JPH02226514A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH02226514A JPH02226514A JP4497689A JP4497689A JPH02226514A JP H02226514 A JPH02226514 A JP H02226514A JP 4497689 A JP4497689 A JP 4497689A JP 4497689 A JP4497689 A JP 4497689A JP H02226514 A JPH02226514 A JP H02226514A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- alloy layer
- magnetic
- corrosion resistance
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 47
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 37
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 17
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 17
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 claims description 16
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 22
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 22
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 21
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract description 21
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 18
- 229910020630 Co Ni Inorganic materials 0.000 abstract description 17
- 229910002440 Co–Ni Inorganic materials 0.000 abstract description 17
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 15
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 47
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 10
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 9
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 6
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 229910020676 Co—N Inorganic materials 0.000 description 1
- 240000005979 Hordeum vulgare Species 0.000 description 1
- 235000007340 Hordeum vulgare Nutrition 0.000 description 1
- 241000270666 Testudines Species 0.000 description 1
- 238000010549 co-Evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、蒸着テープ等のように強磁性金属薄膜を磁性
層とする。いわゆる薄膜型の磁気記録媒体に関するもの
である。
層とする。いわゆる薄膜型の磁気記録媒体に関するもの
である。
本発明は、強磁性金属薄膜を磁性層とする磁気記録媒体
において、前記強磁性金属薄膜を少なくともＣＯの蒸着
膜よりなる下層とＣｏ−Ｎｉ合金よりなる最上層とを有
する積層構造とすることにより、耐蝕性と電磁変換特性
の双方を向上しようとするものである。
において、前記強磁性金属薄膜を少なくともＣＯの蒸着
膜よりなる下層とＣｏ−Ｎｉ合金よりなる最上層とを有
する積層構造とすることにより、耐蝕性と電磁変換特性
の双方を向上しようとするものである。
蒸着テープ等の薄膜型の磁気記録媒体は、磁気特性、電
磁変換特性等の点で従来広く用いられている塗布型の磁
気記録媒体を大幅に上回り、高密度記録用の磁気記録媒
体としての用途が期待されている０例えば、ビデオテー
プレコーダ（ＶＴＲ）の分野では、いわゆる８ミリＶＴ
Ｒにおける輝度信号のＦＭ搬送波の周波数帯域は７ＭＨ
ｚにもなろうとしており、これに対応可能な磁気テープ
として蒸着テープが実用段階にある。
磁変換特性等の点で従来広く用いられている塗布型の磁
気記録媒体を大幅に上回り、高密度記録用の磁気記録媒
体としての用途が期待されている０例えば、ビデオテー
プレコーダ（ＶＴＲ）の分野では、いわゆる８ミリＶＴ
Ｒにおける輝度信号のＦＭ搬送波の周波数帯域は７ＭＨ
ｚにもなろうとしており、これに対応可能な磁気テープ
として蒸着テープが実用段階にある。
ところで、このＥｌ膜型の磁気記録媒体では、磁性層が
強磁性金属薄膜を蒸着等の方法で非磁性支持体表面に直
接被着することにより形成され、前記強磁性金属薄膜の
選択が特性を、左右する大きな要因となっている。
強磁性金属薄膜を蒸着等の方法で非磁性支持体表面に直
接被着することにより形成され、前記強磁性金属薄膜の
選択が特性を、左右する大きな要因となっている。
例えば、磁気特性、電磁変換特性の点からは、Ｃｏのみ
を単層蒸着、あるいは多層蒸着することで強磁性金属薄
膜を成膜するのが有利であるが、このＣｏの蒸着膜は耐
蝕性に劣り、錆の発生やそれによる磁気特性の劣化が問
題となる。
を単層蒸着、あるいは多層蒸着することで強磁性金属薄
膜を成膜するのが有利であるが、このＣｏの蒸着膜は耐
蝕性に劣り、錆の発生やそれによる磁気特性の劣化が問
題となる。
逆に、耐蝕性を考慮して、ＣＯに何等かの金属元素を加
えた合金（例えばＣｏ−Ｎｉ合金）の単層蒸着膜、ある
いは多層蒸着膜とすると、電磁変換特性の落ち込みが問
題となる。
えた合金（例えばＣｏ−Ｎｉ合金）の単層蒸着膜、ある
いは多層蒸着膜とすると、電磁変換特性の落ち込みが問
題となる。
このように、これまでの技術では電磁変換特性と耐蝕性
の両立は難しく、何れか一方を犠牲にしているのが実情
である０通常は、実用性を重視して耐蝕性の確保が第一
とされ、前述のＣｏ−Ｎｉ合金等が多用されている。
の両立は難しく、何れか一方を犠牲にしているのが実情
である０通常は、実用性を重視して耐蝕性の確保が第一
とされ、前述のＣｏ−Ｎｉ合金等が多用されている。
そこで本発明は、前述の従来の実情に鑑みて提案された
ものであって、耐蝕性と電磁変換特性の両者共に優れた
磁気記録媒体を提供することを目的とする。
ものであって、耐蝕性と電磁変換特性の両者共に優れた
磁気記録媒体を提供することを目的とする。
本発明者等は、前述の目的を達成せんものと鋭意検討を
重ねた結果、磁性層となる強磁性金属薄膜をＣＯの蒸着
膜を主体として構成し、表面にのみＣｏ−Ｎｉ合金層を
形成すれば、Ｃｏの持つ電磁変換特性の長さとＣｏ−Ｎ
ｉ合金のもつ耐蝕性の良さを併せ持った磁気記録媒体を
作成することができるとの結論を得て本発明を完成する
に至った。
重ねた結果、磁性層となる強磁性金属薄膜をＣＯの蒸着
膜を主体として構成し、表面にのみＣｏ−Ｎｉ合金層を
形成すれば、Ｃｏの持つ電磁変換特性の長さとＣｏ−Ｎ
ｉ合金のもつ耐蝕性の良さを併せ持った磁気記録媒体を
作成することができるとの結論を得て本発明を完成する
に至った。
すなわち本発明の磁気記録媒体は、非磁性支持体上に強
磁性金属薄膜が磁性層として形成されてなる磁気記録媒
体であって、前記強磁性金属薄膜がＣｏの蒸着膜を主体
とし表面にＣｏ−Ｎｉ合金層を有することを特徴とする
ものである。
磁性金属薄膜が磁性層として形成されてなる磁気記録媒
体であって、前記強磁性金属薄膜がＣｏの蒸着膜を主体
とし表面にＣｏ−Ｎｉ合金層を有することを特徴とする
ものである。
したがって、その構成としては、第１図に示すように、
非磁性支持体（１）上にＣｏ蒸着膜（２）とＣｏ−Ｎｉ
合金層（３）とを順次成膜したものが挙げられる。
非磁性支持体（１）上にＣｏ蒸着膜（２）とＣｏ−Ｎｉ
合金層（３）とを順次成膜したものが挙げられる。
あるいは、第２図に示すように、Ｃｏ蒸着膜（２）とＣ
ｏ−Ｎｉ合金層（３）との間に磁気特性的にもこれらの
中間状態にある中間層（４）が形成されていてもよい。
ｏ−Ｎｉ合金層（３）との間に磁気特性的にもこれらの
中間状態にある中間層（４）が形成されていてもよい。
Ｃｏの蒸着膜は、純粋なＣｏ （１００％ＣＯ；ただし
若干の不純物を含んでいても可、積極的に他９金属との
合金としていないの意。）を真空蒸着することにより形
成されるもので、蒸着に際しては、その磁気特性を向上
するために雰囲気中に酸素が導入され膜中に適当量の酸
素が取り込まれていてもよい。
若干の不純物を含んでいても可、積極的に他９金属との
合金としていないの意。）を真空蒸着することにより形
成されるもので、蒸着に際しては、その磁気特性を向上
するために雰囲気中に酸素が導入され膜中に適当量の酸
素が取り込まれていてもよい。
一方、Ｃｏ−Ｎｉ合金層は、耐蝕性を確保するために設
けられるものであるが、その磁気特性も重要であって、
その組成としてはＣｏ６０〜９０重量％であることが好
ましい、ここでＣｏの含有量が６０重量％未満であると
、Ｃｏ−Ｎｉ合金層の磁気特性が不足し、電磁変換特性
の低下をもたらすことになる。逆に、ＣＯの含有量が９
０重量％を越えると、耐蝕性の確保が難しくなる。この
Ｃｏ−Ｎｉ合金層についても、先のＣｏ蒸着膜と同様蒸
着に際して酸素が導入されてもよい。
けられるものであるが、その磁気特性も重要であって、
その組成としてはＣｏ６０〜９０重量％であることが好
ましい、ここでＣｏの含有量が６０重量％未満であると
、Ｃｏ−Ｎｉ合金層の磁気特性が不足し、電磁変換特性
の低下をもたらすことになる。逆に、ＣＯの含有量が９
０重量％を越えると、耐蝕性の確保が難しくなる。この
Ｃｏ−Ｎｉ合金層についても、先のＣｏ蒸着膜と同様蒸
着に際して酸素が導入されてもよい。
なお、第２図に示すように、Ｃｏ蒸着膜とＣ０−Ｎｉ合
金層との間に中間層を設ける場合には、この中間層のＣ
ｏ含有量は８０重景％以上とすることが好ましい、Ｃｏ
の含有量がこれを下回ると電磁変換特性に支障をきたす
虞れがある。
金層との間に中間層を設ける場合には、この中間層のＣ
ｏ含有量は８０重景％以上とすることが好ましい、Ｃｏ
の含有量がこれを下回ると電磁変換特性に支障をきたす
虞れがある。
上述の各層の膜厚であるが、Ｃｏ蒸着膜は５００〜３０
００人（中間層を設けた場合にはＣｏ蒸着膜と中間層を
合わせた膜厚が１０００〜３０００人）、Ｃｏ−Ｎｉ合
金層は耐蝕性を考慮して１００Å以上、全厚１０００〜
３５００人とする。なお、Ｃｏ−Ｎｉ合金層の膜厚の上
限は記録波長λによって異なり、例えば８ミリＶＴＲで
はλ／４（実質的に信号が記録される磁性層の厚みに相
当する。）がおよそ１９００人であることから、この場
合には上限を５００人とすることが好ましい。
００人（中間層を設けた場合にはＣｏ蒸着膜と中間層を
合わせた膜厚が１０００〜３０００人）、Ｃｏ−Ｎｉ合
金層は耐蝕性を考慮して１００Å以上、全厚１０００〜
３５００人とする。なお、Ｃｏ−Ｎｉ合金層の膜厚の上
限は記録波長λによって異なり、例えば８ミリＶＴＲで
はλ／４（実質的に信号が記録される磁性層の厚みに相
当する。）がおよそ１９００人であることから、この場
合には上限を５００人とすることが好ましい。
また、上述の各層は、真空蒸着法により形成され、加熱
手段を選択することで例えば抵抗加熱蒸着、誘導加熱蒸
着、電子ビーム蒸着、イオンビーム蒸着、イオンブレー
ティング、レーザービーム蒸着、アーク放電蒸着等が実
施可能である。特に、蒸着速度を速いものとするために
は電子ビーム蒸着やイオンブレーティング等が適してお
り、さらに操作性、量産性等の工業的観点からは電子ビ
ーム蒸着が最も適している。
手段を選択することで例えば抵抗加熱蒸着、誘導加熱蒸
着、電子ビーム蒸着、イオンビーム蒸着、イオンブレー
ティング、レーザービーム蒸着、アーク放電蒸着等が実
施可能である。特に、蒸着速度を速いものとするために
は電子ビーム蒸着やイオンブレーティング等が適してお
り、さらに操作性、量産性等の工業的観点からは電子ビ
ーム蒸着が最も適している。
蒸着に際しては、斜め蒸着、垂直蒸着のいずれであって
もよいが、通常は斜め蒸着とされる。
もよいが、通常は斜め蒸着とされる。
これら各層よりなる強磁性金属薄膜が形成される非磁性
支持体には、高分子フィルムや剛性プラスチック基板、
ＡｆｆｉやＡ１合金等よりなる金属板。
支持体には、高分子フィルムや剛性プラスチック基板、
ＡｆｆｉやＡ１合金等よりなる金属板。
ガラス板等、通常の磁気記録媒体で使用されるものがい
ずれも使用可能であり、その形態もシート状、テープ状
、ディスク状、カード状、ドラム状等、用途に応じて任
意に選定することができる。
ずれも使用可能であり、その形態もシート状、テープ状
、ディスク状、カード状、ドラム状等、用途に応じて任
意に選定することができる。
また、強磁性金属薄膜の表面には、これまでの薄膜型の
磁気記録媒体と同様、潤滑剤、防錆剤等の各種保護膜が
形成されていてもよい。
磁気記録媒体と同様、潤滑剤、防錆剤等の各種保護膜が
形成されていてもよい。
本発明の磁気記録媒体において、Ｃｏの蒸着膜は主とし
て磁気特性、！磁変換特性を確保する役割を果たし、Ｃ
ｏ−Ｎｉ合金層は耐蝕性を確保する役割を果たす。ここ
で、Ｃｏ−Ｎｉ合金層もある程度の磁気特性を兼ね備え
ているので、スペーシングの問題もなく、両者の良さが
いかんなく発揮され、耐蝕性と電磁変換特性が両立され
る。
て磁気特性、！磁変換特性を確保する役割を果たし、Ｃ
ｏ−Ｎｉ合金層は耐蝕性を確保する役割を果たす。ここ
で、Ｃｏ−Ｎｉ合金層もある程度の磁気特性を兼ね備え
ているので、スペーシングの問題もなく、両者の良さが
いかんなく発揮され、耐蝕性と電磁変換特性が両立され
る。
〔実施例］
以下、本発明を適用した具体的な実施例について説明す
る。
る。
スＩＬ上
Ｃｏを蒸着源としてポリエチレンテレフタレートフ・イ
ルム上にＣｏ蒸着膜を成膜し、その後Ｃ。
ルム上にＣｏ蒸着膜を成膜し、その後Ｃ。
−Ｎｉ合金（Ｃｏ含有量８０重量％、Ｎｉ含有量２０重
量％）を蒸着源としてＣｏ−Ｎｉ合金層を成膜した。
量％）を蒸着源としてＣｏ−Ｎｉ合金層を成膜した。
ポリエチレンテレフタレートフィルムは１５０１Ｉｌ１
幅とし、蒸着に際しては３５０ｎｆ／分の割合で雰囲気
中に酸素を導入し、加熱手段は電子ビーム加熱。
幅とし、蒸着に際しては３５０ｎｆ／分の割合で雰囲気
中に酸素を導入し、加熱手段は電子ビーム加熱。
最低入射角５０°の斜め蒸着とした。
Ｃｏ蒸着膜の膜厚は１８００人、Ｃｏ−Ｎｉ合金層の膜
厚は２００人であり、斜め蒸着の向きは同じである。
厚は２００人であり、斜め蒸着の向きは同じである。
スＷ
Ｃｏ蒸着膜とＧｏ−Ｎｉ合金層の斜め蒸着の向きを互い
に反対となるようにし、他は実施例１に準じてサンプル
テープを作成した。
に反対となるようにし、他は実施例１に準じてサンプル
テープを作成した。
スＷ
Ｃｏ蒸着膜を斜め蒸着の向きが互いに反対の蒸着膜より
なる２層構造とし、他は実施例１に準じてサンプルテー
プを作成した。なお、Ｃｏ蒸着膜を構成する各斜め蒸：
ｉ！膜の膜厚は、下層が１０００人、上層が５００人で
あり、Ｃｏ−Ｎｉ合金層の膜厚は３００人である。
なる２層構造とし、他は実施例１に準じてサンプルテー
プを作成した。なお、Ｃｏ蒸着膜を構成する各斜め蒸：
ｉ！膜の膜厚は、下層が１０００人、上層が５００人で
あり、Ｃｏ−Ｎｉ合金層の膜厚は３００人である。
１１１例」−
Ｃｏ−Ｎｉ合金のＣＯ含有量を６０重量％。
Ｎｉ含有量を４０重量％とじ、Ｃｏ蒸着膜の膜厚を１５
００人、Ｃｏ−Ｎｉ合金層の膜厚を５００人とした他は
、実施例１に準じてサンプルテープを作成した。
００人、Ｃｏ−Ｎｉ合金層の膜厚を５００人とした他は
、実施例１に準じてサンプルテープを作成した。
スｍ
Ｃｏ蒸着膜を斜め蒸着の向きが同じ蒸着膜よりなる２層
構造とし、他は実施例１に準じてサンプルテープを作成
した。なお、Ｃｏ蒸着膜を構成する各斜め蒸着膜の膜厚
は、それぞれ９００人である。
構造とし、他は実施例１に準じてサンプルテープを作成
した。なお、Ｃｏ蒸着膜を構成する各斜め蒸着膜の膜厚
は、それぞれ９００人である。
止較拠土
Ｃｏを蒸着源としてポリエチレンテレフタレートフィル
ム上に膜厚２０００人のＣｏ蒸着膜を成膜し、サンプル
テープとした。
ム上に膜厚２０００人のＣｏ蒸着膜を成膜し、サンプル
テープとした。
此ＪｌｆＬ亀
Ｃｏ−Ｎｉ合金（Ｃｏ含有量８０重量％、Ｎｉ含有量２
０重量％）を蒸着源としてポリエチレンテレフタレート
フィルム上に膜厚２０００人のＣ。
０重量％）を蒸着源としてポリエチレンテレフタレート
フィルム上に膜厚２０００人のＣ。
Ｎｉ合金層を成膜し、サンプルテープとした。
得られた各サンプルテープについて、耐蝕性並びに電磁
変換特性を調べた。耐蝕性は、６０℃。
変換特性を調べた。耐蝕性は、６０℃。
相対湿度９５％下に６日間放置した後の磁束の減少率（
Δφ）を測定することで評価した。すなわち、放置後の
磁束の減少率が大きいと耐蝕性が悪いということになる
。また、電磁変換特性は、相対スピード３．５ｍ／秒で
の５ＭＨｚの信号の出力値を現行のメタルテープを基準
（ＯｄＢ）として測定し、その相対値で評価した。結果
を大麦に示す。
Δφ）を測定することで評価した。すなわち、放置後の
磁束の減少率が大きいと耐蝕性が悪いということになる
。また、電磁変換特性は、相対スピード３．５ｍ／秒で
の５ＭＨｚの信号の出力値を現行のメタルテープを基準
（ＯｄＢ）として測定し、その相対値で評価した。結果
を大麦に示す。
表
この表を見ても明らかなとおり、本発明を適用した各実
施例は耐蝕性、電磁変換特性のいずれも優れた値となっ
ている。これに対して、Ｃｏ蒸着膜のみを設けた比較例
１では、電磁変換特性は良好であるものの、Δφの落ち
込みがひどく、耐蝕性に劣っていることがかわる。逆に
Ｃｏ−Ｎｉ合金層のみを設けた比較例２では、電磁変換
特性が不足している。
施例は耐蝕性、電磁変換特性のいずれも優れた値となっ
ている。これに対して、Ｃｏ蒸着膜のみを設けた比較例
１では、電磁変換特性は良好であるものの、Δφの落ち
込みがひどく、耐蝕性に劣っていることがかわる。逆に
Ｃｏ−Ｎｉ合金層のみを設けた比較例２では、電磁変換
特性が不足している。
以上の説明からも明らかなように、本発明においては強
磁性金属薄膜の主体をＣｏの蒸着膜とし、表面近傍にＣ
ｏ−Ｎｉ合金層を設けているので、Ｃｏの蒸着膜のもつ
電磁変換特性の良さと、Ｃ。
磁性金属薄膜の主体をＣｏの蒸着膜とし、表面近傍にＣ
ｏ−Ｎｉ合金層を設けているので、Ｃｏの蒸着膜のもつ
電磁変換特性の良さと、Ｃ。
Ｎｉ合金層のもつ耐蝕性の良さとを併せもった磁気記録
媒体を提供することが可能である。
媒体を提供することが可能である。
第１図は本発明を適用した磁気記録媒体の構成例を示す
要部概略断面図であり、第２図は本発明を適用した磁気
記録媒体の他の構成例を示す要部概略断面図である。 １・・・非磁性支持体 ２・・・Ｃｏ蒸着膜 ３・・・Ｃｏ−Ｎｉ合金層 特許出願人 ソニー株式会社 代理人 弁理士 小池 晃 同 円相 榮− 同 佐藤 勝 第２図
要部概略断面図であり、第２図は本発明を適用した磁気
記録媒体の他の構成例を示す要部概略断面図である。 １・・・非磁性支持体 ２・・・Ｃｏ蒸着膜 ３・・・Ｃｏ−Ｎｉ合金層 特許出願人 ソニー株式会社 代理人 弁理士 小池 晃 同 円相 榮− 同 佐藤 勝 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 非磁性支持体上に強磁性金属薄膜が磁性層として形成さ
れてなる磁気記録媒体であって、 前記強磁性金属薄膜がＣｏの蒸着膜を主体とし表面にＣ
ｏ−Ｎｉ合金層を有することを特徴とする磁気記録媒体
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4497689A JPH02226514A (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4497689A JPH02226514A (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02226514A true JPH02226514A (ja) | 1990-09-10 |
Family
ID=12706502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4497689A Pending JPH02226514A (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02226514A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0661694A2 (en) * | 1993-12-28 | 1995-07-05 | TDK Corporation | Magnetic recording medium |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6460813A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-07 | Sony Corp | Magnetic recording medium |
-
1989
- 1989-02-23 JP JP4497689A patent/JPH02226514A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6460813A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-07 | Sony Corp | Magnetic recording medium |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0661694A2 (en) * | 1993-12-28 | 1995-07-05 | TDK Corporation | Magnetic recording medium |
| EP0661694A3 (en) * | 1993-12-28 | 1996-09-18 | Tdk Corp | Magnetic record carrier. |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0053811B1 (en) | Magnetic recording media | |
| US4521481A (en) | Magnetic recording medium | |
| US4594296A (en) | Magnetic recording medium | |
| KR940009728B1 (ko) | 자기 기록매체 | |
| US4536443A (en) | Magnetic recording medium | |
| US4548871A (en) | Magnetic recording medium | |
| JPS5968815A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH02226514A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS5883327A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| US4661421A (en) | Method for preparing a magnetic recording medium | |
| JP3093818B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0462163B2 (ja) | ||
| JPH0468381B2 (ja) | ||
| JP3167128B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6313256B2 (ja) | ||
| JPH0321966B2 (ja) | ||
| JPS60113318A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0485716A (ja) | 磁気ヘッド用磁性薄膜 | |
| JPH08306028A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH01143312A (ja) | 非晶質軟磁性積層膜 | |
| JPH0213370B2 (ja) | ||
| JPS59203223A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH0323968B2 (ja) | ||
| JPH0559571B2 (ja) | ||
| JPH0457213A (ja) | 磁気記録媒体 |