JP2653026B2 - Optical information recording disk inspection method and inspection apparatus - Google Patents
Optical information recording disk inspection method and inspection apparatusInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光情報記録ディスクの
表面に付いた傷や内部の記録層に生じた欠陥を検査する
検査方法及び検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection method and an inspection apparatus for inspecting scratches on the surface of an optical information recording disk and defects generated in an internal recording layer.
【0002】[0002]
【従来の技術】光情報記録ディスクには、ディスクに記
録された情報を読み取るだけの再生専用の光ディスク
(以後、ROM型光ディスクと呼ぶ)と、情報を記録す
ることが可能な光ディスク(以後、RAM型光ディスク
と呼ぶ)とがある。前者のROM型光ディスクは、例え
ばポリカーボネートから形成される透光性基板と、アル
ミニウムあるいは金を蒸着してなる反射膜、この反射膜
を保護するための保護層等から構成されている。また、
後者のRAM型光ディスクは、ポリカーボネートから形
成される透光性基板と、有機色素を塗布してなる記録層
と、アルミニウムあるいは金等を蒸着してなる反射膜、
この反射膜を保護するための保護層等から構成されてい
る。2. Description of the Related Art Optical information recording disks include a read-only optical disk (hereinafter referred to as a ROM type optical disk) for reading information recorded on the disk, and an optical disk (hereinafter referred to as a RAM) capable of recording information. Type optical disk). The former ROM-type optical disk includes a light-transmitting substrate formed of, for example, polycarbonate, a reflective film formed by evaporating aluminum or gold, a protective layer for protecting the reflective film, and the like. Also,
The latter RAM type optical disk has a light-transmitting substrate formed of polycarbonate, a recording layer formed by coating an organic dye, and a reflective film formed by evaporating aluminum or gold.
It is composed of a protective layer for protecting the reflection film.
【0003】ところで、このようなROM型光ディスク
を再生したり、あるいは、RAM型光ディスクに記録し
または再生する際、再生用あるいは記録用の光ビームが
透過する透光性樹脂基板の表面に傷があったり、樹脂基
板中に塵が混入していたり、反射膜に微少な孔(ピンホ
ール)が発生していたりすると、正確な情報の再生、記
録が出来なくなる。そこで、前記のROM型光ディスク
やRAM型光ディスク等を製造する工程においては、前
記のような傷や塵、ピンホール等の欠陥を検査すること
が必要となる。[0003] By the way, when such a ROM-type optical disk is reproduced or recorded or reproduced on a RAM-type optical disk, the surface of the light-transmitting resin substrate through which the light beam for reproduction or recording passes is damaged. If there is, or dust is mixed in the resin substrate, or a minute hole (pinhole) is generated in the reflection film, accurate reproduction and recording of information cannot be performed. Therefore, in the process of manufacturing the ROM type optical disk, the RAM type optical disk, and the like, it is necessary to inspect for defects such as scratches, dust, and pinholes.
【0004】従来、このような欠陥を検査する方法とし
て、例えば、ハロゲンランプからの光をスリットを通し
て被検査物である光ディスクの表面に照射し、その反射
光あるいは透過光を、CCDカメラ等の受光器で受光し
て検査を行う方法や、光源として半導体レーザを使用
し、そのレーザ光を多面鏡等で反射しながら被検査物の
表面を走査させ、その反射光あるいは透過光を受光器で
受光して検査を行う方法などが実施されていた。Conventionally, as a method of inspecting such a defect, for example, light from a halogen lamp is irradiated through a slit onto the surface of an optical disk to be inspected, and reflected light or transmitted light is received by a CCD camera or the like. A semiconductor laser is used as a light source, the laser light is reflected by a polygon mirror, etc., and the surface of the inspection object is scanned, and the reflected light or transmitted light is received by the light receiver Inspection methods have been implemented.
【0005】このような検査方法の原理は、次のような
ものである。すなわち、スリットまたは多面鏡で帯状に
通された光を、被検査物である光ディスクの半径方向に
わたって当て、光ディスクを1回転させながら、光ディ
スクの全面に光を当てる。このとき、光ディスクの透光
性基板や反射膜に何も欠陥がなければ、反射光の強度は
一様であり、受光器の出力も一様となる。一方、傷など
の欠陥が生じている場合には、その部分で照射光が乱反
射され、その部分での反射率が特に低下する。すなわ
ち、反射光の強度が一様ではなくなり、CCDカメラで
受光して電気信号に変換した反射光は、その部分で出力
が低下する。そこで、この電気信号をコンピュータで演
算処理し、欠陥の有無の判断を行うことが出来る。[0005] The principle of such an inspection method is as follows. That is, light passed in a band shape by a slit or a polygon mirror is applied in the radial direction of an optical disk as an inspection object, and light is applied to the entire surface of the optical disk while rotating the optical disk once. At this time, if there is no defect in the light-transmitting substrate or the reflective film of the optical disk, the intensity of the reflected light is uniform, and the output of the light receiver is also uniform. On the other hand, when a defect such as a scratch occurs, the irradiation light is irregularly reflected at that portion, and the reflectance at that portion is particularly reduced. That is, the intensity of the reflected light is not uniform, and the output of the reflected light received by the CCD camera and converted into an electric signal is reduced at that portion. Thus, the electric signal can be processed by a computer to determine whether there is a defect.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上述のROM型光ディ
スクに対し、記録可能なRAM型光ディスクでは、透光
性基板と反射膜との間に記録層が形成されている。この
記録層の厚さは、記録層形成面上のどの部分におても一
定であることが望まれており、その厚みの許容誤差も非
常に厳しく管理されている。これは、記録層の厚みにむ
らがあると、正しい記録が行われず、記録された情報が
間違って再生されたり、再生が不能になったりするとい
う問題が生じるからである。In contrast to the ROM type optical disk described above, a recordable RAM type optical disk has a recording layer formed between a translucent substrate and a reflective film. It is desired that the thickness of the recording layer is constant at any portion on the recording layer forming surface, and the tolerance of the thickness is very strictly controlled. This is because if the thickness of the recording layer is uneven, correct recording is not performed, and a problem occurs in that recorded information is reproduced incorrectly or cannot be reproduced.
【0007】この記録層を有機色素を塗布して形成する
際、塗りむらを発生させないようにするのは難しい。例
えば、円板形状の透光性基板にこの記録層を形成する方
法の一つとして、円板形状の基板の中心を軸に高速で回
転させながら、その円板表面上の半径方向に有機色素の
記録層用材を塗布する、いわゆるスピンコート法等が採
用されているが、このコーティングの際、放射状の
「尾」のような塗りむらが発生することがある。When this recording layer is formed by applying an organic dye, it is difficult to prevent the occurrence of coating unevenness. For example, as one method of forming this recording layer on a disc-shaped translucent substrate, an organic dye is formed in the radial direction on the disc surface while rotating at high speed around the center of the disc-shaped substrate. In this case, a so-called spin coating method or the like for applying a recording layer material is used, but in this coating, a coating unevenness like a radial “tail” may occur.
【0008】ところが、このような塗りむらのある記録
層での反射率と、正常に塗布された記録層での反射率と
の差は、前述のような傷の部分と正常な部分での反射率
の差に比べて著しく小さい。従って、前述のような従来
の検査方法ではこのような欠陥を検出することは出来な
かった。これは、従来用いられている検査光は、記録層
の厚さの違いに対し感度が弱いため、記録層の厚さが異
なっていても、記録層を透過し、反射膜で反射された
後、受光部で受光される光の変化が小さいからである。However, the difference between the reflectivity of a recording layer having such a coating unevenness and the reflectivity of a normally applied recording layer is due to the reflection between the scratched portion and the normal portion as described above. Significantly smaller than the rate difference. Therefore, such a defect cannot be detected by the conventional inspection method as described above. This is because the inspection light conventionally used has low sensitivity to the difference in the thickness of the recording layer, so even if the thickness of the recording layer is different, it passes through the recording layer and is reflected by the reflection film. This is because the change in the light received by the light receiving unit is small.
【0009】そこで本発明では、上述の従来技術の問題
点に鑑み、記録可能なRAM型光ディスクについても、
その透光性基板や反射膜に存在する欠陥だけでなく、記
録層の塗布厚のむらをも検査することが可能な光情報記
録ディスクの検査方法及び検査装置を提供することをそ
の目的とする。In view of the above-mentioned problems of the prior art, the present invention provides a recordable RAM type optical disk.
An object of the present invention is to provide an inspection method and an inspection apparatus for an optical information recording disk capable of inspecting not only defects existing in the light-transmitting substrate and the reflection film but also irregularities in the coating thickness of the recording layer.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明によれ
ば、前記の目的を達成するための方法として、透光性基
板の上に、少なくとも記録層と反射膜とが順次形成され
た光情報記録ディスクを検査する方法において、前記記
録層を形成する材料に吸収される波長の第一の検査光を
記録層に照射し、その反射膜からの反射光を測定して記
録層の検査を行なう第一の検査と、前記記録層を形成す
る材料には殆ど吸収されない波長の第二の検査光を透光
性基板に通し、その反射膜からの反射光を測定して透光
性基板の検査を行なう第二の検査とを有することを特徴
とする光情報記録ディスクの検査方法が提案される。That is, according to the present invention, as a method for achieving the above object, there is provided an optical information system in which at least a recording layer and a reflective film are sequentially formed on a translucent substrate. In the method for inspecting a recording disk, the recording layer is inspected by irradiating the recording layer with first inspection light having a wavelength absorbed by the material forming the recording layer, and measuring the light reflected from the reflection film. The first inspection and the second inspection light having a wavelength hardly absorbed by the material forming the recording layer are passed through the light-transmitting substrate, and the light reflected from the reflection film is measured to inspect the light-transmitting substrate. And an inspection method for an optical information recording disk, comprising:
【0011】さらに、前記の本発明の検査方法を実施す
るための装置として、透光性基板の上に、少なくとも記
録層と反射膜とが順次形成された光情報記録ディスクを
検査する検査装置において、前記記録層を形成する材料
に吸収される波長の検査光を記録層に照射する第一の光
源と、該検査光の反射膜からの反射光を受光し、測定す
る第一の受光器と、前記記録層を形成する材料には殆ど
吸収されない波長の検査光を透光性基板に照射する第二
の光源と、該検査光の反射膜からの反射光を受光し、測
定する第二の受光器とを備えることを特徴とする光情報
記録ディスクの検査装置が提案される。Further, as an apparatus for carrying out the above-described inspection method of the present invention, there is provided an inspection apparatus for inspecting an optical information recording disk in which at least a recording layer and a reflection film are sequentially formed on a light-transmitting substrate. A first light source that irradiates the recording layer with inspection light having a wavelength absorbed by the material forming the recording layer, and a first light receiver that receives reflected light from the reflection film of the inspection light and measures the light. A second light source that irradiates the light-transmitting substrate with inspection light having a wavelength that is hardly absorbed by the material forming the recording layer, and a second light that receives reflected light from the reflection film of the inspection light and performs measurement. There is proposed an optical information recording disk inspection apparatus, which is provided with a light receiver.
【0012】[0012]
【作用】前記の本発明による光情報記録ディスクの検査
方法と装置によれば、第一の光源から、記録層を形成す
る材料に特に吸収される波長の第一の検査光を記録層に
照射し、その反射光を第一の受光器で受光し、測定する
第一の検査工程によって、有機色素から成る記録層の塗
りむら等の有無を判別できる。すなわち、記録層の膜厚
に違いがある場合、記録層を検査光が透過する際のその
吸収量の違いによって、前記膜厚の違いが判別できる。
他方、第二の光源から、前記記録層材料に吸収されない
波長の検査光を透光性基板に照射し、その反射光を第二
の受光器で受光し、測定する第二の検査工程により、記
録層を形成する有機色素に検査光が吸収されず、従って
記録層に邪魔されず、透光性基板上の傷やその内部の塵
等の有無を検査することが可能になる。According to the method and apparatus for inspecting an optical information recording disk according to the present invention, the first light source irradiates the recording layer with the first inspection light having a wavelength particularly absorbed by the material forming the recording layer. Then, the reflected light is received by the first light receiver, and the presence or absence of coating unevenness of the recording layer made of the organic dye can be determined by the first inspection step of measuring. That is, when there is a difference in the film thickness of the recording layer, the difference in the film thickness can be determined from the difference in the amount of absorption of the inspection light when the inspection light is transmitted through the recording layer.
On the other hand, from the second light source, by irradiating the light-transmitting substrate with inspection light having a wavelength not absorbed by the recording layer material, receiving the reflected light with a second light receiver, and measuring the second inspection step, The inspection light is not absorbed by the organic dye that forms the recording layer, and therefore, is not disturbed by the recording layer, so that it is possible to inspect for a flaw on the light-transmitting substrate and dust inside the light-transmitting substrate.
【0013】[0013]
【実施例】以下、図面を参照しながら、本発明の実施例
について詳細に説明する。図1は、本発明の光情報記録
ディスクの検査方法を実施するための検査装置であり、
ここでの被検査物たる光情報記録ディスク100は、記
録可能なRAM型光ディスクである。この光情報記録デ
ィスク100は、図5に示すように、例えばポリカーボ
ネートを円板状に形成した透光性樹脂基板110と、こ
の透光性樹脂基板の一方の主面に均一な厚みで塗布され
た例えば有機色素から成る記録層120と、この記録層
120の背面にアルミニウムあるいは金等を蒸着して形
成した反射膜130と、この反射膜130の上に設けた
保護膜140とから構成されている。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is an inspection apparatus for implementing the optical information recording disk inspection method of the present invention,
Here, the optical information recording disk 100 to be inspected is a recordable RAM type optical disk. As shown in FIG. 5, this optical information recording disk 100 is coated with a light-transmitting resin substrate 110 made of, for example, polycarbonate in a disc shape, and is coated with a uniform thickness on one main surface of the light-transmitting resin substrate. A recording layer 120 made of, for example, an organic dye, a reflection film 130 formed by evaporating aluminum or gold on the back surface of the recording layer 120, and a protective film 140 provided on the reflection film 130. I have.
【0014】図1に示すように、前記光情報記録ディス
ク100が、回転可能な回転板10の上に載せられてい
る。この回転板10の上方には、第一の光照射部20と
第二の光照射部30とが設けられてり、これらの横に
は、各々第一の受光部40と第二の受光部50とが対応
して配置されている。この図において、符号60は前記
回転板を回転するためのモータであり、このモータ60
の回転軸の回転は、例えば減速歯車等のトルク伝達機構
65を介して前記回転板10の回転軸に伝達され、回転
板を所定の速度で回転する。そして、前記第一及び第二
の受光部40、50で検査光を受光することによって出
力される電気信号は、例えばコンピュータからなる制御
部70へ入力され、所定のプログラムに従って分析、検
査が行われる。また、この制御部70は、モータ制御回
路80を介して前記のモータ60の回転を制御する。As shown in FIG. 1, the optical information recording disk 100 is mounted on a rotatable rotating plate 10. Above the rotating plate 10, a first light irradiating section 20 and a second light irradiating section 30 are provided, and beside these, a first light receiving section 40 and a second light receiving section are provided, respectively. 50 are arranged correspondingly. In this figure, reference numeral 60 denotes a motor for rotating the rotary plate.
The rotation of the rotating shaft is transmitted to the rotating shaft of the rotating plate 10 via a torque transmission mechanism 65 such as a reduction gear, and rotates the rotating plate at a predetermined speed. An electric signal output by receiving the inspection light by the first and second light receiving units 40 and 50 is input to, for example, a control unit 70 including a computer, and is analyzed and inspected according to a predetermined program. . The control unit 70 controls the rotation of the motor 60 via a motor control circuit 80.
【0015】前記第一の光照射部20は、前記光情報記
録ディスク100の記録層120を形成する材料である
有機色素に特に大きな吸収率を示す波長の光を発生する
光源を備えており、一方、前記第二の光照射部30は、
前記記録層の形成材料には殆ど吸収されない波長の光を
発生する光源を備えている。前記の第一の光照射部20
は、例えば図2に示すように、光源である半導体レーザ
21からの光を回転する多面鏡22で反射し、さらに、
平面鏡23、内側に湾曲した凹面鏡24を通して光情報
記録ディスク100の透光性基板110の面上に破線で
示すように、半径方向にわたって入射するように構成さ
れている。すなわち、前記半導体レーザ21からのレー
ザ光は、多面鏡22を回転することにより、光情報記録
ディスク100の半径方向に、その中心縁から外周縁
へ、あるいは、その反対方向にも移動することが出来、
これによって、光情報記録ディスク100の透光性基板
110の面上を半径方向に走査することが可能である。The first light irradiating section 20 is provided with a light source for generating light having a wavelength showing a particularly high absorptivity to an organic dye which is a material for forming the recording layer 120 of the optical information recording disk 100, On the other hand, the second light irradiation unit 30
The recording layer is provided with a light source that generates light having a wavelength that is hardly absorbed by the material. The first light irradiation unit 20
For example, as shown in FIG. 2, light from a semiconductor laser 21 as a light source is reflected by a rotating polygon mirror 22, and further,
As shown by a broken line, the light is incident on the surface of the transparent substrate 110 of the optical information recording disk 100 through the plane mirror 23 and the concave mirror 24 curved inward in the radial direction. That is, the laser beam from the semiconductor laser 21 can move in the radial direction of the optical information recording disk 100 from the center edge to the outer edge or in the opposite direction by rotating the polygon mirror 22. Done
Thus, it is possible to scan the surface of the light transmitting substrate 110 of the optical information recording disk 100 in the radial direction.
【0016】他方、前記の第二の光照射部30も、前記
の図2にと同様の構造により、半導体レーザを用いて構
成することも出来る。但し、その照射光の波長は、前記
記録層の形成材料には吸収されない波長の光であり、前
記第一の光照射部20から照射される光とは波長が異な
る。或は他の例として、図3に示すように、ハロゲンラ
ンプ31を用い、その出射光をスリット板32のスリッ
ト33通して線状にし、この線状の光を前記光情報記録
ディスク100の透光性基板110の面上を半径方向に
照射するものでもよい。On the other hand, the second light irradiating section 30 can also be configured by using a semiconductor laser with the same structure as that shown in FIG. However, the wavelength of the irradiation light is a light having a wavelength that is not absorbed by the material for forming the recording layer, and has a different wavelength from the light irradiated from the first light irradiation unit 20. As another example, as shown in FIG. 3, a halogen lamp 31 is used, the emitted light is made linear through a slit 33 of a slit plate 32, and this linear light is transmitted through the optical information recording disk 100. The surface of the optical substrate 110 may be irradiated in the radial direction.
【0017】前記第一及び第二の受光部40、50は、
図1にも示すようなライン型のCCDカメラを用いるこ
とができるが、例えば図4に示すように、光情報記録デ
ィスク100の透光性基板110から出てくる反射光を
凹面鏡41を用いて一点に収束するように反射し、その
収束点に通常のCCDカメラ42を配置する構成として
もよい。The first and second light receiving sections 40 and 50 are
Although a line-type CCD camera as shown in FIG. 1 can be used, for example, as shown in FIG. 4, reflected light coming out of the transparent substrate 110 of the optical information recording disk 100 is reflected by using a concave mirror 41. The light may be reflected so as to converge at one point, and a normal CCD camera 42 may be arranged at the converging point.
【0018】以上に説明した本発明の光情報記録ディス
クの検査装置による検査方法及びその原理を以下に説明
する。被検査物である光情報記録ディスク100を回転
板10の上に載せて、回転板10を回転させながら、前
記第一の光照射部20と第二の光照射部30からの光を
ディスクの半径方向に内側から外側に向かって順次走査
させる。これにより、前記第一の光照射部20と第二の
光照射部30から照射された光は、光情報記録ディスク
100の表面及び各層の界面で反射された後、それぞ
れ、第一及び第二の受光部40、50に入射され、受光
される。さらに、第一及び第二の受光部40、50から
その受光々量に応じた電気信号が出力され、制御部70
はその検出信号に基づいて所定の演算により欠陥の有無
の検査を行う。An inspection method of the optical information recording disk inspection apparatus of the present invention described above and its principle will be described below. The optical information recording disk 100 to be inspected is placed on the rotating plate 10, and the light from the first light irradiating unit 20 and the second light irradiating unit 30 is applied to the disk while rotating the rotating plate 10. Scanning is sequentially performed from the inside to the outside in the radial direction. Thereby, the light emitted from the first light irradiating section 20 and the second light irradiating section 30 are reflected on the surface of the optical information recording disk 100 and the interface between the layers, respectively, and thereafter, respectively, And is received by the light receiving sections 40 and 50 of the light receiving section. Further, the first and second light receiving units 40 and 50 output electric signals corresponding to the respective amounts of received light, and the control unit 70
Performs an inspection for the presence or absence of a defect by a predetermined calculation based on the detection signal.
【0019】まず、第一の光照射部20と受光部40に
よる記録層120の検査について説明する。前記第一の
光照射部20から光情報記録ディスク100に照射され
たレーザ光Lは、図5に矢印で示すように、光情報記録
ディスク100の透光性基板110を透過し、その一部
が有機色素の記録層120に入射すると共に、その一部
が界面で反射され、その後透光性基板110の表面を通
って外部へ出る(L’)。さらに、この有機色素の記録
層120へ入射した一部の光も、反射膜130の界面で
反射され、再び記録層120から透光性基板110を通
過し、その表面から外部へ出る(L”)。First, the inspection of the recording layer 120 by the first light irradiation unit 20 and the light receiving unit 40 will be described. The laser beam L emitted from the first light irradiating section 20 to the optical information recording disk 100 passes through the light transmitting substrate 110 of the optical information recording disk 100 as shown by an arrow in FIG. Is incident on the organic dye recording layer 120 and a part thereof is reflected at the interface, and then exits through the surface of the light transmitting substrate 110 (L ′). Further, a part of the light of the organic dye incident on the recording layer 120 is also reflected at the interface of the reflection film 130, passes through the light-transmitting substrate 110 from the recording layer 120 again, and exits from the surface to the outside (L "). ).
【0020】ここで、図にも示すように、検査光Lの波
長をλとし、前記有機色素の記録層120の厚みをd、
検査光の記録層への入射角をθとすると、これら2つの
反射光(L’とL”)の光路差Δは、以下の式で表され
る。 Δ=2・d・n・cosθ なお、ここで、n=nP/nDであり、nP は透光性基板
の屈折率を、nD は記録層120の屈折率を表してい
る。Here, as shown in the figure, the wavelength of the inspection light L is λ, the thickness of the organic dye recording layer 120 is d,
Assuming that the angle of incidence of the inspection light on the recording layer is θ, the optical path difference Δ between these two reflected lights (L ′ and L ″) is expressed by the following equation: Δ = 2 · dn · cos θ Here, n = n P / n D , where n P is the refractive index of the translucent substrate, and n D is the refractive index of the recording layer 120.
【0021】そして、これら外部に出射した2つの反射
光L’、L”は相互に干渉し合うが、前記光路差Δが以
下の条件を満たす場合には、相互の位相が一致して明る
くなり、反射率が最大を示す。 Δ=2・d・n・cosθ=(2m+1)・λ/2 ここで、mは整数である。The two reflected lights L ′ and L ″ emitted to the outside interfere with each other, but when the optical path difference Δ satisfies the following condition, the phases coincide with each other and become brighter. Δ = 2 · dn · cos θ = (2m + 1) · λ / 2 where m is an integer.
【0022】ここで、例えばレーザ光Lの入射角度を適
宜設定する(すなわち、θを変える)ことにより、記録
層120が規定の厚さdであるとき、最大の反射率を得
るように調整することが出来る。その結果、前記記録層
120の厚さdが前記規定値から外れたときは、前記2
つの反射光L’、L”は位相が一致せず、その明るさが
変化し、反射率が低下あるいは上昇して受光部40での
受光量が変化する。このことから、第一の受光部40か
らの出力が所定の値に対し変化したことを検知すること
によって、記録層120の膜厚が規定値と異なること、
すなわち、有機色素の塗りむら等による膜厚に違いがあ
ることを検査することが可能になる。例えば、制御部7
0は、図6に示す受光光量の時間的変化(すなわち、時
間tの経過に伴い、光情報記録ディスク100を半径方
向に走査している)において、第一の受光部40の受光
量Aが第一のスレッショルドTh1よりも低下した場合
に不良と判断する。Here, for example, by appropriately setting the incident angle of the laser beam L (ie, changing θ), the recording layer 120 is adjusted so as to obtain the maximum reflectance when the recording layer 120 has the specified thickness d. I can do it. As a result, when the thickness d of the recording layer 120 deviates from the specified value,
The two reflected lights L ′ and L ″ do not have the same phase, the brightness thereof changes, the reflectance decreases or increases, and the amount of light received by the light receiving unit 40 changes. By detecting that the output from 40 has changed with respect to a predetermined value, the film thickness of the recording layer 120 is different from the specified value;
That is, it is possible to inspect whether there is a difference in the film thickness due to uneven coating of the organic dye or the like. For example, the control unit 7
0 indicates that the received light amount A of the first light receiving unit 40 is changed in the temporal change of the received light amount shown in FIG. 6 (that is, the optical information recording disk 100 is scanned in the radial direction as the time t elapses). It is determined to be defective if the value falls below the first threshold Th1.
【0023】次に、第二の光照射部30と受光部50と
による透光性基板110の検査について説明する。第二
の光照射部30から光情報記録ディスク100に照射さ
れた光は、透光性基板110及び記録層120を透過し
て反射膜130に至る。この光は、反射膜の表面で反射
され、再び、透光性基板110及び記録層120を透過
して第二の受光部50で受光される。この第二の光照射
部30からの光は、記録層120の有機色素材料には吸
収されないことから、この光路上に傷や塵などの欠陥が
なければ、ほとんどの光が記録層120を通過して反射
膜130の表面で反射され、第二の受光部50での受光
光量は大きな値となる。Next, the inspection of the light transmitting substrate 110 by the second light irradiating unit 30 and the light receiving unit 50 will be described. Light emitted from the second light irradiator 30 to the optical information recording disk 100 passes through the light transmitting substrate 110 and the recording layer 120 and reaches the reflective film 130. This light is reflected on the surface of the reflection film, passes through the light transmitting substrate 110 and the recording layer 120 again, and is received by the second light receiving unit 50. Since the light from the second light irradiator 30 is not absorbed by the organic dye material of the recording layer 120, most of the light passes through the recording layer 120 unless there is a defect such as a scratch or dust on the optical path. Then, the light is reflected by the surface of the reflective film 130 and the amount of light received by the second light receiving unit 50 becomes a large value.
【0024】一方、光情報記録ディスク100の透光性
基板110の表面の傷、その内部に混入した塵、さらに
は反射膜130に発生したピンホール等が存在する場合
には、前記の光路を通過する光は乱反射され、反射率が
低下し、第二の受光部50の受光光量が低下する。そこ
で、制御部70は、第二の受光部50からの出力が所定
の値よりも低下したことを検知することによって、これ
ら透光性基板110や反射膜130の欠陥を正確に検査
することが出来る。例えば、再び図6に示す受光光量B
の時間的変化において、第二の受光部50の受光量が第
二のスレッショルドTh2よりも低下した場合に不良と
判断する。On the other hand, when there is a scratch on the surface of the light transmitting substrate 110 of the optical information recording disk 100, dust mixed therein, and pinholes or the like generated in the reflection film 130, the above optical path is changed. The passing light is irregularly reflected, the reflectance is reduced, and the amount of light received by the second light receiving unit 50 is reduced. Therefore, the control unit 70 can accurately inspect the defects of the translucent substrate 110 and the reflective film 130 by detecting that the output from the second light receiving unit 50 has dropped below a predetermined value. I can do it. For example, the received light amount B shown in FIG.
If the amount of light received by the second light receiving unit 50 falls below the second threshold Th2 in the temporal change of, it is determined to be defective.
【0025】前記の実施例では、前記2種の検査光によ
る検査を同時に行っているが、本発明の検査方法はこれ
のみに限られず、例えばディスクを回転させながら、ま
ず第一の光照射部20と受光部40とにより、記録層1
20を検査し、次に、第二の光照射部30と受光部50
とにより、透光性基板110への塵の混入の有無を検査
するようにしてもよい。In the above embodiment, the inspection using the two types of inspection light is performed at the same time. However, the inspection method of the present invention is not limited to this. 20 and the light receiving section 40, the recording layer 1
20 is inspected, and then the second light irradiation unit 30 and the light receiving unit 50 are inspected.
Thus, the presence or absence of dust entering the translucent substrate 110 may be inspected.
【0026】[0026]
【発明の効果】以上の説明からも明かな様に、本発明の
光情報記録ディスクの検査方法及び検査装置によれば、
従来検査が困難であったRAM型光ディスクの記録層の
光学手段による検査が、透光性基板や反射膜の検査と共
に行なうことが可能になるという効果が得られる。As is apparent from the above description, according to the optical information recording disk inspection method and inspection apparatus of the present invention,
The effect is obtained that the inspection of the recording layer of the RAM type optical disk by the optical means, which has been difficult to inspect conventionally, can be performed together with the inspection of the light-transmitting substrate and the reflection film.
【図1】本発明の一実施例である光情報記録ディスクの
検査方法を実施する検査装置の構成を示す斜視図であ
る。FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of an inspection apparatus for performing an optical information recording disk inspection method according to an embodiment of the present invention.
【図2】前記検査装置の第一の光照射部の詳細構造を示
す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a detailed structure of a first light irradiation unit of the inspection device.
【図3】前記検査装置の第二の光照射部の他の構造を示
す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing another structure of the second light irradiation unit of the inspection device.
【図4】前記検査装置の受光部の詳細構造を示す斜視図
である。FIG. 4 is a perspective view showing a detailed structure of a light receiving section of the inspection device.
【図5】前記本発明の光情報記録ディスクの検査方法の
動作及び原理を示すための同ディスクの一部拡大断面図
である。FIG. 5 is a partially enlarged sectional view of the optical information recording disk showing the operation and principle of the optical information recording disk inspection method of the present invention.
【図6】前記本発明の光情報記録ディスクの検査動作を
説明するため、受光光量の変化状態例を示すグラフであ
る。FIG. 6 is a graph showing an example of a change in the amount of received light to explain the inspection operation of the optical information recording disk of the present invention.
10 回転板 20 第一の光照射部 21 半導体レーザ 30 第二の光照射部 40 第一の受光部 50 第二の受光部 60 モータ 70 制御部 100 光情報記録ディスク 110 透光性基板 120 記録層 130 反射膜 140 保護膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Rotating plate 20 First light irradiation part 21 Semiconductor laser 30 Second light irradiation part 40 First light receiving part 50 Second light receiving part 60 Motor 70 Control part 100 Optical information recording disk 110 Translucent substrate 120 Recording layer 130 Reflective film 140 Protective film
フロントページの続き (72)発明者 石黒 隆 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽 誘電株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−142554(JP,A) 特開 昭60−147945(JP,A) 実開 平1−179245(JP,U) 実開 昭60−106216(JP,U)Continuation of the front page (72) The inventor Takashi Ishiguro 6-16-20 Ueno, Taito-ku, Tokyo Taiyo Yuden Co., Ltd. (56) References JP-A-63-142554 (JP, A) JP-A-60-147945 ( JP, A) JP-A 1-179245 (JP, U) JP-A 60-106216 (JP, U)
Claims (3)
反射膜とが順次形成された光情報記録ディスクを検査す
る方法において、前記記録層を形成する材料に吸収され
る波長の第一の検査光を記録層に照射し、その反射膜か
らの反射光を測定して記録層の検査を行なう第一の検査
工程と、前記記録層を形成する材料には殆ど吸収されな
い波長の第二の検査光を透光性基板に通し、その反射膜
からの反射光を測定して透光性基板及び反射膜の検査を
行なう第二の検査工程とを有することを特徴とする光情
報記録ディスクの検査方法。1. A method for inspecting an optical information recording disk in which at least a recording layer and a reflection film are sequentially formed on a light transmitting substrate, wherein a first wavelength of a wavelength absorbed by a material forming the recording layer is provided. A first inspection step of irradiating the recording layer with the inspection light and measuring the reflected light from the reflection film to inspect the recording layer; and a second inspection step of a wavelength hardly absorbed by the material forming the recording layer. A second inspection step of passing the inspection light through a light-transmitting substrate, measuring reflected light from the reflection film, and inspecting the light-transmitting substrate and the reflection film. Inspection method.
ディスクを回転させながら、前記第一の検査光と第二の
検査光とを、光情報記録ディスクの径方向にわたって各
々照射し、前記第一と第二の検査工程を同時に行なうこ
とを特徴とする光情報記録ディスクの検査方法。2. The optical information recording disk according to claim 1, wherein the first inspection light and the second inspection light are respectively radiated in a radial direction of the optical information recording disk while rotating the optical information recording disk. An inspection method for an optical information recording disk, wherein the first and second inspection steps are performed simultaneously.
反射膜とが順次形成された光情報記録ディスクを検査す
る検査装置において、前記記録層を形成する材料に吸収
される波長の検査光を記録層に照射する第一の光源と、
該検査光の反射膜からの反射光を受光し、測定する第一
の受光器と、前記記録層を形成する材料には殆ど吸収さ
れない波長の検査光を透光性基板に照射する第二の光源
と、該検査光の反射膜からの反射光を受光し、測定する
第二の受光器とを備えることを特徴とする光情報記録デ
ィスクの検査装置。3. An inspection apparatus for inspecting an optical information recording disk in which at least a recording layer and a reflection film are sequentially formed on a light-transmitting substrate, to inspect a wavelength absorbed by a material forming the recording layer. A first light source for irradiating the recording layer with light,
A first light receiver for receiving and measuring the reflected light of the inspection light from the reflection film, and a second light-receiving substrate for irradiating the light-transmitting substrate with inspection light having a wavelength hardly absorbed by the material forming the recording layer. An inspection device for an optical information recording disk, comprising: a light source; and a second light receiver for receiving and measuring the reflected light of the inspection light from the reflection film.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27879991A JP2653026B2 (en) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | Optical information recording disk inspection method and inspection apparatus |
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---|---|---|---|
JP27879991A JP2653026B2 (en) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | Optical information recording disk inspection method and inspection apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0594622A JPH0594622A (en) | 1993-04-16 |
JP2653026B2 true JP2653026B2 (en) | 1997-09-10 |
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ID=17602339
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JP2009140569A (en) * | 2007-12-06 | 2009-06-25 | Tdk Corp | Optical drive device |
JP4998250B2 (en) * | 2007-12-21 | 2012-08-15 | Tdk株式会社 | Optical drive device |
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1991
- 1991-09-30 JP JP27879991A patent/JP2653026B2/en not_active Expired - Lifetime
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