JPH0226030U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0226030U JPH0226030U JP10466288U JP10466288U JPH0226030U JP H0226030 U JPH0226030 U JP H0226030U JP 10466288 U JP10466288 U JP 10466288U JP 10466288 U JP10466288 U JP 10466288U JP H0226030 U JPH0226030 U JP H0226030U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transport system
- preliminary chamber
- high vacuum
- solid sample
- linear motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims 1
Description
第１図は、この考案に使用する表面汲リニアモ
ータの断面図である。第２図はこの考案の一実施
例の概略を示す側面図である。第３図は従来の真
空内外でのアーム式固体搬送系の側面図である。
ータの断面図である。第２図はこの考案の一実施
例の概略を示す側面図である。第３図は従来の真
空内外でのアーム式固体搬送系の側面図である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 大気中の固体試料を、相対的に低真空の予
備室を経て、高真空の処理室に搬送し、高真空で
処理後に、相対的に低真空の予備室を経て大気中
に固体試料を取り出す搬送機構において、大気搬
送系、予備室搬送系、高真空処理室搬送系、予備
室搬送系及び大気搬送系のそれぞれに、表面波リ
ニアモータを取りつけ、各系内及び各系をまたが
つて固体試料を搬送する機構。 (2) 表面波リニアモータの材質を放出ガスの少
ない材料で構成したことを特徴とする。実用新案
登録請求範囲の１項記載の固体試料を搬送する機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10466288U JPH0226030U (ja) | 1988-08-08 | 1988-08-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10466288U JPH0226030U (ja) | 1988-08-08 | 1988-08-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0226030U true JPH0226030U (ja) | 1990-02-20 |
Family
ID=31336585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10466288U Pending JPH0226030U (ja) | 1988-08-08 | 1988-08-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0226030U (ja) |
-
1988
- 1988-08-08 JP JP10466288U patent/JPH0226030U/ja active Pending
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