JPH02224955A - コンベックス研磨加工装置 - Google Patents
コンベックス研磨加工装置Info
- Publication number
- JPH02224955A JPH02224955A JP4785689A JP4785689A JPH02224955A JP H02224955 A JPH02224955 A JP H02224955A JP 4785689 A JP4785689 A JP 4785689A JP 4785689 A JP4785689 A JP 4785689A JP H02224955 A JPH02224955 A JP H02224955A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gear
- carrier
- driving shaft
- drive shaft
- polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 abstract description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は、水晶片等の研磨加工物を凸レンズ状に研磨加
工するコンベックス研磨加工装置に関する。
工するコンベックス研磨加工装置に関する。
（発明の技術的背景とその問題点）
たとえば、厚み振動系の水晶振動子では、原石を結晶軸
に対して所定角度に切断した後、表面層の加工傷、加工
歪を除去するとともに所望の共振周波数を得るように所
定の厚みまで研磨し、さらに振動を板面の中央部に閉じ
込めるために端部の角隅を直線状に切除するベベル加工
、板面をレンズ状の曲面に加工するコンベックス加工を
施すようにしている。
に対して所定角度に切断した後、表面層の加工傷、加工
歪を除去するとともに所望の共振周波数を得るように所
定の厚みまで研磨し、さらに振動を板面の中央部に閉じ
込めるために端部の角隅を直線状に切除するベベル加工
、板面をレンズ状の曲面に加工するコンベックス加工を
施すようにしている。
しかしてコンベックス加工を行う場合は、たとえば第３
図に示すように、球面状の内壁を有するアール（Ｒ）皿
１を回転させつつ研磨加工物である水晶片２を指で押え
、あるいは治具３にパラフィン等で貼つけてアール皿１
の周縁と中心との間を放射方向に往復運動させて加工す
るようにしている。なおこの場合、研磨材を適量の水と
混合して適下するようにしている。
図に示すように、球面状の内壁を有するアール（Ｒ）皿
１を回転させつつ研磨加工物である水晶片２を指で押え
、あるいは治具３にパラフィン等で貼つけてアール皿１
の周縁と中心との間を放射方向に往復運動させて加工す
るようにしている。なおこの場合、研磨材を適量の水と
混合して適下するようにしている。
しかしながら、このようなものでは、水晶片２を１枚ず
つ加工することになり、生産性が低く、品質のムラを生
じコストの上昇する原因となっていた。
つ加工することになり、生産性が低く、品質のムラを生
じコストの上昇する原因となっていた。
（発明の目的）
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、コンベ
ックス加工を自動的に行え生産性が高く品質のムラの少
ない水晶振動子のコンベックス加工装置を提供すること
を目的とするものである。
ックス加工を自動的に行え生産性が高く品質のムラの少
ない水晶振動子のコンベックス加工装置を提供すること
を目的とするものである。
（発明の概要）
本発明は、
内周壁を球面に形成したアール皿の周縁部に外周歯車を
形成し、この球面の中心からの延長方向へ外側壁から第
１の駆動軸を延在し、−Ｅ記アール皿の球面側の上記第
１の駆動軸の延長上に第２の駆動軸を設けて、この第２
の駆動軸の先端部に上記アール皿の内周面に対面して中
心歯車を設け、外周縁に歯車を形成して上記外周歯車お
よび中心歯車の双方に歯合するとともに上記アール冊の
内周壁に摺接して遊星運動するキャリアを設け、このキ
ャリアに保持孔を設けて研磨すべき圧電片を貼合わせ治
具に貼着して挿入して研磨することを特徴とするもので
ある。
形成し、この球面の中心からの延長方向へ外側壁から第
１の駆動軸を延在し、−Ｅ記アール皿の球面側の上記第
１の駆動軸の延長上に第２の駆動軸を設けて、この第２
の駆動軸の先端部に上記アール皿の内周面に対面して中
心歯車を設け、外周縁に歯車を形成して上記外周歯車お
よび中心歯車の双方に歯合するとともに上記アール冊の
内周壁に摺接して遊星運動するキャリアを設け、このキ
ャリアに保持孔を設けて研磨すべき圧電片を貼合わせ治
具に貼着して挿入して研磨することを特徴とするもので
ある。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を、第１図に示す要部の斜視図
および第２図に示す断面図を参照して詳細に説明する。
および第２図に示す断面図を参照して詳細に説明する。
なお第３図と同一部材には同一符号を付与してその説明
を省略する。
を省略する。
図中１はアール皿て、内周壁を球面に成形し、周縁部に
外周歯車１１を形成するとともに、この球面の中心から
外方向へ外側壁から延在する駆動軸１２を設けて回転駆
動するようにしている。
外周歯車１１を形成するとともに、この球面の中心から
外方向へ外側壁から延在する駆動軸１２を設けて回転駆
動するようにしている。
そして、上記アール皿１０球面側の上記第１の駆動軸１
２の延長上に第２の駆動軸１３を設けている。そして、
この第２の駆動軸１３の先端部に上記アール皿１の内周
壁に対面して中心歯車１４を設けている。
２の延長上に第２の駆動軸１３を設けている。そして、
この第２の駆動軸１３の先端部に上記アール皿１の内周
壁に対面して中心歯車１４を設けている。
そして、外周縁に歯車を形成した複数のキャリア１５を
上記外周歯車１１および中心歯車１４の双方に歯合させ
て遊星運動をさせるようにしている。
上記外周歯車１１および中心歯車１４の双方に歯合させ
て遊星運動をさせるようにしている。
このキャリア１５は貼合わせ治具１６に貼着した圧電片
２を挿入する複数の保持孔１７を穿設し、上記圧電片２
を貼合わせ治具１６の重さで押圧して研磨を行うように
している。
２を挿入する複数の保持孔１７を穿設し、上記圧電片２
を貼合わせ治具１６の重さで押圧して研磨を行うように
している。
なお上記キャリア１５の前面は上記アール皿１の内周壁
の球面に対応する球面に形成している。
の球面に対応する球面に形成している。
なお上記貼合わせ治具１６の重さでは重量が不足する場
合は、たとえば保持板１８に上記キャリア１５の保持孔
１７に対応して複数の錘１９を弾性的に突設して上記貼
合わせ治具１６の上に載置するようにしてもよい。
合は、たとえば保持板１８に上記キャリア１５の保持孔
１７に対応して複数の錘１９を弾性的に突設して上記貼
合わせ治具１６の上に載置するようにしてもよい。
このような構成であれば、コンベックス加工を行う場合
、貼合わせ治具１６の前面に研磨加工物２、たとえは水
晶片をパラフィン等で貼着けて、それぞれキャリア１５
の保持孔１７に挿入する。
、貼合わせ治具１６の前面に研磨加工物２、たとえは水
晶片をパラフィン等で貼着けて、それぞれキャリア１５
の保持孔１７に挿入する。
そして、研磨材を水に溶いて適下しつつアール皿１の外
側の第１の駆動軸１２および中心歯車１４を有する第２
の駆動軸１３を回転駆動する。
側の第１の駆動軸１２および中心歯車１４を有する第２
の駆動軸１３を回転駆動する。
このようにすれば、キャリア１５は遊星運動を行い、す
なわち自転しつつ中心歯車１４の回りを公転して圧電片
２の前面をアール皿１の内周壁の球面にならった球面に
研磨加工し、すなわちコンベックス研磨を施すことがで
きる。
なわち自転しつつ中心歯車１４の回りを公転して圧電片
２の前面をアール皿１の内周壁の球面にならった球面に
研磨加工し、すなわちコンベックス研磨を施すことがで
きる。
したがって、手作業で研磨を行う場合に比して多数の圧
電片を一括して研磨することができ、生産性が良好で品
質の均一化を図ることができる。
電片を一括して研磨することができ、生産性が良好で品
質の均一化を図ることができる。
（発明の効果）
以上詳述したように、本発明によればコンベックス加工
を自動的に行え生産性を著しく向上し、しかも品質のム
ラの少ないコンベックス研磨加工装置を提供することが
できる。
を自動的に行え生産性を著しく向上し、しかも品質のム
ラの少ないコンベックス研磨加工装置を提供することが
できる。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は第１
図に示す装置の側断面図、第３図は従来の研磨作業に用
いたアール皿の斜視図である。 ｌ・・φ１１φアール皿 ２・・・・・研磨加工物 １１・・・・・外周歯車 １２・・・・・第１の駆動軸 １３・・・・・第２の駆動軸 １４・・・・・中心歯車 １５・・・・・キャリア １６・・・・・貼合わせ治具 １７・・・・・保持孔
図に示す装置の側断面図、第３図は従来の研磨作業に用
いたアール皿の斜視図である。 ｌ・・φ１１φアール皿 ２・・・・・研磨加工物 １１・・・・・外周歯車 １２・・・・・第１の駆動軸 １３・・・・・第２の駆動軸 １４・・・・・中心歯車 １５・・・・・キャリア １６・・・・・貼合わせ治具 １７・・・・・保持孔
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 内周壁を球面に形成し周縁部に外周歯車を形成したアー
ル皿と、 このアール皿の球面の中心からの延長方向へ外側壁から
延在する第１の駆動軸と、 上記アール皿の球面側の上記第１の駆動軸の延長上に設
けた第２の駆動軸と、 この第２の駆動軸の先端部に上記アール皿の内周壁に対
面して設けた中心歯車と、 外周縁に歯車を形成して上記外周歯車および中心歯車の
双方に歯合するとともに上記アール皿の内周壁に摺接し
て遊星運動するキャリアと、このキャリアに設けた研磨
すべき圧電片を挿入する保持孔と、 を具備することを特徴とするコンベックス研磨加工装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4785689A JPH02224955A (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | コンベックス研磨加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4785689A JPH02224955A (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | コンベックス研磨加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02224955A true JPH02224955A (ja) | 1990-09-06 |
Family
ID=12787013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4785689A Pending JPH02224955A (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | コンベックス研磨加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02224955A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006286927A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶部品のべべリング加工方法 |
-
1989
- 1989-02-28 JP JP4785689A patent/JPH02224955A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006286927A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶部品のべべリング加工方法 |
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