JPH02234077A - リレーマトリックスの接地回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａ）発明の技術分野 この発明は、ＩＣなどの複数のデバイスに対し、複数の
ユニットからリレーマトリックスを介して試験用の電圧
・電流を加えるＩＣデスクにおいて、並列測定を精度よ
く測定するとともに、ピン数の多いデバイスを１個測定
する場合や、ビン数の少ないデバイスを並列接続して測
定する場合のリレーマトリックスの接地回路についての
ものである．（ｂ）従来技術と問題点 次に、第２図を参照して従来技術による構成を説明する
． 第２図の１０はリレーマトリックス、１１〜１４はユニ
ット、２１〜２４はデバイス、３１は接地線、４１〜８
０はリレーマトリックス１０内の配線である． ユニット１１〜Ｉ４からは、デバイス２１〜２４を測定
するための電圧・電流がデバイス２１〜２４に送られる
． リレーマトリックス１０は、図示を省略した制御回路で
リレーマトリックス１０内の接点を接断され、デバイス
２１〜２４に電圧・電流を供給する． デバイス２１〜２４の測定効率をあげるため、並列測定
が実施される．並列測定は、複数のユニットから複数の
デバイスに電圧・電流を供給し、？数のデバイスを同時
に測定するものである．第２図は並列測定の一例であり
、４個のデバイス２１〜２４に対して４個のユニット１
１〜１４から電圧・電流が供給されている． 第２図では、１本の接地線３１を使用しているため、デ
バイス２１〜２４間の接地電流Ｉ■〜Ｉ２４の差、リレ
ーコネクタの接触抵抗、電線４１〜８０の抵抗などによ
り、デバイス２１〜２４の接地電圧に差が出て、測定誤
差となる．次に、接地線によって電位差が起きる場合を
第３図を参照して説明する． 第３図は第２図の部分拡大図である． 第３図のリレーマトリックス１０には、ユニット１１・
１２による電圧・電流が配線４１〜６０の抵抗によって
誤差が起きないようセンスラインと、フォースラインが
ある． センスラインは、電圧の監視用であり、フォースライン
は電流供給用である． 第３図中、Ｓの記号はセンスラインを表し、Ｆの記号は
フォースラインを表す． ？地についても同じようにケルビン接続になっており、
センスラインは電流が流れないようにハイインピーダン
スになっている． 接地線もセンス・フォースで構成されているので、ユニ
ットの基準接地点はセンス・フォースのショートしてい
る点になる． 第３図のように、接地のセンスラインが１本で、接地の
センス・フォースのショート点が１か所でない場合は、
接地３２、接地３３のどちらを基準としているかが不明
になり、接地３２・３３間に電位差が起きることになる
． 通常、ユニット１１・１２からデバイス２１・２２まで
は、リレーマトリックス１０内の配線が１ｍ以上はあり
、またユニ′ット１１・１２内の電線抵抗やコネクタ・
リレーの接触抵抗など、ライン抵抗の合計は数百ｍΩ以
上になる． 例えば、第３図の場合、デバイス２１の接地３２とデバ
イス２２の接地３３との電位差は、工■ＸＲ，。−Ｉ２
！ＸＲ＆。になる．ここに、１２１はデバイス２１の接
地電流、１２２はデバイス２２のの接地電流、Ｒ５０は
デバイス２ｌの接地ラインの抵抗、Ｒ６。はデバイス２
２の接地ラインの抵抗である． ユニットｌ１・１２は、接地３２と接地３３との電位差
に対して、センスラインの抵抗Ｒ５１・Ｒ６１で分圧し
た電位を基準に動作するので、デバイス２１・２２とも
、加える電圧に誤差が起きることになる．この誤差は、
接地電流Ｉ２１・Ｉ２２、抵抗Ｒｓｏ−Ｒｉ。により違
うが、数百ｍＶになる場合がある． （Ｃ）発明の目的 この発明は、従来の接地線をデバイス単位で分け、分け
られた接地線を接断するスイッチを設け、デバイスを１
個測定する場合でも、並列測定をする場合でも、各ユニ
ットを高確度で使用できるリレーマトリックスの接地回
路を提供するものである． （ｄ）発明の実施例 次に、この発明による実施例の構成図を第１図に示す． 第１図の１〜４は基準接地、５〜８はスイッチであり、
その他の部分は第２図と同じである．第１図は、デバイ
ス２１〜２４にそれぞれ独立して接地できる基準接地１
〜４を設け、各基準接地１〜４を相互に分離できるスイ
ッチ５〜７を設けたものである． １１〜１４はデバイス２１〜２４に加える試験用の電圧
・電流を供給するユニットである．リレーマトリックス
１０内のリレーが動作すると、ユニット１１〜１４から
リレーマトリックス１０を介して電圧・電流がデバイス
２１〜２４に供給される． リレーマトリックス１０は、ケルビン接続になっている
． スイッチ５〜７は、デバイス２１〜２４を並列測定する
場合に、同時測定するデバイスの個数に合わせて接地線
を分割するスイッチである．スイッチ５〜７をすべて接
続すると２第２図と同じになり、ユニット１１〜１４の
すべてに同じ基準電位を供給することができる． スイッチ５とスイッチ７を接続し、スイッチ６を切ると
、デバイス２１・２２による基準電位をユニット１１・
１２に送り、デバイス２３・２４による基電位をユニッ
ト１３・１４に送ることができる． また、スイッチ５〜７を切断すると、第１図のように４
か所のデバイス２１〜２４のそれぞれの基準電位がユニ
ット１１〜１４にそれぞれ別々に送られるようになる． スイッチ５〜７の接断は、リレーマトリックス１０の接
点と同じく図示を省略した制御器の指令により制御され
る． スイッチ５〜７をデバイス単位で分割することができる
ので、デバイス単位の基準接地を各ユニットに接続する
ことができ、デバイス２１〜２４間の接地に差が起きて
も、各ユニットはそれぞれの基準接地で動作するので、
確度の高い測定をすることができる． スイッチ８は、並列測定のときに、どのデバイスにどの
ユニットを対応させるかを決める役割をするもので、ユ
ニット１１〜１４の接地線とデバイス２１〜２４の基準
接地１〜４とを接続させるためのものである． デバイス２１〜２４の接地線はそれぞれユニット１１〜
１４に接続されている． スイッチ８がなく、リレーマトリックス１０の配線が配
線６０までしかない場合は、ユニット１３・１４は並列
測定ができないことになる．スイッチ８の接続を変える
と、リレーマトリックス１０の配線が配線６０までしか
ない場合でも、ユニット１３・１４を並列に測定するこ
とができるようになる． （ｅ）発明の効果 この発明によれば、ユニットの電圧・電流をリレーマト
リックスを介してデバイスに加える場合、各デバイスに
基準接地線を設け、基準接地線を分離できるスイッチ５
〜８を配置しているので、並列測定を精度よく測定する
ことができるとともに、ピン数の多いデバイスを１個測
定する場合や、ビン数の少ないデバイスを並列接続して
測定することができる．

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による実施例の楕成図、第２図は従来
技術による構成図、第３図は第２図の部分拡大図である
． １〜４・・・・・・基準接地、５〜８・・・・・・スイ
ッチ、１０・・・・・・リレーマトリックス、１１〜・
１４・・・・・・ユニット、２１〜２４・・・・・・デ
バイス、３１〜３４・・・・・・接地、４１〜８０・・
・・・・配線．Δム、 代理人　　弁理士　　小　俣　欽　司 し−＋＋　　　　　　Ｊ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数のユニットからリレーマトリックスを介して試
   験用の電圧・電流を複数のデバイスに供給するＩＣテス
   タにおいて、 各デバイスごとに独立して接地する基準接 地を設け、各基準接地を相互に分離する第１のスイッチ
   を設けることを特徴とするリレーマトリックスの接地回
   路。 ２、各基準接地から複数のユニットに切り換えて接続す
   る第２のスイッチを設けた請求項１記載のリレーマトリ
   ックスの接地回路。