JPH02254426A - 光波長変換素子 - Google Patents

光波長変換素子

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JPH02254426A
JPH02254426A JP7699489A JP7699489A JPH02254426A JP H02254426 A JPH02254426 A JP H02254426A JP 7699489 A JP7699489 A JP 7699489A JP 7699489 A JP7699489 A JP 7699489A JP H02254426 A JPH02254426 A JP H02254426A
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face
conversion element
optical wavelength
wave
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Application number
JP7699489A
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English (en)
Inventor
Akinori Harada
明憲 原田
Yoji Okazaki
洋二 岡崎
Takayuki Kato
隆之 加藤
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Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH02254426A publication Critical patent/JPH02254426A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は有機非線形光学材料を用いた光波長変換素子、
特に詳細にはこの有機非線形光学材料の昇華や変成を防
止し、かつ波長変換波を効率良く素子外に取り出せるよ
うにした光波長変換素子に関するものである。
(従来の技術) 従来より、非線形光学材料を利用して、レーザー光を第
2高調波等に波長変換(短波長化)する試みが種々なさ
れている。このようにして波長変換を行なう光波長変換
素子として具体的には、例えば「光エレクトロニクスの
基礎JA、MARI■著、多田邦雄、神谷武志訳(丸善
株式会社)のp200〜204に示されるようなバルク
結晶型のものがよく知られている。
また、いわゆるファイバー型の光波長変換素子も提案さ
れている。この光波長変換素子は、クラッド内に非線形
光学材料からなるコアが充てんされた光ファイバーであ
り、応用物理学会懇話会微小光学研究グループ機関誌V
OL、  3. Nα2.  p28〜32にはその一
例が示されている。このファイバー型の光波長変換素子
は、基本波と波長変換波との間の位相整合をとることも
容品であるので、最近ではこのファイバー型光波長変換
素子についての研究が盛んになされている。また、例え
ば本出願人による特開昭63−15233号、同63−
15234号公報に示されるように、クラッド部となる
2枚の基板の間に非線形光学材料からなる2次元光導波
路を形成した2次元光導波路型の光波長変換素子も知ら
れている。さらには、ガラス基板内に非線形光学材料か
らなる3次元光導波路が埋め込まれてなり、ガラス基板
中に波長変換波を出射する3次元光導波路型の光波長変
換素子も知られている。これらの先導波路型光波長変換
素子も、上述のような特長を有している。
また、特願昭63−72752号明細書において、和周
波および差周波も同様に、ファイバー型波長変換素子に
よって発生することが詳細に記されている。導波路型光
波長変換素子における和差周波発生についても特願昭6
3−”72753号明細書において詳細に記されている
。さらに3次の非線形性を利用した第3高調波発生も十
分に可能である。
なお以上列挙した先導波路型(ファイバー型のものも含
むものとする)の光波長変換素子は、主に導波部が非線
形光学材料から形成されたものであるが、クラッド部の
みを、あるいは導波部とクラッド部の双方を非線形光学
材料から形成してもよい。すなわち導波部を進行する導
波光の一部はエバネッセント波としてクラッド部に浸み
出すので、クラッド部が非線形光学材料から形成されて
いれば、このエバネッセント波が波長変換されうる。
ところで、近時、これらバルク結晶型、ファイバー型、
先導波路型の光波長変換素子において、非線形光学材料
として単結晶の有機非線形光学材料を用いる提案が種々
なされている。この有機非線形光学材料は、無機材料に
比べて非線形光学定数が極めて大きいので、この有機非
線形光学材料を用いれば高い波長変換効率を得ることが
可能となるのである。この有機非線形光学材料としては
、例えば特開昭60−250334号公報およびNon
11nerOpt1cal  Propertleso
f  OrganIcand  Polymerlc 
 Materials’ AC3SYMPO8IUM 
 5ERIES  223.DavldJ、Willi
ams編(Amerlcan Chemical 5o
clety、  1983年刊)、「有機非線形光学材
料」加藤政雄、中西へ部監修(シー・エム・シー社。
1985年刊)等に示されるMNA (2−メチル−4
−ニトロアニリン) 、mNA (メタニトロアニリン
) 、POM (3−メチル−4−二トロビリジン−1
−オキサイド)、尿素、さらには特開昭62−2104
32号公報に示される3、5−ジメチル−1−(4−ニ
トロフェニル)ピラゾール、3.5−ジメチル−1−(
4−ニトロフェニル)−1,2,4−トリアゾール、2
−エチル−1−(4−ニトロフェニル)イミダゾール、
1−(4ニトロフエニル)ビロール、2−ジメチルアミ
ノ1−5−ニトロアセトアニリド、5−ニトロー2−ピ
ロリジノアセトアニリド、3−メチル−4ニトロピリジ
ン−N−オキシド等が挙げられる。
例えばMNAは、無機非線形光学材料であるLiNbO
3に比べると2000倍程度高い波長変換効率を有する
ので、この有機非線形光学材料を用いて光波長変換素子
を形成すれば、一般的な小型かつ低コストの半導体レー
ザーからの赤外レーザー光を基本波として第2高調波を
発生させることにより、青領域の短波長レーザー光を得
ることも可能となる。
(発明が解決しようとする課題) ところが、上述の何機非線形光学材料によって導波部や
クラッド部を構成して得られたファイバー型あるいは先
導波路型の光波長変換素子にあっては、従来、波長変換
効率および基本波の入射結合効率が時間経過にともなっ
て著しく悪化する、という問題が認められていた。すな
わち、光波長変換素子を構成する有機非線形光学材料は
、その端面において周囲の空気等の雰囲気と接するので
、この部分から昇華して単結晶部分が短くなり、あるい
は変成して単結晶でなくなってしまって上述の問題を招
くのである。これと同様の問題は、有機非線形光学材料
を用いて形成(、たバルク結晶型の光波長変換素子にお
いても認められる。
また以上述べたファイバー型、先導波路型、さらにはバ
ルク結晶型の従来の光波長変換素子は、波長変換波の出
射効率の点でもさらに改善の余地が残されている。
そこで本発明は、上記の昇華および変成を防止可能で、
しかも波長変換波を素子外に効率良く出射可能な光波長
変換素子を提供することを目的とするものである。
(課題を解決するための手段及び作用)本発明の第1の
光波長変換素子は、先に述べたように導波部あるいはク
ラッド部に有機非線形光学材料を用いたファイバー型ま
たは先導波路型の光波長変換素子において、 有機非線形光学材料の端面を含む素子端面に、該端面と
周囲雰囲気とを遮断する遮断層が設けられ、 そして、これらの遮断層のうち基本波が入射する素子端
面に設けられた遮断層の表面に形成されて、基本波の反
射を防止する反射防止膜および/または前記遮断層のう
ち波長変換波が出射する素子端面に設けられた遮断層の
表面に形成されて、波長変換波の反射を防止する反射防
止膜が設けられたことを特徴とするものである。
上記のような遮断層が設けられていれば、有機非線形光
学材料の端面ば空気等の雰囲気と直接接しなくなるので
、前述した昇華あるいは変成が防止される。
また上記の反射防止膜が形成されていれば、入力基本波
の結合効率が向上し、また基本波光源として半導体レー
ザーが用いられる際には、そこへの戻り光による雑音を
大幅に低下させることができ、さらに波長変換波の素子
端面における透過率が向上し、該波長変換波は効率良く
素子外に出射する。
一方本発明の第2の光波長変換素子は、有機非線形光学
材料を用いたバルク結晶型の光波長変換素子において、 バルク結晶の表面に、該表面と周囲雰囲気とを遮断する
遮断層が設けられ、 これら遮断層のうち基本波、波長変換波が透過する2つ
の結晶表面に設けられた遮断層の少な(とも一方の表面
に、基本波と波長変換波の反射を防止する反射防止膜が
形成されたことを特徴とするものである。
このバルク結晶型の光波長変換素子は一般に、LD励起
YAGレーザー等の内部共振器内に置かれるため、遮断
層と反射防止膜を形成することにより、反射損失の少な
い高効率の波長変換がなされる。
なお、一般的なレンズ等の光学素子においては、光透過
面に反射防止膜を設けて、そこにおける光透過率を上げ
ることが従来から行なわれている。
このような反射防止膜は通常、素子を真空中に置いて、
蒸着、スパッタなどの方法によって形成するが、有機非
線形光学材料の表面部分に直接この反射防止膜を形成し
ようとして上記の方法を行なうと、真空中にあるために
有機非線形光学材料の昇華が著しく、非線形光学材料が
大きく劣化する。
しかし本発明の光波長変換素子においては、遮断層の表
面に反射防止膜が形成されるから、上記の方法を実施す
る際の有機非線形光学材料の昇華をも防止できる。つま
り本発明の光波長変換素子にあっては、遮断層が、反射
防止膜の形成を容易化する作用も果たしている。
(実 施 例) 以下、図面に示す実施例に基づいて本発明の詳細な説明
する。
〈第1実施例〉 第1図および第2図は本発明の第1実施例による光波長
変換素子10を示すものである。この光波長変換素子1
0は、クラッド12の中心の中空部分内に、非線形光学
材料からなるコア11が充てんされた光ファイバーであ
る。上記非線形光学材料としては、前述したように波長
変換効率が高い有機非線形光学材料が用いられる。本例
では特に前述の3.5−ジメチル−1−(4−ニトロフ
ェニル)ピラゾール(以下、PRAと称する)によって
コア11を形成している。そしてこのPRAからなるコ
ア11の端面を含む素子端面10a、 lOb上には、
それぞれ遮断層13a、 13bが形成されている。
ここで、−例としてコア11を上述のPRA、クラッド
12を5FIOガラス、遮断層13a、13bを水系の
樹脂であるアクリルスチレン共重合体から形成する場合
について、この光波長変換素子lOの製造方法を説明す
る。まずクラッド12となる中空のガラスファイバー1
2’ が用意される。このガラスファイバー12’ は
−例として、外径が3mmで、中空部の径が2μmのも
のである。そして第3図に示すように、炉内等において
P RA 11’ を融液状態に保ち、この融液内にガ
ラスファイバー12゜の一端部を浸入させる。すると毛
細管現象により、融液状態のP RA 11’がガラス
ファイバー12′の中空部内に進入する。なお該融液の
温度は、PRA11′の分解を防止するため、その融点
(102℃)よりも僅かに高い温度とする。その後ガラ
スファイバー12’ を急冷させると、中空部に進入し
ティt:、 P RA 11’が多結晶化する。
なお、さらに好ましくはこのガラスファイバー12゛ 
を、P RA 11’の融点より高い温度(例えば10
2.5℃)に保たれた炉内から、該融点より低い温度に
保たれた炉外に徐々に引き出すこと1ζより、溶融状態
のP RA 11’ を炉外への引出し部分から単結晶
化させる。それにより、極めて長い単結晶状態で結晶方
位も一定に揃ったコア11が形成され、光波長変換素子
1oを十分に長くすることができる。周知のようにこの
種の光波長変換素子の波長変換効率は素子の長さに比例
するので、光波長変換素子は長いほど実用的価値が高く
なる。
以上述べたようにしてコア11が充てんされた後、適宜
両端が切断されたガラスファイバー12’の両端面には
、アクリルスチレン共重合体からなる遮断層13a、 
13bが形成される。この遮断層13a。
13bの形成は、例えば大気中におけるスピンコード処
理やデイツプコート処理によって行なイっれる。
上記の遮断層13a、 13bが乾燥、固化した後、一
方の遮断層、すなわち後述するようにして光波長変換素
子■0が使用される際に基本波が入力する素子端面10
a上に形成された遮断層13a上に反射防止膜19aが
形成される。この反射防止膜19aは誘電体多層膜、誘
電体単層膜等から形成され、波長870nmの基本波を
良好に透過させるように設計される。また波長変換波が
出射する方の素子端面tob上に形成された遮断層13
b上には、反射防止g19bが形成される。この反射防
止M19bは誘電体多層膜、あるいは誘電体単層膜等か
ら形成され、後述する波長435nmの第2高調波を良
好に透過させるように設計される。
上記光波長変換素子10は第1図図示のようにして使用
される。すなわち、基本波発生手段としての半導体レー
ザー(発振波長:  870nm)1Bから射出された
発散ビームであるレーザー光(基本波)15はコリメー
ターレンズ17によって平行ビームとされ、さらに対物
レンズ18によって集光され、コア11の端面上におい
てそれと同径(本例では2μm)の小さなスポットに収
束する。それにより該レーザー光15が光波長変換素子
10内に入射する。
この基本波15は、コア11を構成するPRAにより、
波長が1/2すなわち435nmの第2高調波15″に
変換される。この第2高調波15′はクラッド12中に
放射し、その外表面と周囲媒質(通常は空気)との界面
の間で全反射を繰り返して素子lO内を端面側に進行す
る。位相整合は、基本波15のコア部での導波モードと
、第2高調波15゛ のクラッド部への放射モードとの
間で取られる(いわゆるチェレンコフ放射の場合)。
光波長変換素子10の出射端面10bからは、上記第2
高調波15’ を含むビーム15”が出射する。この出
射ビーム15”は図示しないフィルターに通され、第2
高調波15゛ のみが取り出されて利用される。
ここで、この光波長変換素子■0においては、前述のよ
うな遮断層13aおよび13bが設けられているので、
有機材料であるPRAからなるコアtiが空気等の雰囲
気に直接接することがない。したがって、このコア11
の昇華および変成が確実に防止される。
また光波長変換素子10の入力端面10a上の遮断層1
3aには前述の通りの反射防止膜19aが形成されてい
るので、基本波15は良好に素子内に入射するようにな
る。例えばこの遮断層13aを誘電体多層膜TiO2/
5tOzから形成することで、基本波15の反射率を0
.5%以下に抑えることが可能である。この反射率が低
ければ、基本波■5が効率良く素子IO内を導波する。
一方出射端面tob上の遮断層13bには、前述の通り
の反射防止膜19bが形成されているので、第2高調波
15’ は良好に素子外に出射するようになる。例えば
この遮断層13bを誘電体多層膜TiO□/5i02か
ら形成することにより、第2高調波15’ の反射率を
0.5%以下に抑えることが可能である。この反射率が
低ければ、第2高調波15’が効率良く素子外に出射す
る。
なお本実施例の光波長変換素子10の基本波に対する実
効屈折率は1.75となる。入力端面10aと遮断層1
3aとの界面のフレネル反射を防止するために、遮断層
13aは上記実効屈折率に近い屈折率の材料で形成する
ことが好ましく、前記アクリルスチレン共重合体で形成
すれば屈折率1.55となり、反射率は0.4%となる
。したがって入力界面の反射率は全体で0.9%となり
、基本波15を99%以上の透過率で効率よく導波させ
ることができる。また第2高調波15゛ に対するクラ
ツド材の屈折率は、チェレンコフ放射タイプの場合第2
高調波15′がクラッド部のみに導波するため、1.7
8となる。出射端面10bと遮断層13bとの界面にお
ける基本波15および第2高調波15’のフレネル反射
を防止するためには、遮断層13bを上記クラツド材の
屈折率に近い屈折率の材料で形成するのが好ましく、前
記アクリルスチレン共重合体で形成すればこの遮断層1
3bの屈折率は1.58となる。この際の上記界面にお
ける第2高調波15″の反射率は、0.4%となる。し
たがって、この界面および反射防止膜19bにおける全
体的な反射率は0.9%程度となり、素子10内で生じ
た第2高調波15′ を透過率99%以上で極めて効率
良く素子外に出射させることが可能となる。
以上、ファイバー型光波長変換素子に本発明を適用した
実施例について説明したが、本発明は、クラッド部と導
波部とからなるその他のタイプの光波長変換素子、すな
わち2次元光導波路型の光波長変換素子や、3次元光導
波路型の光波長変換素子に対して適用することも可能で
ある。
また、以上説明した反射防止膜19a、 19bのうち
の一方のみを設けるようにしてもよい。
く第2実施例〉 次に第4.5および6図を参照して、本発明の第2実施
例について説明する。
第4図に示されるレーザーダイオードボンピング固体レ
ーザー20は、ボンピング光としてのレーザービーム2
1を発する半導体レーザー(フェーズドアレイレーザー
)22と、発散光である上記レーザービーム21を平行
光化するコリメーターレンズ23と、平行光化されたレ
ーザービーム2Iを集束させる集光レンズ24と、ネオ
ジム(Nd)がドーピングされた固体レーザーロッドと
してのYAGロッド(以下、Nd:YAGロッドと称す
る)25と、このNd:YAGロッド25の前方側(図
中右方側)に配された共振器26と、この共振器26お
よびNd:YAGロッド25の間に配された光波長変換
素子27とからなる。以上述べた各要素22〜27は、
共通の筐体(図示せず)にマウントされて一体化されて
いる。
フェーズドアレイレーザー22は、波長が809nmの
レーザービーム21を発するものが用いられている。一
方Nd:YAGロッド25は、球面の一部をなす形状と
されたその後端面25aが、上記レーザービーム21の
集束位置に有るように配置されており、この波長809
nmのレーザービーム21によってネオジム原子が励起
されることにより、波長1.0B4nmのレーザービー
ム28を発する。上記Nd:YAGロッド25の後端面
25aには、波長809nmのレーザービーム21を良
好に透過させ、波長11064nのレーザービーム28
は良好に反射させるコーティングが施されている。一方
共振器2GのNd:YAGロッド25側の面26aも球
面の一部をなす形状とされ、その表面には、波長106
4n mのレーザービーム28は良好に反射させ、後述
する波長532nmの第2高調波28′ は良好に透過
させるコーティングが施されている。したがって波長1
1084nのレーザービーム28は、上記共振器2Gの
面28aとロッド後端面25aとの間に閉じ込められて
、レーザー発振を引き起こす。このレーザービーム28
は光波長変換素子27に入射して、波長が1/2つまり
532nmの第2高調波28°に波長変換される。
以下、この光波長変換素子27について詳しく説明する
。光波長変換素子27は、前述したPRAのバルク単結
晶からなる。ここで、PRAのバルク結晶構造を第5図
に示す。この光波長変換素子27は、通常のブリッジマ
ン法により作成することができる。まず、融液状態のP
RAを適当な型に流し、次いで急冷させると、このPR
Aが多結晶化する。その後このPRAを、その融点10
2℃より高い温度(例えば105℃)に保たれた炉内か
ら、該融点より低い温度に保たれた炉外に徐々に引き出
すことにより、溶融状態のPRAを炉外への引出し部分
から単結晶化させる。それにより、50mm以上もの長
い範囲にわたって単結晶状態となり、結晶方位も一定に
揃ったPRAが形成され、光波長変換素子27を十分に
長くすることができる。
以上述べたようにして形成したPRA単結晶を、光学軸
YとZ軸(結晶軸ではb軸とa軸)を含(Y−2面でカ
ットし、X軸(結晶軸ではC軸)方向に厚さ5mmに切
り出して、バルク単結晶型の光波長変換素子27を形成
した。
この光波長変換素子27に対してレーザービーム28は
、第4図図示の通り、その進行方向とZ軸とが90°の
角度をなし、またその入射方向がX軸からY軸側に約3
0°傾く状態にして入射される。上述のようにしてレー
ザービーム28を光波長変換素子27に入射させること
により、基本波としてのこのレーザービーム28と第2
高調波28゛ との間でタイプIの位相整合が取られ、
光波長変換素子27からはこれらのレーザービーム28
と第2高調波28゛とが混合l、たビームが出射する。
共振器2Bの面26aには前述した通りのコーティング
が施されているので、この共振器26からは、波長53
2nmの第2高調波28°のみが取り出される。
ここで、第6図に詳しく示すように、PRAのバルク単
結晶からなる光波長変換素子27の表面にはすべて、水
系の樹脂からなる遮断層30が形成されている。そして
、基本波28と第2高調波28′ が透過する2つの結
晶表面27a、27bに設けられた遮断層30a、30
bの表面には、波長1084n mの基本波28と波長
532nmの第2高調波28″の反射を防止する反射防
止膜31a、31bが形成されている。
この反射防止膜31a、 31bも誘電体多層膜や単層
膜等から形成される。例えばこの反射防止膜31a、a
tbをT i 02 /Mg Fzの多層膜から形成し
、また遮断層30a、30bを前述のアクリルスチレン
共重合体から形成した場合には、基本波28と第2高調
波28′ の透過率を99,7%以上とすることが可能
である。なお、以上説明した反射防止膜31a、31b
のうちの一方のみを設けるようにしてもよい。
また本実施例においても、遮断層30a、30bを設け
たことにより、PRAのバルク単結晶である光波長変換
素子27の昇華あるいは変成を防止できる。
なお上記遮断層30a、Bobや反射防止膜31a13
1bは、前述した第1実施例におけるのと同じ方法を用
いて形成することができる。また本発明は、レーザー共
振器外に配置されるバルク結晶型の光波長変換素子に対
しても適用可能である。
以上、基本波を第2高調波に変換する光波長変換素子に
適用された2つの実施例について説明したが、本発明は
その他、基本波を和周波や差周波さらには第3高調波等
に変換する光波長変換素子に対しても適用可能である。
(発明の効果) 以上詳細に説明した通り本発明の光波長変換素子におい
ては、有機非線形光学材料の端面を含む素子端面に、あ
るいは有機非線形光学材料のバルク結晶の表面に遮断層
を設けたことにより、有機非線形光学材料の昇華あるい
は変成が確実に防止される。したがって、有機非線形光
学材料の波長変換効率が低下することを防止でき、また
遮断層を設けた端面を基本波入射端面とする場合は、基
本波の入射効率も高く維持できるようになる。
さらに本発明のファイバー型あるいは光導波路型の光波
長変換素子においては、基本波が入力する端面に形成さ
れた遮断層の表面に、基本波の反射を防止する反射防止
膜を設けることにより基本波の入力結合効率が向上し、
また半導体レーザーへの戻り光による雑音を低減するこ
とができ、そして波長変換波が出射する素子端面に形成
された遮断層の表面に、波長変換波の反射を防止する反
射防止膜を設けることにより、波長変換波を極めて効率
良く素子外に出射させることが可能となる。
−力木発明のバルク結晶型の光波長変換素子の場合、基
本波と波長変換波が透過する結晶表面に設けた遮断層の
表面上に、基本波と波長変換波の反射を防止する反射防
止膜を形成することで、反射損失の少ない高効率変換が
達成される。よって本発明の光波長変換素子によれば、
より高強度の波長変換波を実際に素子外に取り出して利
用できるようになる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図はそれぞれ、本発明の第1実施例に
よる光波長変換素子を示す斜視図と概略側面図、 第3図は上記光波長変換素子の製造方法を説明する概略
図、 第4図は本発明の第2実施例による光波長変換素子を示
す概略側面図、 第5図は上記第2実施例の光波長変換素子のバルク結晶
構造を示す概略図、 第6図は上記第2実施例の光波長変換素子を拡大して示
す側面図である。 10.27・・・光波長変換素子 10a、10b・・
・素子端面11・・・コ  ア      12・・・
クラッド13a、 13b、 30a、 30b−・・
遮断層15.28・・・基本波    15°、28′
 ・・・第2高調波19a、 19b、 31a、 3
1b−・・反射防止膜27a、27b・・・結晶表面 第4図 第5図 第6図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)クラッド部と、それよりも高屈折率で該クラッド
    部内に配された導波部とを有し、これらクラッド部と導
    波部の少なくとも一方が有機非線形光学材料から形成さ
    れてなり、前記導波部を導波した基本波を波長変換する
    光波長変換素子において、前記有機非線形光学材料の端
    面を含む素子端面に、該端面と周囲雰囲気とを遮断する
    遮断層が設けられ、 これらの遮断層のうち基本波が入射する素子端面に設け
    られた遮断層の表面に形成されて、基本波の反射を防止
    する反射防止膜および/または前記遮断層のうち波長変
    換波が出射する素子端面に設けられた遮断層の表面に形
    成されて、波長変換波の反射を防止する反射防止膜が設
    けられたことを特徴とする光波長変換素子。
  2. (2)有機非線形光学材料のバルク結晶からなり、入射
    した基本波を波長変換する光波長変換素子において、 前記バルク結晶の表面に、該表面と周囲雰囲気とを遮断
    する遮断層が設けられ、 これら遮断層のうち基本波、波長変換波が透過する2つ
    の結晶表面に設けられた遮断層の少なくとも一方の表面
    に、基本波と波長変換波の反射を防止する反射防止膜が
    形成されたことを特徴とする光波長変換素子。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5129029A (en) * 1990-07-31 1992-07-07 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Apparatus and method of producing fiber wavelength-conversion element
EP3620830A1 (en) 2018-09-04 2020-03-11 ARKRAY, Inc. Optical element and method of producing optical element

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