JPH02235230A - 光ディスク原盤露光機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ガラス原盤への露光レーザービームの照射状
態を監視するための［察装置を備えてなる光ディスク原
盤露光機に関する． ［従来の技術］ 一般に、コンパクトディスクやビデオディスクなどの各
種光ディスクには，スパイラル状または同心円状にグル
ープピットが形成されている。光ディスクの品質はこの
グループピットの形状に大きく影響されている。上記グ
ループピットは、読み出し専用の光ディスクではその全
部が、また書き込み可能な光ディスクにおいてはその大
部分が原盤露光時に形成される。したがって光ディスク
のガラス原盤に対して所定のビーム露光を行なう原盤露
光機には、対物レンズを通して照射・露光されるレーザ
ービームの照射状態を監視するようにＩｆ察装置がしば
しば備えられている。このｌ？Ｘ装置は、露光レーザー
ビームのスポットサイズや形状、複数ビーム方式ではビ
ーム相対位置などを常時監視するものであり，これによ
って所望のグループビット形状を得るようにしている。

このようなＩＩ察装置としては、ガラス原盤からの反射
光を観察する方式ものと、対物レンズに入射される光束
を観察する方式ものとが従来からある． ［発明が解決しようとする課題］ ところがガラス原盤からの反射光を！ｌｔ察する方式の
観察装置は、ガラス原盤の表面状態による影響を受け易
く、散乱や干渉などによってガラス原盤上に結像されて
いるレーザービームのスポット像が見にくくなったり、
揺らぎ易くなってしまうという問題がある。また対物レ
ンズに入射される光束を１１察する方式のＩＩ察装置に
おいても、対物レンズの結像側における真の露光レーザ
ービームを観察することとなっていないので実際のガラ
ス原盤に対する露光状態と等しい条件で観察が行なわれ
ず正確性に欠け誤差が生じ易いという問題がある。

そこで本発明は、対物レンズの結像側における真の露光
レーザービームを良好にＷｔ察することができ、実際の
ガラス原盤に対する露光状態と等しい条件でｗｔ察を行
なうことによって露光レーザービームの位置、形状、大
きさなどを正確に調整することができるようにした光デ
ィスク原盤露光機を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため本発明は、ガラス原盤に対し対
物レンズを通して照射・鱈光されるレーザービームの照
射状態を監視するための観察装置を備えてなる光ディス
ク原盤露光機において、上記観察装置は、対物レンズの
結像側空間内であってかつ該観察装置と対物レンズとが
直接的に対向可能な位置に配置される構成を採用してい
る。

［作　　　用コ このような構成を備える手段において露光レーザービー
ムの監視を行なう場合には、観察装置が対物レンズの結
像側空間内であって対物レンズと直接的に対向されるよ
うに配置関係が調整され、対物レンズを通してガラス原
盤に照射・露光されるレーザービームの状態が観察装置
により直接的に監視されるようになっている。

［実　施　例］ 以下，本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
． 図には、ターンテーブル移動型の露光機に本発明を適用
した装置が示されている。図に示される実施例では、露
光用光源としてのアルゴンレーザー１から発せられるレ
ーザービームが図示を省略した各種の光学部品を通して
情報変調された上で露光光学系２に入射されるとともに
、この露光光学系２から露光用のレーザービームが照射
されるようになっている．露光光学系２のビーム出射部
すなわち図示下端部分には、露光用対物レンズ３が設け
られている。表面上にコンパ．クトディスクやビデオデ
ィスクなどのガラス原盤が載置されるターンテーブル４
は，ガラス原盤の半径方向すなわち図示左右水平方向に
往復移動されるように構成されている． 上記露光光学系２の直下部分には、露光光学系２から発
せられる露光レーザービームの照射状態を監視するため
の観察装ｌ！５が設置されている．このとき観察装！５
の入力部に設けられているレンズ６は、露光光学系２の
露光用対物レンズ３の直下部分である結像側空間内にお
いて露光用対物レンズ３に直接的に対向されるように配
置されており，露光光学系２の露光用対物レンズ３の光
軸とレンズ６の光軸とは一致されている。

上記ａ祭装置５は，一般的な拡大系を備えるもので良く
、入力部に設けられている上記レンズ６により物体が拡
大されるとともに、その拡大像が、レンズ６の直下部分
に設けられているレンズ７により結像され、さらにレン
ズ８を通して肉眼およびＩＴＶによってＣＲＴ上で像が
ａ察されるようになっている．レーザービームのスポッ
ト像は，観察装置５に刻設されている目盛板によりｗ１
察されるようになっている．またこのａｍ装置５は、露
光光学系２に対して進退するように図示上下方向に微動
調整可能に構成されており、露光光学系２の露光用対物
レンズ３から発せられる露光レーザービームの焦平面上
における状態および焦平面を外れた位置の状態がκＬ察
可能になされている。

このような実施例においては、露光光学系２０対物レン
ズ３を通して出射される露光レーザービームによって光
ディスクのガラス原盤にスパイラル状または同心円状に
グループピットが形成される．このとき対物レンズ３を
通してガラス原盤に照射・露光されるレーザービームの
照射状態すなわち露光レーザービームのスポットサイズ
や形状，複数ビーム方式ではビーム相対位置などが観察
装置５によって監視され、これにより所望のグループピ
ット形状が得られるようになっている。

露光レーザービームの監視を行なう場合には、図示のよ
うに、ターンテーブル４が露光光学系２からはずれる領
域に移動される。これにより露光光学系２の露光用対物
レンズ３の結像側空間内においてｗＡ察装［５の入力部
に設けられているレンズ６が露光用対物レンズ３に直接
的に対向され、露光光学系２の露光用対物レンズ３の光
軸とレンズ６の光軸とが直接的に一致される。そしてこ
の状態で，露光用対物レンズ３を通してガラス原盤に照
射・露光されるレーザービームの状態がｗＡ察装置５を
通して直接的に監視されることとなる．露光されるレー
ザービームの状態が直接的に監視されれば，露光用対物
レンズ３の結像側における真の露光レーザービームが反
射光の影響などを受けることなく観察され、実際のガラ
ス原盤に対する露光状態と等しい条件で観察が行なわれ
ることとなる。上記実施例装置によれば、２ビーム間の
距離０．８μｍを実現するための調整作業を肉眼で容易
に行なうことができた。

また光学系移動型の露光機に本発明を適用する場合には
、露光光学系２の全体が、ターンテーブル４の表面上に
載置されているコンパクトディスクやビデオディスクな
どのガラス原盤の半径方向すなわち図示左右水平方向に
往復移動されるように構成され、露光光学系２がガラス
原盤の外側の領域に移動されて例えばホームポジション
などの特定位置に位置決めされたときに露光光学系２に
ｌｌｔ察装置５が直接的に対向されることとなる。

［発明の効果］ 以上述べたように本発明は、露光光学系の対物レンズを
通してガラス原盤に照射・露光される真の露光レーザー
ビームの状態が直接的に監視されるように，露光光学系
の対物レンズの結像側空間内であって上記対物レンズに
直接的に対向可能となるように観察装置を配置すること
としたから、実際のガラス原盤に対する露光状態と等し
い条件でａｍを行なうことができ、これによって露光レ
ーザービームの位置，形状、大きさなどを正確に把握し
調整することができるとともに、反射光の影響をなくし
て良好な観察視界を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例における光ディスク原盤露光機の
構成を表わした模式的側面説明図である。 １・・・アルゴンレーザー露光用光源、２・・・露光光
学系、３・・・露光用対物レンズ、４・・・ターンテー
ブル、５・・・＊察装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ガラス原盤上に対物レンズを通して照射・露光されるレ
   ーザービームの照射状態を監視するための観察装置を備
   えてなる光ディスク原盤露光機において、 上記観察装置は、対物レンズの結像側空間内に配置され
   ているとともに、該観察装置と対物レンズとが直接的に
   対向可能な配置関係に構成されていることを特徴とする
   光ディスク原盤露光機。