JPH02214463A - リニアモータを用いた空気浮上搬送装置における搬送路 - Google Patents
リニアモータを用いた空気浮上搬送装置における搬送路Info
- Publication number
- JPH02214463A JPH02214463A JP1032407A JP3240789A JPH02214463A JP H02214463 A JPH02214463 A JP H02214463A JP 1032407 A JP1032407 A JP 1032407A JP 3240789 A JP3240789 A JP 3240789A JP H02214463 A JPH02214463 A JP H02214463A
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- JP
- Japan
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- linear motor
- plate
- conveyance
- conduit
- conveying passage
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- 238000005339 levitation Methods 0.000 title claims 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 abstract description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 abstract description 4
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Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はリニアモータにより搬送台を加減速する空気浮
上搬送装置の搬送路において、該搬送路内に設置したリ
ニアモータ固定子上部を覆板にて覆い、リニアモータの
推力を有効に利用するようになした搬送路に間するもの
である。
上搬送装置の搬送路において、該搬送路内に設置したリ
ニアモータ固定子上部を覆板にて覆い、リニアモータの
推力を有効に利用するようになした搬送路に間するもの
である。
近年、ＬＳＩ等の半導体製造工場ならびに医薬品製造工
場などクリーンルームにおけるファクトリ−オートメー
ション化には発塵のない搬送装置が要請されている。
場などクリーンルームにおけるファクトリ−オートメー
ション化には発塵のない搬送装置が要請されている。
この要請に合致した無塵搬送装置としては、特開昭５９
−１２４６２３号公報に記載のものがある。この搬送装
置は、回転部分のないリニアモータを駆動装置に使用し
、さらに搬送台を空気浮上させることにより、全ての機
械的摩擦を排除したもので、上記の目的に合致している
。
−１２４６２３号公報に記載のものがある。この搬送装
置は、回転部分のないリニアモータを駆動装置に使用し
、さらに搬送台を空気浮上させることにより、全ての機
械的摩擦を排除したもので、上記の目的に合致している
。
しかしリニアモータは効率を高める為、搬送台との距離
を極力近づけることが望まし、く、この為に搬送路に上
面は切欠部を設けているが、搬送路の気密を保持し、ク
リーン度を維持するためステンレス又は合成樹脂等非磁
性体でリニアモータ上部を覆う覆板が取り付けられてい
るが、この覆板をビス止めして搬送路に固定している。
を極力近づけることが望まし、く、この為に搬送路に上
面は切欠部を設けているが、搬送路の気密を保持し、ク
リーン度を維持するためステンレス又は合成樹脂等非磁
性体でリニアモータ上部を覆う覆板が取り付けられてい
るが、この覆板をビス止めして搬送路に固定している。
搬送路内に設置したリニアモータ上部を覆う覆板は皿ビ
スにより止めているが、その構造上板厚を薄くするには
限度がある。リニアモータはリアクションプレートとの
間隔が狭い程、リニアモータの発生する推力を効率よく
利用できる。しかし従来のように覆板をビス止めしたの
では、リニアモータ、リアクシコンプレート間を一定以
上小さくすることができない。
スにより止めているが、その構造上板厚を薄くするには
限度がある。リニアモータはリアクションプレートとの
間隔が狭い程、リニアモータの発生する推力を効率よく
利用できる。しかし従来のように覆板をビス止めしたの
では、リニアモータ、リアクシコンプレート間を一定以
上小さくすることができない。
本発明は以上の点に鑑みて覆板をビス止めすることなく
挿し込み式で係止し、これにより搬送路内に設置したリ
ニアモータの性能を効果的に発揮するようにした搬送路
の構造を提供することを目的とする。
挿し込み式で係止し、これにより搬送路内に設置したリ
ニアモータの性能を効果的に発揮するようにした搬送路
の構造を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するための搬送路のリニアモータ固定
子上部を非磁性体の薄板で覆い、かつこの覆板を搬送路
の内側面に形成した係止溝に端面より長手方向に挿入係
止してリニアモータ固定子上部とリアクションプレート
との間隔を極めて小となるように覆板を設ける構成にし
、又エアの供給ダクトを分離し該覆板に圧力をかけない
ようにした。なお覆板の非磁性体材料としてはステンレ
ス又は合成樹脂等がある。
子上部を非磁性体の薄板で覆い、かつこの覆板を搬送路
の内側面に形成した係止溝に端面より長手方向に挿入係
止してリニアモータ固定子上部とリアクションプレート
との間隔を極めて小となるように覆板を設ける構成にし
、又エアの供給ダクトを分離し該覆板に圧力をかけない
ようにした。なお覆板の非磁性体材料としてはステンレ
ス又は合成樹脂等がある。
以下本発明搬送装置の概要につき説明する。
第３図は本搬送装置の外観斜視図である。搬送台車ｌは
、搬送管路１０をまたぐように載置されており、この搬
送台車１に具備する図示しない可動子と後記するリニア
モータ固定子２とで以てリニアモータを形成すると共に
、搬送管路の頂面より放出するエアーによって搬送管路
１０上に浮上される。搬送台車ｌの停止点には搬送路内
にリニアモータ固定子２が夫々配設されており、別設の
エアー供給ユニット３から供給された圧縮クリーンエア
ーを搬送管路ｌＯ上面及び両側面に設けたノズル１３．
１４を介して放出させ、搬送台車１を支持させると共に
、前記リニアモータ固定子２を制御することにより搬送
台車１を走行停止させるものである。
、搬送管路１０をまたぐように載置されており、この搬
送台車１に具備する図示しない可動子と後記するリニア
モータ固定子２とで以てリニアモータを形成すると共に
、搬送管路の頂面より放出するエアーによって搬送管路
１０上に浮上される。搬送台車ｌの停止点には搬送路内
にリニアモータ固定子２が夫々配設されており、別設の
エアー供給ユニット３から供給された圧縮クリーンエア
ーを搬送管路ｌＯ上面及び両側面に設けたノズル１３．
１４を介して放出させ、搬送台車１を支持させると共に
、前記リニアモータ固定子２を制御することにより搬送
台車１を走行停止させるものである。
第１図は本発明に係る搬送管路ｌＯのリニアモータ固定
子を配した部分の断面図を示す、又、第６図はリニアモ
ータを配していない部分の断面図を示す、第１図におい
て、１１はアルミ合金等軽金属よりなり、所定の長さに
押出された金型成形体である。１２は搬送管路内に設け
たエアーダクトで、前記成形体の上部に、かつ左右対称
に所定寸法に設ける。前記エアー供給ユニット３から供
給された圧縮クリーンエアーは、このエアーダク）１２
に供給され、ノズル１３゜１４を介して夫々搬送路上方
および両側方に向かって放出するように、夫々ノズル１
３．１４を前記エアーダクト１２の上方および側面に、
かつ搬送管路１０の長手方向に所定ピッチで複数個設け
る。１５は搬送路内に所定寸法に設けられた空間部で、
リニアモータの固定子２を配設する。リニアモータ固定
子２を配置しない部分は第５図に示すように空間のまま
であるが、これは搬送路の重量を低減せしめたるもので
あまた搬送管路１０はその頂面の中央部分は開口させれ
ており、搬送管路１０の長手方向の定位置にリニアモー
タ固定子２を搬送管路の空間１５内に収納設置するが、
このリニアモータ固定子２の上部は覆板１６にて覆われ
る。この覆板１６はステンレス、合成樹脂その他所要の
強度を有する非磁性体の薄板とし、これを搬送管路１０
の互いに対向する内側面長手方向に形成した係上溝１７
．１７間に嵌挿して係止せしめる。この係上溝１７は鳩
尾形、蟻溝形等をしており、溝長手方向への摺動は可能
でも上下方向の移動は阻止されるようになっており、該
溝に嵌挿係止される覆板１６の両側端面もこの係止溝１
７に係止されるような形状例えばテーパ面形としている
。そしてこの覆板１６は可及的に薄くし、この覆板１６
を上下に挟んで対向するリアクションプレートとリニア
モータ固定子の間隙を皿ボルト取付式覆板に比べ小とな
るようにする。これによリニアモータリにより発生する
推力を有効に利用でき、リニアモータの容量を小さくし
ても充分使用できるものとなる。
子を配した部分の断面図を示す、又、第６図はリニアモ
ータを配していない部分の断面図を示す、第１図におい
て、１１はアルミ合金等軽金属よりなり、所定の長さに
押出された金型成形体である。１２は搬送管路内に設け
たエアーダクトで、前記成形体の上部に、かつ左右対称
に所定寸法に設ける。前記エアー供給ユニット３から供
給された圧縮クリーンエアーは、このエアーダク）１２
に供給され、ノズル１３゜１４を介して夫々搬送路上方
および両側方に向かって放出するように、夫々ノズル１
３．１４を前記エアーダクト１２の上方および側面に、
かつ搬送管路１０の長手方向に所定ピッチで複数個設け
る。１５は搬送路内に所定寸法に設けられた空間部で、
リニアモータの固定子２を配設する。リニアモータ固定
子２を配置しない部分は第５図に示すように空間のまま
であるが、これは搬送路の重量を低減せしめたるもので
あまた搬送管路１０はその頂面の中央部分は開口させれ
ており、搬送管路１０の長手方向の定位置にリニアモー
タ固定子２を搬送管路の空間１５内に収納設置するが、
このリニアモータ固定子２の上部は覆板１６にて覆われ
る。この覆板１６はステンレス、合成樹脂その他所要の
強度を有する非磁性体の薄板とし、これを搬送管路１０
の互いに対向する内側面長手方向に形成した係上溝１７
．１７間に嵌挿して係止せしめる。この係上溝１７は鳩
尾形、蟻溝形等をしており、溝長手方向への摺動は可能
でも上下方向の移動は阻止されるようになっており、該
溝に嵌挿係止される覆板１６の両側端面もこの係止溝１
７に係止されるような形状例えばテーパ面形としている
。そしてこの覆板１６は可及的に薄くし、この覆板１６
を上下に挟んで対向するリアクションプレートとリニア
モータ固定子の間隙を皿ボルト取付式覆板に比べ小とな
るようにする。これによリニアモータリにより発生する
推力を有効に利用でき、リニアモータの容量を小さくし
ても充分使用できるものとなる。
（発明の効果〕
本発明搬送路は搬送路内のリニアモータ固定子上部を挿
入式で抜き出し可能な非磁性体の板により覆うと共に、
鎖板を搬送路内側面に形成した係止溝に挿入して係止す
るようになしているため、リニアモータの固定子とリア
クションプレートとの間隙を可及的に小さくすることが
でき、リニアモータの推力を効率的に利用でき、リニア
モータの小型化が図れる利点を有する。
入式で抜き出し可能な非磁性体の板により覆うと共に、
鎖板を搬送路内側面に形成した係止溝に挿入して係止す
るようになしているため、リニアモータの固定子とリア
クションプレートとの間隙を可及的に小さくすることが
でき、リニアモータの推力を効率的に利用でき、リニア
モータの小型化が図れる利点を有する。
第１図はリニアモータ固定子設置部の搬送管路の断面図
、第２図はリニアモータ固定子を設置している部分の断
面図、第３図は搬送装置の外観斜視図、第４図は要部の
斜視図、第５図はリニアモータを設置していない部分の
断面図、第６図は公知例図である。 ｌは搬送台、２はリニアモータの固定子、１０は搬送管
路、１５は空間、１６は覆板、７は係止溝。
、第２図はリニアモータ固定子を設置している部分の断
面図、第３図は搬送装置の外観斜視図、第４図は要部の
斜視図、第５図はリニアモータを設置していない部分の
断面図、第６図は公知例図である。 ｌは搬送台、２はリニアモータの固定子、１０は搬送管
路、１５は空間、１６は覆板、７は係止溝。
Claims (1)
- （１）搬送路に跨乗した搬送台を、前記搬送路から噴出
される空気で浮上させながら、搬送路内空間に収納した
リニアモータによって駆動するようにした空気浮上搬送
装置において、搬送路内のリニアモータ上部の左右にエ
アダクトを配置し、且リニアモータ上面を搬送路端面よ
り長手方向に挿入、抜き出し可能な非磁性体の板で覆う
ようにしたことを特徴とするリニアモータを用いた空気
浮上搬送装置における搬送路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1032407A JPH02214463A (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | リニアモータを用いた空気浮上搬送装置における搬送路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1032407A JPH02214463A (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | リニアモータを用いた空気浮上搬送装置における搬送路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02214463A true JPH02214463A (ja) | 1990-08-27 |
Family
ID=12358097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1032407A Pending JPH02214463A (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | リニアモータを用いた空気浮上搬送装置における搬送路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02214463A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108217207A (zh) * | 2016-12-15 | 2018-06-29 | Cnc工程株式会社 | 磁悬浮式基板传送装置 |
| CN117485904A (zh) * | 2023-12-22 | 2024-02-02 | 中联重科土方机械有限公司 | 气动运输线 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61116965A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-04 | Mitsubishi Electric Corp | エア浮上式リニア搬送装置 |
| JPS6152492B2 (ja) * | 1981-01-26 | 1986-11-13 | Sharp Kk | |
| JPS62141956A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-25 | Mitsubishi Electric Corp | 空気浮上式リニアモ−タ− |
-
1989
- 1989-02-10 JP JP1032407A patent/JPH02214463A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6152492B2 (ja) * | 1981-01-26 | 1986-11-13 | Sharp Kk | |
| JPS61116965A (ja) * | 1984-11-09 | 1986-06-04 | Mitsubishi Electric Corp | エア浮上式リニア搬送装置 |
| JPS62141956A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-25 | Mitsubishi Electric Corp | 空気浮上式リニアモ−タ− |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108217207A (zh) * | 2016-12-15 | 2018-06-29 | Cnc工程株式会社 | 磁悬浮式基板传送装置 |
| CN117485904A (zh) * | 2023-12-22 | 2024-02-02 | 中联重科土方机械有限公司 | 气动运输线 |
| CN117485904B (zh) * | 2023-12-22 | 2024-03-22 | 中联重科土方机械有限公司 | 气动运输线 |
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