JPH02255836A - 新規ポリイミドシロキサンおよびその製造法並びに使用 - Google Patents

新規ポリイミドシロキサンおよびその製造法並びに使用

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JPH02255836A
JPH02255836A JP1295997A JP29599789A JPH02255836A JP H02255836 A JPH02255836 A JP H02255836A JP 1295997 A JP1295997 A JP 1295997A JP 29599789 A JP29599789 A JP 29599789A JP H02255836 A JPH02255836 A JP H02255836A
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siloxane
dianhydride
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Chung J Lee
チュン ジェイ リー
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Occidental Chemical Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景および情報開示ステー・トメントポリイミド
として知られる種類のポリマーが、ガラス転移温度によ
り測定されるようにその良好な熱安定性および高い上方
使用温度の組合せについて知られるようになった。その
ようなポリイミドの殊に有用な型はポリイミドシロキサ
ン°ンとし、て知られている。
それらの性質の組合せのために、ポリイミドシロキサン
は電子工学用途、殊に集積回路工業におけるマイクロエ
レクトロニクス成分に使用された。
多くの以前に知られたポリイミドシロキサンは溶媒中に
不溶性または難溶性であるので、マイクロエレクトr】
ニクス工業において使用されるときに改良された溶解度
特性並びに耐熱度および11方使用温度の良好なバラン
スを有するポリイミドシロキサンに対する大きい要求が
存在する。
ポリイミドの製造に対する化学は約1960年以後よく
知られた。構造的に簡単なポリイミドはジアミンと二無
水物との反応により製造できる。
第1段階、すなわち重縮合反応は、室温でも加水分解的
に不安定であるポリアミド酸を生ずる。
第2段階、すなわちイミド化反応は、種々の用途に望ま
れる安定なポリイミドを生ずる。
ポリイミドシロキサンはシロキサンジアミンまたはシロ
キサンジアンヒドリドを用いて有機コモノマーとの反応
により製造できる。ポリイミドシロキサンはまたシロキ
サンジアミンおよびシロキサンジアンヒドリドから有機
コモノー?−なく製造することができる。
最初のポリイミドシロキサンはピロメリト酸二無水物(
PMDA)と1,3−ビス−(アミノフ。
ロビル)  −1,1,3,3−テトラメチフレジシロ
キサンとの反応により1966年に製造された〔クラカ
ーラ(V、 H,にuekertz) 、 ?クロモレ
キュラレ・ヘミ−(Maeromol、 Chew、)
、 9B、  1966 。
pp、101〜1081照〕。このポリイミドシロキサ
ンは結晶性物質であり、溶媒からたわみ性フィルムにキ
ャストできない。ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物(B T D A)およびα。
ω−ジアミノオルガノ−ポリシロキサンの反応から誘導
されたポリイミドシロキサンはゼネラル・エレクトリッ
ク (General Electric)により19
67年に米国特許第3.325.450号中に開示され
た。αω−ジアミノオルガノ−ポリシロキサンおよびジ
エーテルジアンヒドリド(D E D A)を含むポリ
イミドシロキサンはまた米国特許第3.847.867
号に開示された。
これらのBTDAおよびDEDAを含むポリイミドシロ
キサンは非晶質物質である。それらは100℃を越えな
いガラス転移温度を有し、従って約200℃までのこれ
らのポリマーの優れた熱安定性にもかかわらず非常に制
限された上方使用温度を有する。
有機およびシロキサンモノマーをともに含むポリイミド
シロキサンはPMDA含有コポリマー(日本国公開特許
公報83/7473および83/13631参照)HB
TDA含有コポリマー(米国特許第3.553.282
号および第4,404,350号)およびジエーテルジ
アンヒドリド含有コポリマー(米国特許第3,847.
867号)に対して軸告された。
これらのPMDA含有ポリイミドシロキサンは溶媒に溶
解しない、BTDA含有ポリイミドシロキサンは単に高
沸または毒性溶媒例えば1−メチル−2−ピロリジノン
、通常N−メチルピロリドン(NMP)として知られる
、フェノールまたはクレゾールなど中に溶性である。さ
らにジエーテルジアンヒドリド含存ポリイミドシロキサ
ンはまた塩素化溶媒例えばジクロロベンゼンおよびジク
ロロメタン中に溶性である。これらのフェノールおよび
塩素化化合物はともに腐食性および高毒性であるので、
ポリイミドシロキサンはコーティング用途中、殊に感熱
性電子工学デバイス中に限定された用途を有する。これ
はまたNMP溶性ポリイミドシロキサンが通常ミクロン
の厚さのフィルムを有するフィルム中の残留溶媒をすべ
て除去するために350℃に少くとも半時間加熱しなけ
ればならない事実のためである。
多くのそれらのポリアミド酸が溶性である事実にもかか
わらず、高沸および比較的毒性の溶媒例えば1−メチル
−2−ピロリジノン(NMI’)中でも、若干のポリイ
ミドシロキサンのみが溶性である。コーティング用途に
おけるポリアミド酸の使用は多くの欠点を有する。第1
ζ【、次のザブストレート上のイミド化反応が水を生ず
る。従って、それは単に非常に薄いフィルムコーティン
グおよびボイドのない性質が性能に対して決定的でない
場合に使用できる。第2に、高沸、極性溶媒例えばNM
Pの除去がミクロン厚さのフィルムに対してさえ350
℃程度の高い温度を約30分間必要とする。この乾燥行
程はエネルギー集約であるだけでなく、また若干の感熱
性電子工学デバイスまたはサブストレートに対して許容
できない。さらに、ポリアミド酸溶液は冷蔵温度(く4
℃)で貯蔵しなければならず、ぞれは・やはり非常に短
かい貯蔵寿命(約3月)を有する。最後に、完全にイミ
ド化したポリイミドシロキサンのみが溶融加工例えば押
出および射出成形に対して熱的に安定である。溶性ポリ
イミドシロキサンは溶媒巾約160〜170℃の温度で
完全にイミド化できるが、しかし不溶性ポリイミドシロ
キサンに対する固体状態におけるイミド化は、200〜
250℃程度であることができるそれらのガラス転移温
度より50℃高い温度を必要とすることができる。溶融
加工法により完全にはイミド化しないポリイミドシロキ
サンの造形は生成物中にボイドを生じ、しばしば望まし
くない。
種々の有機酸二無水物が溶性ポリシロキサンイミドの製
造に使用された。これらの二無水物の若干は次のように
本発明者の同時係属出願中に開示されている。
1987年3月31日に提出し、た出願第032゜72
2号の一部継続として1988年9月1日に提出した本
出願人の同時係属出願第239.372号にはオキシジ
フタリックアンヒドリドから作られた完全イミド化ポリ
イミドシロキサンが溶媒例えばダイグライム、テトラヒ
ドロフランおよびメチルエチルケトン中に溶性であるこ
とが開示されている。
1988年2月9日に提出した本出願人の同時係属出願
第154.168号にはビフェニルテトラカルボン酸二
無水物とベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物との
混合物から作られた実質的に完全にイミド化したポリイ
ミドシロキサンが溶媒例えばダイグライム、テトラヒド
ロフランおよびメチルエチルケトン中に溶性であること
が開示されている。
1988年2月9日に提出した本山)願人の同時係属出
願第153.898号にはビス(ジカルボキシフェニル
)へキサフルオロプロベンニ無水物および他の二無水物
との混合物から作られた実質的に完全にイミド化したポ
リイミドシロキサンが溶媒例えばダイグライム、テトラ
ヒドロフランおよびメチルエチルケトン中に溶性である
ことが開示されている。
1988年6月10日に提出した本出願人の同時係属出
願第205+412号にはスルフルジフタリックアンヒ
ドリドから作られた実質的に完全にイミド化したポリイ
ミドシロキサンが溶媒例えばダイグライム、テトラヒド
ロフランおよびメチルエチルケトン中に溶性であること
が開示されている。
米国特許第4.535,099号には有機テトラカルボ
ン酸またはその誘導体と、芳香族ジアミンとアミン末端
シリコーンとの混合物との反応から製造されるポリイミ
ドが開示されている。適当なジアミンとしてジ第−級モ
ツターシャリアミンであるジアミンピリジン類が開示さ
れている。そのポリアミドはたわみ性発泡体の製造に殊
に有用である。
前記米国特許第3 + 553 + 282号には2.
6−ジアミツビリジンを含むことができるポリアミノ酸
の製造が開示されている。その特許には完全にイミド化
された溶性ポリイミドシロキサンを製造する方法が教示
されていない。より詳しくは、その特許には2.6−ジ
アミツビリジン並びにBTDAおよび6FDAのような
二無水物から完全にイミド化し、なお溶性のポリイミド
シロキサンを製造する方法が教示されていない。
本発明の目的は新規なポリイミドシロキサンを製造する
ことである。
本発明の他の目的は、低沸、無極性、無毒性溶媒例えば
ダイグライム中に溶性である完全イミド化ポリイミドシ
ロキサンを開発することである。
本発明の他の目的は高価でなく容易に入手できる育機モ
ノマーを基にして望ましいポリイミドシロキサンを開示
することである。本発明の他の目的は、商業的に利用で
きる大規模生産に容易にスケールアップできる高価でな
いポリイミドシロキサンを開発することである0本発明
の他の目的は価格に敏感な用途に、またはケーブル外被
並びに30成形電線ボード用途および高容量で低価格が
必須である場合に有利な拮抗性能/コスI・状態で使用
できる高価でないポリイミドシロキサンを開発すること
である。
本発明の他の目的は高沸溶媒例えばNMP中だけでなく
、また低沸、低毒性、低極性溶媒例えばダイグライムま
たはテトラヒドロフラン(THF)中に溶性である完全
イミド化ポリイミドシロキサンを提供することである。
本発明の他の目的は、ガラス転移温度により測定される
ように耐熱度および高い上方使用温度の良好なバランス
を有するポリイミドシロキサンを提供することである。
本発明の他の目的は硬化性および橋かけポリイミドシロ
キサンを製造することである。
発明の概要 本発明は式: (式中、 Xは水素、ハライド、フェニルまたはそれらの組合せで
あり、 であり、 υ □ または −Y −Ar −Y−であり、または  
□であり、 n−0または1である) の化合物から製造されるポリシロキザンイミドに関する
より特定的には、本発明は式: CF2 を有する2、6−ジアミツー4−トリフルオロメチルピ
リジン(2,6,4−DATF)から製造されるポリイ
ミドシロキサンに関する。
これらのジアミノピリジン化合物は高いガラス転移温度
および良好な熱安定性を有するポリイミドシロキサンの
製造に有用である。
前記ピリジン化合物から製造される実質的に完全にイミ
ド化したポリイミドシロキサンはダイグライム中に溶性
であり、それがそれらにマイクロエレクトロニクス工業
における特定有用性を与える。後者のポリマーはジアミ
ン、二官能性シロキサンモノマーおよび有機酸二無水物
から製造される。
ジ第−級アミンである上記ジアミノピリジン類は他のジ
アミン例えばトリレンジアミンとの混合物で使用できる
種々の有機酸二無水物、例えばオキシジフタリックアン
ヒドリド、スルフルジフタリックアンヒドリド、ベンゾ
フェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラ
カルボン酸二無水物、ビス(ジカルボキシフェニル)へ
キサフルオロブロペンニ無水物およびジエーテルジアン
ヒドリドを使用できる。
本発明のポリイミドシロキサンはまたそれらを直接硬化
性にする官能基を有して製造することができる。ポリイ
ミドシロキサンはまた、不飽和化合物と反応したときに
ポリマーを硬化性にする官能基を有して製造することが
できる。
本発明の生成物は溶液の形態でマイクロエレクトロニク
ス工業に使用できる。ポリマーはまた電線およびケーブ
ル被覆に、並びにフィルム、繊維および成形および押出
物品の製造に使用できる。
発明の詳細な説明 五豊乏yaz 本発明のポリイミドシロキサンの有機ジアミン成分は式
: Xは水素、ハライド、フェニルまたはそれらの組合せで
あり、 υ または □ であり、 n−0または1である) の化合物である。
前記−取代の有用な化合物の例は次のとおりである: □、または −Y −Ar −Y−であり、を有する。
化合物の製造は、例えば次の反応図式によりtl−なう
ことができる: 好ましい化合物は2,6−ジアミツー4−トリフルオロ
メチルピリジン(2,6,4−DATF)であり、それ
は式: ポリイミドシロキサン鎖中に不斉構造を与えるジアミン
はアミン例えば2,6.4−DATFと組合せて本発明
の望ましい、優れた性質を有するポリイミドシロキサン
の製造に有用である。
ポリイミドシロキサン鎖中に不斉構造を与える他の適当
なジアミンは次式: (式中、X、YおよびZは水素、ハロゲン、1〜12個
の炭素原子のアルキルまたはハロゲン化アルキルあるい
は6〜12個の炭素原子のアリールまたはハロゲン化ア
リールから独立に選ばれ、しかしX、YおよびZのすべ
てが水素であることはない) を有する。好ましいジアミンは少くとも1個の炭素原子
を有する少くとも1個のアルキル置換基を有する。
例は、 2.4−)リルジアミン 2.5−)リルジアミン 2.6−1リルジアミン mニキシリルジアミン 2.4−ジアミン−5−クロロトルエン2.4−ジアミ
ン−6−クロロトルエントリフルオロメチル−2,4−
ジアミノベンゼン 2.4.6−)ジメチル−1,3−ジアミノベンゼン である。
ポリマー鎖中で不斉である他の有用なジアミン化合物に
は弐: である) を有する化合物が含まれる。
例は: rn、rn−メチレンジアニリン m、m−スルホンジアニリン o、m−スルホンジアニリン である。
ポリイミドシロキサン中で不斉である他の適当なジアミ
ンはジアミノアントラキノンである。
殊に好ましいジアミンは2.4−)リルジアミンと2.
6−)リルジアミンとの混合物、殊に約80重量パーセ
ントの2..41−リルジアミンと約20重量パーセン
トの2.6−)リルジアミンとの市販混合物である。
約25重量パーセントまでの少量のポリマー鎖中で不斉
でないジアミンをポリイミドシロキサン組成物中に使用
できる。そのような他のジアミンは米国特許第4.39
5.527号および第A、586.997号中に開示さ
れ、それらの開示が参照される。
そのような補助ジアミンは式: (式中、 Xは好ましくはダイグシイム、 THFま たはMEK中の溶解度の保持のための で ある) を有する。さらにXはまた隊にNMP中の溶解度−C1
lt−であることができる。追加の有機ジアミンは熱安
定性ガラス転移温度および溶解度の有利な組合せに影響
を与えないで非常に少量使用できる。
…、濡氷資 本発明は前記ジアミン(2,6,4−DATFにより代
表される)の使用が有機酸二無水物と反応させたときに
溶解度および熱的性質の特有の組合せを有する完全にイ
ミド化したポリイミドシロキサンを与える発見に基づ(
有用な有機酸二無水物には次の一取代:であり、 (式中、 Arは である) を有する化合物が含まれる。そのような他の、−無水物
の他の例は米国特許第4,395.527号および第4
.586.997号中に開示され、それらの開示が参照
される。しかし、これらの二無水物の併用が生ずるポリ
イミドシロキサンのNMPまたはダイグライム中の溶解
度を単にわずかに改変できるとしても、これらの変性ポ
リイミドシロキサンは溶媒例えばMEKまたはTHF中
に不溶性になることができる。これが、非常に低沸、無
毒性の溶媒例えばMEKが要求されるそれらの用途を制
限する。
さらにジエーテルジアンヒドリド(DEDA)の結合も
また本発明のポリイミドシロキサンのガラス転移温度お
よび熱安定性を低下し、それらの上方使用温度を制限す
る。
本発明の実施に使用できる好ましい有機酸無水物には次
のニ オキシジフタリックアンヒドリド!f(ODPA)、 例えば1988年9月1日に提供された出願第239.
372号中に開示され、その開示が参照される; スルフルジフタリックアンヒドリドff(SDPA)、 例えば1988年6月10日に提供された出願第205
.412号中に開示され、その開示が参照される; スルホンジフタリックアンヒドリド類;ヘンソフェノン
テトラカルボン酸二無水物(BTDA)  H ・・・ ビフェニルテトラカルボン酸二無水物類(BP
DA); ・・−ビス(ジカルボキシフェニル)−へキザフルオロ
プロベンニ無水物(6FDA)8 ジエーテルジアンヒドリド(DEDA);例えば米国特
許第4.395,527号中に開示され、その開示が参
照される、 が含まれる。
前記無水物の混合物もまた使用できる。無水物の次の混
合物が殊に有用である: BPTA   と  BTDA 6FDA   と  0DPA 6  FDA   と  BPDA BTDA   と  0DPA シロキサンモノマー 本発明に使用できるシロキサンジアミノ化合物は次式: %式% 〔式中、R1、R1、R3およびR4は1〜12個の炭
素原子の置換または不置換脂肪族モノラジカル、あるい
は6〜10個の炭素原子の置換または不置換芳香族モノ
ラジカルから独立に選ばれ、適当なラジカルには−CH
3,−CFs 、−(CHx)−CFs 、−CJ。
−Ch〜CHF−Chおよび−CHz−CHt−C−0
−CHtChCFzCFsが含まれ、。
R′は前記型のジラジカルであり、適当なジ−ラジカル
には+C!b−)−i、÷CPt→1、千CH,)。
(cpz)、および−cbna−(式中m、およびnは
1〜10である)が含まれる〕 を有する。
α1 ω−ジアミノシロキザンの使用は本発明における
ダイグライム、THFまたはMEK中の所望の溶解度の
達成に一重要である。シロキサンジアミンはまた、殊に
mが約5以上、好ましくは約7以上の整数であるときに
、低温におけるポリイミドシロキサンのたわみ性または
レジリエンスを与える0mが約50以上であるときにジ
アミノシロキサンのポリイミドシロキサン中への混入は
、それが不可能でないとしても困難になり、共重合のた
めの二元溶媒系(l極性および1無極性溶媒)を使用す
べきであろう。一般に、α、ω−ジアミノシロキサンお
よびα、ω−ジアンヒドリドシロキサンの使用は本発明
において互換性である。しかし、高ガラス転移温度のポ
リイミドシロキサンの製造には全二無水物中、二無水物
の混合物のモルパーセントが最大化されるべきであり、
従って、有機酸二無水物と有機ジアミンおよびα、ω−
ジアミノシロキサンとの組合せを用いるこ止が一層望ま
しい。
本発明の実施のためのシロキサンジアミンの代りにまた
はそれに加えて併用できるシロキサンジアンヒドリドは
式: 〔式中、 R11、Rffi、R3およびR4は1〜12個の炭素
原子の置換または不置換脂肪族モノラジカルあるいは6
〜10個の炭素原子の置換または不置換芳名族−1′:
ノラジカルから独立に選ばれ、適当なラジカルには−G
Hz 、 −CFt 、 −(CHI)、 CF3、−
CFt−CHF−Ch 。
−Clz−CHx−C−0−C1bCFzCFzCFs
および−C&H%  が含まれ、 Rは前記型のトリラジカルであり、適当な]・リラジカ
ルには −〇H′ \ が含まれる〕 を有することができる。
CbHs−またはCF3C)+1!−CHI!−基が−
CII Nの置換にシロキサンブロック中に使用される
と、生ずるポリイミドシロキサンの塩素化溶媒例えばe
ozc J !およびエーテル溶媒例えばダイグライム
およびTHF中の溶解度が増すこともまた当業者によく
知られている。さらに、フェニル化シロキサンブロック
またはフッ素化シロキサンブロックからなるボリイミド
シロキザンコボリマーもまた高い熱安定性を有する。こ
れはポリイミドシロキサン中の最小熱安定性基がシロキ
サンブロック上の−CO,基である事実のためである。
従って、特定例を示さなくとも本発明のポリイミドシロ
キサンを、それらの溶解度および熱安定性を改良するた
めにそれらのシロキサンブロック中・\Can5基また
はCF3Cl+!基を結合させることによりさらに改良
できることを予期することができる。
種々の二無水物が使用されると、それらの種々の溶媒中
の溶解度、ガラス転移温度および熱安定性はこれらのコ
モノマーの化学的性質により変化する。例えばシロキサ
ンジアンヒドリドが二無水物の存在下に結合されるポリ
マーの溶解度は増すがガラス転移温度および熱安定性が
低下されよ・)。
従って、用途に対する必要条件により、シロキサンジア
ンヒドリドの結合が不利になることができる。一方、有
機酸二無水物例えばPMDAが5モルパーセント未満の
小割合で添加されると、生ずるポリイミドシロキサンは
なお、例えばNMP中の所望溶解度を有する。PMDA
の結合は生ずるポリイミドシロキサンのガラス転移温度
および熱安定性を高めることができ、従って押出または
射出成形用途に一層好ましい生成物を与えることができ
る。しかし、ポリイミドシロキサン中の少量のPMDA
でさえ、生ずるコポリマーが溶媒例えばダイグライム、
THFまたはMEK中に不溶性になることができ、コー
ティング材料としてのそれらの用途は、例えば感熱性電
子工学デバイスまたはサブストレートにおいて制限され
よう。
溶性ポリイミドシロキサンに対する方法有機ジアミンと
有機酸二無水物との反応に対する化学はよく知られてい
るようになったけれども、シロキサンコモノマーの存在
下のポリイミドシロキサンの製造はしばしは特定技術を
必要とすることができる。例えば、シロキサンモノマー
の縫返し単位mが大きいくすなわち〉20〜40)と二
元溶媒系:すなわち極性溶媒だけでなくまた極性の小さ
い溶媒からなる溶媒系、の使用が望ましいであろう〔例
えば、マグラス(McGrath)ほか、ポリマー・プ
レプリント(Polymer Preprints)。
27 (2)、1986.pp、4.03参照〕。溶性
ポリイミドの製造の実施において、ポリアミド酸が溶性
でない所与溶媒中でポリイミドが溶性であれば、−段重
合法で、すなわち−膜性として示される同時イミド化お
よび重縮合法により、ポリイミドを直接製造できること
もまた知られている。
この操作は、殊にコーティング用途に望ましいポリマー
溶液をポリアミド酸が溶性でない所与溶媒から作らねば
ならないときに有利であることができる。同時イミド化
および重縮合での問題はイミド化段階中に生成される水
の存在下にポリアミド酸の解重合が非常に激しいことが
できることである。理論的には、解重合はそれがジカル
ボン酸およびアミノ化合物を生ずるので不可逆プロセス
1.となることができる。カルボン酸は、二無水物と7
ミノ化合物との室温におけるほぼ瞬間的な反応に比べて
非常に高い温度でアミノ化合物と反応する。
ポリアミド酸の解重合は高温で非常に激しくなることが
できる。この−投法はしばしばポリアミド酸およびイミ
ド化ポリマーがともに溶性である良好な溶媒中で生ずる
ものに比べて非常に低い分子量を有するポリイミドシロ
キサンを生じ、二段法が使用される。二段法は非常に高
い分子量のポリアミド酸を生ずる低温重縮合段階および
次いでイミド化し、イミド化から生ずる水を除去する非
常に速い加熱段階を用いる。
二段法は高い熱安定性および機械的強度、殊に高い破断
点伸びを有する高分子量物質を生ずる。
二段法に対する重縮合温度は60℃以下、好ましくは室
温以下であるべきである。イミド化は90〜180℃の
温度または溶媒の還流温度で行なうことができる。イミ
ド化に望ましい溶媒の沸mi度が160℃以下であると
きには脱水剤および(または)塩基触媒の使用が望まし
い。適当な脱水剤は無水酢酸である。触媒は第三級アミ
ン例えばピリジンである。無水酢酸が使用されるとき、
より低いイミド化温度を用いてイミド化をなしとげるこ
とができる。さらに、水との共沸剤もまた反応器に加え
ることができる。共沸剤例えばトルエンの使用は反応器
中に存在する水の除去を促進し、ポリアミド酸の解重合
を最小にすることができる。共沸剤が使用されるとき、
新鮮な共沸剤の連続回収は、凝縮器の下じディーン・ス
ターク(Dean 5tark) )ランプもまた用い
ることにより行なうことができる。
重縮合の程度は、ポリイミドシロキサンの製造において
良好な熱および機械的性質を得るために重要である。高
分子量ポリイミドシロキサンを製造するための反応時間
は、α、ω−ジアミノまたはジアンヒドリドシロキサン
の反応性が通常有機モノマーより低い事実のために通常
ポリイミドの製造に必要であるより数倍長い。一般に、
高分子量シロキサンモノマー、は極性溶媒中で有機モノ
マーより非常に緩慢に反応する。従って、ポリイミドシ
ロキサンの微細構造が有機対シロキサンモノマーのモル
比(またはモノマーの組成)だけでなく、重縮合の間の
これらの七ツマ−の添加系列によることもまた予想でき
る。例えば、高分子量α。
ω−ジアミノシロキサンを使用するとき、しばしば初め
に有機酸二無水物を有機ジアミンの存在なく反応させる
ことが有利であると認められる。この操作は二元溶媒系
を用いる必要を克服できるだけでなく、また非常に均一
で制御できるポリイミドブロック大きさおよび分布を生
ずることができる。同一の化学調合で、しかし異なる添
加系列(すなわち、全モノマーを一緒に溶媒中へ同時に
添加する)で製造したポリイミドシロキサンに比べて、
−層均一かつ制御されたイミド大きさおよび分布を有す
るポリイミドシロキサンがシロキサン様溶媒または無極
性溶媒に対して一層溶性の特性を有する。一方、同一数
平均分子量のイミドブロックを有するがしかし広い分子
量分布を有するポリイミドシロキサンはダイグライムま
たはTHE中の溶性が低い。
種々の用途に対する性質要件により、従って、ポリイミ
ドシロキサンをそれらの組成により設計することができ
、しかしまたそれらの微細構造をモノマー添加系列によ
り有利に制御できる。
本発明の重合に使用できる溶媒はフェノール溶g:N、
N−−〜ジアルキル化カルボキシルアミド溶媒およびモ
ノアルキル化またはジアルキル化エーテル型溶媒である
。フェノール溶媒の例はフェノール、O−クレゾール、
m−クレゾール、0−クロロフェノール、m−クロロフ
ェノール、p−フルオロフェノール、2,4.6−)リ
ブロモフェノールであり;N、N−ジアルキル化カルボ
キシルアミド溶媒の例はN、N−ジメチルホルムアミド
、N、N−ジメチルアセトアミド、NMPであり;エー
テル型溶媒はテトラヒドロフラン(THE)、ダイグラ
イムまたはl・リグライムである。
種々のポリイミド特許中に普通に挙げられた他の溶媒、
例えばγ−ブチロラクトン、スルホラン、ジメチルスル
ホキシドおよび塩素化ベンゼン類例えばp−ジクロロベ
ンゼンもまた使用できる。
ポリイミドシロキサンはまた、殊に1′ミドブロツクの
ガラス転移温度が例えば約20(Ill’:より低いか
または大割合(〉25%)のシロキサン化合物゛7−が
使用されるときに溶融重合法で製造することができる。
実際に、出「11ノズルの近くに位置するガス抜き部を
用いてイミド化を達成できる押出機中で行なうことがで
きる。
高分子量ポリイミドシロキサンを達成するため、二無水
物成分(類)の全モル数はジアミン成分(類)の全モル
数に等しくあるべきである。分子量を低下させるために
過剰の二無水物、ジアミン成分または少量の一官能性化
合物を使用できる。
シロキサンモノマーがジアミンであるとき、使用される
シI」キサンジアミン各1モルに対しnモルの有機ジア
ミンが使用されるとする。従って有機酸二無水物n+−
1モルが使用される。
シロキサンモノマーが二無水物であるとき、使用される
シロキサンジアンヒドリド81モルに対し有機酸二無水
物nモルが使用されるとする。従って有機ジアミン11
+1モルを使用しなければならない。
前記の場合に、nは0.01以上の、しかし40、好ま
し2くは20を越えない値を有する。
0゜01 < n < 0.1のとき、ポリイミドシロ
キサンはエラストマーまたはゴムの性質を示し、注型封
入、封入成形および封止用途に有用である。殊に架橋性
エラストマーポリイミドシロキサンは前記用途中に高い
有用性を有する。0.1<n<10のとき、熱可塑エラ
ストマー性質を有するポリイミドシロキサンが得られる
。これらの物質は電線、ケーブル、射出成形および保護
:J−ティング用途に有用である。10<n<40のと
き、非常に高い強度および硬質熱可塑性樹脂が生成され
、それらは成形およびコーティング用途に有用である。
硬化性ポリイミドシロキサン 前記溶性ポリイミドシロキサンは多くの有用な性質およ
び用途を有する。しかし、それらの用途中に、殊に高い
化学的または耐クリープ性が望まれるかまたは臨宥的で
さえある分野中に制限が認められる。例えば、ポリイミ
ドシロキサンの大部分は、それらのシロキザン含量が3
0〜40%を越えるときに、限定された作動液またはジ
ェット燃料耐性を示す。この弱点は、それらの主鎖構造
、殊にそれらのシロキサンブロック中パ・のフッ素化化
合物の結合により非常に低下できるとしても、なおこれ
らのフッ素化ポリイミドシロキサンを高い溶媒およびク
リープ耐性を達成するために熱硬化性樹脂に転化するこ
とが一層望ましい。一般に、橋かけ可能なポリイミドシ
ロキサンがアクリル官能基をもつときに、それを熱また
は先注により硬化させることができる。感光性または光
硬化性ポリイミドシロキサンはマイクロチップまたは集
積回路工業におけるバターニングに殊に有用である。
さらに、これらの新規硬化性ポリイミドシロキサン、並
びに溶性ポリイミドシロキサンはまたエレクトロニクス
およびマイクロエレクトロニクス工業におけるパッシベ
ーション層、α粒子バリヤ、電子ビームバターニング、
イオン折込みマスクまたは層間誘電体に用途を見出すこ
とができる。
本発明のポリイミドシロキサンは、橘かけできる官能基
を有する、またはポリマーの形成後橋かけ可能部分で適
当に変性できる中間官能基を有する反応物の包含により
硬化性にすることができる。
所要官能基は適当なジアミンおよび(または)シロキサ
ン化合物の使用により本発明のポリマー・中へ結合させ
ることができる。
ジアミン化合物はポリイミドシロキサン鎖中へ不斉構造
を与えるジアミンの溶性ポリマーについて記載した特性
を有する。ジアミンはさらに次の一般式: %式% (式中、Arは芳香族であり、R″はヒドロキシル、ヒ
ドロチオールまたはカルボキシル基、好ましくはヒドロ
キシルまたはカルボキシル基である)を有する。カルボ
キシル基の金属塩もまた意図される。適当な金属はナト
リウムおよびi艮である。これらの化合物の典型的な例
は1、例えば3.5−ジアミノ安息香酸およびj]25
−ジアミノフLノールなどであ 官能性化シロキサンジアミンまたはジアンヒドリドは次
の一般構造: ロゲンおよびハライド基を含む部分とそれぞれアセチレ
ン−、エチレン−またはアクリル−支持化合物との反応
の結果アセチレン−、エチ1/ン〜またはアクリル−基
から選ばれることができる。
官能性化シロキサンα、ω−ジアミノ化合物の例は次の
ものである: (式中、Dはアミノまたはアンヒドリド基であり、+1
は前記のようなジラジカルR′またはトリラジカルRで
あり、基R+、 Rz、R3およびR4は前に記載され
たが、しかしR+、Rz、R5およびR4の1つまたは
それ以上はDがアンヒドリド基であるときにハロゲン、
ヒドリド(H)、ビニルまたはヒドロキシル基;あるい
はDがアミノ基であるときにビニルまたはヒドロキシル
であることができる)を有する。
官能性化したシロキサンジアミンまたはジアンヒドリド
部分中のR1,R1,R3およびR4基はまた後記のよ
うに、ヒドリド(H)、ヒドロキシル、ハまたは (式中、 4であり あり、X であり、 である) nは2〜6の整数、好まし2くは3および、  R//
/はビニルまたはヒドロキシル基で+y=1〜1001
好ましくは4〜40yは1〜15、好ましくは1〜5の
整数官能性化二無水物は: (式中、R’は であり、R″′はヒドリド(H)、ヒドロキシル、ハロ
ゲンおよびビニル基、好ま1.<はHおよびビニル基で
あり、Xおよびyは前記と同じ意味を有する) である。
化性ポリイミドシロキサンの ゛1法 溶性ポリイミドシロキサンの製造操作が一般に追随され
る。
コモノマーは一般に適当な溶媒例えばNMPまたはダイ
グライム中で共重合される。前記の少くとも1種の官能
基をもつ完全イミド化ポリイミドシロキサンは次いでさ
らにアセチレン−、エチレン−またはアセチレン−支持
化合物と反応またはグラフト化して本発明に望ましい最
終生成物を与えることができる。グラフト反応は好まし
くは非反応性溶媒、好ましくはダイグライム、T HF
またはMEK、中で行なわれる。官能性化ポリイミドシ
ロキサンに対して選ぶことができる多くの種々の官能基
が存在するので、本発明に対する望まし、いグラフト反
応は適宜に変更されねばならない。
例えば、カルボキシルまたはヒドロキシル含有ポリイミ
ドシロキサンが初めに調製されると、アクリル基のグラ
フト化をエポキシ支持アクリレート例えば ロック中に位置するときに、グラフト反応はヒドロシリ
ル化反応または縮合反応を用いて行なうこOH5 (n=0−2) またはイソシアネート支持アクリレート例えばの使用に
より行なうことができる。
ポリイミドシロキサンの官能基がシロキサンブトシロキ
サン中に存在するときにグラフト化を、ヒドロシリル化
:すなわちビニル基と5N−H基との触媒例えばPL触
媒の存在下の反応、により行なうことができる。従って
、 化合物のグラフト化はアクリレート支持ポリイミドシロ
キサンを生ずる。一方、−OHまたはエポキシ基がポリ
イミドシロキサン中に存在するときにグラフト化を縮合
反応により行なうことができる。
例えば、イソシアネート支持アクリレートあるいはアク
リル酸またはメタクリル酸とポリイミドシロキサン上の
ヒドロキシルまたはエポキシ基との反応が本発明に望ま
しいアクリル支持ポリイミドシロキサンを生ずることが
できる。
アセチレン支持化合物がまたカルボキシル、エポキシま
たはイソシアナト官能基を支持するとき、その化合物を
それぞれ一〇Hまたはカルボキシル基をもつポリイミド
シロキサン上にグラフトできることが明らかである。
エチレン基がポリイミドシロキサンのシロキサンブロッ
ク中に存在するとき、それをそのまま使用でき、さらに
遊離基橋かけ反応により熱的に硬化でき、あるいはさら
にアクリルまたはアセチレン基をもつポリイミドシロキ
サンに変化させることができる。しかし、この種のグラ
フト反応は、適当な化学薬品を欠くために行なうことが
困難である。
官能基がイミドブロック中に存在する官能性化ポリイミ
ドシロキサンの製造に対し、OH−または−coon支
持ジアミノ化合物で出発することが好ましい。一方、こ
の種のシロキサンモノマーは通常容易に入手できない。
エポキシ、シリコーンヒドリドまたはシリコーンヒドロ
キシル基の結合をα。
ω−ジアミノまたはα9 ω−ジアンヒドリドシロキザ
ンと環状シリコーンエポキシ、シリコーンヒドリドまた
はシリコーンヒドロキシ化合物との平衡により行なうこ
とができる。とにかく、アクリル、エチレンまたはアセ
チレンジアミノまたはジアンヒドリド化合物を所望のポ
リイミドシロキサンの製造のために用いるよりはむしろ
アクリルあるいはエチレンまたはアセチレン基をグラフ
トすることが好ましい。これは高温(約160〜170
℃72時間溶媒中)におけるポリイミドシロキサンのイ
ミド化の間のこれらの官能基の熱橋かけ反応を避けるた
めである。」−記官能基をもつ完全イミド化ポリイミド
シロキサンのグラフト反応は、般に非常に低い温度で行
なうことができる。例えば、ヒドリシリル化は白金触媒
の存在下に25℃程度の低い温度で行なうことができる
。ヒドロキシルまたはカルボキシル基とエポキシ基との
間の縮合は120℃を越えない温度で、触媒として第三
級アミンの存在下に何時間か以内に達成できる。
本発明においてピリジン化合物が第三級アミンとして役
立つ。ヒドロキシルまたはカルボキシル基とイソシアネ
ート基との反応はさらに低い温度(室温〜80℃)を要
するなどである。
溶媒から反応生成物を分離する必要を避けるために、シ
ー・ティング操作に許容できる溶媒中でグラフト反応を
行なうことが望ましい。この種の望ましい溶媒は低い引
火性および(または)毒性を有する溶媒、例えばダイグ
ライムまたはMEKである。後者はその低い沸騰温度の
ためにコーティング工業に広く使用されている。
本明細書および特許請求の範囲におけるハロゲンはフッ
素、塩素、臭素およびヨウ素を、しかし好ましくはフッ
素および塩素を示す。芳香族は一般に炭化水素芳香族を
示す。
以下の実施例並びに明細書および特許請求の範囲中、特
に示さなければ部は重量により、温度はセルシラス度で
ある。
実施例 実施例1 50−のフラスコ中へ4,4′〜オキシシフタリツクア
ンヒドリド(4,4”0DPA)1.86グラム、2.
6−シー?ミノ−4−トリフルオロメチルピリジン(2
,6,4−DATF)0.71グラムおよびシロキサン
モノマーG91.68グラム並びにN M P 20ミ
リリツトルを加えた。混合物を室温で16時間反応させ
た。次いでン容液をテフロン型中で140℃で4時間キ
ャスi・シた。温度を250℃に5時間上げた。生じた
ポリマーフィルムを(OF ’ ) z、 oGqとし
、て示した。
実施例2 ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(B P DA)
1.76グラム、2,6.4−D、ATFo、71グラ
ムおよびシロキサ゛/モノマーG91.68グラムを用
いて実施例1を繰返した。生こ5たポリマー生成物を(
B ’ F ’ )zGwとして示した。
実施例3 ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)
1.96グラム、2,6.4−DATF0471グラム
およびシロギサンモノマーG91.68グラムを用いて
実施例1を繰返した。生じたポリマーフィルムを(BF
 ’ )xG、として示した。
実施例4 ビス(ジカルボキシフェニル)へキサフルオロプロペン
ニ無水物(6FDA)2.66グラム、2゜6.4−〇
ATF0.71グラムおよびシロキサンモノマーG91
.68グラムを用いて実施例1を繰返した。生じたポリ
マー生成物を(FF ”) ;cqとして示した。
実施例5 0DPA5.17グラム、シロキサンモノマーG。
2.82グラム、トリルジアミン(TDA)1.09グ
ラムおよび2.6.4−DATFo、73グラムを用い
て実施例1を繰返した。生じたポリマーフィルムを(O
Te、 sF ’ o、 5)zGtとして示した。
実施例6 0DPA4.34グラム、シロキサンモノマ・−63゜
38グラムおよび゛1’DA1.22グラムを用いて実
施例工を繰返した。生じたフィルムを(Or) z、 
sG、として示す。
実施例7 BTDAl、93g、  2. 6. 4−DATFo
、24g、TDAo、33gおよびシロキザ:/モ/−
,’ −G91、68 gを用いて実施例3を繰返した
。生したポリマーフィルムを(BF ’。、 sTo、
 s) 2G9として示した。
実施例8 0DPA5.17g1シロキサンモノマーG、2.82
g、 T DAo、81 gおよび2,6.4−DAT
Fl、 09 gを用いて実施例1を繰返した。生した
ポリマーフィルムを(叶′。、 sTo、 s) zG
qとして示した。
実施例9 BTDA4.83g、6−FDA6.66g、2゜6.
4−1)ATF3.48gおよびシロキサンモノマーh
8.40gを用いて実施例3を繰返す。生じたポリ゛7
−フィルムを(肝。、 5F ’ a、 S) ZG9
とし”C示す。
実施例10 0DPA4.65 g、BTDA4.83 g、2,6
゜4−DATFl、74g、 ′rDA1.21 gお
よびシロキサンモノマーGq8.40gを用いて実施例
1を繰返す。生じたポリマーフィルムを(0゜、 58
0.5F′。−sTo、 s) sGqとして示す。
実施例11 BTDA9.66 g、TDA2.44 gおよびシロ
キサンモノマーGJ、40gを用いて実施例1を繰返し
た。生じたポリマーフィルムは(BT)zGwとして示
した。
前記実施例中、G晴は式: (式中、mは表1中に示されるように繰返し即位の平均
数、例えばGs、 ?Sを示す)を有する。
G、シロキサンモノマーはG、1モルとDt2モルとの
87〜90℃における平衡生成物であるoGIは次の構
造; CI+。
C1l。
を有し、D4は式: %式%) を有する環状四量体である。式中、Gは9単位の呼称値
を有する。実験的にGは約8.75の値をもつ。
相」引1ハ3(皺劣で一結一呆。
ポリシロキサンイミドフィルム約0.1gをダイグライ
ム1−中へ加えた。混合物を60〜b/16時間加熱し
た。これらのフィルムの溶解度は次のように要約された
: (叶’ )sGq + (B ’ F ’ )2G! + (BF ’ )2G? + + (FF ’ )KCl + + (OTo、 sF ’ o、 s) sGq」〜 + (OT) z、 sGq + +1 (BF’。、、To。’l) 2G! + + (OF’。、 sTo、 S) ZG9+ + (Bo、 sFo。sF ’ )zGq+ + (Oo、sBo。sF ’ o、 sTo、 S) 2
G?+ + (BT)zh + * 室温で3週間放置後沈殿した。
ダイグライム中で溶性であるポリイミドシロキサンはベ
ンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)お
よびDATFとシロキサンモノマーとの共重合により製
造できる(実施例3)。ダイグライム溶性ポリマーはま
たDATFの一部をトリルジアミンにかえることにより
生成される(実施例7)、生ずる生成物は他の有用な性
質例えば高い引裂き強さを有する。ダイグライム中で不
溶性であり、実施例1におけるような0DPAおよびD
ATFとシロキサンとの共重合により作られたポリイミ
ドシロキサンを、実施例8におけるように若干のl・リ
ルジアミン中の反応によりダイグライム中に溶性にする
ことができると認められた。
一般に、例えば2,4−および2. 6−1−リルジア
ミンの混合物で作られたポリイミドシロキサンはダイグ
ライム中に、単l・リルジアミン例えば1.4−トリル
ジアミンから作られたポリマーよりも溶性である。
本発明のポリイミドシロキサンの低沸、無極性溶媒例え
ばTHF、NMPまたはダイグライム中の溶解度はポリ
イミドシロキサン中のシロキサン成分の割合の関数であ
り、またシロキサンブロック大きさの関数である。従っ
て、シロキサンモノマーは好ましくは一部分存在し、ポ
リイミドシロキサンをTHF、NMPまたは好ましくは
ダイグライム中に溶性にする十分なブロック大きさを有
する。
本発明のポリイミドシロキサンはミクロエレクトロニク
ス工業−におりる種々の用途に有用である。
そのような用途にはコーティングの形態におけるインタ
ーレベル誘電体として並びに半導体および混成集積回路
の封入成形またはパッシベーションに対する使用が含ま
れる。ポリイミドシロキサンのコーティングは次の分野
における半導体デバイスの製造に:a)保護被膜として
、b)多重レベルデバイスのためのインターレイヤー誘
電体として、C)α粒子バリヤーとして、d)非折込み
マスクとして、およびe)封人材として使用できる。
これらの用途の多くはリーほか(Lee and Cr
aig)により[電子工学用途に対する高分子材料JA
CSシンポジウム・シリーズ(ACS Symposi
um Ser、)+184、p、108中に詳細に記載
されている。
本発明のポリイミドシロキサンに対する他の用途には電
線およびケーブルコーティング、繊維およびフィルム中
、並びに成形および押出物品が含まれる。
実施例3中に開示されたようなりTDAおよびDATF
のポリイミドシロキサンは感熱性半導体および混成集積
回路構成要素のために殊に有用である。
手続補正書(方式) 1、事件の表示 平成1年特許願第295997号 3、補正をする者 事件との関係  出願人 名 称 オクシデンタル ケミカル コーポレーション
4、代理人 (門替1.−支史lよし)

Claims (68)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)有機酸二無水物、二官能性シロキサンモノマー、
    および有機アミンの反応生成物を含む実質的に完全にイ
    ミド化したポリイミドシロキサンにおいて、有機アミン
    が式: ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中、 Xは水素、ハライド、フェニルまたはそれらの組合せで
    あり、 ▲数式、化学式、表等があります▼ ―,または−Y−Ar−Y−であり、 ▲数式、化学式、表等があります▼ ▲数式、化学式、表等があります▼ であり、 ▲数式、化学式、表等があります▼ または―であり、 n=0または1である) を有するポリイミドシロキサン。
  2. (2)有機酸二無水物がオキシジフタリックアンヒドリ
    ドである、請求項(1)記載のポリイミドシロキサン。
  3. (3)有機酸二無水物が4,4′−オキシジフタリック
    アンヒドリドである、請求項(1)記載のポリイミドシ
    ロキサン。
  4. (4)有機酸二無水物がスルフルジフタリックアンヒド
    リドまたはスルホンジフタリックアンヒドリドである、
    請求項(1)記載のポリイミドシロキサン。
  5. (5)有機酸二無水物が4,4′−スルフルジフタリッ
    クアンヒドリドまたは4,4′−スルホンジフタリック
    アンヒドリドである、請求項(1)記載のポリイミドシ
    ロキサン。
  6. (6)有機酸二無水物がベンゾフェノンテトラカルボン
    酸二無水物である、請求項(1)記載のポリイミドシロ
    キサン。
  7. (7)有機酸二無水物がビフェニルテトラカルボン酸二
    無水物である、請求項(1)記載のポリイミドシロキサ
    ン。
  8. (8)有機酸二無水物がビス(ジカルボキシフェニル)
    −ヘキサフルオロプロペン二無水物である、請求項(1
    )記載のポリイミドシロキサン。
  9. (9)有機酸二無水物がジエーテルジアンヒドリドであ
    る、請求項(1)記載のポリイミドシロキサン。
  10. (10)有機アミンが式: ▲数式、化学式、表等があります▼ を有する、請求項(1)記載のポリイミドシロキサン。
  11. (11)ポリイミドシロキサンポリマー鎖中に不斉構造
    を与える有機ジアミンもまた含む、請求項(10)記載
    のポリイミドシロキサン。
  12. (12)有機ジアミンが式: ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中、X、YおよびZは水素、ハロゲン、1〜12個
    の炭素原子のアルキルまたはハロゲン化アルキルあるい
    は6〜12個の炭素原子のアリールまたはハロゲン化ア
    リールから独立に選ばれ、しかしX,YおよびZのすべ
    てが水素であることはない) を有する、請求項(11)記載のポリイミドシロキサン
  13. (13)X、YおよびZが水素、ハロゲン、1〜12個
    の炭素原子のアルキルまたは6〜12個の炭素原子のア
    リールから独立に選ばれ、しかしX、YおよびZのすべ
    てが水素であることがない、請求項(12)記載のポリ
    イミドシロキサン。
  14. (14)有機ジアミンが2,4−トリルジアミン、2,
    6−トリルジアミンまたはそれらの混合物である、請求
    項(13)記載のポリイミドシロキサン。
  15. (15)有機ジアミンの少くとも一部が式:▲数式、化
    学式、表等があります▼ (式中、Arは芳香族基であり、R″はヒドロキシル、
    カルボキシルまたはヒドロチオールの少くとも1つであ
    る) を有する、請求項(1)記載のポリイミドシロキサン。
  16. (16)R″がカルボキシル基または前記カルボキシル
    基の金属塩である、請求項(15)記載のポリイミドシ
    ロキサン。
  17. (17)有機ジアミン成分の少くとも一部が式:▲数式
    、化学式、表等があります▼ (式中、Arは芳香族基であり、R′″はアクリル−、
    エチレン−またはアセチレン−支持基の少くとも1つで
    ある) を有する、請求項(1)記載のポリイミドシロキサン。
  18. (18)シロキサンモノマーがシロキサンジアミンであ
    る、請求項(17)記載のポリイミドシロキサン。
  19. (19)シロキサンジアミンが式: ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中、R′は1〜12個の炭素原子の置換または不置
    換脂肪族二官能性基、あるいは6〜10個の炭素原子の
    置換または不置換芳香族二官能性基から独立に選ばれ、
    R_1、R_2、R_3およびR_4の1つまたはそれ
    以上がビニル、ヒドロキシル、アクリル−、エチレン−
    またはアセチレン−支持基であることができ、R_1、
    R_2、R_3およびR_4の残りは1〜12個の炭素
    原子の置換または不置換脂肪族一官能性基、あるいは6
    〜10個の炭素原子の置換または不置換芳香族一官能性
    基から独立に選ばれ、mは約5〜約200の数である) を有する、請求項(18)記載のポリイミドシロキサン
  20. (20)R_1、R_2、R_3およびR_4がメチル
    基である、請求項(19)記載のポリイミドシロキサン
  21. (21)R′が■CH_2■_3である、請求項(20
    )記載のポリイミドシロキサン。
  22. (22)式のシロキサンジアミンの少くとも一部が、R
    _1、R_2、R_3およびR_4の少くとも1つがヒ
    ドロキシルまたはビニルから選ばれる基であるジアミン
    を含む、請求項(19)記載のポリイミドシロキサン。
  23. (23)R_1、R_2、R_3およびR_4の少くと
    も1つがビニルであり、残りがメチル基である、請求項
    (22)記載のポリイミドシロキサン。
  24. (24)R′が■CH_2■_3である、請求項(23
    )記載のポリイミドシロキサン。
  25. (25)式のシロキサンジアミンの少くとも一部が、R
    _1、R_2、R_3およびR_4の少くとも1つがア
    クリル−、エチレン−またはアセチレン−支持基から選
    ばれる基であるシロキサンジアミン成分を含む、請求項
    (19)記載のポリイミドシロキサン。
  26. (26)アクリル支持基を含む、請求項(25)記載の
    ポリイミドシロキサン。
  27. (27)シロキサンモノマーがシロキサンジアンヒドリ
    ドである、請求項(1)記載のポリイミドシロキサン。
  28. (28)シロキサンジアンヒドリドが式: ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中、Rは1〜12個の炭素原子の置換または不置換
    脂肪族三官能性基あるいは6〜10個の炭素原子の置換
    または不置換芳香族三官能性基であり、R_1、R_2
    、R_3およびR_4の1つまたはそれ以上がハロゲン
    、ヒドリド(H)、ビニル、ヒドロキシル、アクリル−
    、エチレン−またはアセチレン−支持基であることがで
    き、R_1、R_2、R_3およびR_4の残りが1〜
    12個の炭素原子の置換または不置換脂肪族一官能性基
    、あるいは6〜10個の炭素原子の置換または不置換芳
    香族一官能性基から独立に選ばれ、mは約5〜50であ
    る) を有する、請求項(27)記載のポリイミドシロキサン
  29. (29)R_1、R_2、R_3およびR_4がメチル
    基である、請求項(28)記載のポリイミドシロキサン
  30. (30)Rが ▲数式、化学式、表等があります▼または▲数式、化学
    式、表等があります▼ である、請求項(29)記載のポリイミドシロキサン。
  31. (31)式のシロキサンジアンヒドリドの少くとも一部
    が、R_1、R_2、R_3およびR_4の少くとも1
    つがヒドリド(H)、ハロゲン、ヒドロキシルまたはビ
    ニルから選ばれる基である二無水物を含む、請求項(2
    8)記載のポリイミドシロキサン。
  32. (32)R_1、R_2、R_3およびR_4の少くと
    も1つがビニルであり、残りがメチル基である、請求項
    (31)記載のポリイミドシロキサン。
  33. (33)Rが ▲数式、化学式、表等があります▼または▲数式、化学
    式、表等があります▼ である、請求項(32)記載のポリイミドシロキサン。
  34. (34)式のシロキサンジアンヒドリド成分の少くとも
    一部が、R_1、R_2、R_3およびR_4の少くと
    も1つがアクリル、エチレンまたはアセチレン基から選
    ばれる基であるシロキサンジアンヒドリド成分を含む、
    請求項(28)記載のポリイミドシロキサン。
  35. (35)アクリル支持基を含む、請求項(34)記載の
    ポリイミドシロキサン。
  36. (36)二官能性シロキサンモノマー、有機酸二無水物
    および請求項(1)記載の式のアミンを反応させること
    を含む、ダイグライム中に溶性であるポリイミドシロキ
    サンを製造する方法。
  37. (37)反応がポリイミドシロキサンに対する溶媒中で
    行なわれる、請求項(36)記載の方法。
  38. (38)アミンが式: ▲数式、化学式、表等があります▼ を有し、溶媒がダイグライム、トリグライム、γ−ブチ
    ロラクトン、N,N−ジメチルアセトアミド、l−メチ
    ル−2−ピロリジノン、テトラヒドロフラン、メチルエ
    チルケトン、フェノール類またはそれらの混合物から選
    ばれる、請求項(37)記載の方法。
  39. (39)シロキサンモノマーがシロキサンジアミンであ
    る、請求項(36)記載の方法。
  40. (40)シロキサンモノマーが式: ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中、R′は1〜12個の炭素原子の置換または不置
    換脂肪族二官能性基あるいは6〜10個の炭素原子の置
    換または不置換芳香族二官能性基から独立に選ばれ、R
    _1、R_2、R_3およびR_4の1つまたはそれ以
    上がビニル、ヒドロキシル、アクリル−、エチレン−ま
    たはアセチレン−支持基であることができ、R_1、R
    _2、R_3およびR_4の残りは1〜12個の炭素原
    子の置換または不置換脂肪族一官能性基あるいは6〜1
    0個の炭素原子の置換または不置換芳香族一官能性基か
    ら独立に選ばれ、mは約5〜約50の整数である)を有
    するシロキサンジアミンである、請求項(36)記載の
    方法。
  41. (41)R_1、R_2、R_3およびR_4がメチル
    基である、請求項(40)記載の方法。
  42. (42)R′が■CH_2■_3である、請求項(41
    )記載の方法。
  43. (43)シロキサンモノマーがシロキサンジアンヒドリ
    ドである、請求項(36)記載の方法。
  44. (44)シロキサンモノマーが式: ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中、Rは1〜12個の炭素原子の置換または不置換
    脂肪族三官能性基あるいは6〜10個の炭素原子の置換
    または不置換芳香族三官能性基であり、R_1、R_2
    、R_3およびR_4の1つまたはそれ以上はハロゲン
    、ヒドリド(H)、ビニル、ヒドロキシル、アクリル−
    、エチレン−またはアセチレン−支持基であることがで
    き、R_1、R_2、R_3およびR_4の残りは1〜
    12個の炭素原子の置換または不置換脂肪族一官能性基
    あるいは6〜10個の炭素原子の置換または不置換芳香
    族一官能性基から独立に選ばれ、mは約5〜約50であ
    る) を有するシロキサンジアンヒドリドである、請求項(4
    3)記載の方法。
  45. (45)R_1、R_2、R_3およびR_4がメチル
    基である、請求項(44)記載の方法。
  46. (46)Rが ▲数式、化学式、表等があります▼または▲数式、化学
    式、表等があります▼ である、請求項(45)記載の方法。
  47. (47)有機ジアミンの少くとも一部が式:▲数式、化
    学式、表等があります▼ (式中、Arは芳香族基であり、R″はヒドロキシル、
    カルボキシルまたはヒドロチオールの少くとも1つであ
    る) を有する、請求項(36)記載の方法。
  48. (48)R″がカルボキシである、請求項(47)記載
    の方法。
  49. (49)式のシロキサンジアミンの少くとも一部が、R
    _1、R_2、R_3およびR_4の少くとも1つがヒ
    ドロキシルまたはビニルから選ばれる基であるジアミン
    を含む、請求項(40)記載の方法。
  50. (50)R_1、R_2、R_3およびR_4の少くと
    も1つがビニル基であり、残りがメチル基である、請求
    項(49)記載の方法。
  51. (51)R′が■CH_2■_3である、請求項(50
    )記載の方法。
  52. (52)式のシロキサンジアンヒドリドの少くとも一部
    が、R_1、R_2、R_3およびR_4の少くとも1
    つがヒドリド(H)、ハロゲン、ヒドロキシルまたはビ
    ニルから選ばれる基である二無水物を含む、請求項(4
    4)記載の方法。
  53. (53)R_1、R_2、R_3およびR_4の少くと
    も1つがビニルであり、残りがメチル基である、請求項
    (52)記載の方法。
  54. (54)Rが ▲数式、化学式、表等があります▼または▲数式、化学
    式、表等があります▼ である、請求項(53)記載の方法。
  55. (55)方法の生成物を、アクリル−、エチレン−また
    はアセチレン−支持基の少くとも1つを含む化合物と反
    応させる、請求項(47)記載の方法。
  56. (56)方法の生成物を、アクリル−、エチレン−また
    はアセチレン−支持基の少くとも1つを含む化合物と反
    応させる、請求項(49)記載の方法。
  57. (57)方法の生成物を、アクリル−、エチレン−また
    はアセチレン−支持基の少くとも1つを含む化合物と反
    応させる、請求項(52)記載の方法。
  58. (58)ポリイミドシロキサンに対する溶媒中に溶解し
    た請求項(1)記載のポリイミドシロキサンを含む溶液
  59. (59)溶媒がダイグライム、トリグライム、γ−ブチ
    ロラクトン、N,N−ジメチルアセトアミド、1−メチ
    ル−2−ピロリジノン、テトラヒドロフラン、メチルエ
    チルケトン、フェノール類または塩素化溶媒から選ばれ
    る、請求項(58)記載の溶液。
  60. (60)請求項(1)記載のポリイミドシロキサンで被
    覆されたサブストレートを含む物品。
  61. (61)サブストレートが電線またはケーブルである、
    請求項(60)記載の物品。
  62. (62)請求項(1)記載のポリイミドシロキサンから
    製造されたフィルム。
  63. (63)請求項(1)記載のポリイミドシロキサンから
    製造された繊維。
  64. (64)請求項(1)記載のポリイミドシロキサンから
    製造された成形物品。
  65. (65)請求項(1)記載のポリイミドシロキサンから
    製造された押出物品。
  66. (66)請求項(1)記載の硬化組成物。
  67. (67)請求項(25)記載の硬化組成物。
  68. (68)請求項(34)記載の硬化組成物。
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