JPH02210208A - パターン検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ＩＣ，ＬＳＩなどの半導体装置の構成部品で
あるリードフレームの欠陥検査方法に関するものであり
、被検査物全体を一括して画、像として撮りこみ、それ
を内部で拡大分割処理し、パターンの判定をする検査方
法についてである。

［貸来の技術］ パターンの判定検査方法としては、各製造分野の製品形
状によって色々な方法がとられているが１本発明では、
ｉｃ、又はＬＳＩ等に使用するリードフレームのパター
ン判定検査方法について述べる。

ソートフレームのパターン検査方法は、大別すると次ぎ
の三通りである。

（１）工具顕微鏡等の寸法測定器を使用し、パターン各
部の全寸法を測定し、異常がないかどうか判定する方法
である。

（２）投影器等によりパターンをスクリーンに拡大し、
その拡大投影図を基準パターンを描いたシートを合せて
比較し、異常の有無を判定する方法である。

（３）　！ｉ像処理によるパターンの自動検査法である
。

以上述べた三通りの内、前二者は従来より広く行われて
いる方法であるので省略し、（３）の画像処理によるパ
ターンの自動検査方法について説明する。

その機構としては、リードフレームの供給と位ｎ快め及
び搬送収納を行う搬送装置が設けられる。前記搬送装置
のフレーム位置決め部に照明装置とテレビカメラを設置
し、リードフレームの画像を撮りこむ、その画像をイメ
ージセンサ−により、光学画像を２値化し、その後電気
信号に変え、その信号を処理してパターンの欠陥の有無
を判定し、結果をモニターテレビに表示、又はプリント
アウトしている。

画像処理による検査項目としては、リードフレームのパ
ターン、変形、めっきの位置、表面の欠陥等がある。こ
の中で表面欠陥の検査は、目視判定と２値化判定レベル
か一致しないものがあり、欠陥モードによっては検出で
きない、よって画像処理による検査は、パターンの変形
、異常、めっきの位置ずれ等の大まかな寸法検査用とし
て利用されている。

［発明か解決しようとする課題］ １ｉ像処理は、被検査物をカメラにより撮影しその画像
を撮りこむ、この際、画像処理の精度を上げるため画像
を拡大して２値化し判定する必要かある。しかし２値化
するイメージセンサ−の画素数は、最大１０２４”と限
界かあるため無制限に大きな画像を撮りこむことはでき
ない、そのため被検査物を幾つかに分割して撮影し画像
を撮りこんでいるのが現状である。（被検査物の大きさ
、倍率によって異なるか１例えば６０ｍ　ｒｎ’の大き
さの被検査物を約２０倍で２０ｐｍ以上の分解能を得る
ためには、約６分割して拡大しなければならない、）そ
のためには、カメラヘットを数カ所に付ないと全体を高
精度で検査できないことになり装置的にも検査方法とも
大きな課題である。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、従来被検査物を直接分割撮影して画像を１１
’）こんでいたのを１画像の撮りこみ方式を２段階に分
けて２値化する方式を採用することにより第一段階で被
検査物の全体を低倍率で撮りこみ、第二段階でその画像
を分割器により分割し。

分割した部分を拡大して２値化し画像を処理する方法で
ある。

［作用］ 被検査物の画像の撮りこみ方式を２段階とすることによ
り、最初被検査物の全体を普通のズーム付のカラーカメ
ラで低倍率で撮影し１次ぎに撮りこんた画像を分割処理
するために画像エリア指定方式を採用した分割器により
１分割エリヤを設定する６分割されたエリヤを夫々拡大
してエリヤ毎にイメージセンサ−に送り２値化し、基顯
パターンと比較処理するものである。

［実施例］ 第１図は、本発明のパターン検査方法の一実施例を示す
ブロック線図であり、ｌは移動ステ７ジ、２は基準パタ
ーン、３は被検査物、４は撮影カメラＡ、５は撮影カメ
ラＢ、６は分割器Ａ。

７は分割器Ｂ、８は拡大装置Ａ、９は拡大装置Ｂ　　１
０はイメージセンサ−１１１は特徴抽出比較装置、１２
は欠陥認識判定装置、１３はＸＹプロッタ、１４はカラ
ーモニタ、１５はプリンタである。

第１図に基き本発明の詳細な説明する。リードフレーム
等の被検査物３を搬送！ａ置の移動ステージｌに乗せ１
位置ぎめをする。同時に比較する基準パターン２用のリ
ードフレームをセットする。

被検査物３の全体を撮影カメラＡ４．撮影カメラＢ５に
より低倍率にて撮影する１次ぎに撮影された画像を分割
器Ａ６．分割器Ｂ７により画像処理のためのエリヤ指定
を行う、これは画像マスキング方式によるものである。

幾つかに分割された画像を夫々の拡大装置Ａ８、拡大装
置Ｂ９により拡大し、イメージセンサ−１０により２値
化する。２値化した夫々のｌｌ！ｊ像は特徴抽出比較装
置１１により比較処理をする。

その後、欠陥認識判定装置１２により判定を行うもので
あり、これらの結果をカラ−モニタ１４二俵示したり、
ＸＹプロッタ１３．プリンタ１５等により記録するもの
である。

〔発明の効果〕

未発１１は１以上説明したように構成されているので、
以下に記載されるような効果を奏する。

ソートフレーム等の被検査物の製品検査をする際、従米
焼つかのカメラヘットを使用しな番プれば高精度のパタ
ーン検査の画像処理が出来なかったが１分割器、拡大装
置を導入するこによりカメラヘッドは１個でよく、搬送
装置の小型化、検査時の省スペース、且つメンテナンス
の簡易化等、パターン検査の高精度化、省スペース化に
大きく貢献する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のパターン検査装置の一実施例を示す
ブロック線図である。 ・移動ステージ ・基準パターン ・被検査物 ・撮影カメラＡ ・撮影カメラＢ ・分割ｖｊＡ ・分割器Ｂ ・拡大装ごＡ ・拡大５！を置Ｂ １０　　・ １　ｌ　・ １２　・ ｌ　３　・ ・イメージセン サ− ・特徴抽出 比較装置 ・欠陥認識 判定装置 ・ＸＹプロッタ １４　・ ・カラーモニタ １５　・ ・プリンタ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）撮影カメラにより被検査物の全体を低倍率で撮り
   こみ、その画像を分割器により分割し、前記により分割
   した部分を拡大して２値化し、画像を処理することを特
   徴とするパターン検査方法。