JPH02201142A - Method of detecting abnormality on photosensitive layer surface - Google Patents
Method of detecting abnormality on photosensitive layer surfaceInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、例えば、複写機、レーザープリンタ等の画像
形成装置に使用される感光体等のように、基体上にコー
ティングされた感光層の表面の異常を検出する方法に関
する。Detailed Description of the Invention (Industrial Field of Application) The present invention relates to a photosensitive layer coated on a substrate, such as a photoreceptor used in an image forming apparatus such as a copying machine or a laser printer. Relating to a method for detecting surface anomalies.
（従来の技術〉
複写機やレーザープリンタ等の画像形成装置に使用され
る感光体ドラムは、通常、アルミニウム素管に、直接、
あるいは、アルマイト層を介して感光層がコーティング
されている。このような感光体ドラムは、感光層表面に
傷が付いたりゴミ等の異物が付着していると、良好な画
像を形成することができない、このため、該感光体ドラ
ムは、その感光層表面に傷や異物の付着等の異常が存在
するかが検査される。(Prior art) Photoreceptor drums used in image forming devices such as copying machines and laser printers are usually coated directly onto aluminum tubes.
Alternatively, a photosensitive layer is coated with an alumite layer interposed therebetween. Such a photoreceptor drum cannot form a good image if the surface of the photoreceptor layer is scratched or foreign matter such as dust adheres to it. It is inspected to see if there are any abnormalities such as scratches or adhesion of foreign matter.
感光体ドラム表面の検査には、例えば、特開昭６１−２
００８０号公報に開示されている装置が使用される。該
装置は、感光体ドラムの表面配光を照射して、その反射
光の光量や強度に基づいて感光体ドラム表面の異常を検
出する。For inspection of the surface of the photoreceptor drum, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-2
The device disclosed in Publication No. 0080 is used. This device irradiates the surface of the photoreceptor drum with light distribution and detects abnormalities on the surface of the photoreceptor drum based on the amount and intensity of the reflected light.
近時、このような感光体ドラム表面の検査に、コヒーレ
ントなレーザー光を使用することにより、検査精度、お
よび検査速度を向上させることが行われている。レーザ
ー光を使用した感光体ドラムの異常検出装置では、通常
、レーザー光源から出射されるレーザー光が、回転多面
鏡等の走査手段により、直接、感光体ドラム表面へ照射
されて、該感光体ドラム表面を所定方向に走査される。Recently, inspection accuracy and inspection speed have been improved by using coherent laser light to inspect the surface of such photoreceptor drums. In a photoreceptor drum abnormality detection device using laser light, the laser light emitted from a laser light source is normally irradiated directly onto the surface of the photoreceptor drum using a scanning means such as a rotating polygon mirror. The surface is scanned in a predetermined direction.
レーザ光は感光体ドラムにて反射され、該反射レーイー
光は、該レーザー光により光学的情ｆｆｉを検出する、
例えば、光電子増倍管に入射され、該光電子増倍管によ
り、感光層表面にて反射されたレーザー光の強度が検出
される。そして、該光電子増倍管が検出するレーザー光
の強度に基づき、感光体ドラム表面の異常が検出される
。The laser beam is reflected by the photoreceptor drum, and the reflected laser beam detects optical information ffi by the laser beam.
For example, the laser beam is incident on a photomultiplier tube, and the photomultiplier tube detects the intensity of the laser beam reflected on the surface of the photosensitive layer. Then, an abnormality on the surface of the photoreceptor drum is detected based on the intensity of the laser light detected by the photomultiplier tube.
（発明が解決しようとする課Ｍ）
前述したように、感光体ドラムは、アルミニウム素管の
外周面に、感光層がコーティングされている。このよう
な感光体ドラムにレーザー光を照射すると、レーザー光
の一部は感光層の表面にて反射されるが、残りは、該感
光層内に進入する。(Problem M to be Solved by the Invention) As described above, the photosensitive drum has a photosensitive layer coated on the outer peripheral surface of an aluminum tube. When such a photosensitive drum is irradiated with laser light, part of the laser light is reflected on the surface of the photosensitive layer, but the rest enters into the photosensitive layer.
該感光層内に進入したレーザー光が、該感光層内にて散
乱、吸収される場合には、該感光層を透過するレーザー
光量が少なく、従って、該感光層とアルマイト層との界
面にて反射されるレーザー光量が少なくなり、その界面
にて反射されるレーザー光は、該感光層の表面からはほ
とんど出射されない、しかし、感光層の光透過度が高い
場合には、該感光層とアルマイト層との界面でのレーザ
ー光の反射光量が増加して、感光層から出射されるレー
ザー光量が増加する。感光体ドラムの感光層へは、回転
多面鏡等の走査手段により走査されたレーザー光が、直
接、感光体ドラムの細心方向に走査されているため、該
感光層の表面にて反射されるレーザー光の反射角度は、
レーザー光が感光体ドラムの軸心方向に沿って走査され
る間に＋！次突変化る。このため、感光層にて反射され
るレーザー光の感光層表面に対する反射角度と、上述し
た感光層とアルマイト層との界面にて反射されて感光層
から出射されるレーザー光の位相がずれて、両者が干渉
してしまう、感光体ドラムの感光層にて反射されたレー
ザー光は、例えば、光電子増倍管に入射されるため、該
光電子増倍管には干渉レーザ光が入射され、その検出信
号には、ノイズが重畳されている。このような状態にな
ると、感光体ドラム表面の異常を検出できないおそれが
ある。When the laser light that enters the photosensitive layer is scattered and absorbed within the photosensitive layer, the amount of laser light that passes through the photosensitive layer is small, and therefore, the amount of laser light that passes through the photosensitive layer is small. The amount of reflected laser light decreases, and the laser light reflected at the interface is hardly emitted from the surface of the photosensitive layer. However, if the light transmittance of the photosensitive layer is high, The amount of laser light reflected at the interface with the photosensitive layer increases, and the amount of laser light emitted from the photosensitive layer increases. Since the laser beam scanned by a scanning means such as a rotating polygon mirror is directly scanned to the photosensitive layer of the photosensitive drum in the fine direction of the photosensitive drum, the laser beam is reflected from the surface of the photosensitive layer. The angle of reflection of light is
While the laser beam is scanned along the axial direction of the photoreceptor drum, +! Suddenly it changes. For this reason, the reflection angle of the laser beam reflected by the photosensitive layer with respect to the surface of the photosensitive layer and the phase of the laser beam reflected at the interface between the photosensitive layer and the alumite layer and emitted from the photosensitive layer are shifted. The laser light reflected by the photosensitive layer of the photoreceptor drum, which causes interference between the two, is incident on a photomultiplier tube, for example, so the interference laser light is incident on the photomultiplier tube, and the interference laser light is detected. Noise is superimposed on the signal. In such a state, there is a possibility that an abnormality on the surface of the photoreceptor drum cannot be detected.
本発明は、上記従来の問題を解決するものであり、その
目的は、基体に積層された感光層表面の異常を、レーザ
ー光により、確実に、しかも精度よく、さらには高速に
て検出し得る感光層表面の異常検出方法を提供すること
にある。The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and its purpose is to use laser light to detect abnormalities on the surface of a photosensitive layer laminated on a substrate reliably, accurately, and at high speed. An object of the present invention is to provide a method for detecting abnormalities on the surface of a photosensitive layer.
（課題を解決するための手段）
本発明の感光層表面の異常検出方法は、基体上にコーテ
ィングされた感光層の表面に、該感光層に対して高吸光
度である波長帯域の波長のレーザー光を照射し、該感光
層の表面にて反射されたレーザー光の光学的情報に基づ
き該感光層表面の異常を検出することを特徴とてなり、
そのことにより、上記目的が達成される。(Means for Solving the Problems) The method for detecting an abnormality on the surface of a photosensitive layer of the present invention is to apply a laser beam having a wavelength in a wavelength band that has high absorbance to the photosensitive layer on the surface of a photosensitive layer coated on a substrate. is characterized by detecting abnormalities on the surface of the photosensitive layer based on optical information of the laser beam reflected on the surface of the photosensitive layer,
Thereby, the above objective is achieved.
（実施例） 以下に本発明を実施例について説明する。(Example) The present invention will be described below with reference to Examples.
第１図は、本発明の感光層表面の異常検出方法の実施に
使用される装置の概略構成図である。該検出装置は、例
えば、複写機等の画像形成装置に使用される感光体ドラ
ム３０における感光層の表面の異常を検出するために用
いられる。該感光体ドラム３０は、アルミニウム素管の
外周面に感光層がコーティングされたものである。被検
査物である該感光体ドラム３０は、水平状のステージ１
６上に鉛直状に載置される。該ステージ１６は、その下
方に配設されたステッピングモーター１５の出力軸に収
り付けられており、該ステッピングモーター１５の駆動
により、ステージ１６が間欠的に回動される。FIG. 1 is a schematic diagram of an apparatus used to carry out the method of detecting an abnormality on the surface of a photosensitive layer according to the present invention. The detection device is used, for example, to detect an abnormality on the surface of a photosensitive layer in a photosensitive drum 30 used in an image forming apparatus such as a copying machine. The photosensitive drum 30 is an aluminum tube whose outer peripheral surface is coated with a photosensitive layer. The photosensitive drum 30, which is an object to be inspected, is placed on a horizontal stage 1.
6 is placed vertically. The stage 16 is housed in the output shaft of a stepping motor 15 disposed below the stage 16, and the stepping motor 15 is driven to rotate the stage 16 intermittently.
該ステージ１６上に載置される感光体ドラム３０の側方
には、所定の波長のレーザー光を発するレーザー光源１
１が配設されている。該レーザー光源１１から発せられ
たレーザー光は、反射ｊ１１８および１９を介して、該
レーザー光の走査手段である回転多面１１１３に照射さ
れる。該回転多面鏡１３は、その回転軸が、照射される
レーザー光とは直交しており、該回転多面ｆｌ１３に照
射されるレーザー光を、ステージ１６に載置された感光
体ドラム３０の表面に向けて反射する。そして、該回転
多面鏡１３は、その回転により、ステージ１６上に載置
された感光体ドラム３０の軸心方向へ、レーザー光を順
次走査する。A laser light source 1 that emits laser light of a predetermined wavelength is provided on the side of the photosensitive drum 30 placed on the stage 16.
1 is arranged. The laser beam emitted from the laser light source 11 is irradiated onto a rotating polygon 1113, which is a scanning means for the laser beam, through reflections j118 and 19. The rotating polygon mirror 13 has its rotation axis perpendicular to the irradiated laser beam, and directs the laser beam irradiated onto the rotating polygon fl 13 onto the surface of the photoreceptor drum 30 placed on the stage 16. reflect towards. As the rotating polygon mirror 13 rotates, it sequentially scans the laser beam in the axial direction of the photosensitive drum 30 placed on the stage 16.
該回転多面ｊｌ１３のレーザー光反射位置は、ステージ
１６上に載置された鉛直状の感光体ドラム３０の中央部
に対向しており、従って、該回転多面鏡工３にて走査さ
れるレーザー光は、感光体ドラム３０の感光層＆面にお
いて、その走査力Ｉ７．目、一対する入射角度が、順次
変化し、感光体ドラム３０の軸心方向中央部において、
最大（９０°）となり、各端部において最小となる。The laser beam reflection position of the rotating polygon jl 13 faces the center of the vertical photosensitive drum 30 placed on the stage 16, and therefore the laser beam scanned by the rotating polygon mirror 3 is the scanning force I7. on the photosensitive layer & surface of the photosensitive drum 30. The incident angle of the pair changes sequentially, and at the center of the photoreceptor drum 30 in the axial direction,
maximum (90°) and minimum at each end.
感光体ドラム３０の感光層表面へ、その軸心方向に沿っ
て走査されるレーザー光は、該感光体ドラム３０の感光
層表面にてその径方向に対して所定の反射角度で反射さ
れて、受光器２０へ照射される。The laser beam that is scanned along the axial direction of the photosensitive layer surface of the photosensitive drum 30 is reflected by the photosensitive layer surface of the photosensitive drum 30 at a predetermined reflection angle with respect to the radial direction. The light is irradiated onto the light receiver 20.
該受光器２０は、受光面が感光体ドラム３０の軸心方向
に平行しており、該受光面にレーザ光の走査方向に延び
る受光窓が開設されている。該受光窓の長さは感光体ド
ラム３０の軸心方向長さよりも若干長くなっており、該
受光窓には、例えば、スリガラスを用いた拡散板２１が
装着されている。感光体ドラム３０の感光層にて反射さ
れたレーザー光は、該拡散板２１を介して受光器２０の
内部に進入する。The light receiving surface of the light receiver 20 is parallel to the axial direction of the photoreceptor drum 30, and a light receiving window extending in the scanning direction of the laser beam is provided on the light receiving surface. The length of the light receiving window is slightly longer than the axial length of the photoreceptor drum 30, and a diffuser plate 21 made of, for example, ground glass is attached to the light receiving window. The laser beam reflected by the photosensitive layer of the photosensitive drum 30 enters the interior of the light receiver 20 via the diffuser plate 21 .
該受光器２０の内部には、感光体ドラム３０から反射さ
れたレーザー光の光学的情報を検出する手段として、該
レーザー光の強度を検出する光電子増倍管２２が配設さ
れている。感光体ドラム３０にて反射されたレーザー光
は、拡散板２１にて拡散されて該光電子増倍管２２に入
射される。拡散板２１は、該拡散板２１を通過して光電
子増倍管２２に入射されるレーザー光の光量ムラをなく
している。該光電子増倍管２１の出力は、所定の演算処
理部、表示部、記憶部等に入力される。Inside the light receiver 20, a photomultiplier tube 22 for detecting the intensity of the laser beam is disposed as a means for detecting optical information of the laser beam reflected from the photoreceptor drum 30. The laser beam reflected by the photosensitive drum 30 is diffused by the diffusion plate 21 and enters the photomultiplier tube 22 . The diffuser plate 21 eliminates unevenness in the amount of laser light that passes through the diffuser plate 21 and enters the photomultiplier tube 22 . The output of the photomultiplier tube 21 is input to a predetermined arithmetic processing section, display section, storage section, etc.
このような精成の感光層表面の検査装置では、レーザー
光源１１として、ステージ１６上に載置される感光体ド
ラム３０における感光層の光吸収特性に応じた所定の波
長のレーザー光を出力し得るものが使用される９例えば
、感光体ドラム３０の感光層として、次の組成でなる感
光層Ａを用いた場合には、レーザー光源１１として、波
長４４１．６ｎｍのレーザー光を出力するＨｅ−Ｃｄレ
ーザー光源１１が使用される。In such a refined photosensitive layer surface inspection apparatus, the laser light source 11 outputs a laser beam of a predetermined wavelength according to the light absorption characteristics of the photosensitive layer on the photosensitive drum 30 placed on the stage 16. For example, when the photosensitive layer A having the following composition is used as the photosensitive layer of the photosensitive drum 30, the laser light source 11 is a He- A Cd laser light source 11 is used.
感光層Ａは、結着性樹脂としてポリカーボネイト（ポリ
［４，４’ −シクロへキシリデンジフェニル］カーボ
ネイト）を１００重量部、電荷輸送材料としてＥＣＨ（
Ｎ−エチルカルバゾール−３−カルバデヒドージフェニ
ルヒドラゾン）を１００重量部、電荷発生材料としてペ
リレン（Ｎ、Ｎ’−ビス［３°、５゛−ジメチルフェニ
ルペリレン−３，４゜９．１０−テトラカルボキシルジ
イミド）を８重量部でなる。この感光層Ａでは、第２図
に示すように、Ｈｅ−Ｃｄレーザー光源１１から発せら
れる４４１．６ｎｍの波長のレーザー光をほとんど吸収
する。Photosensitive layer A contained 100 parts by weight of polycarbonate (poly[4,4'-cyclohexylidene diphenyl] carbonate) as a binding resin and ECH (
100 parts by weight of N-ethylcarbazole-3-carbadehyde diphenylhydrazone) and perylene (N,N'-bis[3°,5゛-dimethylphenylperylene-3,4゜9.10- 8 parts by weight of tetracarboxyl diimide). As shown in FIG. 2, this photosensitive layer A absorbs most of the laser light with a wavelength of 441.6 nm emitted from the He-Cd laser light source 11.
このように、感光層Ａを有する感光体ドラム３０の感光
層表面を検査する場合には、該感光層Ａに対して高吸光
度である波長帯域のレーザー光を出射するＨｅ−Ｃｄレ
ーザー光源１１からレーザー光が出射され、該レーザー
光が、反射鏡１８および１９を介して回転多面鏡１３に
照射される。該回転多面鏡１３は、照射されるレーザー
光を、ステージ１６に載置された感光体ドラム３０の感
光層表面に向けて反射することにより、該レーザー光を
、ｊ６光体ドラム３０の感光層表面に直接照射し、その
回転により、感光体ドラム３０の軸心方向へ順次走査す
る。その結果、ｊ５ｆｆｉ光体ドラム３０の感光層表面
には、レーザー光が、その走査方向に対して入射角度が
順次変化しつつ入射される。In this manner, when inspecting the surface of the photosensitive layer of the photosensitive drum 30 having the photosensitive layer A, the He-Cd laser light source 11 that emits laser light in a wavelength band with high absorbance to the photosensitive layer A is used. Laser light is emitted, and the rotating polygon mirror 13 is irradiated with the laser light via reflecting mirrors 18 and 19. The rotating polygon mirror 13 reflects the irradiated laser beam toward the surface of the photosensitive layer of the photosensitive drum 30 placed on the stage 16, thereby directing the laser beam to the photosensitive layer of the J6 photosensitive drum 30. The surface is directly irradiated with light, and the rotation of the light sequentially scans the photosensitive drum 30 in the axial direction. As a result, the laser beam is incident on the surface of the photosensitive layer of the j5ffi optical drum 30, with the incident angle changing sequentially with respect to the scanning direction.
感光層に入射されたレーザー光は、その一部が感光層表
面にて反射され、また一部が感光層内へと進入する。し
かし、前述したように、Ｈｅ−Ｃｄレーザー光源１１か
ら出射されるレーザー光の波長は、該感光層に対して高
吸光度であるため、感光層内に進入したレーザー光は該
感光層にてほとんど吸収される。従って、感光層内に進
入して該感光層とアルミニウム素管との界面にて反射さ
れるレーザー光が感光層から出射されるおそれがない、
このため、感光層内に進入することなく、該感光層にて
表面にて反射されたレーザー光は、干渉されることなく
、受光器２０内に入射される。A portion of the laser beam incident on the photosensitive layer is reflected on the surface of the photosensitive layer, and a portion of the laser beam enters into the photosensitive layer. However, as mentioned above, the wavelength of the laser light emitted from the He-Cd laser light source 11 has high absorbance with respect to the photosensitive layer, so that most of the laser light that has entered the photosensitive layer is absorbed by the photosensitive layer. Absorbed. Therefore, there is no risk that the laser light that enters the photosensitive layer and is reflected at the interface between the photosensitive layer and the aluminum tube will be emitted from the photosensitive layer.
Therefore, the laser light reflected from the surface of the photosensitive layer without entering the photosensitive layer enters the light receiver 20 without being interfered with.
該感光体ドラム３０に照射されたレーザー光は、該感光
体ドラム３０にて反射されて、受光器２０へ順次照射さ
れる。受光器２０へ照射されたレーザー光は、該受光器
２０の拡散板２１を通過した後に、該受光器２０内に配
設されたレーザー光の光学情報検出手段である光電子増
倍管２２へ与えられる。該光電子増倍管２２は、入射さ
れるレーザー光の強度を順次検出する。上述したように
、該光電子増倍管２２に入射されるレーザ光は、感光層
にて反射された非干渉のレーザー光のみであるため、該
光電子増倍管２２の検出信号には、ノイズが重畳されな
い。The laser beam irradiated onto the photoreceptor drum 30 is reflected by the photoreceptor drum 30 and sequentially irradiated onto the light receiver 20 . After passing through the diffuser plate 21 of the light receiver 20, the laser light irradiated onto the light receiver 20 is applied to a photomultiplier tube 22, which is an optical information detection means for the laser light disposed inside the light receiver 20. It will be done. The photomultiplier tube 22 sequentially detects the intensity of the incident laser light. As mentioned above, since the laser light incident on the photomultiplier tube 22 is only the non-interfering laser light reflected by the photosensitive layer, the detection signal of the photomultiplier tube 22 contains noise. Not superimposed.
該光電子増倍管２２は感光層にて反射されたレーザ光の
強度に対応した電圧を出力している。感光層の表面に傷
等の異常が存在する場合には、その異常部にてレーザ光
が乱反射するため、光電子増倍管２２に入射されるレー
ザ光の強度が低下し、該光電子増倍管２２の出力電圧が
低下する。そして、その出力電圧が所定値よりも低下し
た場合に、異常が存在すると判断する。該光電子増倍管
２２の検出信号は、所定の演算処理部、表示装置あるい
は記憶装置等へ出力される。The photomultiplier tube 22 outputs a voltage corresponding to the intensity of the laser beam reflected by the photosensitive layer. If there is an abnormality such as a scratch on the surface of the photosensitive layer, the laser beam is diffusely reflected at the abnormal part, so the intensity of the laser beam incident on the photomultiplier tube 22 is reduced, and the photomultiplier tube 22 is damaged. The output voltage of 22 decreases. Then, if the output voltage drops below a predetermined value, it is determined that an abnormality exists. The detection signal of the photomultiplier tube 22 is output to a predetermined arithmetic processing section, display device, storage device, or the like.
感光体ドラム３０の軸心に沿って、一方の端部から他方
の端部へとレーザー光が走査されると、ステッピングモ
ーター１５が駆動されて、ステージ１６が所定量だけ回
動され、回転多面鏡１３にて該ステージ１６上の感光体
ドラム３０表面に照射されるレーザー光の位置が、その
直前に走査されたレーザー光の位置に隣接した部分とな
る。そして、その感光体ドラム３０の部分に、レーザー
光が走査され、その走査されたレーザー光が、順次、受
光器２０の光電子増倍管２２に入射される。このような
動作が順次繰り返されることにより、感光体ドラム３０
の感光層表面全体にレーザー光が走査され、該感光層表
面全体にわたって異常が存在するかどうかが検査される
。When the laser beam is scanned from one end to the other along the axis of the photoreceptor drum 30, the stepping motor 15 is driven and the stage 16 is rotated by a predetermined amount. The position of the laser beam irradiated onto the surface of the photoreceptor drum 30 on the stage 16 by the mirror 13 is adjacent to the position of the laser beam scanned immediately before. Then, the photosensitive drum 30 is scanned with laser light, and the scanned laser light is sequentially incident on the photomultiplier tube 22 of the light receiver 20. By sequentially repeating such operations, the photosensitive drum 30
A laser beam is scanned over the entire surface of the photosensitive layer to examine whether or not an abnormality exists over the entire surface of the photosensitive layer.
上記実施例では、感光ｆｇＪＡの表面の異常を検査する
場合について説明したが、例えば、結着性樹脂として、
ポリカーボネイトを１．００重量部、電荷輸送材料とし
て、ＤＨ（ジエチルアミノベンズアルデヒドジフェニル
ヒドラゾン）を１００重量部、電荷発生材料として、メ
タルフリーフタロシアニンを８重量部配合し、感光層Ｂ
の表面を検査する場合には、該感光層Ｂが５第３図に示
す吸光度特性を有するため、高吸光度波長帯域の波長（
６３２，８ｎｍ）のレーザー光を出力し得るＨｅ−Ｎｅ
レーザー光源が使用される。これにより、該感光層８表
面の異常を確実に検出し得る。In the above embodiment, a case was explained in which abnormalities on the surface of photosensitive fgJA were inspected, but for example, as a binding resin,
Photosensitive layer B was prepared by blending 1.00 parts by weight of polycarbonate, 100 parts by weight of DH (diethylaminobenzaldehyde diphenylhydrazone) as a charge transport material, and 8 parts by weight of metal-free phthalocyanine as a charge generating material.
When inspecting the surface of the photosensitive layer B, the wavelength in the high absorbance wavelength band (
He-Ne that can output laser light of 632.8 nm)
A laser light source is used. Thereby, abnormalities on the surface of the photosensitive layer 8 can be reliably detected.
前述した装置を用いて、上記組成でなる感光層Ａ表面の
異常を、Ｈｅ−Ｃｄレーザー光源から発せられるレーザ
ー光（波長４４１．６ｎ慮）にて検査したところ、該感
光層Ａ表面における６００Ｘ１００μ蓮の傷、１５０μ
ｍの泡、５０Ｘ３−５０μ鳳の塵埃、１００μｌの異物
を確実に検出することができた。また、７００μ■Ｘ２
０ｍ５の筋もほぼ検出することができた。このような感
光ＮＡ衣表面異常を、 Ｈｅ−Ｃｄレーザー光源から発
せられるレーザー光（波長６３２．８ｒｖ ）にて検査
したところ、全ての異常について検出することができな
かった。さらに、上記感光層Ｂの表面の異常を、Ｈｅ−
Ｃｄレーザー光源から発せられるレーザー光（波長６３
２．８ｎｍ ）にて検査したところ、該感光層Ｂの表面
における６００Ｘ１００μ匡の傷、１５０μｍの泡、５
０×３５０μｍの塵埃、１００μｌの異物、および７０
０μ信×２０５１１ｍの筋を確実に検出することができ
た。When the surface of the photosensitive layer A having the above composition was inspected for abnormalities using the laser beam (wavelength: 441.6n) emitted from a He-Cd laser light source using the above-mentioned apparatus, it was found that the surface of the photosensitive layer A had a 600×100μ lotus surface. scratch, 150μ
It was possible to reliably detect 100 μl of bubbles, 50×3-50 μl of dust, and 100 μl of foreign matter. Also, 700μ■X2
It was also possible to almost detect streaks of 0m5. When such abnormalities on the surface of the photosensitive NA coat were examined using laser light (wavelength: 632.8 rv) emitted from a He-Cd laser light source, no abnormalities could be detected. Furthermore, the abnormality on the surface of the photosensitive layer B was removed using He-
Laser light emitted from a Cd laser light source (wavelength 63
2.8 nm), the surface of the photosensitive layer B was found to have scratches of 600 x 100 μm, bubbles of 150 μm, and 5
0 x 350 μm dust, 100 μl foreign matter, and 70
It was possible to reliably detect a streak of 0 μ signal x 20511 m.
このように、感光層の組成における主として光を吸収す
る電荷発生材料に対して高吸光度の波長帯域の波長のレ
ーザ光を用いて感光層表面を検査する構成であれば、上
記実施例に限定されるものではない、また、上記実施例
では、基体であるアルミニウム素管に単層の管光層がコ
ーティングされた被検査物について説明したが、基体上
に機能分離を目的として、複数の感光層が積層されてい
てもよい。In this way, as long as the surface of the photosensitive layer is inspected using a laser beam with a wavelength in a wavelength band with high absorbance for the charge generating material that mainly absorbs light in the composition of the photosensitive layer, the present invention is not limited to the above embodiments. In addition, in the above example, the test object was explained in which the base aluminum tube was coated with a single tube light layer, but for the purpose of functional separation, multiple photosensitive layers were may be stacked.
（発明の効果）
本発明の感光層表面の異常検出方法は、このように、基
体上に感光層がコーティングされた被検査物の感光層表
面に、該感光層に対して高吸光度の波長帯域の波長のレ
ーザー光を照射し、その反射光の光学的情報に基づき該
感光層表面の異常を検出するものであるから、感光層内
に進入したレーザー光がほとんど吸収されるため、該感
光層にて反射されるレーザー光は、干渉を受けることが
なく、従って、感光層表面の状態を確実にしかも正確に
、さらには高速にて検出し得る。(Effects of the Invention) The method for detecting an abnormality on the surface of a photosensitive layer of the present invention has a method of detecting an abnormality on the surface of a photosensitive layer in this way. Since the method detects abnormalities on the surface of the photosensitive layer based on the optical information of the reflected light by irradiating laser light with a wavelength of The laser light reflected by the laser beam is not interfered with, and therefore the state of the surface of the photosensitive layer can be detected reliably, accurately, and at high speed.
、 の を舌 日
第１図は本発明の感光層表面の異常検出方法の実施に使
用される装置の一例を示す概略構成図。FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of an apparatus used to carry out the method for detecting an abnormality on the surface of a photosensitive layer according to the present invention.
第２図は所定の組成の感光層Ａの吸光度特性を示すグラ
フ、第３図は所定の組成の感光層Ｂの吸光度特性を示す
グラフである。FIG. 2 is a graph showing the absorbance characteristics of photosensitive layer A having a predetermined composition, and FIG. 3 is a graph showing the absorbance characteristics of photosensitive layer B having a predetermined composition.
１１・・・レーザー光源、１３・・・回転多面鏡、１５
・・・ステ・ソビングモーター、１６・・・ステージ、
２０・・・受光器、２２・・・光電子増倍管。11... Laser light source, 13... Rotating polygon mirror, 15
... Ste Sobbing Motor, 16... Stage,
20... Photoreceiver, 22... Photomultiplier tube.
以上that's all
Claims (1)
光層に対して高吸光度である波長帯域の波長のレーザー
光を照射し、該感光層の表面にて反射されたレーザー光
の光学的情報に基づき該感光層表面の異常を検出するこ
とを特徴とする感光層表面の異常検出方法。1. The surface of the photosensitive layer coated on the substrate is irradiated with a laser beam having a wavelength in a wavelength band in which the photosensitive layer has high absorbance, and the optical radiation of the laser beam reflected on the surface of the photosensitive layer is measured. A method for detecting an abnormality on the surface of a photosensitive layer, the method comprising detecting an abnormality on the surface of the photosensitive layer based on information.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2202889A JPH02201142A (en) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | Method of detecting abnormality on photosensitive layer surface |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2202889A JPH02201142A (en) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | Method of detecting abnormality on photosensitive layer surface |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02201142A true JPH02201142A (en) | 1990-08-09 |
Family
ID=12071526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2202889A Pending JPH02201142A (en) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | Method of detecting abnormality on photosensitive layer surface |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02201142A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001141659A (en) * | 1999-11-11 | 2001-05-25 | Ricoh Co Ltd | Image pick-up device and defect detecting apparatus |
| US6940608B2 (en) * | 2001-03-08 | 2005-09-06 | Ricoh Company, Ltd. | Method and apparatus for surface configuration measurement |
-
1989
- 1989-01-30 JP JP2202889A patent/JPH02201142A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001141659A (en) * | 1999-11-11 | 2001-05-25 | Ricoh Co Ltd | Image pick-up device and defect detecting apparatus |
| US6940608B2 (en) * | 2001-03-08 | 2005-09-06 | Ricoh Company, Ltd. | Method and apparatus for surface configuration measurement |
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