JPH02210856A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
多ビン化した半導体装置に関し、
組立工程で良好なワイヤボンディングができるパッケー
ジ構造を得ることを目的とし、半導体素子の電極とパッ
ケージの一平面上にあるインナーリード間をワイヤーで
接続する半導体装置において、インナーリードのボンデ
ィング部を千鳥状に配置し、その内側のボンディング部
と外側のボンディング部の間に前記パッケージとは別部
材の帯状の突起を設け、外側のボンディング部に接続し
たワイヤーが内側のボンディング部に接続したワイヤー
に接触しないように構成する。
ジ構造を得ることを目的とし、半導体素子の電極とパッ
ケージの一平面上にあるインナーリード間をワイヤーで
接続する半導体装置において、インナーリードのボンデ
ィング部を千鳥状に配置し、その内側のボンディング部
と外側のボンディング部の間に前記パッケージとは別部
材の帯状の突起を設け、外側のボンディング部に接続し
たワイヤーが内側のボンディング部に接続したワイヤー
に接触しないように構成する。
本発明は組立工程で良好なワイヤボンディングを行うこ
とができるパッケージ構造を有する半導体装置に関する
。
とができるパッケージ構造を有する半導体装置に関する
。
(従来の技術〕
従来の半導体装置を第6図、第7図及び第8図に示す、
これについて説明すると、第6図に示すものは、多数の
端子1を有するガラスエポキシ基板2の上に半導体素子
3を搭載し、該素子3の電極4と端子1に接続したイン
ナーリード5との間をワイヤ6で接続し、レジン7及び
キャップ8で封止したもの、第7図に示すものは、多数
の端子1を有するセラミック基板2′の上に半導体素子
3を搭載し、該素子3の電極4と端子lに接続したイン
ナーリード5との間をワイヤ6で接続し、メタル又はセ
ラミックのキャップ8で封止し、内部に窒素ガス9を封
入したもの、第8図に示すものは、リードフレーム10
のグイステージll上に半導体素子3を搭載し、その電
極4とフラットリード12に接続したインナーリード5
との間をワイヤー6で接続した後、樹脂13でモールド
したものである。
これについて説明すると、第6図に示すものは、多数の
端子1を有するガラスエポキシ基板2の上に半導体素子
3を搭載し、該素子3の電極4と端子1に接続したイン
ナーリード5との間をワイヤ6で接続し、レジン7及び
キャップ8で封止したもの、第7図に示すものは、多数
の端子1を有するセラミック基板2′の上に半導体素子
3を搭載し、該素子3の電極4と端子lに接続したイン
ナーリード5との間をワイヤ6で接続し、メタル又はセ
ラミックのキャップ8で封止し、内部に窒素ガス9を封
入したもの、第8図に示すものは、リードフレーム10
のグイステージll上に半導体素子3を搭載し、その電
極4とフラットリード12に接続したインナーリード5
との間をワイヤー6で接続した後、樹脂13でモールド
したものである。
上記従来の半導体装置では、第6図(b)、第7図(b
)、第8図(b)の各平面図に示すように、ワイヤー6
のカールによるワイヤー間のショートや、ワイヤー接続
にネールへラドボンディング又はウエッヂボンディング
を用いた場合の超音波を原因とするワイヤーの曲りによ
るワイヤー間のショートや、ワイヤーのたれによるワイ
ヤとワイヤ間又はワイヤーとインナーリード間のショー
トが発生するという問題があった。特にガラスエポキシ
基板を用いた場合は、リード側ボンディング時の超音波
を強くするため、その傾向は著しい。
)、第8図(b)の各平面図に示すように、ワイヤー6
のカールによるワイヤー間のショートや、ワイヤー接続
にネールへラドボンディング又はウエッヂボンディング
を用いた場合の超音波を原因とするワイヤーの曲りによ
るワイヤー間のショートや、ワイヤーのたれによるワイ
ヤとワイヤ間又はワイヤーとインナーリード間のショー
トが発生するという問題があった。特にガラスエポキシ
基板を用いた場合は、リード側ボンディング時の超音波
を強くするため、その傾向は著しい。
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、半導体素子の電極
とパッケージのインナーリード間を接続するワイヤーの
ショートを防止した半導体装置を提供することを目的と
する。
とパッケージのインナーリード間を接続するワイヤーの
ショートを防止した半導体装置を提供することを目的と
する。
上記目的を達成するために、本発明の半導体装置は、半
導体素子23の電極24とパッケージの一平面上にある
インナーリード21間をワイヤー25で接続する半導体
装置において、インナーリード21のボンディング部2
1a、21bを千鳥状に配置し、その内側のボンディン
グ部21aと外側のボンディング部21bの間に前記パ
ッケージとは別部材の帯状の突起22を設け、外側のボ
ンディング部21bに接続したワイヤーが内側のボンデ
ィング部21aに接続したワイヤーに接、触しないよう
にしたことを特徴とする。
導体素子23の電極24とパッケージの一平面上にある
インナーリード21間をワイヤー25で接続する半導体
装置において、インナーリード21のボンディング部2
1a、21bを千鳥状に配置し、その内側のボンディン
グ部21aと外側のボンディング部21bの間に前記パ
ッケージとは別部材の帯状の突起22を設け、外側のボ
ンディング部21bに接続したワイヤーが内側のボンデ
ィング部21aに接続したワイヤーに接、触しないよう
にしたことを特徴とする。
インナーリード21のボンディング部21a。
21bのパターンを千鳥状に配置し、その内側のボンデ
ィング部21aと外側のボンディング部21bとの間に
帯状の突起22を設けることにより、長手リード(ボン
ディング部21aを有するリード)は従来のリード先端
部ピッチの限界にとられれず長くでき、ワイヤー長を短
かくすることによりワイヤー25の曲がり、タレを抑え
ることができる。
ィング部21aと外側のボンディング部21bとの間に
帯状の突起22を設けることにより、長手リード(ボン
ディング部21aを有するリード)は従来のリード先端
部ピッチの限界にとられれず長くでき、ワイヤー長を短
かくすることによりワイヤー25の曲がり、タレを抑え
ることができる。
また短手リード(ボンディング部21bを有するリード
)については従来のリード先端部ピッチの限界にとどま
るが、帯状の突起22でワイヤー25を支えることによ
りワイヤー25の曲がり及びタレを抑えることができる
。さらにリード側ボンディング近くのループ高さを交互
にかえワイヤー25を立体的に配置してワイヤー曲がり
、タレによるワイヤーとワイヤーのショート及びワイヤ
ーと隣接リードのショートを防止することができる。
)については従来のリード先端部ピッチの限界にとどま
るが、帯状の突起22でワイヤー25を支えることによ
りワイヤー25の曲がり及びタレを抑えることができる
。さらにリード側ボンディング近くのループ高さを交互
にかえワイヤー25を立体的に配置してワイヤー曲がり
、タレによるワイヤーとワイヤーのショート及びワイヤ
ーと隣接リードのショートを防止することができる。
第1図は本発明の実施例を示す図であり、(a)は断面
図、(b)はa図の2矢視拡大図である。
図、(b)はa図の2矢視拡大図である。
同図において、20はガラス−エポキシ、ガラス−ポリ
イミド、ガラス−BTレジン等の基板であり、該基板2
0は座ぐり、穴明は加工され、また該基板20の平面上
にはめっき及びエツチングによりボンディング部21a
、21bを千鳥状に配置したインナーリード21が形成
されている。22は本発明の要点である帯状の突起であ
り、内側のボンディング部21aと外側のボンディング
部21bの中間を貫くように設けられている。23は半
導体素子であり、基板20の座ぐり部に搭載され、その
電極24とインナーリード21との間はワイヤー25を
用いてネールへラドボンディング又はウエッヂボンディ
ングにより接続されている。また26はインナーリード
21に接続した端子、27は基板20を封止したキャッ
プである。なお前記の電極24とインナーリード21の
外側のボンディング部21bとを接続したワイヤー25
は帯状の突起22の上をまたいで配線されている。
イミド、ガラス−BTレジン等の基板であり、該基板2
0は座ぐり、穴明は加工され、また該基板20の平面上
にはめっき及びエツチングによりボンディング部21a
、21bを千鳥状に配置したインナーリード21が形成
されている。22は本発明の要点である帯状の突起であ
り、内側のボンディング部21aと外側のボンディング
部21bの中間を貫くように設けられている。23は半
導体素子であり、基板20の座ぐり部に搭載され、その
電極24とインナーリード21との間はワイヤー25を
用いてネールへラドボンディング又はウエッヂボンディ
ングにより接続されている。また26はインナーリード
21に接続した端子、27は基板20を封止したキャッ
プである。なお前記の電極24とインナーリード21の
外側のボンディング部21bとを接続したワイヤー25
は帯状の突起22の上をまたいで配線されている。
また前記帯状の突起22は、第2図(a)に示すように
その断面を単純な矩形としたもの、又は第2図(b)に
示すようにワイヤーとの接触部を長くするように断面を
かまぼこ状にしたもの、又は第2図(C)に示すように
複数の溝22aを設けてワイヤーの位置を規正するよう
にしたものであり、これらの形成にはソルダーレジスト
を複数層重ね印刷するか、又はポリイミド等の絶縁物テ
ープを用いて形成することができる。またこの帯状突起
22は分割しても良い。
その断面を単純な矩形としたもの、又は第2図(b)に
示すようにワイヤーとの接触部を長くするように断面を
かまぼこ状にしたもの、又は第2図(C)に示すように
複数の溝22aを設けてワイヤーの位置を規正するよう
にしたものであり、これらの形成にはソルダーレジスト
を複数層重ね印刷するか、又はポリイミド等の絶縁物テ
ープを用いて形成することができる。またこの帯状突起
22は分割しても良い。
このように構成された本実施例は、インナーリード21
のボンディング部21a、21bを千鳥状に配置し、そ
の内側ボンディング部21aと外側ボンディング部21
bの中間に帯状の突起22を設けたことにより、内側ボ
ンディング部21aを有するリードは、従来のリード先
端部ピッチの限界にとられれず長くでき、ワイヤー長を
短かくすることによりワイヤー25の曲がり、タレを抑
えることができる。また外側ボンディング部21bを有
する短手リードについては従来のリード先端部ピッチの
限界にとどまるが、帯状の突起22でワイヤー25を支
えることによりワイヤー25の曲がり及びタレを抑える
ことができる。さらにリード側ボンディング近(のワイ
ヤー25のループ高さが交互にかわり立体的配置となる
ため、ワイヤー曲がり、タレによるワイヤーのショート
及びワイヤーと隣接リードのショートが防止される。
のボンディング部21a、21bを千鳥状に配置し、そ
の内側ボンディング部21aと外側ボンディング部21
bの中間に帯状の突起22を設けたことにより、内側ボ
ンディング部21aを有するリードは、従来のリード先
端部ピッチの限界にとられれず長くでき、ワイヤー長を
短かくすることによりワイヤー25の曲がり、タレを抑
えることができる。また外側ボンディング部21bを有
する短手リードについては従来のリード先端部ピッチの
限界にとどまるが、帯状の突起22でワイヤー25を支
えることによりワイヤー25の曲がり及びタレを抑える
ことができる。さらにリード側ボンディング近(のワイ
ヤー25のループ高さが交互にかわり立体的配置となる
ため、ワイヤー曲がり、タレによるワイヤーのショート
及びワイヤーと隣接リードのショートが防止される。
第3図及び第4図は本発明の他の実施例を示す図である
。同図において第1図と同一部分は同一符号を付して示
した。なお第4図の符号28はリードフレームのグイス
テージ部、29はリードフレームのサポートバー、30
は封止用の樹脂を示す。
。同図において第1図と同一部分は同一符号を付して示
した。なお第4図の符号28はリードフレームのグイス
テージ部、29はリードフレームのサポートバー、30
は封止用の樹脂を示す。
第3図に示す実施例は、第7図と同様なセラミックパッ
ケージの半導体装置に、第4図は第8図と同様な樹脂封
止パッケージにそれぞれ本発明を適用したものであり、
第1図に示した実施例と同様な効果が得られる。
ケージの半導体装置に、第4図は第8図と同様な樹脂封
止パッケージにそれぞれ本発明を適用したものであり、
第1図に示した実施例と同様な効果が得られる。
第5図は本発明の応用例を示したもので、長手リード(
ボンディング部21aを有するリード)21cの引き出
し部の幅Wを限界まで細くしてインナーリード21の全
体のピッチをつめたものに本発明を応用したものであり
、その効果は第1図で説明した実施例と同様である。
ボンディング部21aを有するリード)21cの引き出
し部の幅Wを限界まで細くしてインナーリード21の全
体のピッチをつめたものに本発明を応用したものであり
、その効果は第1図で説明した実施例と同様である。
以上説明した様に、本発明によれば、多ピン化、ピッチ
縮小化した半導体装置のワイヤーボンディングにおける
ワイヤー曲がり、タレによるワイヤーとワイヤーのショ
ート及びワイヤーと隣接リードのショート防止に効果を
奏し、半導体装置の品質向上に寄与し、多ピン化、ピッ
チ縮小化を促進する。
縮小化した半導体装置のワイヤーボンディングにおける
ワイヤー曲がり、タレによるワイヤーとワイヤーのショ
ート及びワイヤーと隣接リードのショート防止に効果を
奏し、半導体装置の品質向上に寄与し、多ピン化、ピッ
チ縮小化を促進する。
第1図は本発明の実施例を示す図、
第2図は本発明の実施例における帯状の突起を示す図、
第3図及び第4図は本発明の他の実施例を示す図、
第5図は本発明の応用例を示す図、
第6図、第7図、第8図は従来の半導体装置を示す図で
ある。 図において、 20は基板、 21はインナーリード、 21aは内側のボンディング部、 21bは外側のボンディング部、 22は帯状の突起、 23は半導体素子、 24は電極、 25はワイヤー 26は端子、 27はキャップ を示す。 本発明の実施例を示す図 第1図 23・・・半導体素子 (CI)断面図 (b)a図の2矢視拡大図 本発明の他の実施例を示す図 第 図 本発明の実施例にあける帯状の突起を示す国策 回 (Q)断面図 本発明の他の実施例を示す図 第 図 本発明の応用例を示す図 第5図 (C1)断面図 (b)a図の2矢視拡大図 従来の半導体装置を示す図 第 図 (a)断面図 (b)a図の2矢視拡大図 従来の半導体装置を示す図 第 図 (b)0図のZ矢視拡大図 従来の半導体装置を示す図 第 図
ある。 図において、 20は基板、 21はインナーリード、 21aは内側のボンディング部、 21bは外側のボンディング部、 22は帯状の突起、 23は半導体素子、 24は電極、 25はワイヤー 26は端子、 27はキャップ を示す。 本発明の実施例を示す図 第1図 23・・・半導体素子 (CI)断面図 (b)a図の2矢視拡大図 本発明の他の実施例を示す図 第 図 本発明の実施例にあける帯状の突起を示す国策 回 (Q)断面図 本発明の他の実施例を示す図 第 図 本発明の応用例を示す図 第5図 (C1)断面図 (b)a図の2矢視拡大図 従来の半導体装置を示す図 第 図 (a)断面図 (b)a図の2矢視拡大図 従来の半導体装置を示す図 第 図 (b)0図のZ矢視拡大図 従来の半導体装置を示す図 第 図
Claims (1)
- 1、半導体素子(23)の電極(24)とパッケージの
一平面上にあるインナーリード(21)間をワイヤー(
25)で接続する半導体装置において、インナーリード
のボンディング部(21a、21b)を千鳥状に配置し
、その内側のボンディング部(21a)と外側のボンデ
ィング部(21b)の間に前記パッケージとは別部材の
帯状の突起(22)を設け、外側のボンディング部(2
1b)に接続したワイヤーが内側のボンディング部(2
1a)に接続したワイヤーに接触しないようにしたこと
を特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1029849A JPH02210856A (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1029849A JPH02210856A (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02210856A true JPH02210856A (ja) | 1990-08-22 |
Family
ID=12287428
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1029849A Pending JPH02210856A (ja) | 1989-02-10 | 1989-02-10 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02210856A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09266223A (ja) * | 1996-03-28 | 1997-10-07 | Nec Kyushu Ltd | 半導体装置 |
JPH1012658A (ja) * | 1996-06-13 | 1998-01-16 | Samsung Electron Co Ltd | 入出力端子を多数有する半導体集積回路素子 |
-
1989
- 1989-02-10 JP JP1029849A patent/JPH02210856A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09266223A (ja) * | 1996-03-28 | 1997-10-07 | Nec Kyushu Ltd | 半導体装置 |
JPH1012658A (ja) * | 1996-06-13 | 1998-01-16 | Samsung Electron Co Ltd | 入出力端子を多数有する半導体集積回路素子 |
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