JP3454842B2 - 空気イオン化装置 - Google Patents
空気イオン化装置Info
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- ions
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- reactive gas
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム内で発
生する静電気を除去するための空気イオン化装置および
その方法の改良に関する。
生する静電気を除去するための空気イオン化装置および
その方法の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、半導体製造のクリーンルーム
では、静電気の発生し易い相対湿度が４０％程度となる
低湿度環境であることや、ウェハ及び半導体素子を電気
抵抗の高いプラスチック容器で運搬するために、ウェハ
や半導体素子が絶縁されて、容易に静電気を帯び、高帯
電している。この静電気はウェハ表面上に塵埃を付着さ
せたり、ウェハ上のＩＣや半導体素子を破壊してしま
い、製品の歩留まりを低下させている。しかも、最近の
半導体素子の高密度化に伴い、クリーンルームの超高清
浄度化が望まれると共に半導体素子の静電気耐性も低下
し、この様な静電気による生産障害が、益々問題となっ
ている。
では、静電気の発生し易い相対湿度が４０％程度となる
低湿度環境であることや、ウェハ及び半導体素子を電気
抵抗の高いプラスチック容器で運搬するために、ウェハ
や半導体素子が絶縁されて、容易に静電気を帯び、高帯
電している。この静電気はウェハ表面上に塵埃を付着さ
せたり、ウェハ上のＩＣや半導体素子を破壊してしま
い、製品の歩留まりを低下させている。しかも、最近の
半導体素子の高密度化に伴い、クリーンルームの超高清
浄度化が望まれると共に半導体素子の静電気耐性も低下
し、この様な静電気による生産障害が、益々問題となっ
ている。
【０００３】そこで従来より、クリーンルームにおける
静電気を除去する対策として、空気イオン化装置が利用
されている。この空気イオン化装置では、これに設けら
れた電極に高電圧を印加してコロナ放電を起こさせ、そ
の時発生するイオンによって帯電体上の電荷を中和させ
て除電を行っている。
静電気を除去する対策として、空気イオン化装置が利用
されている。この空気イオン化装置では、これに設けら
れた電極に高電圧を印加してコロナ放電を起こさせ、そ
の時発生するイオンによって帯電体上の電荷を中和させ
て除電を行っている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
空気イオン化装置では、イオンの発生を容易にし、且つ
発生したイオンの消耗を防止するのために、電極は露出
した状態で除電対象物の近傍に配設されている。このた
め、次に示すような問題が発生している。
空気イオン化装置では、イオンの発生を容易にし、且つ
発生したイオンの消耗を防止するのために、電極は露出
した状態で除電対象物の近傍に配設されている。このた
め、次に示すような問題が発生している。
【０００５】（１）オゾンの発生…除電対象物近傍の空
気をコロナ放電によりイオン化しているため、空気中の
窒素や水蒸気がイオン化する以外に、酸素がオゾンとな
る反応も起こることになる。このオゾンの酸化作用によ
り、シリコンウェハの表面が酸化されたり、空気中の微
量の不純物と反応して、２次粒子を生じる。
気をコロナ放電によりイオン化しているため、空気中の
窒素や水蒸気がイオン化する以外に、酸素がオゾンとな
る反応も起こることになる。このオゾンの酸化作用によ
り、シリコンウェハの表面が酸化されたり、空気中の微
量の不純物と反応して、２次粒子を生じる。
【０００６】（２）電磁ノイズの発生…放電時に放電極
から発生する不規則な電磁波が、半導体素子を内蔵した
精密機器やコンピュータ等の誤作動を引き起こす。
から発生する不規則な電磁波が、半導体素子を内蔵した
精密機器やコンピュータ等の誤作動を引き起こす。
【０００７】（３）イオン発生電極からの発塵…コロナ
放電を起こさせる毎に電極が摩耗し、その摩耗した電極
材が飛散する。また、高性能フィルタで除去されなかっ
た空気中のＳｉＯ2微粒子がイオン発生電極上に析出
し、これがある程度の大きさになると再飛散する。この
様な発塵により、生産効率が低下することになる。
放電を起こさせる毎に電極が摩耗し、その摩耗した電極
材が飛散する。また、高性能フィルタで除去されなかっ
た空気中のＳｉＯ2微粒子がイオン発生電極上に析出
し、これがある程度の大きさになると再飛散する。この
様な発塵により、生産効率が低下することになる。
【０００８】本発明は、上記のような従来技術の課題を
解決するために提供されたもので、その目的は、オゾン
や電磁ノイズ、および発塵等の発生を起こすこと無く除
電を行うことのできる高効率の空気イオン化装置を提供
することである。
解決するために提供されたもので、その目的は、オゾン
や電磁ノイズ、および発塵等の発生を起こすこと無く除
電を行うことのできる高効率の空気イオン化装置を提供
することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の空気イオ
ン化装置は、非反応性ガスの供給部と、非反応性ガスの
イオン化を行う無電極イオン発生部と、交流不平等電界
面を発生させてイオンを非接触搬送するイオン搬送部
と、正負のイオンを帯電体に供給するためのミキシング
部とを備えた空気イオン化装置において、前記無電極イ
オン発生部は、分岐管により２方向に配設された前記非
反応性ガスの供給管と、非反応性樹脂により構成され前
記各供給管にバルブを介して接続された２つのイオン発
生室と、を備え、前記各イオン発生室の、前記各供給管
と接続する壁面近傍には、紫外線を発生させる紫外線ラ
ンプがそれぞれ設けられ、前記各イオン発生室の、前記
各供給管と接続する壁面と対向する壁面には、前記イオ
ン発生室と前記イオン搬送部との接続部がそれぞれ設け
られ、前記各接続部近傍のイオン発生室外壁面周囲に
は、負電圧を印可し正イオンを捕集する第１の直流バイ
アス電極と正電圧を印可し負イオンを捕集する第２の直
流バイアス電極とがそれぞれ設けられていることを特徴
とする。
ン化装置は、非反応性ガスの供給部と、非反応性ガスの
イオン化を行う無電極イオン発生部と、交流不平等電界
面を発生させてイオンを非接触搬送するイオン搬送部
と、正負のイオンを帯電体に供給するためのミキシング
部とを備えた空気イオン化装置において、前記無電極イ
オン発生部は、分岐管により２方向に配設された前記非
反応性ガスの供給管と、非反応性樹脂により構成され前
記各供給管にバルブを介して接続された２つのイオン発
生室と、を備え、前記各イオン発生室の、前記各供給管
と接続する壁面近傍には、紫外線を発生させる紫外線ラ
ンプがそれぞれ設けられ、前記各イオン発生室の、前記
各供給管と接続する壁面と対向する壁面には、前記イオ
ン発生室と前記イオン搬送部との接続部がそれぞれ設け
られ、前記各接続部近傍のイオン発生室外壁面周囲に
は、負電圧を印可し正イオンを捕集する第１の直流バイ
アス電極と正電圧を印可し負イオンを捕集する第２の直
流バイアス電極とがそれぞれ設けられていることを特徴
とする。
【００１０】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載の発明において、前記イオン搬送部は、外管と非反応
性樹脂からなる内管の二重構造で構成されると共に、前
記接続部から前記ミキシング部に至るまで配設され、前
記外管と前記内管の間には、交流電圧が印加されるらせ
ん状電極が配設されていることを特徴とする。
載の発明において、前記イオン搬送部は、外管と非反応
性樹脂からなる内管の二重構造で構成されると共に、前
記接続部から前記ミキシング部に至るまで配設され、前
記外管と前記内管の間には、交流電圧が印加されるらせ
ん状電極が配設されていることを特徴とする。
【００１１】請求項３記載の発明は、請求項１または２
に記載の空気イオン化装置において、前記非反応性ガス
として、高純度窒素ガスを含むことを特徴とする。
に記載の空気イオン化装置において、前記非反応性ガス
として、高純度窒素ガスを含むことを特徴とする。
【００１２】
【作用】以上のような構成を有する請求項１記載の発明
は、イオン発生部を、非反応性ガスの供給管を分岐管に
より２方向に配設し、その下流側に２つのイオン発生室
を設け、さらに、このイオン発生室のそれぞれに第１と
第２の直流バイアス電極を設けることにより、一方から
負イオンを、他方から正イオンを、それぞれイオン搬送
部およびミキシング部を介して帯電体に供給することが
可能となる。
は、イオン発生部を、非反応性ガスの供給管を分岐管に
より２方向に配設し、その下流側に２つのイオン発生室
を設け、さらに、このイオン発生室のそれぞれに第１と
第２の直流バイアス電極を設けることにより、一方から
負イオンを、他方から正イオンを、それぞれイオン搬送
部およびミキシング部を介して帯電体に供給することが
可能となる。
【００１３】また、各イオン発生室のそれぞれに紫外線
ランプを設けイオン化を行うことにより、コロナ放電を
行う電極が必要ない。このため、従来問題となっていた
摩耗した電極材の飛散やＳｉＯ 2 粒子の再飛散等の発塵
が皆無となる。これにより、半導体素子を内蔵した精密
機器の誤動作等の生産障害を防止することができる。
ランプを設けイオン化を行うことにより、コロナ放電を
行う電極が必要ない。このため、従来問題となっていた
摩耗した電極材の飛散やＳｉＯ 2 粒子の再飛散等の発塵
が皆無となる。これにより、半導体素子を内蔵した精密
機器の誤動作等の生産障害を防止することができる。
【００１４】また、請求項２記載の発明は、イオン搬送
部が、外管と非反応性樹脂からなる内管の二重構造で構
成されると共に、この外管と内管の間にらせん状電極が
設けられ、このらせん状電極に高電圧の交流電圧が印加
されることによって、イオン発生部に交流不平等電界面
が発生するため、イオンを非接触状態で帯電体近傍まで
搬送することができる。これにより、イオンを消耗する
ことなしに帯電体まで供給することができる。
部が、外管と非反応性樹脂からなる内管の二重構造で構
成されると共に、この外管と内管の間にらせん状電極が
設けられ、このらせん状電極に高電圧の交流電圧が印加
されることによって、イオン発生部に交流不平等電界面
が発生するため、イオンを非接触状態で帯電体近傍まで
搬送することができる。これにより、イオンを消耗する
ことなしに帯電体まで供給することができる。
【００１５】請求項３記載の発明は、非反応性ガスとし
て、酸素等の他のガスや微粒子等の不純物を含まない高
純度窒素ガスが使用されることにより、オゾンの発生や
発塵等が起こらず、イオンを高効率で供給することがで
きる。
て、酸素等の他のガスや微粒子等の不純物を含まない高
純度窒素ガスが使用されることにより、オゾンの発生や
発塵等が起こらず、イオンを高効率で供給することがで
きる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の空気イオン化装置の一実施例
を図面に従って説明する。
を図面に従って説明する。
【００１７】即ち、空気イオン化装置は、図１に示す様
に、イオン発生部１とイオン搬送部２、およびイオンの
ミキシング部３とから構成される。
に、イオン発生部１とイオン搬送部２、およびイオンの
ミキシング部３とから構成される。
【００１８】イオン発生部１には、非反応性ガスであ
り、酸素等他のガスや微粒子等の不純物を含まない高純
度ドライ窒素ガスの供給管４が設けられ、分岐管により
２方向に配設されている。それぞれの供給管４は、バル
ブ６を介してＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）
等による非反応性樹脂により構成されたイオン発生室７
に接続されている。このイオン発生室７の供給管４接続
部と対向する壁面には、イオン搬送部２との接続部が設
けられている。この様なイオン発生室７には、供給管４
接続部近傍に紫外線を発生させる紫外線ランプ８が設け
られている。また、イオン搬送部２との接続部近傍の外
壁面周囲には、正負のイオンを分離するために直流バイ
アス電極９が設けられている。この直流バイアス電極９
により、一方のイオン発生室７Ａからは負イオンがイオ
ン搬送部２Ａに供給される様に、また、他方のイオン発
生室７Ｂからは正イオンがイオン搬送部２Ｂに供給され
る様に構成されている。ここで、負イオンの供給を行う
構成部材等には、必要に応じて符号と共にＡを、また、
正イオンの供給を行う部材等にはＢを付す。
り、酸素等他のガスや微粒子等の不純物を含まない高純
度ドライ窒素ガスの供給管４が設けられ、分岐管により
２方向に配設されている。それぞれの供給管４は、バル
ブ６を介してＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）
等による非反応性樹脂により構成されたイオン発生室７
に接続されている。このイオン発生室７の供給管４接続
部と対向する壁面には、イオン搬送部２との接続部が設
けられている。この様なイオン発生室７には、供給管４
接続部近傍に紫外線を発生させる紫外線ランプ８が設け
られている。また、イオン搬送部２との接続部近傍の外
壁面周囲には、正負のイオンを分離するために直流バイ
アス電極９が設けられている。この直流バイアス電極９
により、一方のイオン発生室７Ａからは負イオンがイオ
ン搬送部２Ａに供給される様に、また、他方のイオン発
生室７Ｂからは正イオンがイオン搬送部２Ｂに供給され
る様に構成されている。ここで、負イオンの供給を行う
構成部材等には、必要に応じて符号と共にＡを、また、
正イオンの供給を行う部材等にはＢを付す。
【００１９】前記イオン発生部１に接続されるイオン搬
送部２として、図２に示す様に、外管１０ａおよび内管
１０ｂにより二重構造に構成される配管１０が設けら
れ、ミキシング部３まで配設されている。この配管１０
は、外管１０ａが金属により構成され、内管１０ｂがＰ
ＴＦＥ等による非反応性樹脂により構成されている。そ
して、内管１０ｂの外周面にはイオン発生部１との接続
部からミキシング部３までらせん状電極１１が配設され
て、交流の高電圧が印加されている。ミキシング部３で
は、帯電体Ｓ近傍に開口部１２を有し、各ミキシング部
３Ａ，３Ｂの開口部１２Ａ，１２Ｂは近接して配設され
ている。
送部２として、図２に示す様に、外管１０ａおよび内管
１０ｂにより二重構造に構成される配管１０が設けら
れ、ミキシング部３まで配設されている。この配管１０
は、外管１０ａが金属により構成され、内管１０ｂがＰ
ＴＦＥ等による非反応性樹脂により構成されている。そ
して、内管１０ｂの外周面にはイオン発生部１との接続
部からミキシング部３までらせん状電極１１が配設され
て、交流の高電圧が印加されている。ミキシング部３で
は、帯電体Ｓ近傍に開口部１２を有し、各ミキシング部
３Ａ，３Ｂの開口部１２Ａ，１２Ｂは近接して配設され
ている。
【００２０】以上の様に構成される本実施例では、次の
様にして帯電体Ｓ上の電荷が除電される。まず、イオン
発生室７内部において、供給管４から供給された高純度
ドライ窒素ガスに紫外線を照射することにより、窒素が
正負のイオンとなる。ここで、紫外線の波長が短い方が
イオン化に適する。この様なイオンは、イオン発生室７
外壁面に設けられた直流バイアス電極９により、正イオ
ンと負イオンとに分離され、一方がイオン搬送部２に送
られる。これは、一方のイオン発生室７Ａ内では直流バ
イアス電極９に負電圧が印加されることにより正イオン
が捕集されて、負イオンのみがイオン搬送部２Ａに供給
される。また、他方のイオン発生室７Ｂ内では、正電圧
が印加されることにより負イオンが捕集されて、正イオ
ンのみがイオン搬送部２Ｂに供給される。前述の様に負
イオンおよび正イオンは、それぞれのイオン搬送部２
Ａ，２Ｂからミキシング部３Ａ，３Ｂに搬送され開口部
１２Ａ，１２Ｂから排出される。この時、それぞれの開
口部１２Ａ，１２Ｂが隣接して設けられ、帯電体Ｓ近傍
に配設されているため、開口部１２から排出された両イ
オンが帯電体Ｓの正負の電荷をそれぞれ中和する。この
様にして除電が行われる。
様にして帯電体Ｓ上の電荷が除電される。まず、イオン
発生室７内部において、供給管４から供給された高純度
ドライ窒素ガスに紫外線を照射することにより、窒素が
正負のイオンとなる。ここで、紫外線の波長が短い方が
イオン化に適する。この様なイオンは、イオン発生室７
外壁面に設けられた直流バイアス電極９により、正イオ
ンと負イオンとに分離され、一方がイオン搬送部２に送
られる。これは、一方のイオン発生室７Ａ内では直流バ
イアス電極９に負電圧が印加されることにより正イオン
が捕集されて、負イオンのみがイオン搬送部２Ａに供給
される。また、他方のイオン発生室７Ｂ内では、正電圧
が印加されることにより負イオンが捕集されて、正イオ
ンのみがイオン搬送部２Ｂに供給される。前述の様に負
イオンおよび正イオンは、それぞれのイオン搬送部２
Ａ，２Ｂからミキシング部３Ａ，３Ｂに搬送され開口部
１２Ａ，１２Ｂから排出される。この時、それぞれの開
口部１２Ａ，１２Ｂが隣接して設けられ、帯電体Ｓ近傍
に配設されているため、開口部１２から排出された両イ
オンが帯電体Ｓの正負の電荷をそれぞれ中和する。この
様にして除電が行われる。
【００２１】なお、各イオン搬送部２Ａ，２Ｂでは、次
の様にしてイオンがミキシング部３Ａ，３Ｂに搬送され
る。すなわち、イオン搬送部２の構成により、内管１０
ｂ内部には交流不平等電界面Ｋ（以下、電界カーテンと
する）が発生して、帯電したイオンが空間的に非接触状
態で静止することになる。これに窒素ガスの供給圧力が
加わることにより窒素ガスの供給方向となるミキシング
部３方向に、イオンが搬送される。
の様にしてイオンがミキシング部３Ａ，３Ｂに搬送され
る。すなわち、イオン搬送部２の構成により、内管１０
ｂ内部には交流不平等電界面Ｋ（以下、電界カーテンと
する）が発生して、帯電したイオンが空間的に非接触状
態で静止することになる。これに窒素ガスの供給圧力が
加わることにより窒素ガスの供給方向となるミキシング
部３方向に、イオンが搬送される。
【００２２】ここで、この様な電界カーテンＫの発生メ
カニズムおよび作用について記述する。まず、図３に示
すように、２本の棒状電極１３，１３を平行に配設し、
交流電圧を印加してそれぞれの正負をスイッチングする
ことにより交番電界を発生させる。ここで、帯電粒子、
例えば正電荷を有する帯電粒子ｑの場合には、スイッチ
ングにより一定間隔で交互となる負電極方向に、電気力
線に沿ってクーロン力ｆが働く。このクーロン力ｆによ
り帯電粒子ｑが電気力線に沿って運動し、その結果帯電
粒子ｑに遠心力Ｆが生じ、帯電粒子ｑの軌道は中心線上
から両電極方向に一定の速度・振幅で蛇行しながら棒状
電極１３から離れる方向となる。これが、図４に示す様
に４本の電極１３を同一円上に一定間隔で設けた四重極
交番電極の場合には、各遠心力Ｆが電極により取り囲ま
れた中心方向に作用し、帯電粒子ｑは中心位置に閉じ込
められた状態、すなわち静止した状態となる。これが、
定在波電界カーテンの作用として知られている。この電
界カーテンの作用により中央付近に束縛される帯電粒子
ｑに対し、各遠心力Ｆに対して垂直となる方向に力を加
えると、帯電粒子ｑを非接触状態で一定方向に移動させ
ることができる。
カニズムおよび作用について記述する。まず、図３に示
すように、２本の棒状電極１３，１３を平行に配設し、
交流電圧を印加してそれぞれの正負をスイッチングする
ことにより交番電界を発生させる。ここで、帯電粒子、
例えば正電荷を有する帯電粒子ｑの場合には、スイッチ
ングにより一定間隔で交互となる負電極方向に、電気力
線に沿ってクーロン力ｆが働く。このクーロン力ｆによ
り帯電粒子ｑが電気力線に沿って運動し、その結果帯電
粒子ｑに遠心力Ｆが生じ、帯電粒子ｑの軌道は中心線上
から両電極方向に一定の速度・振幅で蛇行しながら棒状
電極１３から離れる方向となる。これが、図４に示す様
に４本の電極１３を同一円上に一定間隔で設けた四重極
交番電極の場合には、各遠心力Ｆが電極により取り囲ま
れた中心方向に作用し、帯電粒子ｑは中心位置に閉じ込
められた状態、すなわち静止した状態となる。これが、
定在波電界カーテンの作用として知られている。この電
界カーテンの作用により中央付近に束縛される帯電粒子
ｑに対し、各遠心力Ｆに対して垂直となる方向に力を加
えると、帯電粒子ｑを非接触状態で一定方向に移動させ
ることができる。
【００２３】以上の様な電界カーテンの作用をイオンに
利用し、２本のらせん状電極を用いることにより、イオ
ン搬送管内部にチューブ状の電界カーテンＫを設けるこ
とができる。これにより、イオンを非接触状態で搬送す
ることが可能となる。
利用し、２本のらせん状電極を用いることにより、イオ
ン搬送管内部にチューブ状の電界カーテンＫを設けるこ
とができる。これにより、イオンを非接触状態で搬送す
ることが可能となる。
【００２４】以上の様に実施例によれば、非反応性ガス
である窒素ガスをイオン化して用いているため、除電対
象物であるウェハ等の構成に影響を及ぼすことが無い。
しかも、窒素ガスとして酸素等の他のガスや微粒子等の
不純物を含有しない高純度ドライ窒素ガスを使用してい
るため、オゾンの発生は起こらず、シリコンウェハ表面
が酸化される等の問題が解決される。
である窒素ガスをイオン化して用いているため、除電対
象物であるウェハ等の構成に影響を及ぼすことが無い。
しかも、窒素ガスとして酸素等の他のガスや微粒子等の
不純物を含有しない高純度ドライ窒素ガスを使用してい
るため、オゾンの発生は起こらず、シリコンウェハ表面
が酸化される等の問題が解決される。
【００２５】そして、イオン化を紫外線ランプ８により
行うため、コロナ放電を行う電極が必要無い。このた
め、従来問題となっていた摩耗した電極材の飛散やＳｉ
Ｏ2粒子の再飛散等の発塵が皆無となる。さらに、イオ
ンを搬送する方式であるため、ミキシング部３での電磁
ノイズの発生は起こらない。これにより、半導体素子を
内蔵した精密機器の誤作動等の生産障害は起こらない。
行うため、コロナ放電を行う電極が必要無い。このた
め、従来問題となっていた摩耗した電極材の飛散やＳｉ
Ｏ2粒子の再飛散等の発塵が皆無となる。さらに、イオ
ンを搬送する方式であるため、ミキシング部３での電磁
ノイズの発生は起こらない。これにより、半導体素子を
内蔵した精密機器の誤作動等の生産障害は起こらない。
【００２６】さらに、イオン搬送部２に電界カーテンＫ
を利用することにより、イオンはイオン発生室１からミ
キシング部３まで搬送部壁面等他物質に接触することな
く、一定速度で供給することができる。これにより、イ
オンを消耗することなしに帯電体まで搬送することがで
き、効率的に除電を行うことができる。
を利用することにより、イオンはイオン発生室１からミ
キシング部３まで搬送部壁面等他物質に接触することな
く、一定速度で供給することができる。これにより、イ
オンを消耗することなしに帯電体まで搬送することがで
き、効率的に除電を行うことができる。
【００２７】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものでなく、具体的な各部材の形状、或いは各々の取
付け位置及び方法は適宜変更可能である。例えば、イオ
ン搬送部におけるイオンの搬送方法は、定在波電界カー
テンと窒素ガスの供給圧力とによる以外に、進行波電界
カーテンの作用を利用することも可能である。この進行
波電界カーテンは多相交流電圧を印加することにより発
生し、帯電粒子は電極列から反発力と推力を得て、反時
計方向の回転を行いながら順方向に進行する。これをイ
オンに利用することにより、正負に分離されたイオン
が、窒素ガス供給圧力の影響を受けること無く一定速度
で搬送されるので、確実に除電を行うことができる。
るものでなく、具体的な各部材の形状、或いは各々の取
付け位置及び方法は適宜変更可能である。例えば、イオ
ン搬送部におけるイオンの搬送方法は、定在波電界カー
テンと窒素ガスの供給圧力とによる以外に、進行波電界
カーテンの作用を利用することも可能である。この進行
波電界カーテンは多相交流電圧を印加することにより発
生し、帯電粒子は電極列から反発力と推力を得て、反時
計方向の回転を行いながら順方向に進行する。これをイ
オンに利用することにより、正負に分離されたイオン
が、窒素ガス供給圧力の影響を受けること無く一定速度
で搬送されるので、確実に除電を行うことができる。
【００２８】さらに、窒素ガスに限定されず、除電対象
物や装置構成部材等に影響を及ぼさず、イオン化が可能
なアルゴン等の非反応性ガスに適宜変更可能である。ま
た、非反応性ガスのイオン化を行う手段は紫外線ランプ
に限定されず、重水素ランプ等によりイオン化を行うこ
とが可能であり、除電対象物や装置構成部材等に影響を
及ぼさないものであれば、適宜変更可能である。
物や装置構成部材等に影響を及ぼさず、イオン化が可能
なアルゴン等の非反応性ガスに適宜変更可能である。ま
た、非反応性ガスのイオン化を行う手段は紫外線ランプ
に限定されず、重水素ランプ等によりイオン化を行うこ
とが可能であり、除電対象物や装置構成部材等に影響を
及ぼさないものであれば、適宜変更可能である。
【００２９】
【発明の効果】本発明の空気イオン化装置によれば、オ
ゾンや電磁ノイズ、および発塵等の発生を起こすこと無
く除電を行うことのできる、高効率の空気イオン化装置
を提供することができる。
ゾンや電磁ノイズ、および発塵等の発生を起こすこと無
く除電を行うことのできる、高効率の空気イオン化装置
を提供することができる。
【図１】本発明の空気イオン化装置の一実施例を示す模
式図。
式図。
【図２】図１の要部拡大説明図。
【図３】電界カーテンのメカニズムを示す説明図。
【図４】同じく四重極交番電界による電界カーテンのメ
カニズムを示す説明図。
カニズムを示す説明図。
１…イオン発生部
２…イオン搬送部
３…ミキシング部
４…供給管
６…バルブ
７…イオン発生室
８…紫外線ランプ
９…直流バイアス電極
１０…配管
１１…らせん状電極
１２…開口部
１３…棒状電極
─────────────────────────────────────────────────────
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(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H05F 3/06
H01T 23/00
Claims (3)
- 【請求項１】 非反応性ガスの供給部と、非反応性ガス
のイオン化を行う無電極イオン発生部と、交流不平等電
界面を発生させてイオンを非接触搬送するイオン搬送部
と、正負のイオンを帯電体に供給するためのミキシング
部とを備えた空気イオン化装置において、 前記無電極イオン発生部は、分岐管により２方向に配設
された前記非反応性ガスの供給管と、非反応性樹脂によ
り構成され前記各供給管にバルブを介して接続された２
つのイオン発生室と、を備え、 前記各イオン発生室の、前記各供給管と接続する壁面近
傍には、紫外線を発生させる紫外線ランプがそれぞれ設
けられ、 前記各イオン発生室の、前記各供給管と接続する壁面と
対向する壁面には、前記イオン発生室と前記イオン搬送
部との接続部がそれぞれ設けられ、 前記各接続部近傍のイオン発生室外壁面周囲には、負電
圧を印可し正イオンを捕集する第１の直流バイアス電極
と正電圧を印可し負イオンを捕集する第２の直流バイア
ス電極とがそれぞれ設けられていることを特徴とする空
気イオン化装置。 - 【請求項２】 前記イオン搬送部は、外管と非反応性樹
脂からなる内管の二重構造で構成されると共に、前記接
続部から前記ミキシング部に至るまで配設され、 前記外管と前記内管の間には、交流電圧が印加されるら
せん状電極が配設されていることを特徴とする請求項１
記載の空気イオン化装置。 - 【請求項３】 前記非反応性ガスとして、高純度窒素ガ
スを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の空
気イオン化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11645492A JP3454842B2 (ja) | 1992-05-08 | 1992-05-08 | 空気イオン化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11645492A JP3454842B2 (ja) | 1992-05-08 | 1992-05-08 | 空気イオン化装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05315084A JPH05315084A (ja) | 1993-11-26 |
| JP3454842B2 true JP3454842B2 (ja) | 2003-10-06 |
Family
ID=14687522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11645492A Expired - Lifetime JP3454842B2 (ja) | 1992-05-08 | 1992-05-08 | 空気イオン化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3454842B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4598237B2 (ja) * | 2000-05-22 | 2010-12-15 | 株式会社テクノ菱和 | 静電霧化式イオン化装置および方法並びに荷電粒子搬送式イオン化装置および方法 |
| JP4634186B2 (ja) * | 2005-02-24 | 2011-02-16 | 株式会社テクノ菱和 | シースエア式イオナイザー |
| JP4565341B2 (ja) * | 2006-03-24 | 2010-10-20 | 株式会社日立プラントテクノロジー | 除電装置 |
| JP4538853B2 (ja) * | 2006-09-29 | 2010-09-08 | 株式会社日立プラントテクノロジー | イオン式除電装置 |
| JP5303020B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2013-10-02 | シャープ株式会社 | イオン発生装置及び空気清浄装置 |
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-
1992
- 1992-05-08 JP JP11645492A patent/JP3454842B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05315084A (ja) | 1993-11-26 |
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