JPH02210798A - 物体の静電的処理装置 - Google Patents

物体の静電的処理装置

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JPH02210798A
JPH02210798A JP1291140A JP29114089A JPH02210798A JP H02210798 A JPH02210798 A JP H02210798A JP 1291140 A JP1291140 A JP 1291140A JP 29114089 A JP29114089 A JP 29114089A JP H02210798 A JPH02210798 A JP H02210798A
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electrostatic
electrostatic processing
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Senichi Masuda
増田 閃一
Taketo Fukuura
福浦 雄飛
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はファイン・セラミック誘電体を用いた各種の電
界装置による物体の静電的処理装置に関するものである
誘電体の表面や内部に電極を設け、これに直流高電圧な
いし交流高圧(正弦波、矩形波、パルス状高電圧を含む
)を印加して気中放電や電気力学的現象など電界に固有
の現象を発生せ以下余白 しめ、これを物体の荷電や除電のためにイオン源として
利用したシ、あるいは物体の電気力による耐着、あるい
は反撥や輸送等の電気力学的操作に利用する装置(以下
電界装置と総称する)はそれ自体公知である。
イオン源としての電界装置の例としては古くは「電気的
瓦斯精製装置」(特許第11)9242号)があシ、ま
た近くは「静電粉体塗着装置」(特願昭5l−1033
28) 、 r粒子荷電装置」(特願昭52−1004
00) 、 r除電装置」(特願昭52−145838
)、r管路式除電装置」(特願昭56−155419 
)などがある。また電気力学的操作に利用するための電
界装置の例としては「接触形電界カーテン装置」(特許
第983218号)、「接触形電界カーテンを用いた粒
子輸送、供給装置」(特許第973100号)、「接触
形電界カーテンを用いて粒子を塗着する方法ならびにそ
の装置」(特許第1009381号)、「接触形電異カ
ーテンを溝成する方法およびこれを利用した接触形電界
カーテン装置」(特許第981125号)、「接触形電
界カーテンを用いた静電粉体塗着用ブース」(特許第1
047574号)、「帯電粒子発生装置」(特許第10
48+100号)、「細線型電界装置J(特公昭57−
0885 ) 、 r単極電界カーテン装置」(特公昭
57−9856) 、 r電界カーテン装置からなる壁
」(特公昭57−24181)、  r安全型電界カー
テン装置」(特開昭52−108574 ) 、 r−
相露出型接触型電界カーテン装置」(特願昭57−08
1771) )などがある。
しかしこれらすべての電界装置を通じて、電極をその表
面に相持したシ、その内部Ka入保持したシする誘電体
には極めて高い値の直流又は交流の電界が加わシ、特に
電極附近における電界の集中が著しい。その結果この電
界集中部分にはそれが気中に露出している時は勿論たと
え!![体中に埋入されている場合も局部的な部分放電
が発生して、この部分の誘電体材料はイオンや電子の衝
撃をうける。この作用は電界装置をイオン源として用い
る場合には当然電極に気中放電を発生せしめるので、益
々著しいものとなる。また電極に交流電圧を印加すると
上記部分放電は特に著しいものとなる。しかるに従来の
電界装置においては、製作の容易さから殆んどの場合誘
電体として合成樹脂ないし合成樹脂で接着せる成形無機
絶縁物が用いられ、この場合上記部分放電によるイオン
衝撃や電子衝撃によって合成樹脂等の有機誘電体材料が
局部的に劣化し、特に交流高電圧印加の時はこれが急速
に樹枝状に進展してトリーイングとよばれる絶縁欠陥が
成長し、遂に比較的短時間内に高電圧が印加される電極
間の絶縁破壊を生ずることをさけ得なかったのである。
これを防止するため誘電体としてマイカやセラミック等
の無機絶縁物を用いる時は、寿命は若干延長するものの
電極をその内部に完全に埋入することが困難となるのみ
ならず、その構造が緻密でないため、電界効果を高める
ため絶縁部分の間隔や厚味全うすぐする時はやはp低い
電圧で直ちに絶縁破壊を生じ、有効な電界装置を溝成す
ることが不可能であった。また無機ll′IIt体とし
てガラスを用いる時は、この問題は解消するものの、機
械的に脆弱となる上やはシ絶縁破壊強度も必ずしも充分
でなく、その上°交番電界印加による局部的温度上昇に
よって極めて容易に破がいするという欠点をまぬがれる
ことが出来なかったのである。
この様に従来材料として適切なものが得られなかったが
ために電界装置は著しく短寿命かつ高価なものとなって
、その広範な活用の道が閉ざされて居たのである。
本発明の目的は上記の難点を解決した長寿命で信頼性が
高くかつ安価な電界装置を用いた物体の静電的処理装置
を提供してその装置の本格的な実用化を可能ならしめる
ことにある。
しかして本発明はこの目的を該誘電体材料として、例え
ば高純度アルミナ磁器等の如く純度の高い機械的・電気
的・化学的かつ熱的に著しく丈夫なセラミック材料(以
下ファインセラミックと称す)を使用すると共に、その
焼成前の成形材料K[極を配設しておき、これを電極と
一体として焼成して電界装置を作製することによシ、極
めて緻密で機械的・電気的・化学的かつ熱的に丈夫で信
頼性の高いものとし、これを物体の静電的処理装置に使
用することにより達成する。
その具体的方法としては、たとえば高純度アルミナ磁器
を用いるときは、予め粒径数ミクロン以下に粉砕せるア
ルミナを有機バインダーで結合の上、層状に形成した原
料7−ト(グ+7 +ン・シートと称する)を作製し、
その表面上に適当な金属、例えばタングステン微粉末を
分赦せるインクを用いて例えばスクリーン印刷等の厚膜
印刷技術で電極を形成し、かくして形成せる電極付グリ
ーンシートをそのまま単独に、あるいは複数個積層圧着
の上多層グリーンシートとして、水素炉等の適当なる還
元性ふん囲気内で1500〔℃)附近の高温度で焼結す
る等の方法をとることができる。
この場合積層病造の多層グリーンノートによシミ界装置
を構成することにより、電極の一部を一層ないし多層に
ファイン・セラミック誘電体の内部にサンドイッチ状に
埋入配設することが可能となシ、これKよって高度の電
界効果。
イオン形成効果を達成したシ、あるいは高電圧印加の電
極を内部埋入することによって安全性を高めることが可
能となる。
またグリーンシートを貫ぬいて小孔をあけ、ここにも父
上記タングステン微粉体インキ等を充填の上焼成するこ
とによシ、単層又は多層のファイン・セラミック誘電体
層を貫通しての表裏の電気的鋭続を行うことが可能とな
る。したがって、これによってその表面に配設せる電極
をその裏面に配設せるリード線用電極に接続して外部端
子との電気的接続をはかることも出来る。
本発明に使用するファインセラミックiW’EIH4c
材料は純度90チ以上の高純度アルミナ磁器が好適であ
るが、それ以外でも機械的、電気的。
化学的、熱的に丈夫な材料であればいがなるファインセ
ラミック材料を用いても良い。また電界装置を多層構造
で形成する時は高純度アルミナ磁器層と比較的純度が低
く安価なアルミナ磁器層を複合便用したシ、種類・性質
の異るファインセラミック材料を層別ないし場所別に複
合使用したシ、あるいは更にファインセラミック材料と
それ以外の誘電体材料(合成樹脂・マイカ・ガラス・F
RP )を層別ないし場所別に複合使用して、より安価
にしたシ、よりその性能を高めることもできる。
本発明による電界装置の表面は、生地のまま使用しても
よいが、その表面に適当な釉薬を−1どこしてその平滑
化、電気伝導性の附与等表面性質の改善をほどこしても
よく、またテフロン層、7リコン層、その碓適当な材料
の表面層を剛着せしめてその表面性質の改善をほどこす
こともできる。
また、本発明に使用する電極材料としては、その素地材
としてのファインセラミック材料と共に焼結する際これ
とのなじみが良く、これと出来る限シ近い熱膨張係数を
有する高融点の金属であることが好ましく、素地が高純
度アルミナ磁器のときはタングステンがもつとも適して
いる。しかし各種のファインセラミック材料に応じて適
当な凡ゆる金属材料を選定使用することが出来る。また
そのグリーンシートへの附着に当っては金属粉末分散イ
ンキのスクリーン印刷等の手法による厚膜電極を形成し
てもよいが、場合によりては線状、板状、箔状に予め形
成せる金属電極を附着してもよい。また蒸着等圧よ)附
着せる薄膜電極を用いることも出来る。更に電極材料と
しては必ずしも金属材料に限定されることなく、カーボ
ン繊維、半導電性セラミック材料等適当な凡めるものが
使用できる仁とは云うまでもない。また電極材料はその
酸化を防いだシ表面を保護したシ、あるいはばんだづけ
を容易ならしめるため、その上にニッケル等適当な金属
をめっきしてもよく、更に電極自体の上に薄く釉薬やア
ルミナ絶縁膜その他の表面層をほどこしてもよい。
また本発明による新規の電界装置の幾何学形状は、平板
状のみならず任意の曲面状(球面状。
半筒状2円柱状、多角形状2階段状等)に形成使用でき
、これを行うに当っては柔軟性に富む電極附グリーンシ
ートの段階でこれを所望の形状に成形の上焼成すればよ
い。
本発明による電界装置の応用領域は、物体の荷電や除電
装置、物体の電気力学的操作装置の凡ゆるものに及ぶと
共に、本願冒頭に例示せる特許および特許出願のすべて
を包含し、更に今後出現すべき電界装置の応用方法なら
びに応用装置のすべてを包含する。
以下余白 以下本発゛明の特徴を実施例及び図面によって更に詳細
に説明する◇ 第1A図乃至第1F図はイオン源としての電界装置に本
発明を実施せる例で、本発明によって長方形の7フイン
・セラミック誘電体板上に長手方向に細長いコロナ放電
極群を配設し、その下方の誘電体板内部に該コロナ放電
極群全体と対向する大きさをもった一枚の誘導電極を埋
入焼成せる装置の作製方法を示す。該誘電体板は上下2
枚のグリーンシート素材をもって作製する。第1A図は
上部グリーンシートの上面を示す斜視図で、長方形の上
部グリーンシートlの上面2に、長手方向に′スクリー
ン印刷の手法を用いてタングステン微粉末を分散せるイ
ンクを幅約1(mm)、厚味約too(pm)、間隔約
5(mm〕に印刷して複数本の平行コロナ電極3゜4.
5を形成し、更にこれを同様の方法で印刷せる共通導線
6に接続の上、ターミナル導!I7を更に印刷接続する
第18図は該上部グリーンシート1の下面8を示す斜視
図で、電極3.4.5が占める上面の全面積と対向する
下面8上の面に、同じスクリーン印刷の手法を用いてタ
ングステン微粉末を分散せるインクを印刷して長方形の
面状の誘導電極9を形成する。第1C図は下部シートl
Oの上面11を示す斜視図で、同シート10の中少に直
径約1(mm)の穴12を同シートlOを貫通してうが
ち、この穴にタングステン微粉末を分散せるインクを充
填してシートIOを貫通する導体を形成し、更に穴12
を中心として直径約10cmm)の円板状の接触用導体
部13を同じくタングステン微粉末分散のインクでスク
リーン印刷して形成する。また同様の方法でシートlO
の左端の端縁にターミナル導線7と接続するターミナル
導線7αを画く。第1D図は下部シー)10の下面14
を示す斜視図でタングステン微粉末分散のインクを充填
せる上記の穴12を中心として直径約10(mm)の円
板状のターミナル導体部15を同じくタングステン微粉
末分散のインクでスクリーン印刷して形成する。また下
面14の左端に別の直径約10〔mm〕の円板状ターミ
ナル導体部16を同じくタングステン微粉末分散のイン
クでスクリーン印刷により形成し、これをターミナル導
線7αに同様のインクで印刷せるターミナル導a17に
よυ接続する。次に上記各シート110を重ねて熱圧着
成形の上水素炉内で焼成すると面状誘導電極9は両シー
ト1.10間にサンドウィッチ状に気密に抜まれた状態
で焼結され、上下シートが一体化して焼結され、た誘電
体板18内に埋入される。そして該誘導電極9は円板状
ターミナル導体部13と一融合し、穴12を通じて導通
の上誘電体板18の裏面の円板状ターミナル導体部工5
に接続される。またp、1!体板18の表面のコロナ電
極群3,4.5は貫通導線6、ターミナルを導線7,7
αを介して誘電体板18の裏面の円板状ターミナル導体
部16に接続される。第1E図はこの様にして作製せる
イオン源としての電界装置の画表を示す斜視図で、部分
的に上部シートによるセラミンク板を切りとって、下部
シートによるセラミック板部分と誘導電極9が示されて
いる。第1r図はこの電界装置の横断面図を示す。但し
電極3,4,5、導線6,7,7α、17およびターミ
ナル導体部15.・五6の表面にはタングステンの酸化
を防ぐためニッケルを鍍金し、これによ、91.5.1
6への外部導線のハンダづけも容易となる。いま図には
省略して画かれてい麿いターミナル導体部16.15を
介して高周波交流高圧電源19よシ、コロナ電極群3゜
4.5と面状誘導電極9との間に高周波交流高電圧をフ
ァインセンミック鍔電体層20を介して印加する(但し
安全のため3,4.5は接地しである)と、3,4.5
の端縁から高周波コロナ放電が誘電体板18の表面に沿
って発生し、豊直な正負イオンを含むプラズヌを形成す
る。
したがってこれを帯電物体の近傍に近づけると、その電
荷と逆極性のイオンがこのプラズマから該帯電物体に向
って供給され、これを迅速に除電する。すなわち除電器
として使用することが出来る@この場合高周波交流高圧
電源190代りにパルス高圧電源を用い、くシ返しパル
ス電圧を印加してもよい仁とは、いうまでもない。
電荷の除電に利用せる例で、帯電したゴムベルト表面の
ごく近くにイオン源電界装置21が捜入配設され、コロ
ナ電極群3,4.5によシ形成されるプラズマから、図
においては負イオンが吸引されてゴムベルト表面の正電
荷を中和する。24は保護用の高抵抗である。
第3図は第1A図、及び第1B図に示す上部シートlを
その上面が外側にある如く長手方向を軸として曲げて中
空円筒25を構成の上焼結してイオン源を構成したもの
である。図の如く高周波交流高圧電源19を円筒外表面
に長手方向に平行かつ等間隔に配列された細線状コロナ
放電極3,4,5.・・・と円筒内面に円筒面状に形成
された誘導電極9に接続の上、両電極間に7フインセラ
ミツクより成る円筒状誘電体25を介して高周波交流高
電圧を印加するときは、細線状コロナ放電極よシ該円筒
状誘電体の外表面に沿って高周波コロナ放電を発生して
プラズマを生ずる。したがって円筒状のプラズマイオン
源としての電界装置26が構成される。
この場合第3図の変形として、細線状コロナ放電極3,
4,5.・・・を円筒表面上で母線と直交する如く配置
してもよいことは云うまでもない。第4図はそれを示す
ものである。
第5図は第1A図、第1D図に示す上部シートと第1C
図、第1D図に示す下部シートを・重ねて第1E図の形
状に積層圧着9上これを長手方向を軸として細線状コロ
ナ放電極3,4.5・・・を有する上面を内側として曲
げて中空円筒列された細線状コロナ放電極3,4,5.
・・・と7アインセラミツク中空円筒26の内部に埋入
して円筒面状に形成された誘導電極9との間に、それぞ
れターミナル導体部15.16を介して図の如く高周波
交流高圧電源19よυ高周波交流高電圧を印加すると、
中空円筒26の内面に沿ってコロナ放電極群3,4,5
.・・・より高周波コロナ放電が発生してプラスマイオ
ン源を形成する。したがってこの様な中空円筒状電界装
置を電気抵抗の高い粉粒体の空気輸送管路の途中に挿入
する時は、管路内壁とのまさつ罠より強力に帯電した粉
粒体の電気を上記中空円筒26の内面に生じたプラズマ
が供給する逆極性のイオンによシ巾和除電することがで
きる。
第6図は第5図の装置の変形で、細線状コロナ′放電極
3,4,5.・・・を中空円筒26の内面に、円筒軸と
直交する方向に配列したものである。
第6図、第6図の円筒状電界装置はまた高抵抗液体のバ
イブ輸送の途中に挿入して、バイブとのまさつKよシ帯
電せる液体の除電に用いることも出来る。
第7A図は第1E図、第1F図に示す装置においてファ
インセラミック誘電体板18の下面にも長手方向に細線
状コロナ放電極3α、4α、5αを設けることによシ、
その両面をイオン源とせる電界装置27の一つの応用例
で、本例ではこれを高抵抗の粉粒体又は高抵抗の液体の
輸送管28の内部に直接挿入配設して、該粉粒体ないし
液体の帯電を除去するものである。同様の目的に第3図
、第4図に示す電界装置も用いることができ、第7A図
の板状イオン源電界装置&27の代シに、これら円筒状
イオン源電界装置を輸送管28の中心軸附近に沿って配
設するO 第7B図は粉粒体や高抵抗液体の輸送管路・・・を、内
壁の一部又は全部をお\う如くに配設し、その発生する
プラズマによって、上流側管路におけるまさつにより帯
電せる上記粉粒体ないし、高抵抗液体を除1rLする応
用例を示すものである。
第8図は第1E図、第1F図に示す板状イオン源電界装
置18を荷電装置として使用せる例で、接地せる非コロ
ナ電極29に対向して、その電界装置18をコロナ放電
極3,4,5.・・・が非コロナ電極29に向かり如く
に続縁支持し、該コロナ放電極3,4,5.・・・と埋
入誘導電極9の間に高周波交流高圧電源19によυ高周
波交流高電圧を印加して、コロナ放電極3,4゜5より
プラズマを形成せしめた上で、コロナ放電極3,4.5
を負の直流高圧′Tl!源30に接続すると、プラズマ
よυ負イオンが接地非コロナ電極29に向つそ走?テし
、電界装置18.非コロナ電極290間の荷電空間31
に直流電界とイオン電流を生ずる。いま荷電しようとす
る物体、たとえば粉粒体又は液滴32をここに導入する
と負イオンの射突をうけて直ちに負に荷電されて、帯電
物体33として外部に供給される。
第9図は第3図ないし第4図に示す円筒状イオン源電界
装置26を用いて、電子−写真用の光導電性被膜を表面
に有する接地感光用ローラー34の表面に負イオンを与
える応用例を示す。
本イオン源は極めて豊富な負イオンを均一に発生するの
で、短時間内に均一にローラー34の表面の光導電膜3
5上に負イオンをのせる仁とが出来る。図における19
は高周波交流高圧電源、30け負の直流高圧電源である
が、その作用は自明で特に説明は要しない。第9図にお
ける26αは同じ円筒状イオン源電界装置であって、コ
ロナ放電極3,4,5.・・・が接地されており、その
形成するプラズマから供給される正イオンがローラー3
4上の残留負イオンを除電する。19αも高周波交流高
圧電源である。
第10図は第8図に示す所の本発明による荷電用イオン
源電界装置18を接地非コロナ電極29上におかれた絶
縁フィルム36の表面に負電荷をのせるのに利用せる例
で、これによりフィルム36を非コロナ電極29上に電
気力により強力に耐着せしめる。電界装置18は矢印3
7の方向に移動され、これによりフィルム36の全表面
に均一に電荷をのせることができる。この状態で直流高
圧電源30をとシ外して、この部分を接地すると、電界
装置18は除電器として働き、フィルム360表面電荷
を除去してフィルム36の非コロナ電極29からの脱着
を可能ならしめる。
第11図は第8図の荷電用イオン源電界装置I8を粉体
塗着装置として利用せる例である。
すなわち接地N垂せる被塗着物38の前面に電界装置1
8を配置し、交流高圧電源19によって、コロナ放電極
3,4.5によりプラズマを電界装置18の対向表面上
に形成の上、直流高圧電源30によって、該プラズマよ
り負イオンを38に向って走行せしめ、上方よりバイブ
39及び三角形フィーダー40の細!!+3141をへ
て粉体を上方よシミ界装置18の表面に供給すると、直
ちに負イオンの射突によシ負に荷電され、電気力によ、
シ被塗着物38に向りて運ばれてその表面に塗着される
第12図は本発明によるファインセラミックg電体を用
いて円環状のイオン源電界装置42を構成の上、これを
粉体塗装用ハンドガンの尖端にとシつけて粉体塗着装置
をnり成せる応用例を示す。図において42は断面が方
形状の円環状のファインセラミック誘電体で、第1A図
乃至第1p’図に詳述の如き方法をもってその内部に環
状の誘導電極43を埋入し、その前方端面に環状の厚膜
成形のタングステンのコロナ放電極44を有しておシ、
かつゲラステックより成るハンドガン45の先端の円環
状開口部46にこれと同軸にとシつけである。いま高周
波交流高圧電源19より保護用コンデンサー47.ケー
ブル48を介して誘導電極43とコロナ放電極44の間
に高周波交流高電圧を印加すると、環状コロナ放電極4
4は円環状ファインセラミック誘電体の前方表面にそっ
てプラズマを形成する。いま負の直流高圧電源30よシ
保護用高抵抗24を介して図の点Pに負の直流高電圧を
印加すると、該プラズマから接地された前方の被塗装物
体38に向って負イオンの流れを生じ、かつコロナ放電
極44と被塗装物体38の間に直流電界を生ずる。した
がっていまパイプ49よシハンドガン45の基部に空気
に分散せる粉体を供給すると、これが先端開口部46よ
リファインセラミックEs電体42をへて右方に噴出す
る際に上記イオンの射突をうけて負に荷電され、電界の
作用で被塗着物380表面へと駆動されて、ここに耐着
する。この場合イオンN流の大きさを交流高周波電圧の
変化によシ自由に制御できるので良好な塗装効率の達成
が可能となるのである。
第13A図乃至第S 31>図は電気力学的操作装置と
しての電界装置のもつとも代表的例である5「三相接触
形電界カーテン装置」に本発明を実施せる例である。こ
の実施例では三層のグリーンシート50,51.52を
用いる。第13A図は0.1〜0.5(rom、)  
の厚さの極めてうすい表層グリーンシート50を斜上方
よシ見た斜視図で、この層には電極を印刷しない。第1
311図はjγさ2いnm)程度の中間層51の上面を
示す斜視図で、長方形のグリーンシー)51の長手方向
に直角K、等間隔かつ平行に、幅lCmm〕程度、厚さ
0.1(mm)程度の細腺平行電極53.54,55,
53α、54α、55α’、53b” 54 h 、 
55 b 、−・・がタングステン微粉末分散インクを
用い、かつスクリーン印刷の手法で間隔約5 (mrn
)をもって多数配設されている。
これら電極は二つおきに接続されて53−53t!−5
36・・・と54−54α−54b・・・と55−55
α−55h・・・の三組の電極群μ、u、wに分けられ
、これにμ相、U相、W相三相交流高電圧を印加する。
このため第1,30図に示す如く中間層シート51の裏
面には長手方向に平行な3本の接続導線56,57.5
8が同一方法でスクリーン印刷され、かつ導線56はシ
ー1−51を貫通し、かつタングステン微粉末分散イン
クを充填せる小穴59,59α、59b・・・によって
中間層シート510表面のμ相電蓮群53゜53α、5
3h・・・に接続される。また導1s57は同様の小穴
60,60eL、60.6・・・によって、中間層シー
ト510表面のU招電極群54゜54α、54b・・・
K接続される。更に導線58は同様の小穴61.61α
、61b・・・によって51表rliTomai!ff
1is 5 、55 a 、 55 h−に接続される
。これによシ接続導線56 、57゜58はW相、V相
、W相の三相交流高電圧をp。
u、w相1!蓮群に印加するための導線を形成している
。第13. D図は厚さ3 (mm〕の基底層グリーン
シート52の上面、第1E5. E図はその下面を示す
斜視図である。62α、63b、64Cはシート52を
貫通せる小穴でタングステン粉末分散インクが充填され
、かつそれぞれの穴の周囲には直径約10 (mm)’
の円板状接触用導体部62,63,64.が上面に、ま
た同じく直径約10 (mm’lの円板状ター、ミナル
導体部66.67.68がタ゛ングステン粉末分散のイ
ンクでスクリーン印刷されている。但し62−66.6
3−67.64−68はそれぞれ導線56.57.58
と接触する関係位置にある。
いま三つのグリーンシート50.51.52を重ねて成
層圧着の上焼成すると、第14 図に示す如き三相接触
形電界カーテン装置69が形成されるσすなわち平滑で
かつ薄いファインセラミック層の直下に、セラミック母
材中に挿入して三相電極群μ、u、toが存在し、その
更に下方にμ相、シ相、W相の各電極群と導通ぜる導@
56.57.58が同じくセラミック母材に埋入して存
在している。いま第t5−図に模式図を示す如く本電界
カーテン装置69の三相電極群にターミナル導体部66
.67.68を介して三相交流高圧[源70より三相交
流高電圧をμ相、U相、W相の順に印加すると、相順方
向に69の表′rIrJ71に沿っテ矢印72の方向に
移動する進行波不平等電界が形成される。そこでいま6
9の表面゛71に粉体粒子をおくと、粒子′は表面との
接触によって接触帯電の上この進行波不平等電界の作用
で激しく表面から反発されて浮上し、矢印72の方向に
浮上状態で輸送される。すなわち、粉体に対するこの接
触帯電作用ならびに反発作用と輸送作用が三相接触形電
界カーテン装置のもつとも重要な電気力学的作用であり
、これを利用して帯電粉体の耐着体積の防止や、粉体の
輸送に仁の電界装置を利用することができる。この場合
印加三相交流高電圧の値を上げてゆくと、ある臨界値v
c以上で表面1に一種の無電極交流コロナ放tが発生し
、表面上の空気が電離して正負のイオンを生ずる。
この状態において上記の反発や輸送等の電気力学的作用
が一段と活発化する。
したがって@i8図に示す如く三相電極群53.54,
55.53a、54b、55c。
53α、54h、55C,・・・の中の一つ、たとえば
U相電極r#53,53α、53,6.、、、のみを表
面71上に露出配設(安全のため接地するをすとす)す
るときけ、空気と接する金属電極群53,53α、53
h・・・から比較的低い電圧で旺盛な交流コロナ放tが
生じ上記の反発・輸送作用が促進される。これを−相露
出型とよぶ。
更に第1C図の変形として、二相分の電極群を露出せる
もの、三相電極のすべてを露出せるものも使用しうる。
また第130図と同じ三層構造をもって、三相電極の代
りに第17人図に又は第・17 ”図に示す如く単相電
極73..74゜73α、74A、・・・を有するいわ
ゆる単相接触形電界カーテン装置75を形成することも
できる。この場合ターミナル導体部76.77を介して
図の如く相隣する電極群73−73α−73b・・・と
74−74α−74b・・・の間に単相交流高圧・電源
78によシ単相交流高電圧を印加するときは、これら電
極間に定在波の交流不平等電界が形成され、75の表面
71上にある粉体粒子は接触帯電の上激しく反発されて
浮上する。この様に単相接触形電界カーテン装置75は
著るしい帯電粒子反発作用を有するが輸送作用は一般に
有しない。第17  n図のものは一相電極群?3,7
3α、・・・を表面71の上に配設して大気中に露出せ
る一相露出型で、やはシ低い電圧で露出電極群73.7
3α・・・より旺盛な交流コロナ放電を生じ、上記反発
作用が著るしく促進される。第1’7. A図、 第1
7 n図の変形としてすべての電極を露出せる単相接触
型電界カーテン装置も使用することが出来ることは云う
までもない。これらすべての形式の単相接触形電界カー
テン装置は、これ金粉粒体の輸送管路内や粉体塗装ブー
ス等の内壁にとシフけて、その上に耐着せる粒子を払落
したり、あるいは耐着を防止するのに用いることが出来
る。
また、これら単相接触形電界カーテン装置を傾けること
Kより、その上に供給された粉粒体粒子は激しい#を乱
作用や浮上作用をうけつつ重力によって、その表面に沿
って下方に滑動落下するので、これを粉粒体の輸送に応
用することが出来る。第15図の装置において千の結線
を変えることKよシ三相交流電源700代9に多相交流
電源を用いてもよい。第16図の装置についても多相交
流電源を用いる゛ことができ、この時は露出すべき電極
を相変に合わせて変更する。
また表面層50を用いる代りに薄いアルミナ絶縁層を、
アルミナ微粉末を分赦せるインクをスクリーン印刷の上
、焼成して形成することも出来、この手法によって層5
0を*にうす〈形成できる。
第18図は本発明による電界装置の−っである三相接触
形電界カーテン装置を用いて粉粒体の輸送機を構成せる
応用例である。水平の矩形状断面を有する樋79の下面
8oと上面81に多数の第15図又は第16図に示され
た平板型の三相接触形電界カーテン装置82.82a。
82 b、・・・と83 + 83 a 、83 b+
”’が敷きつめられており、それぞれ三相交流高圧電源
84゜85により三相交流高電圧が印加され、矢印86
の方向に三相の相順方向に進行する不平等進行波電界が
生じている。したがって、いまホンパー871υシユー
ト88を経て樋79の左端89に粉体を供給すると、こ
れは先づ三相接触型電界カーテン装置82の表面に接触
の上接触帯電し、上記不平等進行波電界に工って浮上の
上、矢印86の方向に輸送される。この場合、下面80
のみでなく上面81にも三相接触形電界カーテン装置8
3 、83 a、・・・を設けることにより、不平等進
行波電界が上下両面に沿って発生し、その間の空間全域
においてその電界の大きさが倍加し、輸送効果が大[1
]に向上する。更に三相交流高圧電源84.85の中性
点(例えば星形接続せる昇圧変圧器二次巻線の中性点)
9o。
91間に高圧直流電源92を接続して樋内に垂直方向の
直流電界を形成すると、一般に浮上効果が促進さnlそ
の結果輸送容量が増大する。
また場合によってはスイッチ93を右に投入して、直流
高圧電源920代シに単相交流高圧電源を90.91間
に挿入しても同様の効果を得ることができる。この様な
輸送装置において、三相交流高圧′?I!源94の交流
電圧をコロナ開始電圧70以上にあげると、すでに述べ
た如く三相接触型電界カーテン装置jit82 r 8
2 a、・・・及び83゜83a、・°・の表面に交流
コロナ放電が発生してプラズマが出来、粉体は輸送中に
その影響をうけてその本来有して居た表面電荷が過大で
自己凝集性の著るしい工うな場合直ちに除電されること
にエリ樋右端95工り捕集されたものは著るしく流動性
に富み操作のし易いものとなる。かかるプラズマによる
粉体の表面改質をパンクベーションとよび、第15図、
第16図、第17図、第18図ならびに後述する第19
図、第20図、第21図の本発明による電界装置は粉体
のバンシペーション操作に用いることも出来るのである
第18図の輸送機においてもつともm要なものは下側の
電界装[sz+sza、・・・で、これのみでも充分輸
送機として動作することが多い。
したがって上側の電界装置8J+83a、・・・および
電源85.92を省略しても良い。
第15図〜第18図の輸送機は粉体のみならずファイバ
ーやシートないし液体等を単に水平方向のみならず、斜
上方向ないし、鉛直上方向にも移送することができ、t
た斜下方向には工り容易に移送することができる。
第19図は第14図の本発明による三相接触型電界カー
テン装置を多層グリーンシートの状態で長手方向を軸と
してその上面が内側になる如く円筒状Kまげて円筒型の
三和接触形電界カテン装置9Gを構成せるもので、その
内部に粉粒体、シート、ファイバーや液体を導入の上、
仁れを輸送したり、パックベーション処理(、fcシ、
あるいはこれら物体の除電に使用することもできる。図
において該装置96の内壁のすぐ近傍の誘電体内に点線
で示す如き円環状の三相電極群97 +98 +99.
97a 、98a+99a+・・・が円筒軸に垂直な向
きに配設されており、ターミナル導体部66;67.6
8を介して三相交流高圧電源70に三相交流高電圧u、
v、wを供給する時は同装置96の内壁にそって矢印7
2の方向に進行する不平等進行波電界を生ずる。したが
って、これを上記の各種応用目的に利用することができ
るのである。また、その装置96の内部にプラズマを形
成させつつガスを通過させて放電化学的処理(例えばオ
ゾン発生。
NOx +SOxの酸化等ンを行わしめることもできる
第20図は第19図の装置の変形で三相電極群97.9
B、99e・・・の配列方向を円筒軸と平行な向きに配
列しである。その結果、矢印72の如く円筒内壁に沿っ
てその周方向に進行回転する不平等進行波電界を生ずる
。したがって円筒内部に粉体・シート・せんいや液体等
を導入すると矢印方向に激しく回転し、混合作用、ねじ
シ作用、パッシベーション作用等を与えることが出来る
。また、せんいの場合にはこの作用を利用して、41り
をかけて他端より抽き出すことができ、したがってこれ
を精紡機として利用できる。またエンジンや燃焼室内で
火焔を撹乱せしめて燃焼効率を上げたり、放電化学的処
理を行°りたり、混合撹拌作用を利用して化学反応や乾
燥、物質交換等の化学工学操作を促進するのにも利用で
きる。
第21図は第19図ないし第20図のもののいま一つの
変形で、三相電極群97.98.99゜・・・が円筒軸
に対して一定の角度をもって斜めに配設されておシ、不
平等進行波電界は円筒内壁にそって矢印72の如くら旋
状に左の入口端から右の出口端に向って進行する。した
がって左端ニジ導入せる粉粒体、せんい、シート、液体
等の物体は右方にら旋状忙輸送され、その過程で回転撹
拌作用、i亀シかけ作用等を受ける。また、第20図の
ものと同様第21図のものも燃焼、乾燥、物質交換2反
応促進等化学的、化学的操作あるいは各種放電化学的処
理を行うのに使用することも出来る。
第22図は第19図ないし第21図の装置を誘電液体の
輸送に用いる例を示す。左端人ロ89ニジ本発明の円筒
型の三相接触電界カーテン装置内に導入された液体は進
行波不平等電界の輸送作用で朱印86の方向に輸送され
、右端出口95よシ排出される。この様な流体輸送機は
通常の方法では液体圧送の困難な場所や部材内にも挿入
使用できるので、たとえば人体内に埋入して血液やリン
パ液の連環促進に用いたり、高圧ケーブル内に埋入して
冷却・絶縁油の輸送に用いtす、分析機器の試薬の送入
、化学反応装置内の反応液の送入、大型タンク(たとえ
ばオイルタンクン内の液体の加熱連環等にも利用できる
この様な加熱効果を輸送効果に加味することも本発明の
大きな特徴であシ、この時は三相交流の周波数を上げる
とともに7フインセラミツク材質として誘電体損失の大
きなものを選び、円筒9Gの壁体内部に一種の高周波誘
電加熱を生ぜしめるか、あるいは三相電極を構成する一
相、二相ないし三相の電極群のそれぞれの群に、別個に
加熱電流を流してこれをジュール熱にニジ加熱してもよ
い。あるいは三相電極群と別個の加熱用電極を挿入して
もよい。また上記の如き特別の構造をしなくても、液体
自体が誘電体損を有する時は円筒9Gの内部、特に内壁
附近で不平等進行波電界のため液体そのものが誘電加熱
をうける。その結果、液体粘度が低下して液体の輸送化
力も向上する。この様な応mは、特に寒冷地における原
油のパイプ輸送に当って有効に利用でき、輸送パイプの
内壁に第15図ないし第16図の装置を敷きつめたり、
内壁自体を第22図の装置で構成する。
また、油と液体等比重の異る液体を第20図の装置に入
れると回転に伴う遠心分離ができ、第21図の装置では
輸送の途中でこれを行うことが出来る。
また、第19図の装置は電源の周波数を高くすることに
よって電子やイオンの加速にも利用でき、第20図の装
置はその質量による遠心分離、たとえばガス状つラリウ
ムをイオン化して、その同位体lOを分離する等にも利
用できる。
第23図は本発明による円筒状の三相型の接触形電界カ
ーテン装置を応用してヒートパイプを溝成せる例である
。図において96は第19図および第22図に示す円筒
状の三相型の接触形電界カーテン装置で、その両端に作
動流体の容器100,101があり、それぞれが伝熱面
102゜103を有している。いま三相交流高圧電源7
0エクターミナル66.67.68を介して9Gに三相
交流高電圧を供給し、矢印86の方向の不平等進行波電
界を発生せしめると、低温部にある容器100に次まり
た作動流体が円筒96の内壁に清って右上方に輸送され
、高温部にある容!101に導入され、伝熱面103を
通じてここに流入する熱により加熱されて蒸発の上、ガ
ス状で円筒96の内部を矢印104の方向に移動し、容
器100内の伝熱面102に触れて凝縮液化し、容器1
00の下方にたまる。この過程を通じて伝熱面103ニ
ジ伝熱面102に向って熱が有効迅速に伝えられ、伝熱
面103による高温域の冷却。
伝熱面102による低温域の加熱が行われる。この場合
、第24図の如く液体輸送の効率化をはかるため作動流
体を輸送する円筒96を直径の細いものとして、これを
1個ないし多数個別のガスのリターン用円筒104a内
に挿入配設するか、あるいは円筒96と別にこれと平行
してガスのリターン専用の円筒を円筒9Gの外部に設け
てもよい。
第25図は第19図に示す本発明になる円筒状の三相接
触形電界カーテン装置96を金属パイプの内面の粉体塗
装機として応用せる例を示す。図において105は上記
電界カーテン装置96より成る細長い円筒状の輸送管で
上部に一?はシ三相電極群を有する三相接触型電界カー
テン装置としてのホッパ一部106を有し、下部には針
状のコロナ放電極107を有していて、被塗装金属パイ
プ108の内部に挿入されている。その放電極107は
輸送管105工り絶縁されて、その尖端にとりつけられ
、直流高圧電源109により負の直流高電圧を輸送管1
05の外部にとりつけた高圧ケーブル110を介して印
加され、接地せる金属パイプ108の内壁に向って負コ
ロナ放電を行っている。70は三相交流高圧電源でター
ミナル66.67.68を介して輸送管105.ホッパ
一部106に三相交流高電圧を印加し、その内壁にそっ
て矢印Ill、112の方向に不平等進行波電界を形成
する。いま粉体タンク113より供給管114.分散用
コーン115を介して熱可塑性のプラスチック粉体をホ
ッパ一部10(5の内部に供給すると、同粉体は上記進
行波電界の作用で円筒105内を下方に輸送され、その
下端でコロナ放電針107の供給する負イオンにより負
に荷電され、放電針107と金属パイプ108の内壁と
の間の電界に駆動されて金属パイプ108の内壁に耐着
堆積する。したがって、いま金属パイプ108を徐々に
矢印116の方向に下降させると、その内面に連続的に
プラスチック粉体の静電塗着層が形成される。したがっ
て、金属パイプ108を輸送管105から完全に抜き去
って加熱すると該プラスチック粉体層が熔融して内面に
被膜が形成されるのである。
第26図は、第17B図に示す本発明による一相露出型
の三相型の接触形電界カーテン装置75を静電粉体塗装
機に応用せる例を示す。塗装機は第1711図の電界カ
ーテン装置75の電極配設面71を内側に向は九m直壁
117,118とその下方の傾斜壁119,120によ
って119成され、それぞれが三相交流高圧電源70に
Lってコロナ開始電圧Vc工りも高い三相交流高電圧を
供給され、更に電源70の中性点は直流高圧電源30に
よって大地に対して負の直流高電圧が印加されている。
いまへ塗装機内部に上方の接地せるレール121工り懸
/ilせる被塗物体122を導入するとともに、下端か
らパイグミ23.’1’字口124を介して粉体を機内
に導入する。粉体は不平等進行波電界の作用で傾斜壁1
19.120に沿って機内を上方に運ばれ、更に垂直壁
117゜118に后って上昇すると共に、傾斜壁119
,120゜垂直壁117,118の内表面に生ずるプラ
ズマから直流電界の作用で被塗装物体122へと流れる
負イオン流の射突をうけて負に荷電され、直流電界の作
用で接地された被塗装物体122の表面へと駆動されて
その上に塗着される。塗着されなかった粉体は下方に落
下の上回ひもとの様に上方に運搬され塗装操作をうける
。塗装が終れば被塗着物体122を炉に入れて加熱する
ことにより、その表面上に塗膜が形成される。
第27図は、第15図ないし第16図に示す本発明によ
る三相型の接触形電界カーテン装置69を粉体塗装用ブ
ース126の内壁全体にわたって敷きつめ、ブース内壁
に耐着堆積する粉体粒子の払落しと回収槽への輸送回収
に利用せる応用例を示す。図において、127〜138
はブ−ス126の内壁にしきつめた上記装置で、スイッ
チ138を投入すると三相交流高圧電源7oに接続され
て矢印140〜145に示す方向に進行する不平等進行
波電界が生ずる様罠なっている。そしてこの際、接地被
塗着物122に対して塗装用ガン146より供給せる塗
装用帯電粉体の未附着分が内壁に耐着堆積せる粉体層1
47〜150は悉く上記不平等進行波電界の作用に11
kL<剥離反撥された上、下方に輸送されて下部トラフ
上に敷きつめられた水平輸送用の上記電界カーテン装[
151上に集められる。次いで、スイッチ152を投入
すると電界カーテン装[1s を上に不平等進行波電界
が紙面に垂直な方向に水平に生じ、その作用で電界カー
テン装置isi上の粉体粒子は運搬されて出ロi53エ
リ回収槽内に回収される。
第28図は、第15図ないし第16図に示す本発明によ
る三相型の接触形電界カーテン装置69を用いて異る三
成分エリ成る粉粒体子の各成分へ分別する電気力学的分
別機を構成せる応用例を示す。図において153は第1
5図ないしW、16図に示された装置69で手前が下方
になる様に傾斜しており、三相電極群は点線で示す様に
153の傾斜方向と同一の方向に配列され、ターミナル
66.67.68に工り三相交流高圧電源70によりU
相、V相、W相の三相交流高電圧の相電圧を図示の相順
に印加されている。
この時、すてにくシ返しのべた如く不り等進行波電界が
153の表面を右向きに進行する如く生ずるが、この電
界は、右向きの回転進行波(第一モード)、左向きの回
転進行波(第二モード)。
右向きの次の回転進行波(第三モート四、・・・と無数
の右と左に進行する回転進行波に分解できるのである。
そして帯電粒子の中、その粒径。
質量、負荷量に裏って定まる特性上いづれの波にも乗れ
ないものは進行しないで回転運動を行い、第一モードの
波に乗るものは右向きに運ばれ、第二モードの波に乗る
ものは左向きに運ばれ、以下同様となる。そこでいま、
ホッパー113よυ上の三種類の粉体に属する三つの異
なる粉体混合物を供給管114よシ、装rIt153の
中少上部忙落下供給すると、第1の種類の粒子はそのま
ま153の斜面を落下してホッパー155に捕集される
。又、第2の種類に属するものは落下の途中で右方に運
ばれて右側シュート156に入る。
第3の種類に属するものは落下の途中左方に運ばれて圧
制シュート157に入る。かくて三種類の粉体は完全に
電気力学的操作のみに1って、その成分に分けられるの
である。
第29図は、第15図に示す三相型の接触型電界カーテ
ン装置69において、粉粒体ないし液体の輸送過程にお
いて、同時にこれを単極性に荷電し、その輸送効果を上
昇せしめたものである。電界カーテン装置69の三相′
rIL極57゜58.59.・・・のそれぞれを、図示
の通り二つに分けて57a、57b+58a+58b、
59a、59b。
・・・とし、それぞれの相電極のa、b間に高抵抗is
s 1159 t 160を挿入してこれらを接続の上
、端子66.67.68を介して三相交流高圧電源70
に接続することにより、三相電極群57a−57b 、
 58a−58b 、 59a−59b 、−に相電圧
u、v、wを供給して、その表面71の上方に矢印72
の方向に進行する不平等進行波電界を形成しておき、次
に高圧パルス−源161より、各相電極の電位が相隣る
相電極の電位の双方に対して負又は正となる期間内にそ
のa、b電極間にパルス高電圧を印加して、その上方ガ
ス空間内に無電極パルスコロナ放電を生ぜしめてプラズ
マを発生せしめ、これから負又は正の単極性イオンを隣
接電極に向けて放出せしめて、その上方の粉粒体粒子な
いし液体に射突せしめることによりこれを負又は正に荷
電し、同時に矢印72の方向に輸送せしめるものである
。これに工って被輸送物体は常に強力に荷電され、ニジ
有効に輸送することができる様になる。
第30図は第29図の電界装置の変形で、それぞれの相
電極57a−57b 、58a−58b 。
59a−59b、・・・の中間上方の表面lの上にガス
空間に露出して接地せる細線状のコロナ放電極162.
163.164−、・・・が配設されている。その結果
、各相電極のa、brIIIにパルス高電圧が印加され
る際より強力なパルスコロナ放電が生じて荷電効果がよ
り向上し、その結果輸送効果の上昇もより大きくなる。
第3)、図は、第rE図、第1F図ないし第17A図、
第17B図の電界装置を粉粒体の輸送に使用せる応用例
で、矩形断面を有する傾斜せる樋165の下面と上面に
上記電界装置166 t 166a。
・・・及び167.167b、・・・が敷きつめられて
おり、それぞれが単相交流高圧電源168.169に1
単相交流高電圧が印加され、それぞれの電界装置群の樋
内側に面する表面上に定在波不平等交番電界が形成され
ている。いま左上方の入口170から粉粒体を供給する
と、樋内に導入されたのち直ちに電界装置群166.1
66a、・・・に接触して接触帯電し、上記電界の作用
で激しく反撥されて浮上し、重力の作用で矢印171の
方向に右下方へと輸送され、遂に出口172よシ排出さ
れる。
この場合、交流電源!68 、i69の出力側中性点な
いし出力端子同志の間に直流高圧電源173ないし交流
高圧電源173をスイッチ175を介して挿入すると上
下の電界装置群166.166a、・・・と167.1
67a、・・・との間に直流高電界ないし交流高電界が
生じ、上記輸送作用が大巾に促進される。この場合も、
168 s 169の交流出力電圧を上記電界装置表面
でのコロナ開始電圧Vc以上にしてその表面に7″2ズ
マを形成してやると輸送作用が上昇する。また場合によ
って樋165の電界装置は下面のもの166.166a
、・・・のみとし、上面のもの167.167a、・・
・および電源t69 s 173.174を省略するこ
とも出来る。
ま几、すでにのべた所の電界装置(第1E図。
第1F図、第5図、第6図、第7図、第8図。
第11図、第14図、第15図、@16図、第17A図
、第1713図、第18図、第19図。
第20図、第21図、第22図、第25図、第26図、
第27図、第28図、第29図、第30図、第31図の
すべてを含む]において、その表面上のガス、をNm 
、 Cot 、!−1,0あるいは燃焼排ガス等の不活
性ガスとして、被輸送物体の着火等を防止したシ、乾燥
ガスを供給して輸送効果を高めたり、電界装置に適当な
振動器によって機械振動を加えて輸送効果を促進したり
、あるいは電界装置自体に多数の小孔を設けてガスを裏
面より表面に供給して、反撥浮上効果を流体力学的に促
進したシすることもできる。
第32図〜第37図の電界装置tViイオン源としての
電界装置において、線状コロナ放電極をファインセラミ
ック誘電体表面上に特に長形の伝送線路として配設し、
その一端に印加電圧の入力端子をとりつけたものである
。この電極構造は特に印加電圧としてパルス史がlns
〜1000ns程度の極短パルス高電圧を用いる場合に
適しており、この場合パルス電圧は入力端から進行波と
して進行しクク強力なパルスコロナ放電を発生してプラ
ズマを形成する。かかる鶏岐な立上9のパルス高電圧に
より生じた放電は特に放電化学的作用が活溌で、オゾナ
イザ−やNOx 、 SOxの酸化6I?に用いるのに
適している。
第32図の例では長方形のファインセラミック誘電体子
板lの上に長形の二本の細線状コロナ故電極としての伝
送線路(以下コロナ伝送線路と工ぶ)176.177が
平行かつ蛇行して本発明の方法で配設されており、その
入力端子178゜179を介して上記極短パルス高電圧
を極短パルス高圧電源180よシ供給印加される。この
電圧は進行波電圧として、伝送線路176−177上を
その終端181.182まで伝播進行し、その過程で伝
送線路176と177の間上記活性プラズマを生ずる。
図の様に終端181.182を開放にすれば進行波電圧
は反射されるが、ここに伝送線路の、サージインピーダ
ンスに等しい抵抗をつけると反射が停止する。
第33図Fi932図の電界装置の変形で電極176.
177の配置を図示の如く互に嵌合せる櫛歯状としたも
のである。この場合、進行波は矢印183−184−1
85−・・・の如く進行し、終端180に至る。
第34図は第1図に示す手法でファインセラミック長方
形の誘電体板18の内部に面上の誘導電極9を埋入配設
し、誘電体板18の表面2の上に一本の長形の線状コロ
ナ放電極187をジグザグ状に等間隔かつ平行となる様
に蛇行せしめて、その下の面状誘導電極9との間に誘電
体層を介して伝送線路を形成せるもので、端子178゜
179の間に上記極短パルス高電圧を印加すると、進行
波高電圧は矢印188−189−190−・・・の如く
進行して終端191に至り、この間に細線上コロナ放電
極197からその左右方向に銹電体表面2に溢う浴面コ
ロナ放電を生じ、上記の活性プラズマが形成される。
第35図は第34図の電界装置の上面を内側になる様に
長手方向を軸として曲げて円筒型の電界装置192を形
成せるもの、第36図は同じく上面が外側になる様に曲
げて円筒型電界装置193を形成せるもので、それぞれ
円筒の内側および外側に活性なプラズマを形成する。
第37図は第36図の変形で長形線状コロナ放電極をら
せん状に円筒193の表面2に配設せるもので、ファイ
ンセラミック円筒193の内部に埋入せる円筒状の誘導
電極と、らせん状コロナ放電極194で伝送線路を形成
し、この間に端子i7B’、179を介して極短パルス
高電圧を印加すると、進行波は194上をらせん状に進
行して、その左右に活性プラズマを形成する。この場合
には電極194はグリーンシートで円筒を形成の上その
外周に印刷する。
第38図は本発明によるイオン源としての電界装置を利
用してボイラーや自動重工/ジン等の燃焼排ガス中5O
x−?NOxを酸化し比シ、あるいはオゾンを生成する
装置で、例えば第1m図。
wcxF図、第17A図、@i 7B図、第32図。
第33図、第34図等に例示する如き電界カーテン装置
、本実施例゛では特に第34図の装置でファインセラミ
ック誘電体板18の両面に長形の細線状コロナ放電極1
87を設けたもの195をガス通路196内に多数ガス
流に並行に配設してあり、極短パルス高圧電源180工
り、極短パルス高11圧を端子178.179を介して
それぞれ電界装@195の細線状コロナ放電極と87と
面状埋入誘導電極9との間に印加す墨ことによって、す
べての電界装置1950両面に活性なプラズマを形成し
ている。いまSOxやNOx等の有害成分を含む燃焼排
ガスを手前の入口から矢印197の方向に通路196内
を通過せしめると、上記プラズマの放電化学的作用で、
これらが湿式除去の容易なSO,、No、に酸化される
。また入口から僅かのアンモニアガスを添加するとこれ
らと結合して硫硝安複塩のエアロゾルを生じ一下流に電
気集塵装置等を設けることによって容易にこれを欅集除
去することができる。更に各電界装置195のファイン
セラミック誘電体表面上に触媒作用を有する成分層を設
けると、NOxとNH,を馬と1−1.0に分解するこ
ともできる。更にガスとして乾燥空気ないし酸素を導入
するときは、オゾンを生成することができる。この時は
特にセラミック板内に埋入せる面状誘導電極9を中空状
に形成の上、この内部に空気又は水を流して各電界装置
195を冷却する。
第38図の応用にンいては板状の電界装置195の代シ
に第3図、第4図、第5図、第6図、第35図、第36
図、第37図等に例示せる如き円筒状の電界装置、その
他任意の形状の電界装置をガス通路196に充填の上側
用することができる。
第39図は本発明によるイオン源としての電界装置全高
抵抗粉体を用いる流動層199内に多数配置して、流動
に伴う粉体の強力な帯電や壁面への耐着を防止せる応用
例である。図において198はIR,rJJJ層函体で
下方にガス流入用間隙199゜多孔板200を有してガ
ス入口201ニジガスを流動層199内に圧入、多孔版
200を通過してその上方窒間202において高抵抗粉
体を流動化せしめる。203.203aは函体198の
内壁にとりつけられた第1図に示すイオン源としての電
界装置、2041204a+・・・は空間202の内部
に垂直かつ等間隔に平行にとりつけられた第7図の27
に示す両面体側線状コロナ放電極を有するイオン源とし
ての電界装置で、それぞれコロナ放電極と属人面状電極
の間に交流高圧電源19によりて交流高電圧を印加する
ことにょplその外表面にプラズマを形成、空間202
の内部で流動により発生せる粉体電荷を除電し、粉体相
互の凝集や函体198の内壁への電気力による粉体の耐
着を防止する。
第40図、第41図は本発明による所のイオン源とし否
の電界装置を電気集塵装置に利用せる応用例である。こ
の目的に使用すべきイオン源電界装置はすでに述べた凡
ゆる形式のものを利用できるが、本例では第34図に示
すものを用いる例を示す。
第40図は一段式電気集塵装置のガス通路用ダクトをと
り除いた図で、2051206は接地せる平板状集塵極
、207は第34図に記載のイオン源電界装置で、ファ
インセラミック誘電体板18の両面に細線状の長形コロ
ナ放電極187を有するものである。内部に埋入せる面
状誘導電極9とコロナ放電極187とはそれぞれ端子1
79゜178を介して高抵抗208に接続されることに
より直流的には同電位にあり、かつ端子17Bがインダ
クタンス209を介して負の直流高圧電源210に接続
されることによって、面状誘導電極9とコロナ放電極1
87は接地#&塵極205,206に対して負の直流高
電圧が印加されている。180はパルス高圧電源で結合
コンデンサー211,212を介して端子178,17
9間にパルス高電圧を印加し、これによシコロナ放電極
187エシセラミツク誘電体18の両側表面上に沿面パ
ルスコロナ放電を発生せしめて面状のプラズマイオン源
を形成する。このプラズマイオン源から負イオンがコロ
ナ放電極187と集塵極205,206の間の集塵空間
213.214に形成されている直流電界にLり抽出さ
れ、集塵極205,206へと流れる。いま含塵ガスを
矢印215の方向にこの集塵空間213.214内に導
入すると、ガス中のダクト粒子は上記負イオンに工って
射突され強力に負に荷電され、クーロン力により直ちに
集塵極205.206の表面に分離捕集される。そして
清浄化され几ガスは矢印210の方向に外部に放出され
るのである。集塵極205,206に耐着堆積せるダク
トはこれを槌打することにより図には示されていない下
部ホッパーへと剥離落下する。
インダクタンス209はパルス電圧の負の直流高圧電源
210への侵入を防ぐ。
第41図は二段式電気集塵装置のガス通路用ダクトをと
り除いた図で、217は第40図とまったく同様の溝造
を有し、ガス流方向の長さが短い荷電部であって矢印2
15の方向に進入せる含塵ガス中のダクト粒子を負極性
に荷電する。
218は平行平板電極群219.220,221.22
2゜223、・・・Lり成る捕集部で、一つおきに電極
219゜221、・・・は接地され、その中間の電極2
20,222゜・・・は絶縁されて直流高圧電源214
にエリ負の直流高電圧を印加さnている。したがって接
地電極219,221.・・・と高圧電極群220 、
222、−゛の間の集塵空間には直流平等電界が形成さ
れておシ、荷電部217で負に荷電さnたダクト粒子が
ガス中に浮遊して進入すると直ちに正極性にある接地1
μ極群219.221.・・・上に分離捕集される。清
浄になり皮ガスは矢印216の方向に外部に放出される
第40図、第41図の応用例でイオン源として本発明に
よるファインセラミック誘電体を用いた電界装置を利用
することにより、面状のイオン源が構成できて、従来の
細線状コロナ放電極を用いる場合よりも、大巾に荷電効
率を向上でき、その結果集塵率を上昇できる。
本発明の各種電界装置にこれに多数の小孔を貫通形成し
て、背後よシ表面に空気、ガスあるいは液体を小孔を通
して供給し、これに裏って表面上への粉体キの耐着を防
止したり、反撥・浮上・輸送等の電気力学的処理効果を
助長したり、あるいは本電界装置を反応促進に用いる時
の対象ガスの導入口に利用したシ、あるいは小孔自体の
内部で放電せしめてその特殊な効果を利用したり1小孔
を通して放電域に不活性ガスを供給して、放電による着
火爆発を防止したり等の各種の利用を可能ならしめるこ
とができ、これも発明の一つの重要な一部を形成する。
tjc4z図は本発明によるかかる多孔電界装置の−例
を示すもので、第1A図乃至@IF図の装置への適用例
であって、第42A図はその一部断面を示す斜視図、第
42B図はその小孔部分の詳細図である。すなわち第1
A図乃至第11”図の装置の上層lの下面に印刷される
面状誘電極9は上面に印刷される細線状コロナ放電極3
゜4.5の中間部に等間隔に多数の小孔を形成するため
、その小孔位置下面に小孔径よりも大きな内径を有する
多数の円形の空白部225を形成する如く印刷しておシ
、上層lと下層lOを圧着後に小孔群226をパンチに
ニジ形成して焼成する。これによって、該小孔群226
を通して下方より空気又はガスを矢印227の方向に供
給しコロナ放電極3,4,5.・・・でプラズマを形成
中の圧着焼成後のセラミック誘電体板18の上面2にこ
の空気又はガスを放出せしめて、すでに述べた各種の効
果を達成せしめることができる。小孔群226はコロナ
放電極3,4.5.・・・の内部に設けることも出来る
。いづれの場合にも誘導電極9には小孔226の直径ニ
ジも大きな径の空白部をその周囲に設けて、小孔内に誘
導電極9が露出することを防止し、これによって誘導電
極9と電極3,4.5との間の火花発生を防止する。
第43図は第16図に示す一相露出型の三相型接触形電
界カーテン装置に多数の小孔を設け、これをエアスライ
ド輸送機として構成せるものである。図において69は
一相露出型の三相型接触形電界カーテン装置で、三相交
流高圧電源70j:り端子66.137.68を介して
電極53゜54 t55153a+54a、55aに三
相交流高電圧を印加することによってその表面上に矢印
228の方向に進行する不平等進行波電界が形の下方に
設けられた空気室229に入口230工り空気を圧入す
ることにエリ、この小孔226をへて装置69の上方へ
と空気が放出される。いま電界カーテン装置69を樋2
31内の下面にとりつけ、左上方の入口232J−り粉
体を落下供給すると、これVi直ちに電界カーテン装置
69の上面と接触の上帯電し、反撥されて、上記不平等
進行波電界の作用と上記放出空気の作用で浮上し、かつ
不平等進行波電界の作用で矢印228の方向へと輸送さ
れ、出口233工り放出される。
この場合、放出突気の作用で大巾に浮上刃が増し、輸送
容量が増加する。また、一般にエアスライド輸送機は傾
斜を設けて重力作用により斜下方にしか輸送できないが
、本装置では水平輸送は勿論、斜上方への輸送も可能で
ある。また人口232内に適当な予備荷電装置を設けて
導入粉体を予め荷7こさせてやれば、粉体を電界カーテ
ン装置69と接触して荷電せしめる必要がなくなり、耐
着性の強い粉体ないし湿潤粉体でも完全に非接触状態で
輸送することが可能となる。
第44図は第42図の装置の変形で小孔の代シに多数の
スリットを設けたものである。この電界装置234は等
間隔をもって平行に配設せる多数のモヂュール235エ
リ成る。このモヂュール235は矩形断面を有する長形
のファインセラミンク誘電体236よシ成シ、その内部
に誘導電極237、その左右両側面に膜状電極238,
239を有し、その鋭い上R240,241がコロナ放
電極を形成し、交流高圧電源19より端子15゜16を
介して電極238,239と埋入誘導電極2370間に
交流高電圧を印加すると鋭い上A&240#241から
誘電体236の上表面にそりて内向きに沿面交流コロナ
放電が発生し、イオン源としてのプラズマを形成する。
相隣るモヂュール235間の間隙242は空気又はガス
を矢印243の方向に通過せしめるスリットとして働き
、本装置234は第42図の装置とまり几〈同様な機能
を発揮する。
第45’A図は多孔電界装置の別の構成例でファインセ
ラミック誘電体板244の表面に面状電極245、その
内部に埋入されていま一つの面状電極246があり、か
つ多数の小孔226がこれら面状電極245.246と
ファインセラミック誘電体板244を貫通してあけられ
ているが、この場合小孔226の内壁には第45B図に
示す様に電極245.246の貫通周縁247.248
が露出しており、両電極間に端子15.16を介して極
短パルス高圧電源180工υ極短パルス高電圧を印加す
ると小孔226の内壁表面に沿って周R247と248
の間に沿面放電が発生、これがプラズマイオン源となっ
て誘電体板244の上面にイオンを供給する。この場合
小孔群226を通して下方工り空気又はガスを上方に供
給すると、すでに述べた各種の効果を1揮する。
第46図Vi第45図の装置においてファインセラミッ
ク誘電体244の下面にも面状電極245aを設けたも
ので、したがって小孔226の内壁における放電は周縁
248の上下両方において発生する。したがって小孔群
226を通してガスを供給する場合には、その放電化学
作用が第45図の場合の倍に促進される。また、小孔2
26を通して帯電せる液体を通すときは有効に除去され
る。
第47図は第46図の装置において上部面状電極245
と内部埋入電極246間に極短ノくルス電源180に工
り端子15.16を介して極短パルス高電圧を印加して
各小孔226の上半部にプラズマを形成の上、電極24
6と下部面状電極245a間に直流高圧電源249によ
って端子16 、250を介して直流高電圧を印加する
ことにより、図の場合負イオンを選択的に下方に吸引供
給する単極性イオン供給源を構成せるもので、電子写真
の元祖1導性を有する感光材表面に一様に正又は負の所
賛極性の電荷を供給するのに用いることができる。この
場合イオン電流の大きさは直流電源249の電圧を変化
することにエリ自由にIA@することができる。
第48図は第47図の装置において、上面の一枚の面状
電極245の代シに各小孔毎に孤立せる環状の放電極群
251,252,253.・・・をその内周縁が小孔内
壁に露出する如く配設せるもので、それぞれと属人面状
電極246の間に端子16および各端子254,255
,256を介してパルス電源257工リ信号パルス高電
圧を印加して小孔上半部にプラズマを形成すると、所定
極性の単極性イオン(本例では負極性ンが直流電源24
9の作用で下方に引き出され、更に直流電源258に工
つて吸引電位を与え゛られた下方ターゲット259に供
給される。そこでいt259を光伝導性感光材料より成
る回転ドラムの表面と・すると、端子254,255,
256.・・・に各文字に相当するパルス信号を与える
ことにより259表面に点状ドツトよりなる文字(ない
しパターン)の静電潜像を形成でき、これにトナーを静
電的に転位の上、紙上に転写定着する様にすれば電子写
真を構成できる。
第49図は第1A図乃至第1F図に示す本発明による電
界装置を紙やプラスチックシートや機械部品等の固定耐
着に応用せる電界耐着装置ないし静電チャックの構造を
示す。図において18はきわめてわづかな導電性を有す
るファインセラミック誘電体板で表面に細線状電極3゜
4.5.・・・、内部に埋入して面状誘導電極9を有し
、スイッチ260を介して直流電源30にニジ直流電圧
が印加されている。いまこの右側表面上に紙やシートな
いし機械部品等の物体261を附けると電極3t4+5
より注入される負電荷がこの物体261の誘電体板18
に面する表面上にあられれ、正極性にある誘導電極9に
より吸引されて18表面上に強固に固定される。いまス
イッチ260を接)4@に切替えると物体261は直ち
に吸引力を失ってとりはずせる。
第50図は第49図に示す電界耐着装置18の上に紙又
はプラスチックのシート母材261を耐着固定の上、接
地せるマグネット262で着色トナーを附着せる鉄粉を
吸引してマグネテインク・ブラシ263を形成の上シー
ト母材261上に画又は字を画くと、鉄粉に接触帯電に
よって附着してい九着色トナー粒子が面状電極9による
吸引力でシート母材261上に吸引転写される。
これを外したのちトナーを赤外線照射等の方法で加熱す
ると物体261上の画又は字が固定定着される。この様
な静電的イメージ作製はセラミック誘電体板18上に細
線状電極3.4.5を除いてもまったく同様に行うこと
ができ、これを第51図に示す。また、マグネティック
・ブラシ263を用いないで第52図に示す如く接地せ
る金属ペン264でシート母材261の上に画又は文字
を画くとシート母材261の上に金属ベン264より、
この場合負電荷が注入されて画又は文字の静電潜像が出
来るので、シート母材261をとり除いた上でこの上を
トナーを附着せるマグネティック・ブラシで掃引すると
、トナーが静電潜像の上に転写されて現像でき、これを
熱定着すると固定された画像又は文字がシート母材26
1上に出来る。
本発明による所のファインセラミックを用いた電界装置
の種々の応用に当っては、これを加熱しつつ用いたこと
が少くない。例えば第22図に示す液体の輸送装置では
粘度の高い液体を送るとき、円筒状の三相型の接触型電
界カーテン装置96を加熱すると液体粘度が下って輸送
が容易となる。この様な場合には別の直流又は交流電源
に工υ、あるいは[磁誘導を利用して電界形成用の電極
に加熱i流を流してジュール熱に↓シミ極に発熱せしめ
ればよく、これも本発明の重要な一部を形成する。
特に第22図の場合、96は第19図の装置96より成
るが、この時は円筒96の外周にコイルを巻きつけ、こ
れに高周波交流電流を流すと、電tn誘導作用で円筒9
6内に埋入せる環状電極97.98.99 +97a、
98b、99c。
・・・に高周波交流電流が流れて容易に加熱を行うこと
ができる。
【図面の簡単な説明】
第1A図は本発明の物体の静電的処理装置に用いる電界
装置の製造過程における原料シートの上面を示す斜面図
、第1B図は同原料シートの下面を示す斜面図、第1C
図は他の原料シートの上面を示す斜面図、第1D図は他
の原料シートの下面を示す斜面図、第1E図は第1A図
と第1c図の原料シートを二枚重合して、一部分を欠如
せる状態の斜面図、第1F図は第1E図の横断面間、第
2因は本発明の処理装置の実施例め断面図、第3図乃至
第6図及び第7A図。 7B図は夫々他の実姉例の斜面図、第8図は本発明の実
施例を示す粉体の荷電処理装置の斜面図、第9図乃至第
12図は本発明の実施例を示す粉体の処理装置の斜面図
及び断面図、第13A図は本発明に用いる電界装置を製
造する過程における表層グリーンシートの上面の斜面図
、第13B図は中間層グリ−/シートの上面のσ(面図
、第13C図は同シートの下面の斜面図、第13D図は
基底層グリーンシートの上面の斜面図、第13E図は同
シートの下面の斜面図、第14図は各層グリーンシート
を重ねて圧着の上焼結した状態の斜面図、@15図、第
16図。 第17A図、第1713図は本発明に用いる電界装置の
回路図、第18図は本発明を実施せる粉粒体の輸送機の
断面図、第19図、第20図及び第21図は本発明を実
施せる粉体等の各種処理装置の斜面図、第22図は本発
明を実施せる液体輸送装置の断面図、第23図、第24
図は本発明を実施せるヒートパイプの断面図、第25図
、第26図及び第27図は夫々本発明を実施せる粉体塗
装々置の断面図、第28図は本発明の実施例を示す電気
力学的分別機の斜面図、第29図、第30図及び第31
図は本発明の実施例を示す粉体輸送装置の断面図、第3
2図乃至第37図は本発明の装置に使用する各種の電界
装置の斜面図、第38図は本発明の実施例を示す排ガス
処理装置の斜面図、第39図は本発明の実施例を示す流
動層函体の断面図、第40図及び第41図は本発明の実
施例を示す集塵装置の要部の斜面図、第42A図は本発
明の装置に使用する電界装置の斜面図、第42I3図は
その一部分の拡大図、第43図は本発明の装置を実施せ
るエアスライドの断面図、第44図は!42図の電界装
置の変形を示す装置の斜面図、第45A図は本発明の装
置に用いる電界装置の断面図、第4513図はその一部
分の拡大図、第46図は他の電界装置の断面図、第47
図は本発明の装置を実施せる電子写真の感光材表面に電
荷を供給する装置の断面図、第48図は本発明の装置の
実施例であって、所定極性の単極性イオンをターゲット
に供給する装置の断面図、第49図は本発明の装置を実
施せる静電チャックの断面図、第50図、第51図及び
第52図はシート母材上に着色トナーを吸着せしめる装
置の断面図である。 3.4.5・・・・・・線状電極 9・・・・・・・・・・・・・・・面状電極18・・・
・・・・・・・・・・・・電界装置23・・・・・・・
・・・・・・・・ゴムベルト25・・・・・・・・・・
・・・・・円筒状誘電体26.26a”・・・・円筒状
電界装置30・・・・・・・・・・・・・・・直流高圧
電源31・・・・・・・・・・・・・・・荷電空間32
・・・・・・・・・・・・・・・荷電粉体粒子34・・
・・・・・・・・・・・・・感光用ローラ38・・・・
・・・・・・・・・・・被塗物42・・・・・・・・・
・・・・・・円環状電界装置45・・・・・・・・・・
・・・・・ハント力153.53a、53b ・・・三
相電極群の一相の電極73+73a、73b ・”線状
電極 74.74a、74b ・=線状電極 79・・・・・・・・・・・・・・・樋82.82a、
82b ・−電界装置 89・・・・・・・・・・・・・・・誘電液体入口95
・・・・・曲・・・・・・・R電液体出口96・・・・
・・・・・・・・・・・円筒状電界装置100.101
・・・・・・容 器 102.103・・・・・・伝熱面 104a・・・・・・・・・・・・ガスリターン周円m
T106 ・・・・・・・・・・・・放電極針107 
・・・・・・・・・・・・ホッパ1.08  ・・・・
・・・・団・被塗装金属パイプ113  ・・・・・・
・・・・・・ホッパ117、f18・・・・・・垂直壁 119’、、l 20・・・・・・傾斜壁122  ・
・・・・・・・・・・・被塗物126 ・・・・・・・
・・・・・粉体塗装用ブース146  ・・・・・・・
・・・・・塗装用ガン155  ・・・・・・・・・・
・・捕集用ホッパ156.157・・・・・・シュート 158.159,160・・・抵 抗 161  ・・・・・・・” ”’ K 圧ハルスミ源
162、163 、164・・・細線状コロナ放電極1
65  ・・・・・・・・・・・・樋18o ・・・・
・・・・・・・・極短パルス高圧電源196  ・・・
・・・・・・・・・排ガス通路198 ・・・・・・・
・・・・・函 体200 ・・・・・・・・・・・・多
孔板202 ・・・・・・・・・・・・空 間226 
・・・川・・・・・・小 孔 245.245a、246・・・面状電極249 ・・
・・・・・・・・・・直流高圧電源251.252.2
53・・・環状電極260 ・・・・・・・・・・・・
スイッチ261  ・・・・・・・・°・°°静静電チ
ャフ2用用うける物体日 の 第 図 坑 図 第 図 簗 図 第 囚 手 続 補装置 平成1年/2月夛日 平成I年特願第291140号 2、発明の名称 物体の静電的処理装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都北区西ケ原l−40−11)の氏名 増 
1)閃 − (ほか 1名) 605号 4、代理人 住所 東京都中少区日本橋2−6−3齋藤特許ピル持許
錆求の範囲の問 特許請求の範囲 1、 ファインセラミ・・Iりで適当な形状に形成され
た誘電体に面状電極と線状電極とを一体的に設けた電界
装置のプラズマ発生面を被処理物体に向けて設け、該面
状電極と線状t Ffl(31との開に電源を接続せる
物体の静電的処理装置。 2、特許請求の範囲第1項に記載せる物体の静的処理装
置に於いて、線状電極と面状電極のうち少なくとも一方
が半導電性セラミック材t1で形成されていることを特
徴とする物体の静電的処理装置。 3、 特許請求の範囲第1項に記載せる物体の静的処理
装置に於いて、電源が高周波交流電源であることを特徴
とする物体の静電的処理装置。 4、特許請求の範囲第1項に記載せる物体の静的処理装
置に於いて、電源が極短パルス高圧電源であることを特
徴とする物体の静電的処理装置。 5、特許請求の範囲第4項に記載せる物体の静電的処理
装置に於いて、電界装置が排ガス通路(196)内に空
間を隔てて複数個その流れの方向に19って設けられて
おり、又被処理物が排ガス通路(1961内を流れる排
ガスであることを特徴とする物体の静電処理装置。 6、特許請求の範囲第4項に記載せる物体の静電的処理
装置に於いて、電界装置が一段式電気講じん装置のガス
通路内の平板状集塵極と相対して設けられていることを
特徴とする物体の静電的処理装置。 7、特許請求の範囲第4項に記載された物体の静電的処
理装置に於いて、電界装置が二段式電気集じん装置の補
集部の前段に設けられた7i?電部に設けられているこ
とを特徴とする物体の静電的処理装置。 S、特許請求の範囲第1項記載の物体の静電的処理装置
において、肢処)1物体が除電処理されるゴムベルト(
23)であることを特徴とする物体の静電的処理装置。 2、特許請求の範囲第1項記載の物体の静電的処理装置
において、誘電体の形状が円面状であり、又プラズマ発
生面が円筒状誘電体(25)の外周面であることを特徴
とする物体の静電的処理装置。 10、特許請求の範囲第1項記載の物体の静電的処理装
置に於いて、誘電1本の形状が円筒状であり、スプラズ
マ発生面が円筒状誘電体(25)の円周面であることを
特徴とする物体の静電的処理装置。 11、特許請求の範囲第1項記載の物体の静電的処理装
置において、線状電極(3)が直流高圧電源(30)と
結合されており、被処理物体が被荷電粉体粒子(32)
であり、又プラズマ発生面が該被荷電粉体粒子の荷電空
間(31)を介して。 接地された非コロナ電極に向けられていることを特徴と
する物体のlFt的処塩処理装置2、特許請求の範囲第
1項記載の物体の静電的処理装置に於いて、電界装置が
負の直流高圧電源(30)に接続された線状電極(31
を有する円筒状電界装置(26)と、接地された線状電
極19を有する池の円筒状電界装置(26a)とがらな
り、プラズマ発生面が各円筒状電界装置(26゜268
)の外周面に形成され、被処理物体が接地された感光用
ローラ(34)の表面であることを特徴とする物体の静
電的処理装置。 13゜特許請求の範囲第1項記載の物体の静電的処理装
置に於いて、電界装置の線状電極が直流高圧電源(30
)に接続され、膜処理物j本が該接地非コロナ電極(2
9)に着脱せしめられるフィルム(36)であることを
特徴とする物体の静電的処理装置。 U、特許請求の範囲第1項記載の物体の静電的処理装置
に於いて、線状電極が直流高圧電源と結合されており、
彼処Fi!物体が粉体塗料であり、又プラズマ発生面が
該粉体塗料の311回路を介して、接地された被塗物に
向けられていることを特徴とする物体(″静電的処理装
置。 15、特許請求の範囲第1項記載の静電的処理装置にお
いて、電界装置がハンドガン(45)の先端の開口部に
同軸に設けられた円環状電界装置(42)であり、その
電界装置を構成する線状電極が直流高圧電源(30)と
結合され、被処理物体が該ハンドガン内を通る粉体t!
!1#であり、又プラズマ発生面が被塗物(3’8)に
向けられていることを特徴とする物体の静電的処理装置
。 橘−0特許請求の範囲第1項に記載せる物体の静電的処
理装置に於いて、誘電体と一体的に形成された電極が、
その内部に埋設された面状電極(9)であり、該面状を
極(9が直流電源(30)と接続され、被処理物体が接
地せるマグネッ)−(262)に付着されている着色ト
ナーであることを特徴とする物体の静電的処理装置。 [、特許請求の範囲第16項に記載せる物体の静電的処
理装置に於いて、誘電体と一体的に形成された電極がそ
の内部に埋設された面状電極(9;とその表面に設けら
れた線状IC& (3)、印f51であることを特徴と
する物体の静電的処理装置。 狐、特許請求の範囲第1項に記載せる物体の静電的処理
装置に於いて、電(至)が誘電体内に埋設された面状電
極であり、又電界装置がその上面の電界形成面に、接地
せる金属ペンで画かれるシート母材(261)を戴置さ
れていることを特徴する物体の静電的処理装置。 口、特許請求の範囲第1項に記載せる物体の静的処理装
置に於いて、誘電体が積層され、かつその表面にターミ
ナル導体部が設けられていることを特徴とする物体の静
電的処理装置。 封、特許請求の範囲第19項に記載せる物体の静的処理
装置に於いて、ターミナル導体部が、誘電体の貫通孔に
充填されたインクを介して電極に接続されていることを
特徴とする物体の静電的処理装置。 2、特許請求の範囲第19項に記載せる物体の静的処理
装置に於いて、インクがタングステン微粉末分散のイン
クであることを特徴とする物体の静電的処理装置。 22、ファインセラミックで適当な形状に形成された1
1電木に多数の線状電(至)を埋設し、該多数の線状電
極を夫々2本おきに結合して三相電8iir#を構成し
てなる電界装置の通行波不平等電界形成面を彼処F!物
体に向けて設け、各三相電隋群に夫々三相交流高圧電源
(84)、(85)を接続してなる物体の静電的処理装
置。 2、特許請求の範囲第22項に記載せる物体の静電的処
理装置において、被処理物体が被輸送粉体であり、又該
電界装置の通行波不平等電界形成面上に供給されること
を特徴とする物体の静電的処理装置。 2、特許請求の範囲第22項に記載せる物体の静電的処
理装置に於いて、三相電極群の一相の電極(53,53
a + 53b )を、を界装置を構成する誘電体の表
面に露出してなる物体の静電的処理装置。 2、特許請求の範囲第22項に記載せる物体の静電的処
理装置に於いて、電界装置(82)、(82a)(82
b) 、 (82c)が矩形断面を有する關(79)の
内面に敷きつめられ、夫々の通行波不平等電界形成面が
鎖樋の通路内の被処理物体に向けられていることを特徴
とする物体の静電的処理装置。 酋、特許請求の範囲第22項に記載せる物体の静電的処
理装置に於いて、電界装置が円筒状電界装置(96)で
あり、又被処理物体が該円筒状電界装置(96)の内部
で、輸送処理、パッシベーション処理、遠心分離処理、
及び放atL字的処理の中、少くとも何れか一つを処理
される物体であることを特徴とする物体の静電的処理装
置。 2、特許請求の範囲第26項に記載せる物体の静電的処
理装置に於いて、円筒状電界装置(96)を構成する線
状電極の方向が、該円筒状電界装置の長手方向と平行に
設けられており、又、被処理物体が該円筒状電界装置(
96)の内部で、回転処理、混合処理、パッシベーショ
ン 処理、縒りかけ処理の中、少くとも何れか一つを処
理されることを特徴とする物体のr4p電的処理装置。 2、特許請求の範囲第26項に記載せる物体の静電的処
理装置に於いて、円筒状電界装置(96)を構成する線
状電極(97)、 (98)、(99)の方向が該円筒
状電界装置の円筒軸に対して傾斜しており、又被処理物
体が該円筒状電界装置(96)の内部で、輸送処理、回
転撹拌処理、縫9かけ処理の中少くとも一つを処理され
る粉体及び繊維であることを特徴とする物体の静電的処
理装置。 29  特許請求の範囲第26項に記載せる物体の静電
的処理装置に於いて、円筒状電界装置がその先端に放電
何針(107)を、又基端部に粉体塗料のホッパ(10
6)を夫々設けられており、更に該円筒状電界装置が1
1tg11装金属パイプ(11)8)の内部に挿入され
ている物体の静電的処理装置。 30、特許請求の範囲第22項に記載せる物体の静電的
処理装置に於いて、電界装置がその一端に誘電液体入口
(89)、他端に13電液体出口(95)を有する円筒
状電界装置で形成されていて、被処理物体が該電界装置
の進行波不平等電界によって輸送される液体であること
を特徴とする物体の静電的処理装置。 3)、特許請求の範囲第30項に記載せる物体の静電的
処理装置に於いて、円筒状電界装置(96)が加熱手段
を具備していることを特徴とする物体の静電的処理装置
。 32、特許1ff求の範囲第30項に記載せる物体の静
電的処理装置に於いて、円筒状電界装置が液体人口(8
9)から液体出口(95)に向って上方に傾斜し、その
両端に伝熱面(102) 、 (103)を有するft
動流体の容器<It)0) 、 (101)を夫々設け
、又被処理物体が前記容器(100)、 (101)内
の作動流体であることを特徴とする物体の静電的処理装
置。 33、特許1n求の範囲22項に記載せる物体の静電的
処理装置に於いて、円筒状電界装置(96)がガスリタ
ーン用円筒(104a)内に設けられ、又tpmh流本
の各容器(101)) 、(101)が該ガスリターン
周円FJ(104a)の両端と連通されていることを特
徴とする物体の静電的処理装置。 34、特許請求の範囲第22項に記載せる物体の静電的
処理装置において、電界装置が塗装機の垂直!!(11
7) 、(118)及び傾斜壁(119)、<120)
に設けられており、又被処理物が被塗物(122)に塗
着される粉体塗料であることを特徴とする物体の静電的
処理装置。 ■、特許請求の範囲第22項に記載せる物体の静電的処
理装置において、電界装置が粉体塗装用ブース(126
)の内壁面に敷きつめられており、ス披処Fl!flJ
木が、被塗物(122)に対して塗装用ガン(146)
より供給せる塗装用帯電粉体の未r=t s分であって
、該粉体塗装用ブース(126)の内壁面にけ着、堆積
せるものであることを特徴とする物体の静電的処理装置
。 塾8特許請求の範囲第22項に記載せる物体の静電的処
理装置に於いて、電界装置が水平面に対して傾斜せる平
板状であり、又その上部に混合粉体のホッパ(113)
を設けられ、下部に捕集用ホッパ<155)を設けられ
、更に左右の側縁部に線状電極と平行なシュート(15
6)、(157)を夫々設けられていることを特徴とす
る物体の静電的処理装置。 V、特許請求の範囲第22項に記載せる物体の静電的処
理装置に於いて、三相電極の各電極が夫々二つに分けて
互いに隣接して設けられ、その隣接せる二つのtwi間
に高抵抗(15g)、(159) 、(160)を挿入
され、これらの電極に高圧パルス電源(161)を接続
されており、又被処理物体が該電界装置の上面を浮上し
て輸送される粉体粒子であることを特徴とする物体の静
電的処理装置。 38、特許請求の範囲第37項に記載せる物体の静電的
処理装置に於いて、互いに隣接せる二つの各相電極が、
誘電体の表面に露出して設けられた設地せる多数の細線
状コロナ放@極(162) 、 (163> 、(16
4)を跨るようにして、該誘電体の内部両側に配置され
ていることを特徴とする物体の静電的処理装置。 39、特許請求の範囲第22項に記載せる物体の静電的
処理装置に於いて、電界装置がその表裏に通ずる多数の
孔を形成されており、又これが粉体を輸送するためのエ
ヤスライドの多孔板を構成していることを特徴とする物
体の静電的処理装置。 40、ファインセラミックで適当な形状に形成された誘
電体に多数の線状電極(73)、(73a) 。 (73b) 、 (74)、 (74a) 、 (74
b)を平行に設け、該多数の線状電極を夫々1本おきに
結合して単相ttrt群を構成してなる電界装置の定在
波不平等電界形成面を被処理物体に向けて設け、各単相
電極群に単相交流高圧電源(78)を接続してなる物体
の静電的処理装置。 41、特許請求の範囲第40項に記載せる物体の静電的
処理装置に於いて、[界装置が傾斜せる1(165)の
内面に敷きつめられていることを特徴とする物体の静電
的処理装置。 42、特許請求の範囲第40項に記載せる15)木の静
電的処理装置に於いて、電界装置が粉体流動層[14(
198)における多孔板<200)の上部に複数明方に
空間(202>を隔てて設けられ、m処理物体が流動に
よりrirtされた粒体であることを特徴とする物体の
静電的処理装置。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、ファインセラミックで適当な形状に形成された誘電
    体に面状電極と線状電極とを一体的に設けた電界装置の
    プラズマ発生面を被処理物体に向けて設け、該面状電極
    と線状電極(3)との間に高周波交流電源を接続せる物
    体の静電的処理装置。 2、特許請求の範囲第1項記載の物体の静電的処理装置
    において、被処理物体が除電処理されるゴムベルト(2
    3)であることを特徴とする物体の静電的処理装置。 3、特許請求の範囲第1項記載の物体の静電的処理装置
    において、誘電体の形状が円筒状であり、又プラズマ発
    生面が円筒状誘電体(25)の外周面であることを特徴
    とする物体の静電的処理装置。 4、特許請求の範囲第1項記載の物体の静電的処理装置
    に於いて、誘電体の形状が円筒状であり、又プラズマ発
    生面が円筒状誘電体(25)の円周面であることを特徴
    とする物体の静電的処理装置。 5、特許請求の範囲第1項記載の物体の静電的処理装置
    において、線状電極(3)が直流高圧電源(30)と結
    合されており、被処理物体が被荷電粉体粒子(32)で
    あり、又プラズマ発生面が該被荷電粉体粒子の荷電空間
    (31)を介して、接地された非コロナ電極に向けられ
    ていることを特徴とする物体の静電的処理装置。 6、特許請求の範囲第1項記載の物体の静電的処理装置
    に於いて、電界装置が負の直流高圧電源(30)に接続
    された線状電極(3)を有する円筒状電界装置(26)
    と、接地された線状電極(3)を有する他の円筒状電界
    装置(26a)とからなり、プラズマ発生面が各円筒状
    電界装置(26、26a)の外周面に形成され、被処理
    物体が接地された感光用ローラ(34)の表面であるこ
    とを特徴とする物体の静電的処理装置。 7、特許請求の範囲第1項記載の物体の静電的処理装置
    に於いて、電界装置の線状電極が直流高圧電源(30)
    に接続され、被処理物体が該接地非コロナ電極(29)
    に着脱せしめられるフィルム(36)であることを特徴
    とする物体の静電的処理装置。 8、特許請求の範囲第1項記載の物体の静電的処理装置
    に於いて、線状電極が直流高圧電源と結合されており、
    被処理物体が粉体塗料であり、又プラズマ発生面が該粉
    体塗料の通路を介して、接地された被塗物に向けられて
    いることを特徴とする物体の静電的処理装置。 9、特許請求の範囲第1項記載の静電的処理装置におい
    て、電界装置がハンドガン(45)の先端の開口部に同
    軸に設けられた円環状電界装置(42)であり、その電
    界装置を構成する線状電極が直流高圧電源(30)と結
    合され、被処理物体が該ハンドガン内を通る粉体塗料で
    あ り、又プラズマ発生面が被塗物(38)に向けられてい
    ることを特徴とする物体の静電的処理装置。 10、ファインセラミックで適当な形状に形成された誘
    電体に多数の線状電極を埋設し、該多数の線状電極を夫
    々2本おきに結合して三相電極群を構成してなる電界装
    置の通行波不平等電界形成面を被処理物体に向けて設け
    、各三相電極群に夫々三相交流高圧電源(84)、(8
    5)を設続してなる物体の静電的処理装置。 11、特許請求の範囲第10項に記載せる物体の静電的
    処理装置において、被処理物体が被輸送粉体であり、又
    該電界装置の進行波不平等電界形成面上に供給されるこ
    とを特徴とする物体の静電的処理装置。 12、特許請求の範囲第10項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、三相電極群の一相の電極(53、5
    3a、53b)を、電界装置を構成する誘電体の表面に
    露出してなる物体の静電的処理装置。 13、特許請求の範囲第10項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、電界装置(82)、(82a)(8
    2b)、(82c)が矩形断面を有する樋(79)の内
    面に敷きつめられ、夫々の進行波不平等電界形式面が該
    樋の通路内の被処理物体に向けられていることを特徴と
    する物体の静電的処理装置。 14、特許請求の範囲第10項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、電界装置が円筒状電界装置(96)
    であり、又被処理物体が該円筒状電界装置(96)の内
    部で、輸送処理、パッシベーション処理、遠心分離処理
    、及び放電化学的処理の中、少くとも何れか一つで処理
    される物体であることを特徴とする物体の静電的処理装
    置。 15、特許請求の範囲14項に記載せる物体の静電的処
    理装置に於いて、円筒状電界装置(96)を構成する線
    状電極の方向が、該円筒状電極の長手方向と平行に設け
    られており、又、被処理物体が該円筒状電界装置(96
    )の内部で、回転処理、混合処理、パッシベーション処 理、縒りかけ処理の中、少くとも何れか一つで処理され
    ることを特徴とする物体の静電的処理装置。 16、特許請求の範囲第14項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、円筒状電界装置(96)を構成する
    線状電極(97)、(98)、(99)の方向が該円筒
    状電極の円筒軸に対して傾斜しており、又被処理物体が
    該円筒状電界装置(96)の内部で、輸送処理、回転撹
    拌処理、縒りかけ処理の中少くとも一つで処理される粉
    体及び繊維であることを特徴とする物体の静電的処理装
    置。 17、特許請求の範囲第14項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、円筒状電界装置がその先端に放電極
    針(107)を、又基端部に粉体塗料のホッパ(106
    )を夫々設けられており、更に該円筒状電界装置が被塗
    装金属パイプ (108)の内部に挿入されている物体の静電的処理装
    置。 18、特許請求の範囲第10項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、電界装置がその一端に誘電液体入口
    (89)、他端に誘電液体出口(95)を有する円筒状
    電界装置で形成されていて、被処理物体が該電界装置の
    進行波不平等電界によつて輸送される液体であることを
    特徴とする物体の静電的処理装置。 19、特許請求の範囲第18項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、円筒状電界装置(96)が加熱手段
    を具備していることを特徴とする物体の静電的処理装置
    。 20、特許請求の範囲第18項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、円筒状電界装置が液体入口(89)
    から液体出口(95)に向って上方に傾斜し、その両端
    に伝熱面(102)、(103)を有する作動流体の容
    器(100)、(101)を夫々設けられ、又、被処理
    物体が前記容器(100)、(101)内の作動流体で
    あることを特徴とする物体の静電的処理装置。 21、特許請求の範囲20項に記載せる物体の静電的処
    理装置に於いて、円筒状電界装置(96)がガスリター
    ン用円筒(104a)内に設けられ、又作動流体の各容
    器(100)、(101)が該ガスリターン用円筒(1
    04a)の両端と連通されていることを特徴とする物体
    の静電的処理装置。 22、特許請求の範囲第10項に記載せる物体の静電的
    処理装置において、電界装置が塗装機の垂直壁(117
    )、(118)及び傾斜壁(119)、(120)に設
    けられており、又被処理物が被塗物(122)に塗着さ
    れる粉体塗料であることを特徴とする物体の静電的処理
    装置。 23、特許請求の範囲第10項に記載せる物体の静電的
    処理装置において、電界装置が粉体塗装用ブース(12
    6)の内壁面に敷きつめられており、又被処理物体が、
    被塗物(122)に対して塗装用ガン(146)より供
    給せる塗装用帯電粉体の未付着分であって、該粉体塗装
    用ブース(126)の内壁面に付着、堆積せるものであ
    ることを特徴とする物体の静電的処理装置。 24、特許請求の範囲第10項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、電界装置が水平面に対して傾斜せる
    平板状であり、又その上部に混合粉体のホッパ(113
    )を設けられ、下部に捕集用ホッパ(155)を設けら
    れ、更に左右の側縁部に線状電極と平行なシュート(1
    56)、(157)を夫々設けられていることを特徴と
    する物体の静電的処理装置。 25、特許請求の範囲第10項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、三相電極の各電極が夫々二つに分け
    て互いに隣接して設けられ、その隣接せる二つの電極間
    に高抵抗(158)、(159)、(160)を挿入さ
    れ、これらの電極に高圧パルス電源(161)を接続さ
    れており、又被処理物体が該電界装置の上面を浮上して
    輸送される粉体粒子出あすことを特徴とする物体の静電
    的処理装置。 26、特許請求の範囲第25項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、互いに隣接せる二つの各相電極が、
    誘電体の表面に露出して設けられた接地せる多数の細線
    状コロナ放電極 (162)、(163)、(164)を跨るようにして
    、該誘電体の内部両側に配置されていることを特徴とす
    る物体の静電的処理装置。 27、特許請求の範囲第10項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、電界装置がその表裏に通ずる多数の
    孔を形成されており、又これが粉体を輸送するためのエ
    ヤスライドの多孔板を構成していることを特徴とする物
    体の静電的処理装置。 28、ファインセラミックで適当な形状に形成された誘
    電体に多数の線状電極(73)、(73a)、(73b
    )、(74)、(74a)、(74b)を平行に設け、
    該多数の線状電極を夫々1本おきに結合して単相電極群
    を構成してなる電界装置の定在波不平等電界形成面を被
    処理物体に向けて設け、各単相電極群に単相交流高圧電
    源(78)を接続してなる物体の静電的処理装置。 29、特許請求の範囲第28項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、電界装置が傾斜せる樋(165)の
    内面に敷きつめられていることを特徴とする物体の静電
    的処理装置。 30、特許請求の範囲第28項に記載せる粉体の静電的
    処理装置に於いて、電界装置が粉体流動層函体(198
    )における多孔板(200)の上部に、複数個互に空間
    (202)を隔てて設けられ、被処理物体が流動により
    荷電された粒体であることを特徴とする物体の静電的処
    理装置。 31、ファインセラミックで適当な形状に形成された誘
    電体に面状電極と線状電極とを夫々一体的に設けた電界
    装置のプラズマ発生面を被処理物体に設け、該面状電極
    と線状電極との間に極短パルス高圧電源(180)を接
    続してなる物体の静電的処理装置。 32、特許請求の範囲第31項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、電界装置が排ガス通路(196)内
    に空間を隔てて複数個その流れの方向に沿って設けられ
    ており、又被処理物が排ガス通路(196)内を流れる
    排ガスであることを特徴とする物体の静電処理装置。 33、特許請求の範囲第31項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、電界装置が一段式電気集じん装置の
    ガス通路内の平板状集塵極 と相対して設けられていることを特徴とする物体の静電
    的処理装置。 34、特許請求の範囲第31項に記載された物体の静電
    的処理装置に於いて、電界装置が二段式電気集じん装置
    の補集部の前段に設けられた荷電部に設けられているこ
    とを特徴とする物体の静電的処理装置。 35、ファインセラミックで板状に形成された誘電体の
    内部に面状電極(9)、表面に線状電極(3)、(4)
    、(5)を夫々一体的に設けた電界装置の該筒状電極(
    9)ふぁ直流高圧電源(30)とスイッチ(260)を
    介して接続され、又該スイッチ(26)を介して接地さ
    れ、更に該電界装置(18)のプラズマ発生面が静電チ
    ャック作用をうける物体(261)に向けられている物
    体の静電的処理装置。 36、ファインセラミックで適当な形状に形成された誘
    電体と、これに対して一体的に形成された電界形成用電
    極とからなる電界装置の電界形成面を被処理物体に向け
    てなる物体の静電的処理装置。 37、特許請求の範囲第36項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、誘電体と一体的に形成された電極が
    、その内部に埋設された面状電極(9)であり、該面状
    電極(9)が直流電源(30)と接続され、被処理物体
    が接地せるマグネット(262)に付着されている着色
    トナーであることを特徴とする物体の静電的処理装置。 38、特許請求の範囲第37項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、誘電体と一体的に形成された電極が
    その内部に埋設された面状電極(9)とその表面に設け
    られた線状電極(3)、(4)(5)であることを特徴
    とする物体の静電的処理装置。 39、特許請求の範囲第36項に記載せる物体の静電的
    処理装置に於いて、電極が誘電体内に埋設された面状電
    極であり、又電界装置がその上面の電界形成面に、接地
    せる金属ペンで画かれるシート母材(201)を戴置さ
    れていることを特徴する物体の静電的処理装置。
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