部１１ｂ、１４ｂは、光反射式変
位センサ１１．１４の移動方向であるＸ方向と直交する
方向である矢印Ｙ方向に並設して配置されているので、
周側面６．７が周方向に連続すると共に内周６ａ、７ａ
側が下降傾斜している場合であっても、周側面６．７の
照射位置で反射したレーザビームは受光部１１ｂ、１４
ｂに良好に受光される。

本実施例では駆動モータ１６の駆動で上ヘツド１０が上
案内レール部９にそって矢印Ｘ方向へ移動するので、光
反射式変位センサ１１の送光部１１ａのレーザ発振器か
らのレーザビームは、被検査物５の上側の周速面６をス
キャンして横断する。

同様に駆動モータ１７の駆動で下ヘツド１３が下案内レ
ール部１２にそって矢印Ｘ方向へ移動するので°、光反
射式変位センサ１４の送光部１４ａのレーザ発振器から
のレーザビームは、被検査物５の下側の周側面７をスキ
ャンして横断する。

ところで、受光部１１ｂ、１４ｂのＰＳＤからの出力信
号は、信号線１５を介してセンスアンプ１９に入力され
、Ａ／Ｄコンバータ２０を介して制御回路部２１に入力
される。すると、制御回路部２１は、各ＰＳＤからの出
力信号に応じて演算し、ＣＲＴデイスプレィ２４に画像
を形成すると共に、被検査物５が良品であることを示す
ｒＯＫＪ信号、被検査物５が不良品であることを示す「
ＮＧ」信号を出力する。

次に、制御回路部２１を構成しているＣＰＵが行う動作
を第９図のフローチャートを参照して説明する。即ち、
図示しない起動スイッチが投入されると、ルーチンが開
始され、ステップ５１００に進む。ステップ５１００で
は、レジスタ、メモリ等を初期状態に設定する。ステッ
プ３１０２では、カウント数を「１」インクリメントす
る。ステップ５１０４では、駆動モータ１６．１７を所
定時間駆動する。この結果、上ヘツド１０が上案内レー
ル部９にそって所定量（例えば０．２ｍｍ）前進し、下
ヘツド１３が下案内レール部１２にそって所定量（例え
ば０．２ｍｍ＞前進する。ステップ８１０６では、光反
射式変位センサ１１．１４の送光部１１ａ、１４ａのレ
ーザ発振器からレーザビームを照射する。ステップ５１
０８では、光反射式変位センサ１１．１４の受光部１１
ｂ、１４ｂの各ＰＳＤの出力信号に応じたデータをメモ
リ２２にストアする。ステップ８１０８では、カウント
数が所定回数か否か判定し、所定回数でなければステッ
プ５１０２にリターンし、所定回数であればステップ５
１１２で駆動モータ１６．１７を停止する。ステップ５
１１４では、データ処理サブルーチンを実行する。

即ち、データ処理サブルーチンでは、光反射式変位セン
サ１１で測定された被検査物５の上側の周側面６に関す
るＸ座標の値、Ｘ座標の値、及び、被検査物５の下側の
周側面７に関するＸ座標の値、Ｘ座標の値から次の（１
）から（７）の処理を行なう。

（１）第４図に示すように、周側面６についてのｙｌ、
周側面７についてのｙ２、他方の周側面６についてのｙ
３、他方の周側面７についてのｙ４の直線式を求める。

この場合、ｙ１＝ａ１＋ｂ１Ｘ１、ｙ２＝ａ２＋ｂ２Ｘ
２、ｙ３＝ａ３＋ｂ３Ｘ３、ｙ４＝ａ４＋ｂ４Ｘ４の各
式の項にＸ座標のデータをＸＬ　Ｘ２、Ｘ３、Ｘ４に代
入すると共に、Ｘ座標のデータをｙｌ、ｙ２、ｙ３、ｙ
４に代入し、これによりａｌ、ａ２、ａ３、ａ４の値、
ｂｌ、ｂ２、ｂ３、ｂ４の値を求める。尚Ｘ座標の値は
駆動モータ１６．１７の入力パルスで知られ、Ｘ座標の
値はＰＳＤの出力値より知られる。

（２）ｂｌ、ｂ２、ｂ３、ｂ４から、第４図の直線式ｙ
１の傾斜角度θ１、直線式ｙ２の傾斜角度θ２、直線式
ｙ３の傾斜角度θ３、直線式ｙ４の傾斜角度θ４を求め
る。

（３）（θ１＋０２）から周側面６及び周側面７の角度
θｒ１を算出し、（θ３＋０４）から周側面６及び周側
面７の角度θｒ２を求める。

（４〉直線式ｙ１と直線式ｙ２との交点Ｕ１を求めると
共に、直線式ｙ３と直線式ｙ４との交点Ｕ２を求める。

（５）交点Ｕ１と交点Ｕ２とから被検査物５の周側面６
．７の中心Ｃ３求める。

（６）中心Ｃ３からｒ＝’１９ｍｍ（７）円周ト直線ｙ
１、ｙ２、ｙ３、ｙ４との交点Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４
を求める。

（７〉交点Ｐ１のＸ座標と交点Ｐ２のＸ座標との和を肉
厚寸法ｔｒ１とし、交点Ｐ３のＸ座標と交点Ｐ４のＸ座
標との和を肉厚寸法ｔｒ２とする。

（８）そして、前記したように求められた肉厚のデータ
ｔｒ１と、予め記憶されていた所定の基準データｔｃ１
とを比較し、その差の絶対値１ｔｒｉ−ｔｃｌｌを求め
る。同様に、求められた肉厚のデータｔｒ２と、予め記
憶されていた所定の基準データｔＣ２とを比較し、その
差の絶対値１ｔｒ２−ｔｃ２＋を求める。

また、角度の測定データθｒ１と予め記゛臘されていた
所定の基準データθＣ１とを比較し、その差の絶対値１
θｒ１−ＯＣｌｌを求める。同様に、測定データθｒ２
と予め記憶されていた所定の基準データθＣ２とを比較
し、その差の絶対値１０ｒ２−θｃ２１を求める。

そして、ステップ５１１６で、１ｔｒ１−ｔｃｌｌの値
、１ｔｒ２−ｔｃ２１の値、１θｒ１−θｃ１１の１直
、１θｒ２−θｃ２１の１直が、それぞれ基準値の範囲
内にあるか否かを判定し、基準値の範囲内にあれば、ス
テップ８１１８に進み、ＣＲＴデイスプレィ２４にｒＯ
ＫＪの信号を出力し、そのルーチンを終了する。

一方、ステップ８１１６で判定した結果、１ｔｒｌ−ｔ
ｃｉｌの値、１ｔｒ２−ｔｃ２＋の値、θｒ１−θｃ１
ｔの値、１θｒ２−θＣ２１の値のいずれかが、基準値
の範囲外にあれば、ステップＳ１２０に進み、ＣＲＴデ
イスプレィ２４にｒＮＧＪの信号を出力し、そのルーチ
ンを終了する。

（実施例の効果） 上記したように本実施例では、位置決め台１で被検査物
５の周側面６．７を保持し、光反射式変位センサ１１．
１４からのレーザビーム照射によりその被検査物５の周
側面６．７の寸法精度、表面状況等を迅速に判定するこ
とができる。

特に本実施例では、光反射式変位センサ１１の送光部１
１ａおよび受光部１１ｂは、光反射式変位センサ１１の
移動方向である矢印Ｘ方向と交差する方向であるＹ方向
で並設して配置されており、同様に、光射式変位センサ
１４の送光部１４ａおよび受光部１４ｂは、光反射式変
位センサ１４の移動方向でおる矢印Ｘ方向と交差する方
向である矢印Ｙ方向で並設して配置されている。そのた
め、被検査物５０周側面６および周側面７が周方向に連
続すると共に断面で内周６ａ、７ａ側が下降傾斜してい
る場合でおっても、照射位置で反射したレーザビームを
受光部１１ｂ、１４ｂの各ＰＳＤで良好に受は止めるこ
とができる。

（他の実施例） また、位置決め台１を被検査物５の周側面６、周側面７
の周方向に回転できる回転手段を設けることもできる。

このようにすれば、上方の位置決め台１の球状押圧面８
を上昇させて位置決め台１による被検査物５の挟持を解
除し、下方の位置決め台１の球状押圧面８に被検査物５
を載置した状態とし、その状態で下方の位置決め台１を
周方向へ回転させれば、下方の位置決め台１に載置され
ている被検査物５の方向転換を行うことができ、そして
方向転換後、再び、上方の位置決め台１を降下させ、上
方の位置決め台］と下方の位置決め台１とで被検査物５
を挟持する。その状態で光反射式変位センサ１１を移動
させれば、方向転換した被検査物５の周側面６．７を測
定できる。この場合には、被検査物５を方向転換させた
後においても、レーザビームを周側面６．７に照射でき
るように、別の検査窓を設ける。

なお、場合によっては、位置決め台１を非回転方式とし
、その代りに、光反射式変位センサ１１．１４を被検査
物５の周方向６へ回転できるようにしてもよいものでお
る。

（適用例〉 第５図は本実施例の検査装置の適用例を示す。

この適用例では、冷間鍛造プレス装置３０で成形された
被検査物５を搬入搬出用ロボット３１で冷間鍛造プレス
装置３０から本実施例の検査装置の位置決め台１に移し
変える。移し変えた後に、２ｆ１７！１１絹の位置決め
台１で被検査物５を挟持して位置決めする。そして、被
検査物５の寸法精度の測定が終了したら、被検査物５を
ロボット３２でパレット３３へ移し、ベルトコンベヤ等
で次工程へ搬送する。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明の検査装置によれば、位置決
め台で被検査物の周方向に伸びる周側面を保持し、その
被検査物の周側面に光反射式変位センサが検査光を照射
するので、その被検査物の周側面の寸法精度、表面状況
等を迅速に測定することができる。

また、本発明の検査装置によれば、光反射式変位センサ
の送光部および受光部は、光反射式変位センサの移動方
向と交差する方向で並設して配置されており、そのため
、被検査物の周側面が周方向に連続すると共に断面で内
周側が下降傾斜している場合であっても、照射位置で反
射した検査光を受光部で良好に受は止めることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本実施例の検査装置の模式図、第２図は被検査
物を保持した位置決め台の平面図であり、第３図は被検
査物の周側面にレーザビームを照射している状態を模式
的に示す斜視図、第４図はＣＲＴデイスプレィに表示し
た画像の模式図、第５図は適用例を示す模式図、第６図
は被検査物の平面図、第７図は被検査物に軸を取付けた
状態の平面図、第８図は被検査物の使用状態の要部の断
面図である。第９図は制御回路部を構成しているＣＰＵ
のフロチャートである。 図中、１は位置決め台、４は検査窓、５は被検査物、６
および７は周側面、８は球状押圧面、１１．１４は光反
射式変位センサ、１１ａ、１４ａは送光部、１１ｂ、１
４ｂは受光部、１６．１７は駆動モータ（駆動部）をそ
れぞれ示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）周方向に連続するとともに断面で内周側に向かう
   につれて下降傾斜する少なくとも弧状の周側面をもつ被
   検査物の前記周側面を検査する装置であり、 前記被検査物を保持して前記被検査物の位置決めを行う
   位置決め台と、 前記位置決め台で位置決めされた前記被検査物の前記周
   側面に検査光を照射する送光部と、前記周側面で反射し
   た前記検査光を受ける受光部とをもち、前記周側面の表
   面の変位を測定する光反射式変位センサと、 前記光反射式変位センサを前記位置決め台に対して相対
   移動させて前記検査光を前記周側面で横断させる駆動部
   とで構成され、 前記光反射式変位センサの前記送光部および前記受光部
   は、前記光反射式変位センサの相対移動方向と交差する
   方向に並設して配置されていることを特徴とする反射式
   検査装置。