JPS6242752Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6242752Y2 JPS6242752Y2 JP10533384U JP10533384U JPS6242752Y2 JP S6242752 Y2 JPS6242752 Y2 JP S6242752Y2 JP 10533384 U JP10533384 U JP 10533384U JP 10533384 U JP10533384 U JP 10533384U JP S6242752 Y2 JPS6242752 Y2 JP S6242752Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- vacuum
- gate valve
- air bearing
- conveyance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は真空ロードロツク室等を経由して被処
理体を搬入、搬出する機構を有する真空処理装置
に関する。
理体を搬入、搬出する機構を有する真空処理装置
に関する。
第３図は真空ロードロツク室を有する真空処理
装置を模式的に示す断面図である。
装置を模式的に示す断面図である。
図において、真空ロードロツク室は真空処理室
の真空を破らないで常時高真空に保ちながら、被
処理体を出し入れするための了備真空室で、被処
理体は搬送ベルト上を仕切弁Ａを経由して真空ロ
ードロツク室へ送られ排気後、さらにまた仕切弁
Ｂを経由して真空処理室に搬入され、処理後は搬
入と反対の径路で搬出される。
の真空を破らないで常時高真空に保ちながら、被
処理体を出し入れするための了備真空室で、被処
理体は搬送ベルト上を仕切弁Ａを経由して真空ロ
ードロツク室へ送られ排気後、さらにまた仕切弁
Ｂを経由して真空処理室に搬入され、処理後は搬
入と反対の径路で搬出される。
本考案は上記の仕切弁の構造を改良するもので
ある。
ある。
第４図は従来例を示す仕切弁の断面図である。
第４図ａは弁が閉じた状態を示す。図におい
て、１は真空室側の弁座で、ここに物品を搬送す
るための開口部２が設けられる。また弁座１には
パツキン３が設けられ、弁体４との間で気密を保
持する。
て、１は真空室側の弁座で、ここに物品を搬送す
るための開口部２が設けられる。また弁座１には
パツキン３が設けられ、弁体４との間で気密を保
持する。
弁体４は上下に駆動して真空室を開閉できるよ
うになつている。
うになつている。
５，６は搬送用コンベア、７，８は搬送物品を
示す。
示す。
第４図ｂは弁が開いた状態を示す。図におい
て、距離ｄは搬送機構のない部分を示し、この距
離はできるだけ小さくしなければならないが、構
造上限度があり無視できない大きさとなり、ここ
で物品がつかえる等の障害があつた。
て、距離ｄは搬送機構のない部分を示し、この距
離はできるだけ小さくしなければならないが、構
造上限度があり無視できない大きさとなり、ここ
で物品がつかえる等の障害があつた。
第４図は他の従来例を示す仕切弁の断面図であ
る。
る。
第５図ａは弁が閉じた状態を示す。図におい
て、１は真空室側の弁座で、ここに物品を搬送す
るための開口部２が設けられる。また弁座１には
パツキン３が設けられ、弁体４との間で気密を保
持する。
て、１は真空室側の弁座で、ここに物品を搬送す
るための開口部２が設けられる。また弁座１には
パツキン３が設けられ、弁体４との間で気密を保
持する。
弁体４を真空室の内側に少し移動後、矢印方向
に回転することにより、真空室を開閉する。
に回転することにより、真空室を開閉する。
５，６は搬送用コンベア、７，８は搬送物品を
示す。
示す。
第５図ｂは弁が開いた状態を示す。図におい
て、距離ｄは搬送機構のない部分を示し、この距
離はできるだけ小さくしなければならないが、構
造上限度があり無視できない大きさとなり、この
例においても、ここで物品がつかえる等の障害が
あつた。
て、距離ｄは搬送機構のない部分を示し、この距
離はできるだけ小さくしなければならないが、構
造上限度があり無視できない大きさとなり、この
例においても、ここで物品がつかえる等の障害が
あつた。
上記問題点の解決は、処理室を外界と遮断する
ための仕切弁に、被処理体を搬入または搬出する
ためのエアベアリング搬送機構を設け、該仕切弁
が開いた状態では、該エアベアリング搬送機構が
被処理体の搬送路上に位置するようにした本考案
による真空処理装置により達成される。
ための仕切弁に、被処理体を搬入または搬出する
ためのエアベアリング搬送機構を設け、該仕切弁
が開いた状態では、該エアベアリング搬送機構が
被処理体の搬送路上に位置するようにした本考案
による真空処理装置により達成される。
本考案は仕切弁において、駆動する弁体側にエ
アベアリングブロツクを取りつけ、弁を開いた場
合にエアベアリングを作動させ、搬送機構のない
仕切弁通過部の搬送機能を付加するものである。
アベアリングブロツクを取りつけ、弁を開いた場
合にエアベアリングを作動させ、搬送機構のない
仕切弁通過部の搬送機能を付加するものである。
なおエアベアリングは弁閉鎖時には真空系外に
あるように、容易に弁体４に取りつけることがで
きる。
あるように、容易に弁体４に取りつけることがで
きる。
第１図は本考案による実施例を示す仕切弁の断
面図である。
面図である。
図は弁が開いた状態を示す。図において、１は
真空室側の弁座で、ここに物品を搬送するための
開口部２が設けられる。また弁座１にはパツキン
３が設けられ、弁を閉じたときに弁体４との間で
気密を保持する。
真空室側の弁座で、ここに物品を搬送するための
開口部２が設けられる。また弁座１にはパツキン
３が設けられ、弁を閉じたときに弁体４との間で
気密を保持する。
弁体４は上下に駆動して真空室を開閉できるよ
うになつている。
うになつている。
弁体４の上部にはエアベアリングブロツク９が
取りつけられ、仕切弁通過部の搬送機能を付加し
ている。
取りつけられ、仕切弁通過部の搬送機能を付加し
ている。
５，６は搬送用コンベア、７，８は搬送物品を
示す。
示す。
第２図は本考案による他の実施例を示す仕切弁
の断面図である。
の断面図である。
図は弁が開いた状態を示す。図において、１は
真空室側の弁座で、ここに物品を搬送するための
開口部２が設けられる。また弁座１にはパツキン
３が設けられ、弁を閉じたときに弁体４との間で
気密を保持する。
真空室側の弁座で、ここに物品を搬送するための
開口部２が設けられる。また弁座１にはパツキン
３が設けられ、弁を閉じたときに弁体４との間で
気密を保持する。
弁体４を真空室の内側に少し移動後、矢印方向
に回転することにより、真空室を開閉する。
に回転することにより、真空室を開閉する。
弁体４の上部にはエアベアリングブロツク９が
取りつけられ、仕切弁通過部の搬送機能を付加し
ている。なお弁を閉じたときにはエアベアリング
ブロツク９は真空系の外側になる。
取りつけられ、仕切弁通過部の搬送機能を付加し
ている。なお弁を閉じたときにはエアベアリング
ブロツク９は真空系の外側になる。
５，６は搬送用コンベア、７，８は搬送物品を
示す。
示す。
以上説明したように本考案によれば、弁体にエ
アベアリングブロツクを取りつけ、仕切弁通過部
の搬送機能を付加することにより、ここで物品が
つかえる等の障害をなくすことができる。
アベアリングブロツクを取りつけ、仕切弁通過部
の搬送機能を付加することにより、ここで物品が
つかえる等の障害をなくすことができる。
第１図は本考案による実施例を示す仕切弁の断
面図、第２図は本考案による他の実施例を示す仕
切弁の断面図、第３図は真空ロードロツク室を有
する真空処理装置を模式的に示す断面図である。
第４図ａおよびｂは従来例を示す仕切弁の断面
図、第５図ａおよびｂは他の従来例を示す仕切弁
の断面図である。 図において、１は弁座、２は開口部、３はパツ
キン、４は弁体、５，６は搬送用コンベア、７，
８は搬送物品、９はエアベアリングブロツク、を
示す。
面図、第２図は本考案による他の実施例を示す仕
切弁の断面図、第３図は真空ロードロツク室を有
する真空処理装置を模式的に示す断面図である。
第４図ａおよびｂは従来例を示す仕切弁の断面
図、第５図ａおよびｂは他の従来例を示す仕切弁
の断面図である。 図において、１は弁座、２は開口部、３はパツ
キン、４は弁体、５，６は搬送用コンベア、７，
８は搬送物品、９はエアベアリングブロツク、を
示す。
Claims (1)
- 処理室を外界と遮断するための仕切弁に、被処
理体を搬入または搬出するためのエアベアリング
搬送機構を設け、該仕切弁が開いた状態では、該
エアベアリング搬送機構が被処理体の搬送路上に
位置するようにしたことを特徴とする真空処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10533384U JPS6122531U (ja) | 1984-07-12 | 1984-07-12 | 真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10533384U JPS6122531U (ja) | 1984-07-12 | 1984-07-12 | 真空処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6122531U JPS6122531U (ja) | 1986-02-10 |
| JPS6242752Y2 true JPS6242752Y2 (ja) | 1987-11-02 |
Family
ID=30664662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10533384U Granted JPS6122531U (ja) | 1984-07-12 | 1984-07-12 | 真空処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6122531U (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5399153B2 (ja) * | 2008-12-12 | 2014-01-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置、真空処理システムおよび処理方法 |
| JP2012224411A (ja) * | 2011-04-15 | 2012-11-15 | Daifuku Co Ltd | 被搬送物の中継装置 |
-
1984
- 1984-07-12 JP JP10533384U patent/JPS6122531U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6122531U (ja) | 1986-02-10 |
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